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太陽電池發(fā)電原理、結(jié)構(gòu)與分類前清洗工藝原理前清洗工藝目的前清洗工藝定義課程引入1.典型的電池生產(chǎn)流程2.前清洗工藝加工的對(duì)象是什么？前清洗工藝定義速讀教材P26-44問題：1.前清洗工藝又可細(xì)分為哪兩道工序？2.典型的企業(yè)硅片清洗流程是怎樣的？前清洗工藝是晶體硅太陽電池制造的首道工序，主要包括預(yù)清洗和制絨兩部分子工序，因此又稱清洗制絨工序。前清洗的目的

目的：

一、去除硅片表面機(jī)械損傷層；二、清除表面油污、雜質(zhì)顆粒及金屬雜質(zhì)；

三、形成起伏不平的絨面，增加硅對(duì)太陽光的吸收。經(jīng)典晶體硅太陽電池結(jié)構(gòu)工藝前工藝后對(duì)比一下有什么不同？前清洗工藝原理預(yù)清洗原理詳見教材P27-33PS:目前預(yù)清洗工藝多由上游的硅片生產(chǎn)廠在出廠前完成，電池企業(yè)直接進(jìn)行制絨段的操作。DHF/HCl或DHFRinse+O3/HCl/mega-sonic或去掉O3PH控制Magragoni型烘干H2SO4/O3或H2O/O3氧化物的生成及有機(jī)物的去除氧化物、金屬雜質(zhì)及表面微粒去除；硅片表面氫鈍化硅片表面烘干清洗氧化物形成層，或清洗親水性硅片表面典型預(yù)清洗流程1#HF/H2O2/H2O/表面活化劑/Megasonic臭氧化的DIWater+MegasonicDHF臭氧化的DIWater去除有機(jī)物及金屬去除氧化物，表面微粒及金屬雜質(zhì)去除化學(xué)作用產(chǎn)生的氧化層去除化學(xué)雜質(zhì)及有機(jī)物DIWater+Megasonic去除化學(xué)雜質(zhì)典型預(yù)清洗流程2#制絨可分為堿制絨（僅適用于單晶硅制絨）和酸制絨（可用于單晶和多晶硅表面的制絨）兩種。目前主流的方法是使用酸制絨。酸制絨后表面呈蜂窩狀，如下圖所示。硅片酸制絨絨面形狀陷光原理圖

當(dāng)入射光入射到一定角度的斜面，光會(huì)反射到另一角度的斜面形成二次吸收或者多次吸收，從而增加吸收率。酸制絨工藝涉及的反應(yīng)方程式:

HNO3+Si=SiO2+NOx↑+H2OSiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2[SiF6]Si+2KOH+H2O→K2SiO3+2H2NO2+H2O=HNO3+HNO2Si+HNO2=SiO2+

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