納米加工技術(shù)

1.納米加工技術(shù)納米（Nanometer）,是一個(gè)長(zhǎng)度單位，簡(jiǎn)寫為nm。1nm=10-3μm=10-9m。納米技術(shù)是20世紀(jì)80年代末期誕生并在蓬勃發(fā)展的一種高新科學(xué)技術(shù)。納米不僅是一個(gè)空間尺度上的概念，而且是一種新的思維方式，即生產(chǎn)過程越來越細(xì)，以至于在納米尺度上直接由原子、分子的排布制造的具有特定功能的產(chǎn)品。2.納米技術(shù)的含義

納米技術(shù)是指納米級(jí)（0.1~100nm）的材料、設(shè)計(jì)、制造、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。它將加工和測(cè)量精度從微米級(jí)提高到納米級(jí)。3.納米技術(shù)的主要內(nèi)容納米技術(shù)是一門多學(xué)科交叉的高新技術(shù)，從基礎(chǔ)研究角度來看，納米技術(shù)包括：納米生物學(xué)、納米電子學(xué)、納米化學(xué)、納米材料和納米機(jī)械學(xué)等新學(xué)科。一納米加工技術(shù)

3.2.5納米加工技術(shù)4.納米級(jí)加工納米級(jí)加工是指：加工精度高于10-3μm，表面粗糙度Ra小于0.005μm，達(dá)到納米級(jí)精度。包括納米級(jí)尺寸精度、納米級(jí)幾何形狀精度和納米級(jí)表面質(zhì)量。納米級(jí)加工方法包括：機(jī)械加工、化學(xué)腐蝕、能量束加工、復(fù)合加工、掃描隧道顯微加工等。納米級(jí)機(jī)械加工方法包括：?jiǎn)尉Ы饎偸毒叩某苣ハ鳎唤饎偸拜喓土⒎降鹕拜喌某苣ハ骷扮R面磨削；衍磨和砂帶拋光等固定磨料工具的加工；衍磨、拋光等自由磨料的加工等。

納米標(biāo)準(zhǔn)納米生物與納米醫(yī)學(xué)納米器件研究納米技術(shù)應(yīng)用納米檢測(cè)與表征納米材料研究納米安全性研究納米仿生學(xué)納米科技領(lǐng)域納米技術(shù)與納米加工納米科技的相關(guān)研究領(lǐng)域

主要研究?jī)?nèi)容：（1）開展結(jié)構(gòu)與智能協(xié)同效應(yīng)及規(guī)律研究，開發(fā)具有特定性能的納米結(jié)構(gòu)和納米材料；（2）開展仿生智能材料特異物性機(jī)理與相關(guān)制備技術(shù)研究，開發(fā)新型生物醫(yī)學(xué)工程材料；（3）利用納米加工與組裝技術(shù)，開展用于生命科學(xué)的新探測(cè)方法及器件研究；（4）開展納電子學(xué)研究，開發(fā)與高分辨成像和生物傳感等方面相關(guān)的納米器件與系統(tǒng)。

納米器件及其相關(guān)材料

主要研究?jī)?nèi)容：（1）開展相關(guān)納米結(jié)構(gòu)與納米材料的生物醫(yī)學(xué)效應(yīng)及在外場(chǎng)中的響應(yīng)研究，探索新的物理、化學(xué)和生物學(xué)現(xiàn)象；（2）開展亞細(xì)胞水平追蹤單分子或功能復(fù)合體構(gòu)象變化研究；（3）發(fā)展生物醫(yī)學(xué)器件與微電子、光電子技術(shù)兼容的界面技術(shù)；（4）開發(fā)用于疾病早期診斷治療的納米藥物載體及新劑型、微型智能化醫(yī)療器械等。

納米生物技術(shù)與納米醫(yī)學(xué)

主要研究?jī)?nèi)容：（1）開展仿生關(guān)聯(lián)存儲(chǔ)系統(tǒng)研究，開發(fā)新型高密度存儲(chǔ)器與基于仿生原理的關(guān)聯(lián)讀寫技術(shù)；（2）開展能夠辨別或能夠自主學(xué)習(xí)辨別圖形、文字、聲音等信息的自組織機(jī)；（3）開展基于新型納米器件的人造神經(jīng)纖維、人造神經(jīng)元、人工記憶神經(jīng)元等研究，組成仿生神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)；（4）開展仿生計(jì)算機(jī)研究，開發(fā)可能突破硅基集成電路極限的新型納電子器件及仿生電路邏輯系統(tǒng)。納米仿生技術(shù)

納米生物安全

主要研究?jī)?nèi)容：（1）利用納米技術(shù)，發(fā)展對(duì)化學(xué)成分、細(xì)菌或病毒、輻射劑量及爆炸物進(jìn)行精確快速探測(cè)的技術(shù)與方法，開發(fā)超微量化學(xué)試劑與生物試劑探測(cè)與防護(hù)技術(shù)；（2）開展納米技術(shù)自身安全性研究，重點(diǎn)是納米材料與技術(shù)對(duì)環(huán)境、健康及安全的影響，納米材料，納米器件加工與系統(tǒng)集成過程中的安全性及生物學(xué)效應(yīng)等。納米科學(xué)技術(shù)觀察和研究固體表面的微觀結(jié)構(gòu)123456退出返回§2納米科學(xué)技術(shù)觀察DNA分子——揭示生命的奧秘世界上第一張DNA圖像小白鼠DNA123456退出返回§2納米科學(xué)技術(shù)DNA合成瞬間平行雙鏈DNA觀察DNA分子——揭示生命的奧秘123456退出返回§2納米科學(xué)技術(shù)改造微觀世界的手段

——操縱原子不是夢(mèng)123456退出返回§2納米科學(xué)技術(shù)“IBM”——最小的商標(biāo)28個(gè)二氧化碳分子排成的納米小人123456退出返回

納米科學(xué)技術(shù)構(gòu)造超微結(jié)構(gòu)—量子圍欄圖48個(gè)Fe原子在Cu表面圍成圍欄§2納米科學(xué)技術(shù)進(jìn)行納米級(jí)微加工——表面刻蝕123456退出返回§2納米科學(xué)技術(shù)進(jìn)行納米級(jí)微加工——表面刻蝕123456退出返回§2納米科學(xué)技術(shù)進(jìn)行納米級(jí)微加工——表面刻蝕600nm石墨表面上刻蝕123456退出返回砷化鎵GaAs表面的真空STM圖像硅表面7×7重構(gòu)圖Na過飽和吸附于GaAs表面的真空STM圖像石墨表面碳原子的規(guī)則排列吸附在鉑晶體表面的碘原子二、研究?jī)?nèi)容生物科學(xué)技術(shù)、信息科學(xué)技術(shù)、納米科學(xué)技術(shù)是本世紀(jì)內(nèi)科學(xué)技術(shù)發(fā)展的主流。⑴、納米材料：創(chuàng)造和制備優(yōu)異性能的納米材料是納米科技最為重要的研究領(lǐng)域?？梢哉f，誰掌握了納米材料，誰就掌握了21世紀(jì)納米科技發(fā)展的主動(dòng)權(quán)。⑵、納米器件：設(shè)計(jì)、制備各種納米器件和裝置納米孔DNA測(cè)控儀不同尺度的CuTCNQ有機(jī)單晶納米材料與三維納米結(jié)構(gòu)

CuPc單晶納米帶與納米晶體管用于新一代34納米NAND器件生產(chǎn)的300毫米晶圓，可切割出400個(gè)左右的32Gb芯片三納米技術(shù)與應(yīng)用

納米技術(shù)在世界各國(guó)納米技術(shù)與經(jīng)濟(jì)納米