硅片過程檢驗(yàn)培訓(xùn)

硅片過程檢驗(yàn)培訓(xùn)第1頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月目錄：

1.引言2.電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

3.過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第2頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月硅片檢驗(yàn)主要分為三類：1.硅片來料檢驗(yàn)2.電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)3.電池片出貨檢驗(yàn)引言第3頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月硅片來料檢驗(yàn)設(shè)備：引言第4頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月硅片來料檢驗(yàn)設(shè)備：引言第5頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月硅片來料檢驗(yàn)?zāi)康模?/p>

保證進(jìn)貨的原材料滿足規(guī)定的要求，防止不合格品流入生產(chǎn)流程造成不必要的損失。(確保合格的產(chǎn)品提供給生產(chǎn)部門)引言第6頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月硅片來料檢驗(yàn)主要項(xiàng)目：1.電學(xué)部分：厚度/電阻率測(cè)試

少子壽命測(cè)試引言第7頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月2.光學(xué)部分：幾何尺寸垂直性硅片破裂（包括崩邊、裂痕、V型缺口）表面臟污空洞和隱裂引言第8頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月相關(guān)硅片實(shí)例：引言第9頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)?zāi)康模?/p>

防止過程中出現(xiàn)批次性問題，避免不合格品流入下道工序。保證電池片生產(chǎn)工藝過程、操作過程均滿足規(guī)范要求，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性及規(guī)范性，保證產(chǎn)品效率及成品率。引言第10頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月電池片生產(chǎn)主要過程介紹：

引言第11頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月電池片生產(chǎn)過程檢驗(yàn)主要相關(guān)設(shè)備：引言第12頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月主要分為以下幾個(gè)控制點(diǎn)：1.前期準(zhǔn)備工作檢查2.制絨清洗后；3.擴(kuò)散后；4.等離子刻蝕后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.絲網(wǎng)燒結(jié)后；8.電池片性能測(cè)試分檔后。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第13頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月前期準(zhǔn)備工作檢查：設(shè)備開機(jī)檢查，填寫《巡檢記錄單》；工藝參數(shù)監(jiān)控：設(shè)備各參數(shù)達(dá)到工藝要求后進(jìn)行生產(chǎn)。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第14頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月各工序關(guān)鍵工藝參數(shù)：制絨清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液濃度，溶液溫度等。擴(kuò)散：擴(kuò)散溫度，氣體流量等。等離子刻蝕：射頻功率，氣體流量等。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第15頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月去磷硅玻璃：HF溶液濃度等。PECVD：氣體流量，微波源功率，沉積壓力，工藝溫度等。絲網(wǎng)燒結(jié)：印刷壓力，印刷速度，印刷網(wǎng)板間距，印刷方式，燒結(jié)各加熱區(qū)溫度等。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第16頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月制絨清洗后：制絨后硅片外觀：硅片表面制絨均勻，無點(diǎn)狀亮點(diǎn)硅片稱重：清洗前后重量差在0.6～0.7g電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第17頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月擴(kuò)散后：方塊電阻：測(cè)量范圍在40±5Ω/□方阻均勻性：均勻性誤差不大于±5%電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第18頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月等離子刻蝕后：邊緣電阻測(cè)量：測(cè)量范圍在30±10kΩ刻蝕痕跡（目測(cè)）電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第19頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月去磷硅玻璃清洗后：電池片外觀：擴(kuò)散面無明顯發(fā)暗擴(kuò)散面疏水性（目測(cè)）電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第20頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月PECVD后：工藝后外觀檢測(cè)：硅片鍍膜面呈均勻藍(lán)色（目測(cè)）氮化硅膜的厚度、反射率、折射率片內(nèi)均勻性、片間均勻性、批間均勻性：不大于±5%電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第21頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月絲網(wǎng)燒結(jié)后：印刷重量：正銀為0.10g±0.02g；背銀為0.12g±0.02g；背鋁為0.8g±0.2g；電池片外觀：滿足《成品電池片外觀分選標(biāo)準(zhǔn)》要求。電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第22頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月電池片性能測(cè)試分檔后：標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)碎片記錄電池片過程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)第23頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月一、目的：防止制程中出現(xiàn)批次性問題，

避免不合格品流入下道工序。二、范圍：適用于產(chǎn)品生產(chǎn)過程有關(guān)的工序。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第24頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月三、職責(zé)：品控員負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)過程的監(jiān)控，對(duì)生產(chǎn)工序的巡查，將遇到的問題反饋給PQC工程師。PQC工程師負(fù)責(zé)品控員監(jiān)督、巡檢統(tǒng)計(jì)表的匯總報(bào)告，以及協(xié)調(diào)生產(chǎn)部，工藝部和設(shè)備部解決相關(guān)問題。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第25頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月四、工作內(nèi)容:品控員在每班開始生產(chǎn)前完成對(duì)各種測(cè)試設(shè)備的校準(zhǔn)工作，并填寫《測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)記錄單》。品控員每隔一小時(shí)檢查各工序使用《作業(yè)指導(dǎo)書》是否正確，操作員是否按照要求進(jìn)行操作，并填寫《巡檢記錄單》。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長(zhǎng)及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第26頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月品控員每隔一小時(shí)檢查產(chǎn)品流轉(zhuǎn)情況，并填寫《巡檢記錄單》。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長(zhǎng)及PQC工程師，不允許擅自處理。品控員每隔一小時(shí)檢查各工序使用的設(shè)備和工裝是否符合《作業(yè)指導(dǎo)書》和《設(shè)備操作規(guī)程》，并填寫《巡檢記錄單》。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長(zhǎng)及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第27頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月生產(chǎn)過程中有狀態(tài)變更（包括工藝、設(shè)備和操作人員等）后，品控員需對(duì)調(diào)整后的前3批產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行跟蹤，并填寫《巡檢記錄單》。對(duì)于生產(chǎn)過程中不合格的原材料的處理，要填寫《原材料異常反饋單》，對(duì)不合格原材料的使用情況進(jìn)行處理并向技術(shù)質(zhì)量部主管反饋。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第28頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月品控員若發(fā)現(xiàn)制造產(chǎn)品過程略有偏離正常狀態(tài)，尚未造成質(zhì)量問題時(shí)，應(yīng)立即口頭通知生產(chǎn)部帶班班長(zhǎng)和PQC工程師，必要時(shí)通知生產(chǎn)部門經(jīng)理進(jìn)行改善，并跟蹤改善結(jié)果，若三次改善無效，則填寫《質(zhì)量信息反饋單》經(jīng)技術(shù)質(zhì)量部及相關(guān)部門確認(rèn)后，按確認(rèn)結(jié)果進(jìn)行處理。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第29頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)中出現(xiàn)的質(zhì)量問題，品控員立即告知PQC工程師及帶班班長(zhǎng)，帶班班長(zhǎng)要立即停產(chǎn)。QC與生產(chǎn)、工藝人員（必要時(shí)請(qǐng)研發(fā)人員協(xié)助）共同對(duì)事故原因進(jìn)行分析，要立即發(fā)放《糾正與預(yù)防措施單》，找出發(fā)生質(zhì)量問題的真正原因，制定糾正預(yù)防措施。并同時(shí)用電話或郵件通知技術(shù)質(zhì)量部主管和生產(chǎn)部主管。發(fā)現(xiàn)重大異常立即向技術(shù)質(zhì)量部經(jīng)理和制造部經(jīng)理報(bào)告。確認(rèn)是否造成質(zhì)量事故，如造成質(zhì)量事故，根據(jù)《質(zhì)量事故的管理規(guī)定》執(zhí)行。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第30頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月品控員每隔一小時(shí)需對(duì)各生產(chǎn)工序的成品監(jiān)控點(diǎn)進(jìn)行抽檢，并填寫相關(guān)《巡檢記錄單》。過程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書第31頁，課件共33頁，創(chuàng)作于2023年2月生產(chǎn)各工序