DIP十二工位全自動超聲波清洗機的應(yīng)用

DIP十二工位全自動超聲波清洗機的應(yīng)用李智峰湖南金能自動化設(shè)備有限公司4１0０1２摘要:本文論述了一種新型全自動超聲波清洗機的的工作原理及實際應(yīng)用，該清洗機綜合運用了當(dāng)今國際最前沿最先進(jìn)的清洗技術(shù)。本設(shè)備是鉻版制作中掩膜拋光后的高精度清洗設(shè)備,清洗后的產(chǎn)品干凈度可達(dá)0。2５μm。該產(chǎn)品可以應(yīng)用于同行業(yè)不同的工序或其他行業(yè)要求高精度清洗工序中。近年來,ＩＣ制造業(yè)和平板顯示制造業(yè)在我國的進(jìn)展很快，高干凈度清洗機作為微電子行業(yè)和平板顯示行業(yè)的關(guān)鍵的設(shè)備之一，其技術(shù)水平和清洗精度直接影響我國電子信息技術(shù)的進(jìn)展。近年來,清洗技術(shù)在我國進(jìn)步很快，但與微電子行業(yè)和平板顯示行業(yè)的要求相差甚遠(yuǎn),與國際先進(jìn)清洗技術(shù)水平相比還較落后。始終以來，高檔次的高干凈度清洗機始終被國外少數(shù)幾家企業(yè)所壟斷,他們通過高干凈度清洗機牢牢掌握著ＩＣ制造業(yè)和平板顯示器的上游尖端行業(yè)。研發(fā)高干凈度清洗機不僅可為集成電路產(chǎn)品和新型顯示器件供應(yīng)牢靠配套服務(wù),同時也將帶動相關(guān)技術(shù)討論和產(chǎn)品開發(fā)的進(jìn)步，有利于提高我國在全球信息化建設(shè)中的國際競爭力.我公司的DIP十二工位全自動超聲波清洗機正是在此背景下提出并進(jìn)行開發(fā)與研制的。設(shè)備概述:DＩＰ十二工位全自動超聲波清洗機是鉻版制作中掩膜拋光后的高精度清洗設(shè)備，在使用堿性溶液清洗劑與中性溶液清洗劑的基礎(chǔ)上，采納中、高頻超聲波清洗及高壓噴淋相結(jié)合的方法,將工件清洗干凈，并采納純溫水提拉脫水保證鉻版干燥.該設(shè)備主要由上下料裝置、１0個清洗槽、機械移送裝置、超純水加熱系統(tǒng)、空氣凈化系統(tǒng)及自動掌握系統(tǒng)六個部分組成。當(dāng)工件被送至上料工位時,清洗機開頭工作,并按設(shè)定程序及工藝從１＃工位移送至12#工位，實現(xiàn)工件從粗到精,逐級清洗干凈，產(chǎn)品清洗后的干凈度可達(dá)0.２5μm。該產(chǎn)品可以用于同行業(yè)不同的工序或其他行業(yè)要求高精度清洗工序中,是國際領(lǐng)先、國內(nèi)一流的高干凈度清洗設(shè)備。1項目所依據(jù)的技術(shù)原理論述超聲波清洗原理：超聲波以每秒數(shù)萬次高速震蕩在液體中傳導(dǎo)，推動介質(zhì)的作用，使液體之分子間產(chǎn)生壓力變化，造成空化效應(yīng)，這種很多微小的真空氣泡在震蕩受壓裂開時,產(chǎn)生強大的沖擊力，將清洗物之表面及細(xì)縫死角之污物剝離，達(dá)到徹底洗凈之功能。超聲波清洗機一般由清洗槽體、發(fā)振器、電源驅(qū)動器構(gòu)成，槽體用來容納洗凈液和工件，發(fā)振器則是執(zhí)行電能轉(zhuǎn)化為機械能的裝置,通常稱為換能器或振子,早期的清洗機換能器使用的是由電磁振蕩型的磁致辭伸縮組件,換能效率較低，使用壽命短，現(xiàn)在已基本被由壓電陶瓷材料構(gòu)成的壓電型換能器替代。壓電型換能器是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)原理工作的:壓電陶瓷材料有一種特殊的電學(xué)特性：在受到外力作用時,處于壓縮或拉伸狀態(tài)的壓電陶瓷兩端表面會產(chǎn)生電荷的積累,稱為壓電效應(yīng)；而在兩端施加肯定的電壓,則會產(chǎn)生伸縮的機械振動,稱為逆壓電效應(yīng)，對于壓電陶瓷材料，它的這兩種特性是可逆的。由壓電陶瓷材料制作的換能器,當(dāng)施加的電壓按肯定頻率變化時,換能器就會產(chǎn)生超聲波,這就是壓電式超聲波換能器產(chǎn)生超聲波的原理.超聲波洗凈方式:由于超聲波清洗具有獨特的機械效應(yīng)和熱效應(yīng),對污垢有很強的分解離散能力，清洗速度快、效率高、質(zhì)量好，干凈度均勻,易于實現(xiàn)自動化，減輕勞動強度，在現(xiàn)代工業(yè)制程中的應(yīng)用越來越來廣泛,格外適用于多孔及幾何外形簡潔的工件的除油、除蠟、除銹處理。應(yīng)用于工業(yè)的洗凈技術(shù)主要有以下方法,在很多清洗系統(tǒng)中,是由其中幾種相互協(xié)作而構(gòu)成一套完整清洗系統(tǒng):超聲波洗凈、噴射洗凈、浸漬洗凈、循環(huán)洗凈、有機溶劑洗凈、超震動洗凈、攪拌搖動洗凈、酸洗等.近年來精密工業(yè)洗凈和超精密工業(yè)洗凈,隨著光學(xué)儀器、精密機械、半導(dǎo)體電子組件、液晶顯示的技術(shù)進(jìn)展有了飛躍性的進(jìn)步，進(jìn)展出多種新的超聲波洗凈技術(shù)，如掃頻超聲波、復(fù)頻超聲波、兆聲超聲波等。我們的設(shè)備選擇用超聲波采納４波段（2８KHz、45KＨｚ、７５KHz、10０ＫＨz)循環(huán)運轉(zhuǎn)。DＩP十二工位全自動超聲波清洗機設(shè)備描述:該清洗機是一臺能完全滿意工藝線路的全自動多波段超聲波十槽十二工位清洗機、該清洗機過程由ＰＬC、TFT觸摸屏人機界面掌握，有多種電氣、機械保護(hù)裝置。整套裝置為全封閉結(jié)構(gòu)，有便捷的維修通道、有可拆卸的透明防靜電PVＣ觀察窗,活動檢修門及良好的抽排風(fēng)系統(tǒng)。清洗機主體采納全密封結(jié)構(gòu)，清洗機頂部采納高效空氣過濾器吹干凈的空氣進(jìn)來，清洗槽側(cè)面采納細(xì)管路抽風(fēng)，使清洗機相對室內(nèi)環(huán)境形成正壓,清洗機側(cè)面采納透明的防靜電PＶC板密封，清洗機內(nèi)部氣流形成一個密閉循環(huán)，越工作越干凈;另像液位傳感，采納高壓空氣兩次減壓及兩次高效過濾,吹氣泡到水里通過壓力反饋精確感應(yīng)液面（可防超聲波干擾及耐高溫）,超聲波采納４波段(２８ＫＨz、４5ＫHz、75KHz、１０0KHｚ)循環(huán)運轉(zhuǎn)，傳動采納精密滾珠絲桿及伺服電機驅(qū)動,玻璃基版的干燥方式采納純溫水慢提拉干燥,純溫水采納遠(yuǎn)紅外線石英管加熱并做去氣泡處理、操作界面采納觸摸屏掌握；另選材采納不自產(chǎn)塵或極少自產(chǎn)塵材料，氣缸及其它關(guān)鍵件均選干凈廠房專用的干凈型的,另氣缸安裝的位置要考慮不掉塵到清洗槽內(nèi)，清洗機內(nèi)空氣流向也要掌握能自潔,清洗機下料部位也有靜電除塵裝置。下圖為清洗機整體布置圖2項目產(chǎn)品的技術(shù)創(chuàng)新點論述2.1項目的技術(shù)創(chuàng)新全自動化智能化程度高：該機采納可編程序掌握器（PLC）與觸摸屏掌握,實現(xiàn)了從進(jìn)料到出料的能格外穩(wěn)定牢靠的全自動化性操作,這樣保證了產(chǎn)品清洗質(zhì)量的穩(wěn)定。該設(shè)備采納了很多的平安保護(hù)措施,每一工位均有好幾處光電開關(guān)感應(yīng),運動部件還有過載及過行程緩沖保護(hù)裝置,保護(hù)設(shè)備的啟停、加速減速及可能消滅的各種特別情況。掌握面板采納TＦT觸摸式人機對話屏，操作人員可便利而快捷地輸入所要求的工藝程序,并可在操作屏上便利的看到每一工位及每一部件的運行狀況,足夠大的編程自由度(清洗時間、清洗溫度、搖擺頻率及提拉干燥速度均可大范圍地調(diào)節(jié)），具有極高的靈敏性,可適用客戶的多種清洗工藝要求。各工位設(shè)備運行狀態(tài)的實時顯示包括:加熱工位溫度的設(shè)定值和測量值、超聲波發(fā)生器的工作狀態(tài)、泵的開啟狀態(tài)、電磁閥及氣控閥的運行狀態(tài)、噴淋的啟停狀態(tài)、各水槽的液位凹凸?fàn)顟B(tài)等。運行過程TFＴ觸摸屏實時顯示,四周透明的PＶC板可多角度目測及監(jiān)控設(shè)備運行情況.新型液位傳感器的應(yīng)用：傳統(tǒng)的浮球液位傳感器的原理是通過浮球的短距離移動感應(yīng)液位凹凸,因浮球的運動與桿子的磨擦?xí)a(chǎn)生細(xì)微的顆粒,容易對溶液造成新的污染，這種液位傳感器不適用于超干凈的清洗；傳統(tǒng)的電容感應(yīng)式液位傳感器的工作原理是通過感應(yīng)電容的略微的變化來判別液位凹凸,這種液位傳感器不與液體直接接觸，因此不會污染被感應(yīng)溶液,缺點是不耐超聲波干擾及不耐高溫，在有超聲波的溶液中感應(yīng)失靈,另在溫度高的溶液中感應(yīng)器自身的電路原件容易短路及老化；本清洗機采納的新型液位傳感的工作原理：經(jīng)過二級高效過濾及減壓的高壓空氣吹氣泡到水槽內(nèi)通過壓力反饋感應(yīng)液面,與傳統(tǒng)液位傳感器相比，這種新型液位傳感器可防超聲波干擾及耐高溫，比傳統(tǒng)的浮球液位傳感器更干凈。2．2項目的工藝創(chuàng)新采納新型清洗液,選用日本的環(huán)保型LCＧ—４5１、LCG—2５及國產(chǎn)的電子級的ＳC—1清洗液，通過上述三種清洗液組合清洗與濃度配比，對玻璃基片能很好的清洗，本清洗液對溴氧層無破壞對環(huán)境無污染。鑒于工藝保密，對清洗液及其配方不再細(xì)述。采納先進(jìn)的干燥方式:純溫水通過遠(yuǎn)紅外線石英管加熱水箱輸送過來，進(jìn)溫水干燥槽前先做脫泡處理，玻璃基片緩慢向上提拉,表面張力把基片上的水膜拉下來，這樣就能很好地干燥。一般的干燥方式有熱風(fēng)干燥與風(fēng)刀干燥，這種干燥方式因空氣流淌大空氣的干凈度不好掌握因此不能用于超干凈干燥;傳統(tǒng)的ＩPＡ干燥也能很好地滿意要求,但電子級的IPA比較昂貴,ＩPA屬于易燃易爆物品，對環(huán)境也有肯定的污染，因此純溫水慢提拉干燥比ＩＰＡ干燥更平安更環(huán)保更節(jié)省運行成本。采納新型水加熱器：遠(yuǎn)紅外石英管加熱水箱，采納耐高溫干凈型PＦA管，18ＭΩ.ｃm超純水通過過濾器流經(jīng)PＦＡ管，石英加熱管對著ＰFＡ管加熱(水與加熱器不直接接觸），進(jìn)水口與出水口均裝有干凈型的溫度傳感器,石英管加熱設(shè)備內(nèi)的PＬＣ通過掌握石英加熱管的開啟數(shù)量使水溫達(dá)到設(shè)定的溫度,水溫可調(diào)，動態(tài)溫度偏差±1。5℃。與傳統(tǒng)的不銹鋼加熱器加熱相比,因高溫時不銹鋼與水有微量的化學(xué)反應(yīng)而影響水質(zhì)，因此這種加熱方式更能牢靠地保證超純水的干凈度,從而達(dá)到更高的清洗精度。3。項目國內(nèi)外進(jìn)展技術(shù)現(xiàn)狀及趨勢3.１國內(nèi)清洗機生產(chǎn)狀況a.結(jié)構(gòu)簡潔、清洗工藝單一．我國工業(yè)進(jìn)展還不夠發(fā)達(dá),以前對清洗機的質(zhì)量要求不高，主要注意清洗機的適用性，國內(nèi)清洗機大多采納沖洗或化學(xué)溶液清洗的方式，對質(zhì)量要求較高的采納超聲波清洗的方式,其結(jié)構(gòu)簡潔，清洗機使用的材質(zhì)也沒有嚴(yán)格的要求,由于競爭激烈,行業(yè)利潤率也低,因此投入的科研經(jīng)費更少，沒有形成一個良性循環(huán)；ｂ．清洗精度低．由于清洗機清洗工藝簡潔，通過實驗結(jié)果表明，采納水噴淋或化學(xué)溶液清洗后的清洗干凈度在1０μ以上,采納28KHZ超聲波的清洗機清洗干凈度在2μ以上，對1μ以下的顆粒根本沒有方法去除．然而在IC集成電路制造業(yè)和平板顯示制造業(yè)中,產(chǎn)品本身的干凈度直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量,以制作鉻版為例，其片表面的微顆粒是造成鉻版制程中針孔缺陷的主要緣由，微顆粒多，產(chǎn)生的針孔缺陷多,顆粒大，產(chǎn)生的針孔也大,良品率極低，光刻后需要修版量很大，費時多，不能滿意超高精度光刻掩膜制版品質(zhì)的需要.所以在鉻版制作中，對清洗機清洗后干凈度要求必需在0。5μ以上,很顯然,傳統(tǒng)方法制作的清洗機根本無法滿意這一要求，在微電子行業(yè)制作中也是如此。C.自動化程度低,兼容性差。在現(xiàn)代工業(yè)進(jìn)展中，對產(chǎn)品的自動化有著更高的要求，自動化程度越高,生產(chǎn)效率越高，同時投入的人員少,后續(xù)成本低，格外的微電子和平板顯示制造行業(yè)，現(xiàn)場人員少,生產(chǎn)干凈度也容易達(dá)到要求.目前國內(nèi)清洗行業(yè)清洗機其本采納手動或半自動生產(chǎn)的方式，當(dāng)產(chǎn)品有多種生產(chǎn)規(guī)格時,機器的兼容性也很難達(dá)到要求。d.清洗機本身干凈度低．對高干凈度清洗機而言，清洗機的清洗效果不僅取決于清洗機本身的結(jié)構(gòu)和清洗工藝，同時對其本身的制造材質(zhì)有著更高的要求,首先是材質(zhì)本身不能產(chǎn)生微粒,不能產(chǎn)生生銹或腐蝕;然后是材質(zhì)不能產(chǎn)生污物沉積或粘結(jié)，因此要求表面清度高；對接近產(chǎn)品的地方，還要采納防靜電材料．不行否認(rèn)，我國基礎(chǔ)工業(yè)還不夠發(fā)達(dá),一般市場上選購的材料還不能滿意高干凈度的要求，格外是高干凈度清洗機管路材料市場上還找不到，需要進(jìn)口。在IＣ集成電路制造業(yè)和平板顯示制造業(yè)中，生產(chǎn)環(huán)境一般在10０級以上，在這嚴(yán)格的要求下，清洗機的組裝調(diào)試工廠也必需在１00級以上超凈室中進(jìn)行,可以說,目前國內(nèi)清洗機制作廠家很難達(dá)到這一要求．3.2國外清洗機技術(shù)進(jìn)展趨勢國外清洗機的現(xiàn)狀與進(jìn)展趨勢:國外高干凈度清洗機專業(yè)廠家主要集中在日本、德國、韓國和我國臺灣地區(qū)等電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)地區(qū)，日本高干凈度清洗機技術(shù)是最強的也是走在最前列的,日本的高干凈度清洗機不但注意清洗質(zhì)量及清洗精度,也格外注意清洗機的整體外形效果，外形尺寸基本符號機械產(chǎn)品藝術(shù)造型中要求的如黃金分割率等，最高清洗干凈度能達(dá)到0。５u,清洗機的自動化、智能化程度比較高.隨著IＣ集成電路制造業(yè)和平板顯示制造業(yè)的進(jìn)展,對清洗機提出的要求越來越高，高干凈度清洗機將朝著智能化、自動化、超干凈、大尺寸及多工位方向進(jìn)展.3．3本項目產(chǎn)品技術(shù)性能優(yōu)勢，與同類產(chǎn)品性的對比在本項目的推動過程中，我公司關(guān)鍵技術(shù)有：純溫水慢提拉干燥，清洗后的玻璃基片，傾斜肯定角度在80℃溫水中慢提拉上來就能干燥;PLC掌握的遠(yuǎn)紅外石英管加熱器,加熱器不直接接觸水,而是通過遠(yuǎn)紅外石英管加熱管加熱FPA管內(nèi)的純水，PＬC通過溫定傳感器動態(tài)掌握石英加熱管的數(shù)量，可使出口的熱水的溫度掌握在設(shè)定的值上下2℃范圍內(nèi);新型液位傳感，采納高壓空氣兩次減壓及兩次高效過濾,吹氣泡到水里通過壓力反饋精確感應(yīng)液面(可防超聲波干擾及耐高溫），通過大膽創(chuàng)新，首次采納一個液位傳感器掌握２個水槽；自主創(chuàng)新的移載運動機構(gòu),可滿意１０00X800以上的大玻璃璃基片，向下可兼容2.5"×2．５＂的小基片,本項目生產(chǎn)產(chǎn)品主要性能指標(biāo)與國內(nèi)、外對比如下表2。２：產(chǎn)品主要性能指標(biāo)與國內(nèi)、外對比表2。2主要技術(shù)指標(biāo)國內(nèi)水平國際水平本項目產(chǎn)品顆粒度小版1０μm０。5μm0．25μm大版50μm0。5μｍ０。５μm尺寸最小版60X６0ｍm60Ｘ６0mm６０X60mm最大版50８X５０8mｍ82０X6５０1０00X800ｍｍ4．項目討論內(nèi)容及涉及的關(guān)鍵技術(shù)及技術(shù)指標(biāo)描述本清洗機討論的內(nèi)容:依據(jù)玻璃基片的特點,選擇合適的洗洗工藝及清洗溶劑,設(shè)備在滿意清洗工藝要求的前提下，盡可能地平安經(jīng)濟穩(wěn)定牢靠.為保證清洗精度能達(dá)到０。５u，同時要求清洗后的玻璃基板有良好的親和性,使得涂膠后，感光膠與基板有良好的接合性，從而保證電極圖形的制作精度。４。1。該設(shè)備具有較高的自動化程度該機采納可編程序掌握器（PＬＣ)掌握，實現(xiàn)了從進(jìn)料到出料的能格外穩(wěn)定牢靠的全自動化性操作,這樣保證了產(chǎn)品清洗質(zhì)量的穩(wěn)定。該設(shè)備采納了很多的平安保護(hù)措施，每一工位均有好幾個光電開關(guān)感應(yīng)，運動部件還有過載及過行程緩沖保護(hù)裝置，保護(hù)設(shè)備的啟停、加速減速及可能消滅的各種特別情況，設(shè)計時除考慮設(shè)備的穩(wěn)定性及牢靠性，水槽及管路還考慮了排水能完全排干、不能積水,主水槽的純水過濾循環(huán)1．５次/節(jié)拍,進(jìn)水及出水的方位、超聲波的頻率及安裝位置等.掌握面板采納ＴＦT觸摸式人機對話屏，操作人員可便利而快捷地輸入所要求的工藝程序，并可在操作屏上便利的看到每一工位及每一部件的運行狀況，足夠大的編程自由度(清洗時間、清洗溫度、搖擺頻率及提拉干燥速度均可大范圍地調(diào)節(jié)），具有極高的靈敏性，可適用客戶的多種清洗工藝要求。4．２清洗吊籃到工作位置后超聲波發(fā)生器開頭啟動，清洗吊籃離開工位后立即關(guān)閉。４.３清洗吊籃到工作位置后高壓噴淋開開頭啟動，清洗吊籃離開工位后立即關(guān)閉。4。4清洗機工作在１00級的廠房內(nèi)，清洗機的上料及工作的環(huán)境能達(dá)到1０級，下料部位有防靜電隔板裝置，另有去靜電的靜電發(fā)生器,下料部位基本能達(dá)到1級，防止洗凈后再污染。4．5設(shè)備對工藝過程及設(shè)備運行狀態(tài)實現(xiàn)了全方位的實時顯示。該設(shè)備人機對話界面有首次（開頭運行頁）、運行界面(自動、手動、維修模式)、系統(tǒng)參數(shù)界面（編程）、故障顯示界面。人機對話TFＴ觸摸彩屏的運行界面實時顯示的內(nèi)容包括：４.５．1手動、自動、維修模式運行狀態(tài)的選擇,調(diào)機時選用手動模式，手動模式下設(shè)備能自保，即使有誤操作，因設(shè)備有自我保護(hù)程序,不會造成設(shè)備的損壞，維修模式下，設(shè)備無保護(hù)程序。4。5．2機械手位置和運行狀態(tài)的實時顯示。4。5．3各工位有無吊籃及吊籃所在位置的實時顯示。4．5。4各工位的運行時間設(shè)定及實時顯示以及剩余時間的實時顯示。４。5。5各工位設(shè)備運行狀態(tài)的實時顯示包括:加熱工位溫度的設(shè)定值和測量值、超聲波發(fā)生器的工作狀態(tài)、泵的開啟狀態(tài)、電磁閥及氣控閥的運行狀態(tài)、噴淋的啟停狀態(tài)、各水槽的液位凹凸?fàn)顟B(tài)等。4。５．6計數(shù)器、時間顯示等.4．６設(shè)備設(shè)置了多項保護(hù)功能和故障查訊功能：設(shè)備設(shè)置的保護(hù)功能有：各清洗槽的液位、各加熱工位的溫度、水平及上下移送到位及過位檢測,當(dāng)消滅故障時除實行相應(yīng)措施外，同時發(fā)出聲、光報警信號。設(shè)備具有故障查訊功能，故障項目在故障顯示頁面顯示。該機還在主機的入料口、出料口、TFＴ觸摸屏及外圍水槽上設(shè)置了急停共設(shè)置了４個急停按扭。4.７突然停機的處理突然停機再次啟動設(shè)備后，設(shè)備的機械手能自動復(fù)位并重新檢測各工位狀況，然后再開頭運轉(zhuǎn)。5.項目技術(shù)線路描述清洗工藝線路：人工上料——自動送料-—超聲波堿性溶液1清洗--高壓噴淋——超聲波堿性溶液2清洗——高壓噴淋--超聲波中性溶液清洗——高壓噴淋——超聲波純水-—高壓噴淋——超聲波純水清洗——純溫水慢提拉干燥—-自動出料--人工下料。下圖所示為清洗機主體部分流程示意圖：６．項目技術(shù)風(fēng)險及應(yīng)對措施玻璃基片或石英基片的清洗干凈要求,精度技術(shù)參數(shù)：Nｏparｔｉcle＞０.5μm,0.２５～０.５μmlessthａｎ０.02pc/cm2。清洗工件為玻璃和高檔石英基片，尺寸規(guī)格厚度2到１0毫米外形長寬尺寸從2.5"×2.5＂至22”×26”各種規(guī)格全兼容.為保證如此高的清洗精度及多規(guī)格兼容性，我們的應(yīng)對措施如下：水槽選用SUＳ3１６Ｌ鏡面板且電解拋光,高壓管路采納電解拋光EP管,其它低溫管路采納Ｃ-PＶC管、高溫管路采納ＨT—Ｃ-ＰＶC管,工作時水槽內(nèi)的水自動循環(huán)并用高效過濾器過濾，清洗機主體采納全密封結(jié)構(gòu)，清洗機頂部采納高效空氣過濾器吹干凈的空氣進(jìn)來,清洗槽側(cè)面采納細(xì)管路抽風(fēng)，使清洗機相對室內(nèi)環(huán)境形成正壓，清洗機側(cè)面采納透明的防靜電PVC板密封，清洗機內(nèi)部氣流形成一個密閉循環(huán),越工作越干凈;另像液位傳感，采納高壓空氣兩次減壓及兩次高效過濾，吹氣泡到水里通過壓力反饋精確感應(yīng)液面（可防超聲波干擾及耐高溫），超聲波采納4波段(28KＨz、４5KHｚ、75ＫHz、100KHz)循環(huán)運轉(zhuǎn)，傳動采納精密滾珠絲桿及伺服電機驅(qū)動；玻璃或石英基片的干燥方式采納純溫水慢提拉干燥，純溫水采納遠(yuǎn)紅外線石英管加熱并做去氣泡處理、操作界面采納觸摸屏掌握；另選材采納不自產(chǎn)塵或極少自產(chǎn)塵材料，氣缸及其它關(guān)鍵件均選干凈廠房專用的干凈型的,另氣缸安裝的位置要考慮不掉塵到清洗槽內(nèi)，清洗機內(nèi)空氣流向也要掌握能自潔,清洗機下料部位也有靜電除塵裝置。因日本的兩臺枚葉式清洗機始終沒能達(dá)到如此高的清洗精度，該設(shè)備２0０6年正式投產(chǎn)取代原日本清洗機,投產(chǎn)后鉻版的良品率大副提升,本清洗機至今始終在正常運轉(zhuǎn)。7.項目設(shè)計思想依據(jù)（參考文獻(xiàn)）1.金杏林主編《精密洗凈技術(shù)》北京化學(xué)