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潔凈室施工程序ProcedureforCleanroomConstruction潔凈房內(nèi)施工程序ThisPaperispropertyofShanghaid-flow,Anydataandfigureshereinareconfidentialandmustnottobecopied,reproduced,duplicatedordisclosedtoothersinwholeorinpartwithoutwrittenauthorizationbyShanghaid-flow.本文件由上海鼎富電子工程有限公司版權(quán)所有,內(nèi)含所有數(shù)據(jù)及圖形皆屬機(jī)密,僅供內(nèi)部使用,未經(jīng)上海鼎富電子工程有限公司書面授權(quán),不得進(jìn)行拷貝、更改、復(fù)制或局部、全部引用TABLEOF*****S目錄TOC\o"1-5"\h\z1.0*****總則32.0*****VE目的33.0*****OM潔凈房常識(shí)34.0*****OM我國潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)45.0*****CTION*****REIN*****OM潔凈室內(nèi)施工程序45.1潔凈室更衣程序45.2潔凈室工作注意要點(diǎn)55.3潔TOC\o"1-5"\h\z凈室安全56.0*****CTION*****REIN*****OTH小潔凈間內(nèi)施工程序56.1設(shè)備啟動(dòng)操作及維護(hù)56.2預(yù)制焊接工作要點(diǎn)6本程序所述內(nèi)容,均為操作人員在半導(dǎo)體高純管道項(xiàng)目施工過程當(dāng)中,尤其是在客戶潔凈廠房中和移動(dòng)潔凈房內(nèi)施工作業(yè)時(shí)必須遵守的內(nèi)容。制訂此程序的目的在于,使在客戶潔凈廠房和移動(dòng)潔凈房中施工的操作人員,能了解潔凈廠房施工過程中的注意事項(xiàng),從而嚴(yán)格遵守執(zhí)行,以保證每一個(gè)施工環(huán)節(jié)的質(zhì)量,進(jìn)而保證整個(gè)工程的質(zhì)量。本程序適用于潔凈房凈化系統(tǒng)開始啟動(dòng),設(shè)備開始運(yùn)轉(zhuǎn),并能保持相應(yīng)的凈化等級(jí)。人是潔凈室最主要的污染源,人散發(fā)的污染物分自身產(chǎn)生和人體攜帶兩種。自身產(chǎn)生的污染物包括:體表脫落物和體表呼吸排出物。例如:每人每天大約脫落1000萬個(gè)屑粒;人吸煙20分外后,隨呼吸排出的煙塵粒子,可使周圍污染程度比正常情況增加2—5倍。人體攜帶的污染物有三種:一種是附在頭發(fā)、衣服鞋子上的污染物;一種是人體表的涂抹物;第三種是服裝磨損的脫落物。例如:著舊棉織品服裝,靜止?fàn)顟B(tài)下每人每分鐘平均產(chǎn)塵為106個(gè),因此,人員進(jìn)入潔凈廠房以前必須采取嚴(yán)格的人身凈化措施。人身凈化的方法主要有:洗滌、更衣、換鞋、吹淋和對(duì)作業(yè)人員進(jìn)行培訓(xùn)教育建立必要的規(guī)章制度等。洗滌:用水洗去手、臉乃至全身體表附著的灰塵、微生物以及積存在體表的排出物。更衣:為了減少人體的污染,進(jìn)入潔凈室以前應(yīng)首先脫去外出服以及多毛的內(nèi)衣,換上適合潔凈室工作的潔凈工作服。換鞋:外出鞋污染物最多,需在入口處用水洗吸塵和粘著的辦法處理以免沾污門廳入口。進(jìn)入潔凈區(qū)前應(yīng)換上適合潔凈室穿的潔凈鞋空氣吹淋:用25m/s以上的高速潔凈空氣吹掃全身服裝和裸露體表上的附著物。經(jīng)過吹淋后方能選入潔凈室。入口出口潔凈度等級(jí)1001000**********1m3空氣合0.5mm的粒子數(shù)(n/l)[3.5[35[350[35001m3空氣合5mm的粒子數(shù)(n/l)--[0.25[2.5[25脫去外套脫去工作鞋洗手在進(jìn)更衣室前先進(jìn)入空氣沖淋室進(jìn)入更衣室后,帶上面罩帶上發(fā)罩在發(fā)罩外帶頭罩穿上潔凈服穿上潔凈鞋帶上潔凈室專用的安全眼鏡帶上潔凈室專用的手套進(jìn)入空氣沖淋室所有工具在進(jìn)潔凈室之前必須清潔及去油污,盡量不帶入非不銹鋼工具。材料在進(jìn)入潔凈室前,去除所有紙包裝。在潔凈室環(huán)境中,必須帶手套和眼鏡。在潔凈施工時(shí),任何情況都必須帶手套,手套臟或破損,立即更換。休息時(shí)避免在地板上坐或躺。在有切割、焊接等有大量顆粒產(chǎn)生的過程中,必須使用吸塵器。潔凈房空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)后,所有穿墻工作應(yīng)提前申請(qǐng),開孔需客戶確認(rèn),開孔時(shí)必須使用吸塵器。在潔凈室內(nèi)施工時(shí),禁止隨便開關(guān)任何氣體閥門和電氣閥。避免任何不必要的打開吊頂?shù)墓ぷ?,在施工結(jié)束后所有吊頂都要安裝回原位。每一天的工作結(jié)束后,要將工作場地打掃干凈,所有工具和材料要放好。不要隨意開或關(guān)任何閥門。不要在潔凈室內(nèi)隨意開關(guān)任何動(dòng)力轉(zhuǎn)換裝置。在潔凈室內(nèi)施工時(shí),禁止任何玩笑,禁止奔跑。如果工作在某臺(tái)設(shè)備上開展,要保證此設(shè)備處于斷電狀態(tài)下,如果不是,要和有關(guān)人員確認(rèn),切斷電源。任何狀況下,都必須帶安全眼鏡。任何施工管線的修改或改動(dòng),都必須和有關(guān)人員確認(rèn),得到許可以及必要的書面證明。可移動(dòng)式潔凈小間可在施工現(xiàn)場提供潔凈的施工空間,能夠最大限度的滿足半導(dǎo)體高純管道施工的要求。100級(jí)的小環(huán)境可為管道預(yù)制和焊接提供全面的質(zhì)量保證。由于可移動(dòng)式潔凈小間放置在施工現(xiàn)場,要保證穩(wěn)定和長期的潔凈環(huán)境,設(shè)備操作維護(hù)及小間的施工嚴(yán)格遵照以下程序:1.項(xiàng)目施工前應(yīng)檢查高效過濾器的使用狀態(tài),若即將失效現(xiàn)場備用一套。2.項(xiàng)目開工前,應(yīng)檢查潔凈間的運(yùn)行狀態(tài)和凈化狀態(tài)。3.潔凈小間移至現(xiàn)場首次開動(dòng)后循環(huán)六個(gè)小時(shí)后,方可使用。以后每日施工前一小時(shí)啟動(dòng)即可。4.所有帶入潔凈小間的工具設(shè)備要求同正常凈化房相同。5.進(jìn)入潔凈小間必須更換潔凈工作衣。6.在潔凈小間預(yù)制完成后部件需要在材料儲(chǔ)存區(qū)域放置的需用塑料端蓋或薄膜保護(hù)。7.一般程序同求。1.現(xiàn)場潔凈
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