集成電路等離子清洗

集成電路等離子清洗發(fā)布時間：2012-07-1501:12:23查看次數(shù)：367改善引線接合強度的關(guān)鍵的等離子處理參數(shù)。隨著集成電路的縮小，伴隨而來的引線接合焊盤尺寸的減小造成對接合焊盤污染的敏感性增加。引線接合焊盤污染可能造成較差的接合焊盤抗拉強度和較差的接合強度均勻性。因此，在引線接合之前，從接合焊盤表面清除所有污染是特別重要的1,2,3,4,6。在引線接合之前準備焊盤的有效的、低成本的方法是使用射頻驅(qū)動的低壓等離子技術(shù)5,6。等離子技術(shù)的成功應(yīng)用依賴工藝參數(shù)的優(yōu)化，包括過程壓力、等離子功率、時間和工藝氣體類型。這里要討論的是這些關(guān)鍵的等離子工藝參數(shù)及其對引線接合抗拉強度的影響。等離子清洗機的清洗技術(shù)不是所有的等離子技術(shù)都是相同的，同樣不是所有的集成電路封裝都是相同的，這使得對等離子技術(shù)和集成電路封裝的理解成為得到成功結(jié)果的關(guān)鍵。在為引線接合強度的改善開發(fā)一個成功的等離子清洗工藝中，重要的因素包括基板材料、其化學(xué)與溫度的敏感性、處理基板的方法、產(chǎn)量和均勻性。理解這些要求可以最終定義等離子系統(tǒng)的工藝參數(shù)。等離子工藝的目的是要是引線拉力強度最大，因而減少失效和提高合格率。在做到這一點的同時，又要盡量不影響封裝生產(chǎn)線的產(chǎn)量。因此關(guān)鍵的是要通過審慎地選擇工藝氣體、操作壓力、時間和等離子功率來優(yōu)化等離子工藝。如果工藝條件選擇不當(dāng)，可能造成引線接合強度的改善有限，或者甚至降低引線接合強度。圖一、一個典型的等離子典型的等離子的組成是，電子、離子、自由基和質(zhì)子，從電磁輻射的應(yīng)用以低壓產(chǎn)生到氣體容積中（圖一）。有各種產(chǎn)生等離子的方法，但是首選方法是使用射頻激勵。高度吸收能量的非平衡等離子能夠通過物理、化學(xué)和物理化學(xué)方法達到表面清洗和表面激化，而不改變被清洗的材料的整體性質(zhì)。選擇性、各向異性、均勻性和清潔率是工藝參數(shù)選擇的函數(shù)。工藝參數(shù)也決定工藝是否為物理的、化學(xué)的或者兩種機制的結(jié)合。當(dāng)用于清潔接合焊盤座時，每個都有顯著的優(yōu)點和缺點。工藝氣體的選擇、容室壓力、應(yīng)用功率和工藝時間都決定清潔機制及其效果。等離子工藝參數(shù)等離子清洗原理的概述發(fā)布時間：2011-11-0213:48:44查看次數(shù)：764等離子清洗原理概述等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四中狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕技術(shù)是等離子體特殊性質(zhì)的具體應(yīng)用：等離子清洗/刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場，用真空泵實現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發(fā)出輝光，故稱之為輝光放電處理。等離子體清洗的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的'活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。等離子體清洗技術(shù)的最大特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。等離子體清洗還具有以下幾個特點：容易采用數(shù)控技術(shù)，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。等離子設(shè)備之等離子清洗機介紹發(fā)布時間：2012-03-2710:45:32查看次數(shù)：610等離子清洗機已經(jīng)步入人們的視野，也并不陌生了，它應(yīng)用領(lǐng)域之廣是顯而易見的，主要包括:等離子清洗機運用之一：汽車制造行業(yè)：EPDM密封條、植絨和涂層前預(yù)處理，汽車儀表；汽車前燈PP底座，溝槽粘結(jié)前預(yù)處理。等離子清洗機運用之二.塑料橡膠行業(yè)，在生產(chǎn)線上塑料瓶貼標(biāo)簽前處理濕粘系統(tǒng)替代熱熔和擴散；PP薄膜單面預(yù)處理穩(wěn)定持久，可用于水基分散性粘結(jié)劑；塑料手機外殼以及助動車外殼，油漆前處理。等離子清洗機運用之三.光電制造行業(yè):柔性和非柔性印刷電路板觸點清潔LCD熒光燈管“觸點”清潔。等離子清洗機運用之四：金屬及涂裝行業(yè)：鋁的型材進行預(yù)處理替代打毛、打底漆，得到穩(wěn)定氧化層；鋁箔去除潤滑油一一無濕化學(xué)處理方法；不銹鋼激光焊接前處理。等離子清洗機運用之五：化纖及紡織行業(yè)：纖維進行預(yù)處理速度可達60米/分；玻璃表面和鏡面粘結(jié)前平面清潔。等離子清洗機運用之六：印刷及噴碼行業(yè)：PP材料，HD-PE絲網(wǎng)印刷，聚酰胺（噴墨印刷）前處理；等等。等離子清洗機的主要特點是1.噴射出的等離子體流為中性，不帶電，可以對各種高分子、金屬、半導(dǎo)體、橡膠、PCB電路板等材料進行表面處理。2.提高塑料件粘