單晶操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

操作規(guī)范及注意事項(xiàng)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1作業(yè)準(zhǔn)備1）按規(guī)定穿好服裝，戴好勞保手套2）準(zhǔn)備好有關(guān)工具和取晶欄2取出單晶1）確認(rèn)爐內(nèi)恢復(fù)常壓，打開副室小門2）按下副室升按扭，升起副室爐筒3）把副室爐筒慢慢側(cè)移，同時(shí)把接晶盤移到下方，穩(wěn)住晶棒，避免使用其受到撞擊4）把取晶欄放在晶棒正下方，移開接晶盤5）按下快降按鈕，將晶棒降入取晶欄，以籽晶基本不受力為準(zhǔn)6）按住細(xì)頸，用鉗子將細(xì)頸掐斷，使籽晶上保留足夠長(zhǎng)（盡量維持原長(zhǎng)的細(xì)頸），捉住鋼絲繩，使重錘慢慢旋轉(zhuǎn)，取消擰力后再放手7）籽晶如需更換，把舊籽晶取下放入待清洗籽晶盒8）重錘升入副室爐筒，升起爐蓋移到側(cè)面*一次升到位*晶棒受到撞擊會(huì)造成籽晶或細(xì)頸斷裂*晶棒底下嚴(yán)禁站人*重錘高速旋轉(zhuǎn)會(huì)造成鋼絲繩損傷*注意重錘溫度很高*晶棒磕碰單晶爐拆爐作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1作業(yè)準(zhǔn)備1）按規(guī)定穿好服裝，戴好口罩、手套2）準(zhǔn)備好拆爐工具等2取出石墨件1）放好不銹鋼臺(tái)車2）戴好耐高溫手套3）用專用工具依次取出導(dǎo)流筒、保溫大蓋4）取出的石墨件倒置放在臺(tái)車上*盡量避免石墨件與金屬直接接觸3取出堝底料1）放好不銹鋼桶2）用鉗子夾住石英堝上沿部分提起，放入不銹鋼桶3）戴好耐高溫手套，把堝底料放入不銹鋼桶*堝底料盡量保持完整*碎渣避免掉入堝桿波紋管內(nèi)4取出石墨三瓣堝1）戴好耐高溫手套2）把石墨堝一瓣瓣取出，碎渣倒入不銹鋼桶3）取出堝托、堝桿，取堝桿時(shí)用專用工具擰掉不銹鋼螺絲4）取出的石墨件放在不銹臺(tái)車上，轉(zhuǎn)移到規(guī)定區(qū)域，使其自然冷卻碳鉑紙不要扔在鍋底料中單晶爐清掃作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1作業(yè)準(zhǔn)備1、準(zhǔn)備好工具和吸塵器2、戴好口罩*粉塵為SIO及其它氧化雜質(zhì)2清掃管道及過(guò)濾罐1、打開抽氣管道后，使管內(nèi)自然冷卻2、擰下大罐蓋螺絲，慢慢取下蓋子，抽出過(guò)濾網(wǎng)，用吸管將其吸凈，并將罐內(nèi)殘留物吸凈，然后裝好過(guò)濾網(wǎng)3、將過(guò)濾蓋密封面和蓋上的密封圈擦干凈，將大罐蓋螺絲上好4、此時(shí)抽氣管道內(nèi)已冷卻，用吸管吸凈管道內(nèi)附著物，用專用工具對(duì)爐底排氣管道進(jìn)行疏通，殘?jiān)晌鼔m器吸走，確認(rèn)暢通5、將管道后蓋密封面和密封圈擦干凈，用工具將螺絲勻力上緊*注意被大罐蓋砸傷*避免劃傷密封面*每爐必須清理3爐蓋清掃1）用刷子和吸塵管清掃內(nèi)壁上的附著物2、用沾有酒精的纖維紙將爐蓋內(nèi)壁徹底擦試干凈3檢查是否有打磨不干凈的部位，如有再次打磨并用纖維紙擦試干凈4內(nèi)壁上有孔部位，用酒精纖維紙仔細(xì)擦試內(nèi)部5再次用酒精紙整體擦試整體爐蓋內(nèi)壁，確認(rèn)無(wú)氧化物6將管道后蓋密封面和密封圈擦干凈7用專用蓋子將小副室上口蓋上，蓋上翻板閥，并閉副室小門*要全面、仔細(xì)*重點(diǎn)是焊縫、觀察窗、小副室翻板閥等部位*檢查密封圈有無(wú)損壞出槽，翻板冷卻水管有無(wú)漏水現(xiàn)象，注意檢查預(yù)留堵頭是否有漏水現(xiàn)象4石墨件清掃1確認(rèn)石墨件自然冷卻完畢2戴好口罩、手套，溫度不高可用一次性手套3檢查各石墨件有無(wú)老化、損壞，必要時(shí)更換4用刷子和吸塵管對(duì)石墨件進(jìn)行清掃，然后用干纖維紙擦拭干凈有強(qiáng)力附著物時(shí)用研磨布打磨，再吸凈5爐內(nèi)清掃1確認(rèn)充分自然冷卻，可以清掃2準(zhǔn)備好吸塵罐和刷子3爐底和加熱器用刷子和吸塵管吸凈4保溫材料上部吸除干凈5主爐筒與爐蓋接合部位吸除干凈6檢查加熱器電極螺絲是否松動(dòng)7確認(rèn)爐底內(nèi)排氣口沒有堵塞*檢查石墨件有無(wú)損壞*清理干凈波紋管內(nèi)雜物，防止螺絲口堵塞，卸不下來(lái)每爐清理要徹底6石墨件安裝1石墨件安裝前用吸塵器再吸除一遍2用專用工具擰緊不銹鋼螺絲，裝好堝桿3裝入堝托，與堝桿要完全接觸4石墨堝依次裝好，與堝托接觸良好5經(jīng)定堝轉(zhuǎn)，確認(rèn)無(wú)異常6主爐筒與爐蓋外側(cè)用酒精紙擦拭一遍7打掃單晶爐前衛(wèi)生，移走無(wú)關(guān)物品，裝備裝料*堝桿一定要擰緊，不能過(guò)緊*堝托要放牢固、平穩(wěn)*注意帶上不銹鋼墊片或彈簧墊*檢查坩堝與加熱器縫隙均勻程度注意檢查坩堝有無(wú)搖頭，擺動(dòng)現(xiàn)象或者偷停、爬行現(xiàn)象裝料作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1裝石英堝1從指定場(chǎng)所取來(lái)爐料和石英堝2核定爐料重亙并將其放置在裝料臺(tái)車上3戴好口罩、帽子、手套4取出石英堝，對(duì)光檢查，確認(rèn)無(wú)異常5把石英堝裝入石墨堝內(nèi)，放平穩(wěn)*注意相鄰爐的交叉作業(yè)不應(yīng)出現(xiàn)拆爐和大清掃*無(wú)裂紋、無(wú)氣泡、無(wú)斑點(diǎn)、無(wú)變形、內(nèi)壁光滑*要平衡安裝2裝料1換好裝料服和一次性手套2首先放入合金，然后小碎料平鋪于堝底3大塊料放置在中央，用中塊料填補(bǔ)固定4中塊料放置在大塊料周圍，小塊料填補(bǔ)空隙5裝料過(guò)程中禁止料與料、料與石英堝激烈磕碰，一定要輕拿輕放6料快裝完時(shí)，如果料過(guò)多可以在石英堝邊緣放一圈中塊料，要向中心傾斜，嚴(yán)禁超堝邊，以防化料時(shí)熔硅外流，損壞石墨件7再裝入剩余的料*有利于電阻率均勻性*大塊料嚴(yán)禁放在頂部*開始裝料后嚴(yán)禁再接觸料以外任何物品，否則必須更換裝料用手套嚴(yán)禁把料掉在三瓣堝與加熱器之間3裝導(dǎo)流筒1裝料完成后給定堝轉(zhuǎn)2轉(zhuǎn)，確認(rèn)轉(zhuǎn)動(dòng)無(wú)磨擦無(wú)異常，快速將坩堝降至化料堝位2降堝同時(shí)用吸管將石英堝、石墨堝、加熱器、保溫碳?xì)稚系乃楣柙鼉?坩堝降到化料堝位后停止旋轉(zhuǎn)，裝好保溫大蓋4安裝導(dǎo)流筒慎重作業(yè)，下沿嚴(yán)禁與硅料接觸，如有接觸要調(diào)整料的擺放5如果還有少量硅料，可放在導(dǎo)流筒中央，但不能與導(dǎo)流筒接觸*裝熱系統(tǒng)裝好后確定化料堝位（最低堝位）*大蓋和保溫罩要吻合*石墨件接觸硅料會(huì)使碳含量增高*用手按住硅料輕微晃動(dòng)可判斷是否接觸導(dǎo)流筒4合爐1酒精纖維紙擦拭爐蓋與主爐筒接合部位2確認(rèn)爐蓋下沿與大蓋之間的間隙，轉(zhuǎn)動(dòng)爐蓋至爐筒正上方3確認(rèn)爐蓋與大蓋無(wú)接觸，慢慢降下爐蓋合爐爐蓋壓住大蓋會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞石墨件5副室爐筒清掃安裝1在清掃棒上纏上酒精纖維紙，從上至下，螺旋式擦拭副室爐筒內(nèi)壁2快速降下重錘，用酒精纖維紙整體擦拭干凈3用酒精纖維紙擦干凈副室爐筒與小副室接合處4轉(zhuǎn)動(dòng)副室爐筒至小副室正上方，降下合爐*重錘與夾頭每爐要活動(dòng)一下，不能上得過(guò)緊，防止高溫?zé)?不能用手直接接觸重錘定期打磨6籽晶安裝1戴好一次性手套2確認(rèn)籽晶外觀完好，分清型號(hào)3把籽晶裝入鉬卡頭，要順利轉(zhuǎn)入4把籽晶裝入副室爐筒內(nèi)，防止掀翻板時(shí)被撞壞5把小副室內(nèi)壁及小副室門內(nèi)壁再擦拭一遍，關(guān)閉副室小門，均勻上緊螺絲開爐前作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1真空檢驗(yàn)1冷卻水壓不低于0.25Mpa，爐體無(wú)明顯震動(dòng)2點(diǎn)擊主泵鈕，啟動(dòng)真空泵，確認(rèn)真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)無(wú)異常3打開抽氣球閥4若達(dá)不到所要求的真空度，首先要檢查泵油和真空泵，如果無(wú)異常，再對(duì)爐體進(jìn)行檢漏作業(yè)，直至達(dá)到所要求真空度*如果掛有警示牌，絕對(duì)不能啟動(dòng)開關(guān)2氬氣、水路檢查1檢查氬氣是否正常2檢查水壓是否正常，不能低于0.25Mpa作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1加熱化料1打開氬氣流量計(jì)球閥開關(guān)2將氬氣流量定在50L/min，并觀察爐壓是否正常3打開加熱開關(guān)，根據(jù)下表逐步加熱4化料過(guò)程在要注意觀察爐內(nèi)情況5快化完剩兩三塊料時(shí)，功率降至上爐引晶功率6觀察是否有雜質(zhì)，如有降下籽晶，準(zhǔn)備用細(xì)頸粘住雜質(zhì)并提出，記錄重量7升高堝位引晶堝位，歐路值接近上爐引晶歐路時(shí)切入自動(dòng)，氬氣流量室在50L/min820分鐘后，升堝位使導(dǎo)流筒下沿與液面距離為15mm左右9晶轉(zhuǎn)給定8轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)給定8轉(zhuǎn)10校準(zhǔn)單晶生長(zhǎng)控制器各參數(shù)值*確認(rèn)電壓及電流表正常*以實(shí)際情況而定*化料時(shí)如有沾邊現(xiàn)象應(yīng)保持化料功率使其熔掉*掌握各自爐臺(tái)的化料時(shí)間*及時(shí)降溫，防止跳硅現(xiàn)象發(fā)生*做好記錄*如有硅跳現(xiàn)象，可增大氬氣流量控制*目測(cè)定位化料作業(yè)引晶放肩作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1接觸1籽晶降至導(dǎo)流筒上沿位置，保持10分鐘210分鐘后籽晶下端降至距離液面10mm處，保持10分鐘3籽晶浸入熔體，浸潤(rùn)5分鐘，然后根據(jù)結(jié)晶形狀調(diào)整溫度4結(jié)晶形狀以光圈完整存在，并且四個(gè)棱點(diǎn)有明顯生長(zhǎng)趨勢(shì)，此狀態(tài)保持5分鐘，沒有大的變化即為引晶的合適溫度降籽晶過(guò)程中注意觀察，絕不能精神分散或干其他事（如玩耍手機(jī)等）防止重錘降入坩堝引晶時(shí)不能吃籽晶太多記錄好引晶功率2引晶1打開引晶控制區(qū)2細(xì)頸直徑均勻控制在3-5mm之間，勻速引晶拉速一般在3-4mm/min3引晶結(jié)束前作縮頸作業(yè)，提高位速使細(xì)頸有明顯收細(xì)形狀*引晶期間最好不要調(diào)節(jié)溫度*這樣有利于位錯(cuò)排除3放肩1引晶結(jié)束后分段降低拉速到0.4mn/min，開始放肩，務(wù)必要放平肩2控制肩的生長(zhǎng)速度，可以通過(guò)改變溫校速率或歐路值來(lái)調(diào)節(jié)，直徑在50mm以前，調(diào)節(jié)幅度小，50mm以后可以加大調(diào)節(jié)幅度，加快放肩速度3肩的總高控制在40mm以內(nèi)（6寸），合理的溫度控制，使轉(zhuǎn)肩等徑后拉速穩(wěn)定在1.2-1.3mn/min*放肩過(guò)程，棱邊寬度不能超過(guò)圓弧的2分之一4轉(zhuǎn)肩1肩直徑達(dá)到195mm左右時(shí)，視生長(zhǎng)速度快慢，開始分段慢慢提拉速2在拉速達(dá)到1mm/min時(shí)，按比例給定堝升3轉(zhuǎn)肩形狀應(yīng)該是圓滑的“溜肩”，按規(guī)定控制直徑*拉速最高不超過(guò)2.5mm/min*5直徑測(cè)量1將測(cè)徑儀支架平穩(wěn)安裝在觀察窗框上，固定好2調(diào)節(jié)好焦距，使鏡頭內(nèi)的測(cè)量標(biāo)和被測(cè)光圈盡量清晰，然后堅(jiān)固鏡頭3平滑移動(dòng)鏡頭，使鏡頭內(nèi)測(cè)量標(biāo)與光圈左內(nèi)側(cè)邊緣對(duì)準(zhǔn)，數(shù)顯表顯示值好為測(cè)量值4如果測(cè)量放肩直徑的大小，對(duì)準(zhǔn)肩的邊緣即可5爐內(nèi)測(cè)量直徑與晶體實(shí)際直徑存在一定的誤差所以兩者要每爐進(jìn)行對(duì)比，以便把誤差減至最小，做好記錄*測(cè)量時(shí)測(cè)徑儀安裝一定要牢固，鏡頭不能晃動(dòng)*每個(gè)操作工要掌握好側(cè)徑儀的誤差程度等徑處理作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1直徑控制1轉(zhuǎn)過(guò)肩，對(duì)等徑狀態(tài)觀察20min，確認(rèn)棱線明顯后，切入自動(dòng)，認(rèn)真做好記錄2每隔10分鐘對(duì)爐內(nèi)觀察一次，確認(rèn)有無(wú)異常，每小時(shí)做一次記錄3等徑部分由輸入計(jì)算機(jī)控制，部分?jǐn)?shù)據(jù)因單晶種類、直徑、裝料量等不同而有差異，應(yīng)進(jìn)行修改4等徑過(guò)程中產(chǎn)生異常，必要時(shí)對(duì)參數(shù)進(jìn)行修改*有異常情況不能確認(rèn)時(shí)，應(yīng)征求班長(zhǎng)和工藝員的意見*拉晶人員不得私自修改參數(shù)，若要修改，須經(jīng)工藝人員同意方可修改2放肩失敗1第一次放肩變晶時(shí)，根據(jù)實(shí)際情況處理，如果有雜質(zhì)必須提出2如正常放肩壞兩次，應(yīng)提出50mm棒料3提出時(shí)將肩快速升到導(dǎo)流筒中間部位，給定拉速6mm/min保持10min，然后快速上升至副室爐筒內(nèi)，主室充氣，蓋住翻板閥4增大副室氬氣流量，到達(dá)常壓前關(guān)閉副室氬氣，20分鐘后開副室小門，剪斷細(xì)頸取出肩5用酒精纖維紙擦拭干凈籽晶，擦拭干凈小副室6關(guān)閉副室小門，開啟副泵電源，開始抽真空7抽真空副室壓力表不得超過(guò)3mpa，關(guān)閉副室抽空碟閥，充入氬氣，壓力表指針到達(dá)常壓前大約70-80壓力關(guān)閉副室氬氣閥，打開抽空堞繼續(xù)抽空，如些重復(fù)操作三次8根據(jù)壓力表指示，確認(rèn)副室和主室壓力達(dá)到一致，關(guān)閉抽空球閥，打開翻板閥，關(guān)閉副室泵電源，主室內(nèi)充氣切換成副室充氣9進(jìn)入正常作業(yè)*嚴(yán)格控制回熔功率（不超過(guò)100KW），以及加熔總和不超過(guò)4次）*取肩時(shí)不要污染重錘和為籽晶*保證重錘顏色不再發(fā)紅時(shí)打開爐門否則會(huì)發(fā)生氧化現(xiàn)象*目的是用純氬氣排除含雜質(zhì)的空氣*抽空時(shí)要用手壓住擋板閥*一定要按順序操作3等徑失敗*等徑回熔每爐不得超過(guò)兩次，一般一次提大錐肩，二次提50mm，三次提100mm*每次提出晶塊重量要記錄好*不要使晶體接觸堝底，以免損傷石英坩堝，發(fā)生漏硅嚴(yán)重事故*恢復(fù)初始拉晶條件4等徑提出1等徑長(zhǎng)并大于380mm時(shí)發(fā)生變晶，做提出處理2確認(rèn)變晶時(shí)的單晶長(zhǎng)度3提出晶體要求收尾，尾長(zhǎng)80毫米左右4要求至少4小時(shí)取出。2.0mm/min保持1小時(shí)，3.0mm/min保持1小時(shí)5拉速5mm/min保持2.5小時(shí)后快速升至副室，準(zhǔn)備取出晶體。6調(diào)整好溫度，升好引晶堝位7到時(shí)間后，快速將晶體升入副室爐內(nèi)，主室充氬氣，蓋住翻板閥，副室壓力表指針到常壓前1/2小時(shí)，關(guān)閉副室充氣球閥，保持30分鐘8到時(shí)間后，副室充氣至常壓，按常規(guī)定操作，取出晶體9單晶長(zhǎng)度達(dá)到總長(zhǎng)度的75%以上時(shí)，做拉料處理*根據(jù)提出的單晶長(zhǎng)度調(diào)整溫度和度長(zhǎng)控制程序*取出晶體不要放在鐵制品或容易導(dǎo)熱物體上，否則因應(yīng)過(guò)大發(fā)生晶裂最好放在木板上*晶體不能和金屬直接接觸，不要污染重錘籽晶*堝底料不超過(guò)規(guī)定重量（30KG）5收尾1當(dāng)晶體長(zhǎng)主達(dá)到預(yù)計(jì)長(zhǎng)度或堝內(nèi)剩料少時(shí)，退出自控收尾2根據(jù)拉速和晶體收縮速度，逐步停止堝升速度，逐步升溫3剛開始收尾速度一般控制在0.7mm/min，后面逐漸升高，收尾長(zhǎng)度不低于160mm，收成尖尾*切忌一次停止堝升*收尾控制不好會(huì)產(chǎn)生位錯(cuò)，杜絕收斷尾6冷卻1確認(rèn)收尾完畢，下降坩堝位30mm，使晶體和液面分離2晶升拉速給定1.5mm/min，保持到拆爐3關(guān)閉加熱電源4進(jìn)行拉晶完畢后的真空熱檢5進(jìn)行拉晶完畢的真空熱檢6熱檢完畢，做取單晶作業(yè)新系統(tǒng)安裝作業(yè)作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1保溫碳?xì)?打掃干凈地面，不允許潮濕2準(zhǔn)備好物品、工具等3根據(jù)主保溫筒尺寸切割碳?xì)?，斷面一定要整齊一致，纏9層，用鉬絲捆綁4上保溫筒纏7層碳?xì)?爐底碳?xì)指鶕?jù)排氣扎的位置確定6導(dǎo)流筒內(nèi)層必須填充碳?xì)郑M量用整塊*用吸塵器除碳?xì)帜?捆綁要致密*一般為9層*內(nèi)部粉塵2清掃1用毛刷和吸塵器徹底將所有新石墨件清掃一遍2用纖維低將清掃過(guò)的石墨件用力擦試一遍3再用毛刷和吸塵器清掃一遍石墨件4加熱器要放