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文檔簡介

周報—W7Wuhu

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Department張卷—化學站一.重大事項概述提綱三.本周自我總結(jié)二.異常處理心得Wuhu

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Department一、重大事項概述Wuhu

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Department日期:2014/12/27機臺名稱：A1QXC041異常原因：片源出貨后載籃上有水珠處理時間：12:00-13:00處理內(nèi)容：

1.片源經(jīng)ipa烘干后，由手臂取出后發(fā)現(xiàn)載籃上有水珠；2.觀察發(fā)現(xiàn)只有兩批片源同時run貨時會出現(xiàn)這一狀況，因為取烘干后的片源前手臂停止水槽上方，手臂上帶有較多水漬；

3.對比其他HCL清洗機發(fā)現(xiàn)其他機臺無此現(xiàn)象，對比配方時發(fā)現(xiàn)41號機水槽配方細項和其他機臺不一樣，聯(lián)系工藝過來處理，將此機臺水槽配方改為與其他機臺一致，再進行空run測試；

4.測試后查看載籃和卡塞上無水漬，多次空run都正常后交付生產(chǎn)。一、重大事項概述日期:2014/12/29機臺名稱：A3DLZ006異常原因：射頻功率不穩(wěn)定處理時間：9:00-10:00處理內(nèi)容：機臺作業(yè)時，電流和射頻功率不穩(wěn)定，通過視窗觀察射頻時閃爍； 檢查射頻功率源和自動匹配器后部接線無異常，保險絲均正常，重新插拔接線后無果，將射頻功率源更換之后仍出現(xiàn)相同問題，更換自動匹配器后，機臺射頻正常，空run測試正常，測量卡塞溫度在正常范圍內(nèi)；進行多次run測試正常后，將機臺交予生產(chǎn)。二、異常處理心得Wuhu

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Department處理異常前，戴好防護用具，保證人身安全；通過對比相同機臺往往能更快查找出問題所在；處理完成后，切記要進行測試工作，確保機臺能正常運行方可交付工藝或生產(chǎn)。三、本周自我總結(jié)Wuhu

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Department自動清洗櫥片源烘干后仍有水漬，可能原因是HN2壓力不足，夾取載籃時手臂上殘留的水珠太多等，在確認不是硬件問題后，要從軟體上查找原因，有時往往是軟體問題所導致的；十三所等離子去膠機目前每日都有對卡塞進行測溫，若卡塞溫度過高，可能是勻氣盤勻氣不均，導致射頻時卡塞各個點反應(yīng)不均勻，部分點溫度升高；射頻不穩(wěn)定有可

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