珠海橫琴方瑞聯(lián)合半導(dǎo)體有限責(zé)任公司12英寸顯示驅(qū)動高端定制晶圓生產(chǎn)線項目環(huán)境影響報告表_第1頁
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文檔簡介

(建設(shè)項目名稱珠海橫琴方瑞聯(lián)合半導(dǎo)體有限責(zé)任公司12英寸顯示驅(qū)動高端定制晶圓生產(chǎn)線項目項目代碼建設(shè)單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設(shè)地點廣東省珠海市橫琴島橫琴新區(qū),項目地塊位于橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路。地理坐標(biāo)(113度27分49.77秒,22度7分39.05秒)國民經(jīng)濟行業(yè)類別3973集成電路制造建設(shè)項目行業(yè)類別80電子器件制造建設(shè)性質(zhì)■新建(遷建)□擴建□技術(shù)改造建設(shè)項目申報情形■首次申報項目□不予批準(zhǔn)后再次申報項目□超五年重新審核項目□重大變動重新報批項目項目審批(核準(zhǔn)/備案)部門(選填)項目審批(核準(zhǔn)/備案)文號(選填)總投資(萬元)2071900環(huán)保投資(萬元)75000環(huán)保投資占比(%)3.6%施工工期是否開工建設(shè)是:233333專項評價設(shè)置情況大氣專項評價:本項目涉及氯氣,且500m范圍內(nèi)有環(huán)境敏感目標(biāo);環(huán)境風(fēng)險專項評價:本項目風(fēng)險物質(zhì)超過臨界量。規(guī)劃情況無規(guī)劃環(huán)境影響評價情況無規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析無其他符合性分析一、產(chǎn)業(yè)政策符合性分析本項目所屬行業(yè)為3973集成電路制造。1、根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》,本項目不屬于淘汰類和限制類,屬于鼓勵類第二十八項“信息產(chǎn)業(yè)”第19條“集成電路設(shè)計、線寬0.8微米以下的集成電路制造”。2、根據(jù)《市場準(zhǔn)入負面清單(2022年版)》本項目不屬于負面清單中禁止準(zhǔn)入事項,亦不屬于許可準(zhǔn)入事項,屬于市場準(zhǔn)入負面清單以外的行業(yè),且不涉及與市場準(zhǔn)入相關(guān)的禁止性規(guī)定。3、根據(jù)《珠海市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄(2020年本)》,本項目屬于“一、優(yōu)先發(fā)展類1.集成電路(1)集成電路設(shè)計,線寬0.8微米以下集成電路制造,及球柵陣列封裝(BGA)……等先進封裝與測試”中的“線寬0.8微米以下集成電路制造”類別,不屬于限制發(fā)展類和禁止發(fā)展類。因此,本項目符合國家和地方的產(chǎn)業(yè)政策。二、選址合理性分析本項目位于珠海市橫琴新區(qū)項目地塊位于橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路,項目用地性質(zhì)為建設(shè)用地,周邊為科技研發(fā)、商務(wù)公寓及商業(yè)建筑。對產(chǎn)生的污染物進行綜合治理后,污染物均能達標(biāo)排放,項目對周圍環(huán)境影響較小。在嚴格執(zhí)行本評價要求的環(huán)保措施的條件下,項目選址可行。三、與環(huán)境功能區(qū)劃的符合性分析本項目位于珠海市橫琴新區(qū)項目地塊位于橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路。周邊環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃見下表。表1與周邊功能區(qū)劃的符合性規(guī)劃文件相關(guān)規(guī)劃要求與本項目實際情況《廣東省近岸海域環(huán)境功能區(qū)劃》(粵府辦[1999]68號)本項目所在區(qū)域的納污水體為馬騮洲水道,該水道屬于第三類海水功能區(qū),執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB3097-1997)第三類標(biāo)準(zhǔn)。《關(guān)于印發(fā)<珠海市聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃分>和<珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分>的通知》(珠環(huán)[2011]357號)本項目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)屬于二類區(qū),不屬于環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)一類區(qū),詳見附圖6。《關(guān)于印發(fā)<珠海市聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃分>和<珠海本項目所在地聲環(huán)境質(zhì)量功能區(qū)屬于3類區(qū),不屬于聲環(huán)境質(zhì)量功市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分>的通知》(珠環(huán)[2011]357號)能區(qū)1類區(qū),詳見附圖7。相符性分析:本項目所在區(qū)域空氣環(huán)境功能為二類區(qū),聲環(huán)境功能區(qū)劃為3類區(qū),項目納污水體馬騮洲水道執(zhí)行第三類海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),不在水源保護區(qū)內(nèi)。本項目在運營過程的廢水、廢氣、固體廢物和噪聲影響經(jīng)有效的治理措施治理后對周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響甚小。綜上所述,本項目的選址符合環(huán)境功能區(qū)劃的要求。四、“三線一單”符合性分析表1與《珠海市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案的通知》(珠府[2021]38號)相符性分析表相符性分析相符性生態(tài)保護紅線全市陸域生態(tài)保護紅線面積202.59平方公里,占全市陸域11.66%;一般生態(tài)空間面積131.57平方公里,占全市陸域國土面積的7.57%。全市海域生態(tài)保護紅線3281.06平方公里。根據(jù)《珠海市人民政府辦公室關(guān)于印發(fā)珠海市生態(tài)控制線劃定工作方案的通知》珠府辦函[2015]204號,本項目不在劃定的生態(tài)控制線管制范圍內(nèi),符合生態(tài)保護紅線要求,詳見附圖6。相符環(huán)境質(zhì)量底線全市環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善,地表水國考、省考斷面水質(zhì)達到國家和省下達的水質(zhì)目標(biāo)要求;集中式飲用水水源地水質(zhì)達到或優(yōu)于Ⅲ類水體比例為100%;城市建成區(qū)黑臭水體全面消除。近岸海域水環(huán)境質(zhì)量逐步改善。大氣環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善,各項考核指標(biāo)達到省下達的目標(biāo)要求。項目所在區(qū)域空氣環(huán)境功能為二類區(qū),聲環(huán)境功能區(qū)劃為3類區(qū)。本項目污水納入納污水體馬騮洲水道執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB3097-1997)第三類標(biāo)準(zhǔn),不在水源保護區(qū)內(nèi)。本項目在運營過程的廢水、廢氣、固體廢物和噪聲影響經(jīng)有效的治理措施治理后對周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響甚小。符合環(huán)境質(zhì)量底線要求。相符資源利用上線強化節(jié)約集約利用,持續(xù)提升資源能源利用效率,水資源、土地資源、岸線資源、能源消耗等達到或優(yōu)于省下達的總本項目通過采用清洗水回用,冷卻水循環(huán)使用等節(jié)水措施,單片排水量滿足基準(zhǔn)排水量限值要求,不會超出區(qū)域資源利用上線,符合相符量和強度控制目標(biāo)。資源利用上線要求。全市生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入共性清單區(qū)域布局管控要求......培育壯大集成電路設(shè)計制造、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),推進現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)集群規(guī)模化、集約化發(fā)展,全面提升綠色發(fā)展水平。......禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業(yè)自備電站......不得新建專業(yè)電鍍、化學(xué)制漿、紡織印染、制革、冶煉、發(fā)酵等重污染項目。禁止在磨刀門水道兩岸及流域內(nèi)湖泊、水庫最高水位線水平外延五百米范圍內(nèi)新建、擴建廢棄物堆放場和處理場。......自然保護地核心區(qū)原則上禁止人為活動,其他區(qū)域嚴格禁止開發(fā)性、生產(chǎn)性建設(shè)活動。本項目所屬行業(yè)為集成電路制造,不屬于專業(yè)電鍍、化學(xué)制漿、紡織印染、制革、冶煉、發(fā)酵等重污染項目,也不屬于廢棄物堆放場和處理場;項目用能為市政電網(wǎng)供應(yīng)的電能;項目所在地不屬于自然保護地核心區(qū),符合區(qū)域布局管控要求。相符能源資源利用要求按照“控煤、減油、增氣、增非化石、輸清潔電”原則,構(gòu)建綠色低碳能源體系。項目用能為市政電網(wǎng)供應(yīng)的電能,電能為綠色能源,符合能源資源利用要求。相符污染物排放管控要求加強危險廢物和醫(yī)療廢物收集處理。項目產(chǎn)生的危險廢物經(jīng)集中暫存后,定期交由有資質(zhì)的單位處理,符合污染物排放管控要求。相符環(huán)境風(fēng)險防加強危險化學(xué)品、重金屬、危險廢物、醫(yī)療廢物、電子廢棄物等監(jiān)管體系建設(shè),強化相關(guān)行業(yè)存儲、運項目產(chǎn)生的危險廢物經(jīng)集中暫存后,定期交由有資質(zhì)的單位處理。危險廢物暫存、運輸、處置過程嚴格按照相相符控要求輸、使用、處置等全過程環(huán)境風(fēng)險監(jiān)控。關(guān)規(guī)定進行管理,符合環(huán)境風(fēng)險防控要求。橫琴新區(qū)重點管控單元區(qū)域布局管控......自然保護地核心區(qū)原則上禁止人為活動,其他區(qū)域嚴格禁止開發(fā)性、生產(chǎn)性建設(shè)活動。大氣環(huán)境布局敏感重點管控區(qū)內(nèi)嚴格落實國家產(chǎn)品VOCs含量限值標(biāo)準(zhǔn)要求,除現(xiàn)階段確無法實施替代的工序外,禁止新建生產(chǎn)和使用高VOCs含量原輔材料項目。禁止在單元區(qū)域內(nèi)建設(shè)畜禽養(yǎng)殖場、養(yǎng)殖小區(qū)。項目用地位于珠海市橫琴新區(qū)項目地塊位于橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路,本項目用地為建設(shè)用地,本項目不屬于自然保護地核心區(qū)。項目所屬行業(yè)為集成電路制造。生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集處理后通過排氣筒排放,對環(huán)境的影響較??;本項目不屬于畜禽養(yǎng)殖場、養(yǎng)殖小區(qū),符合區(qū)域布局管控的要求。相符能源資源利用新建高能耗項目單位產(chǎn)品(產(chǎn)值)能耗達到國際國內(nèi)先進水平。本項目在建設(shè)過程中將采用節(jié)能新技術(shù)、新工藝,將低能耗作為建設(shè)方案選擇的主要考慮因素,項目符合能源資源利用的要求。本項目通過采用清洗水回用,冷卻水循環(huán)使用等節(jié)水措施,單片排水量滿足基準(zhǔn)排水量限值要求。相符表2與《廣東省“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》(粵府[2020]71號)相符性分析表相符性分析相符性生態(tài)保護紅線全省陸域生態(tài)保護紅線面積36194.35平方公里,占全省陸域國土面積的20.13%;一27741.66平方公里,占全省陸域國土面積的15.44%。全省海洋生態(tài)保護紅線面積16490.59平方根據(jù)《廣東省環(huán)境保護規(guī)本項目所在區(qū)域不屬于生態(tài)紅線區(qū)域,符合生態(tài)保護紅線要求。相符環(huán)境質(zhì)量底線全省水環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善,國考、省考斷面優(yōu)良水質(zhì)比例穩(wěn)步提升,全面消除劣V類水體。大氣環(huán)境質(zhì)PM2.5年均濃度率先達到世界衛(wèi)生組織過渡期二階段目標(biāo)值(25微克/立方米),臭氧污染得到有效遏制。項目所在區(qū)域空氣環(huán)境功能為二類區(qū),聲環(huán)境功能區(qū)劃為3類區(qū),項目納污水體馬騮洲水道執(zhí)行(GB3097-1997)第三類標(biāo)準(zhǔn),不在水源保護區(qū)內(nèi)。本項目在運營過程的廢水、廢氣、固體廢物和噪聲影響經(jīng)有效的治理措施治理后對周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響甚小。符合環(huán)境質(zhì)量底線要求。相符資源利用上線強化節(jié)約集約利用,持續(xù)提升資源能源利用效率,水資源、土地資源、岸線資源、能源消耗等達到或優(yōu)于國家下達的總量和強度控制目標(biāo)。本項目通過采用清洗水回用,冷卻水循環(huán)使用等節(jié)水措施,單片排水量滿足基準(zhǔn)排水量限值要求,不會超出區(qū)域資源利用上線,符合資源利用上線要求。相符“核帶區(qū)”總體管控要求珠三角核心區(qū)區(qū)域布局管控要求禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業(yè)自備電站,推進現(xiàn)有服役期滿及落后老舊的燃煤火電機組有序退出;原則上不再新建燃煤鍋爐,逐步淘汰生物質(zhì)鍋爐、集中供熱管網(wǎng)覆蓋區(qū)域內(nèi)的分散供熱鍋爐,逐步推動高污染燃料禁燃區(qū)全覆蓋;禁止新建、擴建水泥、平板玻璃、化學(xué)制漿、生皮制革以及國家規(guī)劃外的鋼鐵、原油加工等項目。本項目所屬行業(yè)為集成電路制造,用電、用氣均由市政提供,符合區(qū)域布局管控要求。相符能源資源利用要求盤活存量建設(shè)用地,控制新增建設(shè)用地規(guī)模。項目位于橫琴粵澳深度合作區(qū)厚樸道西側(cè)、環(huán)島北路南側(cè)、琴海西路東側(cè)建設(shè)用地,屬于珠海市土地利用總體規(guī)劃的允許建設(shè)區(qū),符合能源資源利用要求。相符污染物大力推進固體廢物源頭減量化、資源化利用和無害化處置,穩(wěn)項目產(chǎn)生的危險廢物經(jīng)集中暫存后,定期交由有資質(zhì)的單位處理。符合污相符排放管控要求步推進“無廢城市”試點建設(shè)。染物排放管控要求。環(huán)境風(fēng)險防控要求建立完善突環(huán)境事件應(yīng)急管理體系.……落實環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急預(yù)案。提升危險廢物監(jiān)管能力,利用信息化手段,推進全過程跟蹤管理;健全危險廢物收集體系,推進危險廢物利用處置能力結(jié)構(gòu)優(yōu)化。本項目有危險廢物產(chǎn)生,項目建成后將依法編制事故應(yīng)急預(yù)案,并嚴格落實應(yīng)急預(yù)案及環(huán)評中提出各項措施和要求。項目產(chǎn)生的危險廢物經(jīng)集中暫存后,定期交由有資質(zhì)的單位處理。危險廢物暫存、運輸、處置過程嚴格按照相關(guān)規(guī)定進行管理,符合環(huán)境風(fēng)險防控要求。相符五、與揮發(fā)性有機物(VOCs)政策相符性分析1、《關(guān)于珠江三角洲地區(qū)嚴格控制工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物(VOCs)排放的意見》(粵環(huán)[2012]18號)相符性分析根據(jù)《關(guān)于珠江三角洲地區(qū)嚴格控制工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物(VOCs)排放的意見》(粵環(huán)[2012]18號)提出:“加強其它行業(yè)VOCs排放的控制,采取切實有效方法保障工業(yè)有機溶劑原輔材料和產(chǎn)品的密閉儲存以及排放VOCs生產(chǎn)工序在固定車間內(nèi)進行,監(jiān)督有機廢氣排放企業(yè)安裝有機廢氣回收凈化設(shè)施”。本項目機臺與廢氣管道連接,產(chǎn)生的廢氣能全部收集并排入有機廢氣處理系統(tǒng),經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)處理后通過排氣筒排放。產(chǎn)生VOCs的生產(chǎn)工序在固定車間內(nèi)收集處理,可有效控制VOCs的排放。綜上,本項目符合上述規(guī)定要求。2、《廣東省揮發(fā)性有機物(VOCs)整治與減排工作方案(2018-2020年)》相符性分析根據(jù)《廣東省揮發(fā)性有機物(VOCs)整治與減排工作方案(2018-2020年)》提出:“加強工業(yè)企業(yè)VOCs無組織排放管理,推動企業(yè)實施生產(chǎn)過程密閉化、連續(xù)化、自動化技術(shù)改造,強化生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)的有機廢氣收集,減少揮發(fā)性有機物排放?!北卷椖抗饪坦ば蛑械耐磕z、前烘、曝光后烘焙等會產(chǎn)生有機廢氣。項目機臺與廢氣管道連接,產(chǎn)生的廢氣能全部收集并排入有機廢氣處理系統(tǒng),經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)處理后通過排氣筒排放。本項目強化了生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)的有機廢氣收集及處理,減少揮發(fā)性有機物排放,符合《廣東省揮發(fā)性有機物(VOCs)整治與減排工作方案(2018-2020年)》的相關(guān)要求。3、《廣東省打贏藍天保衛(wèi)戰(zhàn)實施方案(2018-2020年)》(粵府函[2018]128號)的相符性分析根據(jù)《廣東省打贏藍天保衛(wèi)戰(zhàn)實施方案(2018-2020年)》(粵府函[2018]128號)內(nèi)容,制定廣東省重點大氣污染物(SO2、NOx、VOCs)排放總量指標(biāo)審核及相關(guān)管理辦法。珠三角地區(qū)建設(shè)項目實施VOCs排放兩倍削減量替代,粵東西北地區(qū)實施等量替代,對VOCs指標(biāo)實行動態(tài)管理,嚴格控制區(qū)域VOCs排放量。地級以上城市建成區(qū)嚴格限制建設(shè)化工、包裝印刷、工業(yè)涂裝等涉VOCs排放項目,新建石油化工、包裝印刷、工業(yè)涂裝企業(yè)原則上應(yīng)入園進區(qū)。(省生態(tài)環(huán)境廳負責(zé))。珠三角地區(qū)禁止新建生產(chǎn)和使用高VOCs含量溶劑型涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等項目(共性工廠除外)。本項目揮發(fā)性有機物按要求實行兩倍削減量替代。本項目為集成電路制造項目,不屬于鋼鐵、有色、水泥、玻璃、陶瓷、化工、造紙、印染、石材加工等高污染高排放行業(yè),不屬于涂料、膠粘劑、油墨等行業(yè)。本項目為新建項目,但本項目生產(chǎn)過程不使用高VOCs含量溶劑型涂料、油墨、膠粘劑,且集成電路所使用的清洗劑未被列入GB38508-2020,滿足國家對揮發(fā)性有機物原輔材料的使用要求,。項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集處理后通過排氣筒排放,符合要4、《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB37822—2019)相符性分析根據(jù)《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》中規(guī)定:“VOCs質(zhì)量占比大于等于10%的含VOCs產(chǎn)品,其使用過程應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間內(nèi)操作,廢氣應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng);無法密閉的,應(yīng)采取局部氣體收集措施,廢氣應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)?!北卷椖抗饪坦ば蛑械耐磕z、前烘、曝光后烘以及清洗工序中的有機洗等會產(chǎn)生有機廢氣。項目機臺與廢氣管道連接,產(chǎn)生的廢氣能全部收集并排入有機廢氣處理系統(tǒng),經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)處理后通過排氣筒排放。因此,本項目與《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB37822—2019)的要求相符。5、《廣東省2021年大氣、水、土壤污染防治工作方案》相符性分析(1)《廣東省2021年大氣污染防治工作方案》工作目標(biāo):2021年,全省空氣質(zhì)量優(yōu)良天數(shù)比例(AQI)達到92.5%,可吸入顆粒物(PM10)年均濃度41ug/m3。珠海市空氣質(zhì)量優(yōu)良天數(shù)比例(AQI)達到90.4%,可吸入顆粒物(PM10)年均濃度37ug/m3,PM2.5年均濃度22ug/m3。本項目鍋爐用于極寒天氣時作為補充熱源。鍋爐燃料為天然氣,運行時的煙氣通過排氣筒排放,均滿足廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44765-2019)的相關(guān)要求。項目機臺與廢氣管道連接,產(chǎn)生的廢氣能全部收集并排入有機廢氣處理系統(tǒng),經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)處理后通過排氣筒排放。產(chǎn)生VOCs的生產(chǎn)工序在固定車間內(nèi)收集處理,可有效控制VOCs的排放,符合方案要求。(2)《廣東省2021年水污染防治工作方案》珠海市2021水污染防治工作任務(wù)目標(biāo)為:地表水國考斷面5個,其中優(yōu)良目標(biāo)斷面數(shù)量4個,省級攻堅斷面數(shù)量1個;縣級及以上集中式飲用水水源地9個,水質(zhì)達標(biāo)率100%;2021年擬下達農(nóng)村生活污水治理民生實施任務(wù)(自然村個數(shù))50個。本項目營運期廢水來源有生產(chǎn)廢水和生活污水,廢水經(jīng)處理后通過市政排污管網(wǎng)接入橫琴水質(zhì)凈化廠,不會對水環(huán)境造成污染影響。(3)《廣東省2021年土壤污染防治工作方案》項目周邊不存在“耕地、園地、牧草地、飲用水水源地或居民區(qū)、學(xué)校、醫(yī)院、療養(yǎng)院、養(yǎng)老”及不存在“其他土壤環(huán)境敏感目標(biāo)”。本項目不屬于重點行業(yè)企業(yè)(73類)用地污染調(diào)查范圍。符合《廣東省2021年土壤污染防治工作方案》的要求。六、“十四五規(guī)劃”相符性分析1、與“廣東省生態(tài)環(huán)境保護十四五規(guī)劃”相符性分析表1-3《廣東省環(huán)境保護“十四五”規(guī)劃》相符性分析序號環(huán)保要求本項目情況相符性1推動工業(yè)項目入園集聚發(fā)展,引導(dǎo)重大產(chǎn)本項目位于環(huán)境容量充足的沿海符合業(yè)向沿海等環(huán)境容量充足地區(qū)布局。地區(qū),符合要求。2珠三角地區(qū)禁止新建、擴建水泥、平板玻璃、化學(xué)制漿、生皮制革以及國家規(guī)劃外的鋼鐵、原油加工等項目。本項目屬于集成電路制造,不屬于禁止建設(shè)項目。符合3珠三角禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業(yè)燃煤燃油自備電站。本項目屬于集成電路制造,不屬于禁止建設(shè)項目。項目用電為市政電網(wǎng)供電。符合4嚴格實施VOCs排放企業(yè)分級管控,全面推進涉VOCs排放企業(yè)深度治理。開展中小型企業(yè)廢氣收集和治理設(shè)施建設(shè)、運行情況的評估,強化對企業(yè)涉VOCs生產(chǎn)車間/工序廢氣的收集管理,推動企業(yè)開展治理設(shè)施升級改造。中產(chǎn)生的有機廢氣,100%收集處理。本項目有機廢氣濃度低、風(fēng)量大,采用沸石轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)輪燃燒,削減VOCs排放,符合要求。符合2、與“珠海市生態(tài)環(huán)境保護暨生態(tài)文明建設(shè)十四五規(guī)劃”相符性分析表1-4《珠海市生態(tài)環(huán)境保護暨生態(tài)文明建設(shè)“十四五”規(guī)劃》相符性分析序號環(huán)保要求本項目情況相符性1禁止新建專業(yè)電鍍、化學(xué)制漿、紡織印染、制革、禁止在磨刀門水道兩岸及流域內(nèi)湖泊、水庫最高水位線水平外延500m范圍內(nèi)新建、擴建廢棄物堆放場和處理場;畜禽禁養(yǎng)區(qū)內(nèi)不得從事畜禽養(yǎng)殖業(yè)。本項目屬于集成電路制造項目,不屬于禁止建設(shè)項目。符合2加強揮發(fā)性有機物綜合治理。實施低揮發(fā)性有機物(VOCs)含量產(chǎn)品原輔材料替代,嚴格執(zhí)行國家產(chǎn)品VOCs含量限值和有害物質(zhì)限量標(biāo)準(zhǔn),原則上禁止新建生產(chǎn)和使用高本項目屬于集成電路制造項目,生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣全部收集集中處理,不屬于禁止建設(shè)項目。符合—10—VOCs含量原輔材料項3嚴格實施VOCs排放企業(yè)分級管控,全面推進涉VOCs排放企業(yè)深度治理。開展中小型企業(yè)廢氣收集和治理設(shè)施建設(shè)、運行情況的評估,強化對企業(yè)涉VOCs生產(chǎn)車間/工序廢氣的收集管理,推動企業(yè)開展治理設(shè)施升級改造。本項目光刻工序中的涂膠、前烘、曝光后烘焙等會產(chǎn)生有機廢氣。本項目擬設(shè)置沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)對有機廢氣進行處理,處理后廢氣經(jīng)樓頂排氣筒排放,有機廢氣VOCs有組織排放達到廣東省《家具制造行業(yè)揮發(fā)性有機化合物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB1Ⅱ時段排放限VOCs達到《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》附錄A.1無組織特別排放限值,因此對其周邊大氣環(huán)境影響不大,符合《廣東省環(huán)境保護“十四五”規(guī)劃》的要求符合—11—表2生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控、環(huán)境管控單元總體管控符合性分析類別要求項目相符性分析全省總體管控要求及“一核一帶一區(qū)”區(qū)域管控要求區(qū)域布局管控要求筑牢珠三角綠色生態(tài)屏障,加強區(qū)域生態(tài)綠核、珠江流域水生態(tài)系統(tǒng)、入海河口等生態(tài)保護,大力保護生物多樣性。積極推動深圳前海、廣州南沙、珠海橫琴等區(qū)域重大戰(zhàn)略平臺發(fā)展;引導(dǎo)電子信息、汽車制造、先進材料等戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)綠色轉(zhuǎn)型升級發(fā)展,已有石化工業(yè)區(qū)控制規(guī)模,實現(xiàn)綠色化、智能化、集約化發(fā)展;加快發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路、高端裝備制造、前沿新材料、區(qū)塊鏈與量子信息等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業(yè)自備電站,推進現(xiàn)有服役期滿及落后老舊的燃煤火電機組有序退出;原則上不再新建燃煤鍋爐,逐步淘汰生物質(zhì)鍋爐、集中供熱管網(wǎng)覆蓋區(qū)域內(nèi)的分散供熱鍋爐,逐步推動高污染燃料禁燃區(qū)全覆蓋;禁止新建、擴建水泥、平板玻璃、化學(xué)制漿、生皮制革以及國家規(guī)劃外的鋼鐵、原油加工等項目。推廠應(yīng)用低揮發(fā)性有機物原輔材料,嚴格限制新建生產(chǎn)和使用高揮發(fā)性有機物原輔材料的項目,鼓勵建設(shè)揮發(fā)性有機物共性工廠。除金、銀等貴金屬,地?zé)帷⒌V泉水,以及建筑用石礦可適度開發(fā)外,限制其他礦種開采。本項目屬于集成電路制造行業(yè),不屬于禁止建設(shè)項目,所使用的有機物原輔材料主要為光刻膠及添加劑、去膠液、異丙醇等,由于集成電路對原輔材料純度要求極高,目前無法替代,且集成電路GB38508-2020,滿足國家對揮發(fā)性有機物原輔材料的使用要求;本項目為密閉機臺,且設(shè)置機臺的抽風(fēng)系統(tǒng),做到全部收集后經(jīng)沸石轉(zhuǎn)輪+焚燒系統(tǒng)處理,最大限度減少VOCs排放。能源資源利用要求推進工業(yè)節(jié)水減排,重點在高耗水行業(yè)開展節(jié)水改造,提高工業(yè)用水效率。加強江河湖庫水量調(diào)度,保障生態(tài)流量。盤活存量建設(shè)用地,控制新增建設(shè)用地規(guī)模。本項目通過采用純水回用、純水制備廢水再利用等措施提高工業(yè)用水效率。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理后排入市政污水處理廠。污染物排放管控要求在可核查、可監(jiān)管的基礎(chǔ)上,新建項目原則上實施氮氧化物等量替代,揮發(fā)性有機物兩倍削減量替代。以臭氧生成潛勢較大的行業(yè)企業(yè)為重點,推進揮發(fā)性有機物源頭替代,全面加強無組織排放控制,深入實施精細化治理。大力推進固體廢物源頭減量化、資源化利用和無害化處置,穩(wěn)步推進“無廢城市”試點建設(shè)。本項目為新建項目,生產(chǎn)廠房、化學(xué)品庫等均為密閉廠房,化學(xué)品存于密閉的氣瓶、儲罐等,基本無無組織排放。生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的硫酸廢液會用于廢水站的廢水處理,減少硫酸的使用量及廢硫酸的產(chǎn)生量。本項目生產(chǎn)過程產(chǎn)生的一般固體廢物收集后交由回收公司處理,危險廢物交由具有危險廢物處理資質(zhì)的單位處理。環(huán)境風(fēng)險防控要求逐步構(gòu)建城市多水源聯(lián)網(wǎng)供水格局,建立完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急管理體系。本項目環(huán)境風(fēng)險事故發(fā)生概率較低,在落實相關(guān)防范措施后,項目生產(chǎn)過程的環(huán)境風(fēng)險總體可控。省級以上工業(yè)園區(qū)重點管控單元管控單元要求依法開展園區(qū)規(guī)劃環(huán)評,嚴格落實規(guī)劃環(huán)評管理要求,開展環(huán)評質(zhì)量跟蹤監(jiān)測,發(fā)布環(huán)境管理狀況公告,制定并實施園區(qū)突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,定期開展環(huán)境安全隱患排查,提升風(fēng)險防控及應(yīng)急處理能力。周邊1公里范圍內(nèi)涉及生態(tài)保護紅線、自然保護地、飲用水水源地等生態(tài)環(huán)境敏感區(qū)域的園區(qū),應(yīng)優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局,控制開發(fā)強度,優(yōu)先引進無污染或輕污染的產(chǎn)業(yè)和項目,防止侵占生態(tài)空間。納污水體水質(zhì)超標(biāo)的園區(qū),應(yīng)實施污水深度處理,新建、改建、擴建項目應(yīng)實行重點污染物排放數(shù)量或減量替代。造紙、電鍍、印染、鞣革等專業(yè)園區(qū)或基地應(yīng)不斷提升工藝水平,提高水回用率,逐步削減污染物排放總量;石化園區(qū)加快綠色智能升級改造,強化環(huán)保投入和管理,構(gòu)建高效、清潔、低碳、循環(huán)的綠色制造體系。本項目屬于集成電路制造行業(yè),不屬于造紙、電鍍、印染、鞣革等相關(guān)建設(shè)項目。表3橫琴新區(qū)重點管控單元要求符合性分析一覽表環(huán)境管控單元編碼單元名稱行政區(qū)劃管控單元分類要素細類省市區(qū)ZH44040220016橫琴新區(qū)重點管控單元廣東省珠海市香洲區(qū)重點管控單元生態(tài)保護紅線、一般生態(tài)空間、水環(huán)境城鎮(zhèn)生活污染重點管控區(qū)、大氣環(huán)境布局敏感區(qū)重點管控區(qū)、大氣環(huán)境一般管控區(qū)管控維度管控要求項目情況是否符合區(qū)域布局管控1-1.【產(chǎn)業(yè)/鼓勵引導(dǎo)類】鼓勵發(fā)展金融、商務(wù)會展、休閑旅游、科技信息等高端服務(wù)業(yè)。1-2.【生態(tài)/禁止類】單元內(nèi)生態(tài)保護紅線按照《關(guān)于在國土空間規(guī)劃中統(tǒng)籌劃定落實三條控制線的指導(dǎo)意見》嚴格管控,自然保護地核心區(qū)原則上禁止人為活動,其他區(qū)域嚴格禁止開發(fā)性、生產(chǎn)性建設(shè)活動,在符合現(xiàn)行法律法規(guī)前提下,除國家重大戰(zhàn)略項目外,僅允許對生態(tài)功能不造成破壞的8類有限人為活動。1-3.【生態(tài)/綜合類】一般生態(tài)空間內(nèi),可開展生態(tài)保護紅線內(nèi)允許的活動;在不影響主導(dǎo)生態(tài)功能的前提下,還可開展國家和省規(guī)定不納入環(huán)評管理的項目建設(shè),以及生態(tài)旅游、畜禽養(yǎng)殖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、村莊建本項目屬于集成電路制造行業(yè),本項目不使用溶劑型涂料、固化劑、膠黏劑等原輔材料,本項目新建有機廢氣的收集、廢氣處理設(shè)施,采用沸石轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)輪燃燒,可有效降低污染物的排放量及濃度,廢氣可實現(xiàn)達標(biāo)排放,符合要求??捎行Ы档臀廴疚锏呐欧帕考皾舛?,廢氣可實現(xiàn)達標(biāo)排放。符合設(shè)等人為活動。1-4.【生態(tài)/綜合類】一般生態(tài)空間內(nèi)的人工商品林,允許依法進行撫育采伐、擇伐和樹種更新等經(jīng)營活動。1-5.【生態(tài)/綜合類】廣東橫琴國家濕地自然公園(試點)、珠海橫琴濱海地方級濕地自然公園,按照自然保護地相關(guān)管理要求進行管控。1-6.【大氣/限制類】大氣環(huán)境布局敏感重點管控區(qū)內(nèi)嚴格落實國家產(chǎn)品VOCs含量限值標(biāo)準(zhǔn)要求,除現(xiàn)階段確無法實施替代的工序外,禁止新建生產(chǎn)和使用高VOCs含量原輔材料項目。1-7.【大氣/鼓勵引導(dǎo)類】鼓勵在生產(chǎn)和流通消費環(huán)節(jié)推廣使用低VOCs含量原輔材料。1-8.【其他/禁止類】禁止在單元區(qū)域內(nèi)建設(shè)畜禽養(yǎng)殖場、養(yǎng)殖小區(qū)。能源資源利用2-1.【能源/綜合類】新建高能耗項目單位產(chǎn)品(產(chǎn)值)能耗達到國際國內(nèi)先進水平。2-2.【水資源/限制類】強化水資源開發(fā)利用控制、用水效率控制、水功能區(qū)限制納污三條紅線剛性約束。項目不在飲用水水源保護區(qū)內(nèi),不屬于水環(huán)境優(yōu)先保護區(qū);本項目通過采用清洗水回用,冷卻水循環(huán)使用等節(jié)水措施,單片排水量滿足基準(zhǔn)排水量限值要求。符合污染物排放管控3-1.【水/鼓勵引導(dǎo)類】新建住宅項目、城中舊村改造、舊工業(yè)廠房改造項目要實現(xiàn)管網(wǎng)雨污分流,著力完善配套污水管網(wǎng)建設(shè)。3-2.【水/限制類】橫琴水質(zhì)凈化廠的尾水均應(yīng)達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)(GB18918-2002》確定的一級A類排放標(biāo)準(zhǔn)及廣東省《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時段一級標(biāo)準(zhǔn)。3-3.【水/鼓勵引導(dǎo)類】鼓勵在城鎮(zhèn)水質(zhì)凈化廠下游采取濕地凈化工程等措施,進一步削減污染物入海量。本項目屬于集成電路制造行業(yè),廠區(qū)內(nèi)實現(xiàn)雨污分流,生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)自建廢水處理站處理后市政污水處理廠,排水水質(zhì)滿足污水處理廠的納管要求。符合環(huán)境風(fēng)險管控4-1.【水/綜合類】南區(qū)水質(zhì)凈化廠(二期)應(yīng)采取有效措施,防止事故廢水直接排入馬騮洲水道。本項目廠區(qū)內(nèi)實現(xiàn)雨污分流,生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)自建廢水處理站處理后市政污水處理廠,排水水質(zhì)滿足污水處理廠的納管要求。符合建設(shè)一、項目概況本項目新建1條產(chǎn)能3萬片/月的12英寸顯示驅(qū)動芯片生產(chǎn)線。二、建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容本項目全廠主要建設(shè)指標(biāo)見下表。表4本項目主要建設(shè)指標(biāo)一覽表1㎡2㎡3㎡45%6%7輛輛輛8輛9m表5本項目建構(gòu)筑物建設(shè)指標(biāo)一覽表序號稱層數(shù)14234456舍7站圍8庫3—15—91庫31111111111地下/0//2地下/0//地下/0//0//0//表6本項目組成一覽表2F:設(shè)置廢水處理池、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、氣11冷凍站冷卻循環(huán)水系統(tǒng):設(shè)置循環(huán)冷卻水泵及冷卻塔,進水1),11),1),站庫2統(tǒng)111酸堿廢水處理系統(tǒng):化學(xué)中和系統(tǒng)→排放,2套,單套設(shè)計處③高濃度含氨廢水處理系統(tǒng):吹脫+硫酸銨吸收④含氨含氟廢水處理系統(tǒng):吹脫+硫酸銨吸收→含氟廢水處理生產(chǎn)廠房設(shè)置16套風(fēng)機(12用4備),單臺設(shè)計排風(fēng)量支持區(qū)易燃易爆特氣間:設(shè)置2套排風(fēng)系統(tǒng),單套排風(fēng)量為支持區(qū)有毒腐蝕性氣體間:設(shè)置2套排風(fēng)系統(tǒng),排風(fēng)量為),設(shè)置6套(4用2備)酸液噴淋處理系統(tǒng),),),),有機溶劑供應(yīng)間廢氣,設(shè)置2套活性炭吸附裝置,單套處理有機廢液收集間廢氣:設(shè)置2套活性炭吸附裝置,單套處理硝酸供應(yīng)間廢氣:設(shè)置2套堿性活性炭吸附裝置,單套處理H2O2供應(yīng)間廢氣:設(shè)置2套活性炭吸附裝置,單套處理能力區(qū)區(qū)間設(shè)置3套活性炭吸附裝置,處理能力分別為3000m3/h、支持區(qū)易燃易爆特氣間:設(shè)置2套排風(fēng)系統(tǒng),單套排風(fēng)量為12000m3/h,新建2根排氣筒,高度26m。事故時,一般排風(fēng)支持區(qū)有毒腐蝕性氣體間:設(shè)置2套排風(fēng)系統(tǒng),排風(fēng)量為消防事故廢水:有效容積為1000m3,用于收集消防廢水池位于廠區(qū)西應(yīng)急水池位于動力廠房廠區(qū)內(nèi)設(shè)置10各雨水排放口,雨水排放口末端設(shè)置緊急切斷三、主要設(shè)備項目主要設(shè)備詳見下表。表7主要設(shè)備一覽表四、主要原輔材料項目主要原輔材料及用量詳見下表。表8項目主要原輔材料使用情況一覽表本項目生產(chǎn)過程需要用水、用電、壓縮空氣、天然氣等能源,各個生產(chǎn)廠房所需能源消耗情況見下表。表9主要資源、能源動力消耗表五、水平衡分析水量平衡詳見“工程分析專題”,本項目用排水量見下表。表10本項目用排水量一覽表生產(chǎn)廢水排放口排水量(m3/d)生活污水排放口排水量(m3/d)1六、勞動定員及工作制度本項目勞動定員為1500人,其中:操作員400人,工程師1200人,管理人員150人,研發(fā)人員150人。全年工作日355天。生產(chǎn)線工人實行四班兩運轉(zhuǎn),每班工作時間12小時。技術(shù)、管理人員實行三班三運轉(zhuǎn),每班工作時間8小時設(shè)備運轉(zhuǎn)方式24小時連續(xù)運行,年運行時七、廠區(qū)平面布置本項目位于廣東省珠海市橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路。項目所在廠區(qū)北側(cè)隔環(huán)島北路為奧粵合作中醫(yī)藥科技產(chǎn)業(yè)園;東側(cè)隔厚樸道為中拉經(jīng)貿(mào)合作園;南側(cè)為空地;西側(cè)隔琴海西路為中海油珠海終端環(huán)保公司。本項目地塊東西布局,分為生產(chǎn)區(qū)及宿舍區(qū)。宿舍區(qū)位于地塊西北側(cè),其余為生產(chǎn)區(qū)。生產(chǎn)區(qū)又可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、動力輔助區(qū):廠前區(qū):位于地塊東北側(cè)。布置有生產(chǎn)管理棟、主出入口。主要生產(chǎn)區(qū):地塊中部及東部,中部為1#生產(chǎn)廠房1、2#動力廠房1,為本期生產(chǎn)用房;東部布置4#生產(chǎn)廠房2、5#動力廠房2,為預(yù)留廠房,本期不建設(shè)。動力輔助區(qū):位于地塊西南側(cè)及東南角,西南側(cè)布置有甲乙類庫房丙類倉庫、危廢庫、東南角布置硅烷站、大宗特氣站等。地塊南側(cè)的大宗氣站由專業(yè)氣體供應(yīng)商建設(shè),不屬于本項目建設(shè)內(nèi)容。地理位置圖見附圖1,項目周邊關(guān)系圖見附圖9。平面布置圖見附圖10。工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)集成電路(integratedcircuit)是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝,把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。完整的集成電路生產(chǎn)包括基底制造、IC設(shè)計、晶圓制造、芯片封裝等工序。其中晶圓制造又稱“前工序”,包括薄膜淀積、圖形轉(zhuǎn)移、功能實現(xiàn)等工序;芯片封裝又稱“后封裝”,包括芯片切割、表面貼裝、芯片互連、塑封成型、金屬沉積等工序。完整的集成電路生產(chǎn)工藝流程見下圖。圖1集成電路工藝示意圖本項目為晶圓制造項目,主要涉及“前工序”的生產(chǎn)工序,不涉及背面減薄及背面金屬化工序。即在晶圓片上進行電路圖形的生產(chǎn)過程。根據(jù)要求在晶圓片表面上行程具有特定功能的器件結(jié)構(gòu),主要的基礎(chǔ)工藝為清洗、薄膜淀積、光刻、刻蝕、離子注入、擴散等,通過基礎(chǔ)工藝的循環(huán)及工藝順序和條件的變換,一層一層的疊加加工,形成復(fù)雜的多層器件結(jié)構(gòu)。這些工序反復(fù)交叉進行,光刻次數(shù)幾次至幾十次,單獨工藝步數(shù)可達到數(shù)百步。晶圓制造可歸納為三個主要步驟。薄膜沉積:在晶片上形成薄膜,薄膜可以是多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬(銅、鋁等)等,成膜工藝包括:物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、電化學(xué)沉積、熱氧化;圖形轉(zhuǎn)移:在薄膜上進行圖形轉(zhuǎn)移,將光掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到第一步形成的膜上,在薄膜上形成需要的器件圖形或線路溝槽。工藝主要包括:光刻、顯影、刻蝕等。光刻技術(shù)類似于照片的印相技術(shù),晶圓片上的感光材料為光刻膠,光刻掩膜相當(dāng)于照相底片,一定波長的光線通過這個“底片”在光刻膠上形成與掩膜版圖形相反的感光區(qū),然后進行顯影、刻蝕等步驟,在光刻膠膜上有的區(qū)域被溶解掉,有的區(qū)域保留下來,形成了版圖圖形。功能實現(xiàn):包括性能改變或結(jié)構(gòu)改變,即改變芯片內(nèi)載流子的分布從而達到所需的電參數(shù)和電性能、金屬改性等;或者在刻蝕好的圖形上進行器件加工和線路連接,以實現(xiàn)特定功能,工藝包括:擴散、離子注入、化學(xué)機械拋光、背面減薄及金屬化等。根據(jù)產(chǎn)品的實際制程要求,通過在晶圓上按上述步驟一層一層反復(fù)進行加工后,可制得項目所需芯片,同時為保證晶片的潔凈度,每步基礎(chǔ)工序后均需進行清洗。具體工藝分析詳見“工程分析專題”。晶圓制造工藝流程見下圖:圖2本項目工藝流程示意圖與項關(guān)的原有環(huán)境污染無區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀一、大氣環(huán)境(1)基本污染物環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀本項目位于廣東省珠海市橫琴島橫琴新區(qū),項目地塊位于橫琴粵澳深度合作區(qū)橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路。根據(jù)《關(guān)于印發(fā)<珠海市聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃分>和<珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分>的通知》(珠環(huán)〔2011〕357號)有關(guān)規(guī)定,本項目所在區(qū)域為二類環(huán)境空氣功能區(qū),環(huán)境空氣執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及其修改單中的二級標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)珠海市生態(tài)環(huán)境局《2021年珠海市環(huán)境質(zhì)量狀況》,珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量主要指標(biāo)見下表。SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3年平均質(zhì)量濃度達到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及其修改單的二級標(biāo)準(zhǔn),項目所在珠海市判定為達標(biāo)區(qū),具體見下表。表112021年珠海市環(huán)境空氣主要污染物濃度污染物年平均質(zhì)量濃度現(xiàn)狀濃度μg/m3標(biāo)準(zhǔn)值μg/m3%超標(biāo)率%達標(biāo)情況SO2年平均質(zhì)量濃度6600達標(biāo)NO2年平均質(zhì)量濃度2240550達標(biāo)PM10年平均質(zhì)量濃度3770530達標(biāo)PM2.5年平均質(zhì)量濃度2035570達標(biāo)CO年平均質(zhì)量濃度8004000200達標(biāo)O3年平均質(zhì)量濃度900達標(biāo)因此,項目所在區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量屬于達標(biāo)區(qū)。(2)其他污染物環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀評價本項目排放的其他污染物包括砷、氟化物、氮氧化物、氯化氫、氯氣、硫酸、氨、TVOC等,其他污染物現(xiàn)狀數(shù)據(jù)通過補充監(jiān)測獲得。1)監(jiān)測因子及監(jiān)測布點根據(jù)《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018),以近20年統(tǒng)計的當(dāng)?shù)刂鲗?dǎo)風(fēng)向為軸向,在廠址及主導(dǎo)風(fēng)向下風(fēng)向5km范圍內(nèi)設(shè)置1個監(jiān)測點。如需在一類區(qū)進行補充監(jiān)測,監(jiān)測點應(yīng)設(shè)置在不受人為活動影響的區(qū)域。為了解項目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀,建設(shè)單位委托廣東智環(huán)創(chuàng)新環(huán)境科技有限公司于2022年8月30日~9月5日對項目區(qū)域內(nèi)的其它污染物進行了現(xiàn)狀監(jiān)測。采樣點布設(shè)見下表,具體布設(shè)點位見附圖11。表12大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測點布設(shè)一覽表編號測點位置相對方位距離監(jiān)測因子備注Q1橫琴科創(chuàng)中心人才公寓東北距本項目約290m砷、氟化物、氮氧化物、氯化氫、氯氣、硫酸、氨、TVOC橫琴新區(qū)主導(dǎo)風(fēng)向軸向,下風(fēng)向環(huán)境保護目標(biāo)處2)監(jiān)測分析方法監(jiān)測因子:砷、氟化物、氮氧化物、氯化氫、氯氣、硫酸、氨、TVOC。監(jiān)測方法:空氣污染物采樣及分析方法采用國家規(guī)定的方法進行,詳見下表。表13空氣環(huán)境污染物監(jiān)測分析方法檢測類別監(jiān)測項目分析方法方法來源最低檢出濃度環(huán)境空氣氟化物濾膜采樣/氟離子選擇HJ955-2018小時:0.5μg/m3日均:0.06μg/m3砷空氣和廢氣顆粒物中金屬元素測定HJ657-20130.7ng/m3氮氧化物化學(xué)發(fā)光法、差分吸收光譜分析法環(huán)境空氣氮氧化物(一氧化氮和二氧化氮)的測定鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ479小時:250μg/m3日均:100μg/m3氯化氫離子色譜法環(huán)境空氣和廢氣氯化氫的測定HJ549-2016小時:0.02mg/m3氯氣甲基橙分光光度法固定污染源排氣中氯氣的測定HJ/T30-19990.015mg/m3硫酸離子色譜法HJ544-2016小時:0.003mg/m3日均:0.001mg/m3氨次氯酸鈉—水楊酸分光光度法環(huán)境空氣氨的測定HJ534-2009小時:0.004mg/m3TVOC室內(nèi)空氣中總揮發(fā)性有機化合物(TVOC)的檢驗方法(固體吸附/熱解吸/氣相色譜法)室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)GB/T18883-2022附錄C3)采樣時間與監(jiān)測頻次監(jiān)測頻次:連續(xù)監(jiān)測7日,詳見下表。表14監(jiān)測項目采樣頻次監(jiān)測因子監(jiān)測內(nèi)容監(jiān)測頻次特征氟化物、砷、氮氧化物、24h濃度值連續(xù)7天,每日至少有20h的采樣時間HCl、硫酸、Cl2硫酸、Cl2、氨、TVOC小時濃度連續(xù)7天,每天采樣4個時段,時段分別為02:00、08:00、14:00、20:00。樣品的采樣時間應(yīng)不少于45min。監(jiān)測時期氣象條件見下表。表15補充監(jiān)測期間的氣象條件監(jiān)測日期風(fēng)向風(fēng)速(m/s)濕度氣溫(℃)大氣壓(kPa)2022.08.30~09.05西南1.0~2.149~86%27.7~33.6100.1~101.34)監(jiān)測結(jié)果與評價根據(jù)《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則-大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018),環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀評價通過計算取值時間最大濃度值占相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)濃度限值的百分比和超標(biāo)率來分析其評價達標(biāo)情況。當(dāng)取值時間最大濃度值占相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)濃度限值的百分比大于或等于100%時,表明環(huán)境空氣質(zhì)量超標(biāo)。計算公式如下:P式中:Pi——第i個污染物的監(jiān)測最大濃度占相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)濃度限值的百分比,%;Ci——第i個污染物的監(jiān)測濃度值,mg/m3;C0i——第i個污染物的環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),mg/m3。區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量屬二類功能區(qū),執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級標(biāo)本項目環(huán)境空氣質(zhì)量監(jiān)測結(jié)果及達標(biāo)情況見下表。表16空氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價結(jié)果統(tǒng)計表橫琴科創(chuàng)中心人才公寓—26—注:ND表示未檢出。由上表可知,氟化物的1小時平均濃度滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)附錄A的要求;氮氧化物的1小時平均濃度滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)表2的要求;砷的1小時平均濃度滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)附錄A的要求;氯化氫、氯氣、硫酸、氨的1小時平均濃度均濃度滿足《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》(HJ2.2–2018)附錄D的要求;TVOC的8小時平均濃度滿足《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》(HJ2.2–2018)附錄D的要求。綜上所述,本項目各污染物均能夠滿足相應(yīng)參考標(biāo)準(zhǔn)的濃度限值,表明本項目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀良好。二、地表水環(huán)境本項目位于廣東省珠海市橫琴島橫琴新區(qū),項目地塊位于橫琴島西部沿海區(qū)域,東至厚樸道,西至琴海西路,北至環(huán)島北路,項目污廢水經(jīng)市政污水處理廠處理后納入馬騮洲水道,根據(jù)《廣東省近岸海域環(huán)境功能區(qū)劃》(粵府辦〔1999〕68號馬騮洲水道區(qū)域需執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB3097-1997)第三類標(biāo)準(zhǔn)。為了解項目區(qū)域地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀,根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南》(污染影響類型)(試行),引用珠海市生態(tài)環(huán)境局2022年5月24日發(fā)布的《2021年珠海市環(huán)境質(zhì)量狀況》可知,水環(huán)境主要包括地表水、集中式飲用水水源和近岸海水,2021年全市水環(huán)境質(zhì)量穩(wěn)中向好,地表水考核斷面水質(zhì)優(yōu)良比例為100%,9個主要集中式飲用水源水質(zhì)達標(biāo)率保持為100%。為了了解馬騮洲水道水質(zhì)現(xiàn)狀,本項目引用東莞市華溯檢測技術(shù)有限公司于2022年4月17日至4月19日對馬騮洲水道現(xiàn)狀水質(zhì)監(jiān)測分析的數(shù)據(jù)(報告編號:HSH20200506001監(jiān)測點位為W3南區(qū)水質(zhì)凈化廠排污口,W4南區(qū)水質(zhì)凈化廠排污口下游約1000m處。監(jiān)測結(jié)果匯總?cè)缦卤硭尽1?7馬騮洲水道水質(zhì)監(jiān)測數(shù)據(jù)(單位:mg/L,注明者除外)監(jiān)測項目采樣位置標(biāo)準(zhǔn)限值漲潮退潮漲潮退潮漲潮退潮pH值(無量W38.338.278.288.328.358.316.88~8.8W48.168.198.108.218.18W38798人為增加的量≤100W4242125202622DOW35.25.35.2>4W45.75.85.75.65.65.7CODMnW3≤4W4BOD5W30.920.870.890.950.850.88≤4W40.780.810.860.740.790.83無機氮W30.380.370.370.390.390.38≤0.40W40.380.380.390.380.380.39石油類W30.01L0.01L0.01L0.01L0.01L0.01L≤0.40W40.01L0.01L0.01L0.01L0.01L0.01L由上表可知,馬騮洲水道各監(jiān)測項目指標(biāo)均符合《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB3097-1997)第三類標(biāo)準(zhǔn),本項目區(qū)域水質(zhì)環(huán)境質(zhì)量較好。三、聲環(huán)境根據(jù)珠海市生態(tài)環(huán)境局印發(fā)的《珠海市聲環(huán)境功能區(qū)區(qū)劃》,本項目所在地聲環(huán)境功能區(qū)劃屬于3類區(qū),執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)3類標(biāo)準(zhǔn)。建設(shè)單位委托廣東智環(huán)創(chuàng)新環(huán)境科技有限公司于2022年8月31日對本項目環(huán)境噪聲進行現(xiàn)狀監(jiān)測,晝夜間現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果見下表。表18項目區(qū)廠界聲環(huán)境監(jiān)測結(jié)果編號監(jiān)測點位名稱晝間監(jiān)測平均值dB(A)夜間監(jiān)測平均值dB(A)標(biāo)準(zhǔn)值dB(A)達標(biāo)情況1東廠界6448晝間:≤65夜間:≤55達標(biāo)2南廠界54463西廠界60484北廠界5345根據(jù)噪聲監(jiān)測結(jié)果可知,廠界晝間、夜間噪聲監(jiān)測結(jié)果滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)中3類標(biāo)準(zhǔn)。四、生態(tài)環(huán)境本項目處于人類活動頻繁區(qū),項目區(qū)內(nèi)無原始植被生長和珍貴野生動物活動,植被覆蓋率低,區(qū)域生態(tài)系統(tǒng)敏感程度較低,生態(tài)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀一般。項目用地范圍內(nèi)無生態(tài)環(huán)境保護目標(biāo),無需開展生態(tài)現(xiàn)狀調(diào)查。五、電磁輻射本項目不涉及電磁輻射內(nèi)容,無需進行電磁輻射現(xiàn)狀監(jiān)測與評價。六、地下水、土壤環(huán)境本項目地下水、土壤污染源主要為液體原輔材料泄漏,本項目廠區(qū)按照規(guī)范和要求對生產(chǎn)車間、化學(xué)品庫以及危廢品倉庫等采取有效的防雨、防滲、設(shè)置圍堰等措施,且本項目建成后對項目所在園區(qū)地面進行硬底化,選用可靠的防滲材料及相應(yīng)的保護層,不存在土壤、地下水污染途徑,根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南(污染影響類試行)》,可不進行地下水、土壤環(huán)境現(xiàn)狀監(jiān)測。環(huán)境保護目標(biāo)本項目周圍沒有需要特殊保護的重要文物,不設(shè)水廠取水口,不屬于基本農(nóng)田保護區(qū)范圍內(nèi),主要環(huán)境保護目標(biāo)是保護好當(dāng)?shù)氐牡乇硭h(huán)境、大氣環(huán)境、聲環(huán)境。建設(shè)單位應(yīng)采取有效的環(huán)保措施,使本項目的運行不會對所在區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量造成明顯不良影響。通過現(xiàn)場調(diào)查,本項目環(huán)境保護目標(biāo)情況如下:根據(jù)《關(guān)于印發(fā)<珠海市聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃分>和<珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分>的通知》(珠環(huán)〔2011〕357號)的要求,本項目所在地的環(huán)境空氣屬于二類功能區(qū),該區(qū)域大氣環(huán)境質(zhì)量按《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及其修改單(生態(tài)環(huán)境部2018年第29號)二級標(biāo)準(zhǔn)的要求進行保護。建設(shè)單位應(yīng)保護周圍地區(qū)的環(huán)境在本項目建成后不受明顯影響,應(yīng)采取有效措施,控制廢氣污染物的排放,保護本項目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量在一定時期內(nèi)達到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及其修改單中的二級標(biāo)準(zhǔn)要求。本項目設(shè)置大氣專項評價,評價范圍為邊長取5km。2、聲環(huán)境:根據(jù)《關(guān)于印發(fā)<珠海市聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃分>和<珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分>的通知》(珠環(huán)〔2011〕357號)的規(guī)定,本項目所在的區(qū)域?qū)?類功能區(qū),聲環(huán)境保護目標(biāo)是確保本項目建成后不會對區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量帶來明顯的變化,聲環(huán)境質(zhì)量符合《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)3類標(biāo)準(zhǔn)。3、地下水環(huán)境:項目廠界外500m范圍內(nèi)無地下水集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源;4、生態(tài)環(huán)境:本項目周圍無生態(tài)環(huán)境保護目標(biāo)。環(huán)境保護目標(biāo)詳見下表,環(huán)境保護目標(biāo)分布情況見附圖12。表19環(huán)境保護目標(biāo)分布情況序號容/m1N22.1302452N22.1299043N22.1350674N22.1241555N22.1435476N22.1336867N22.1208418N22.1564239館N22.161761N22.164017N22.091152N22.093634N22.118925N22.115938N22.126026N22.140100N22.154518心N22.166219N22.160241灣N22.160539N22.143567N22.133535N22二類橫琴N22二類店N22二類店N22二類污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)一、大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)1、工藝廢氣生產(chǎn)廢氣中的顆粒物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧、氟化物、氯氣、砷及其化合物執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物排放限值》(DB44/27-2001)表2第二時段中的排放限值;VOCs參考廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《家具制造行業(yè)揮發(fā)性有機化合物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44/814-2010)中的排放限值;氨滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)中的排放標(biāo)準(zhǔn)值,磷化氫、磷酸霧參考執(zhí)行上海市《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/933-2015)的排放限值,具體標(biāo)準(zhǔn)見下表。表20大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)序號值(mg/m3)1廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣23456789氨/2惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)/(DB31/933—2015)/2燃氣鍋爐廢氣本項目擬設(shè)燃氣鍋爐供熱,根據(jù)《廣東省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于2021年工業(yè)爐窯、鍋爐綜合整治重點工作的通知》(粵環(huán)函[2021]461號)中“四嚴收燃氣鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)”的相關(guān)要求及珠海市相關(guān)要求,本項目氮氧化物執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44765-2019)表3大氣污染物特別排放限值,其他污染物執(zhí)行鍋爐污染物排放執(zhí)行)表2新建鍋爐大氣污染物排放濃度限值。表21《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44765-2019)污染物項目燃氣鍋爐限值污染物排放監(jiān)控位置顆粒物20煙囪或煙道二氧化硫50氮氧化物*50煙氣黑度(格林曼黑度,級)≤1煙囪排放口注:本項目新建排氣筒周邊200m半徑范圍內(nèi)最高建筑為生產(chǎn)管理棟(41.4m),鍋爐排氣筒高度為44.4m,排氣筒高度滿足《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB44765-2019)中“新建鍋爐房的煙囪周圍半徑200m距離內(nèi)有建筑物時,其煙囪應(yīng)高出最高建筑物3m以上”的要求。3食堂油煙本項目設(shè)置約20個基準(zhǔn)灶頭,根據(jù)《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)(試行)》(GB18483-2001)表1飲食業(yè)單位的規(guī)模劃分,屬于大型規(guī),食堂油煙排放執(zhí)行《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)(試行)》(GB18483-2001)表2飲食業(yè)單位的油煙最高允許排放濃度和油煙凈化設(shè)施最低去除效率中的大型規(guī)模標(biāo)準(zhǔn),即油煙最高允許排放濃度為2.0mg/m3,凈化設(shè)施最低去除效率85%。表22本項目食堂油煙污染物排放標(biāo)準(zhǔn)序號污染物名稱最高允許排放濃度(mg/m3)標(biāo)準(zhǔn)來源1油煙2.0《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)(試行)》(GB18483-2001)大型規(guī)模排放標(biāo)準(zhǔn)二、水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)本項目廢水經(jīng)廠內(nèi)自建污水站處理后排入市政污水處理廠。本項目廢水?dāng)M排入橫琴水質(zhì)凈化廠,橫琴水質(zhì)凈化廠預(yù)計2024年底建成運行,本項目2024年8月試生產(chǎn),因此在橫琴水質(zhì)凈化廠投運前,依據(jù)園區(qū)市政管網(wǎng)規(guī)劃情況,本項目計劃于2024年12月底前廢水排入珠海城市排水公司南區(qū)水質(zhì)凈化廠,待橫琴水質(zhì)凈化廠建成投運后,廠內(nèi)工業(yè)污水再轉(zhuǎn)排至橫琴水質(zhì)凈化廠。2020年頒布的《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)部分指標(biāo)嚴格于廣東省《水污染物排放限值》(DB44/26-2001),因此本項目廢水排放執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)表1的間接排放限值,《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》未規(guī)定的BOD、動植物油執(zhí)行廣東省《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)。同時需滿足橫琴水質(zhì)凈化廠、南區(qū)水質(zhì)凈化廠二期的納管標(biāo)準(zhǔn)要求。具體指標(biāo)見下表。表23水污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GBpH綱 —— 5(LAS) —33—三、噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)1施工期表24《建筑施工場界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12523-2011單位:dB(A晝間夜間70552營運期3類標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)值見下表。表25《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GBl2348-2008)廠界外聲環(huán)境功能區(qū)類別晝間夜間365dB(A)55dB(A)四、固體廢物執(zhí)行《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》(2020年4月29日修訂)中有關(guān)規(guī)一般工業(yè)固廢的貯存、處置執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18599-2020)中的有關(guān)規(guī)定。危險廢物的貯存、處置執(zhí)行《危險廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)(2013年6月8日修訂)中的規(guī)定。總量控制指標(biāo)一、污染物排放總量控制原則根據(jù)《國務(wù)院關(guān)于印發(fā)“十三五”節(jié)能減排綜合工作方案的通知》(國發(fā)[2016]74號確定“十三五”各地區(qū)化學(xué)需氧量(CODcr)、氨氮(NH3-N)、二氧化硫(SO2)、氮氧化物(NOx)和重點行業(yè)、重點區(qū)域揮發(fā)性有機物(VOCs)排放總量進行控制。二、建設(shè)項目污染物排放總量核算與申請1、水污染物排放總量控制指標(biāo)本項目排放污染物因子中,納入?yún)^(qū)域總量控制要求和建議的主要廢水污染物為化學(xué)需氧量(CODcr)、氨氮(NH3-N)。本項目生產(chǎn)廢水排放量為4976m3/d,年運行355天,廢水排放總量為1766480m3/a。本項目的化學(xué)需氧量(CODcr)、氨氮(NH3-N)按《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB18918-2002)一級A標(biāo)準(zhǔn)以及廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《水污染排放限值》(DB4426-2001)第二時段一級標(biāo)準(zhǔn)中較嚴值,即CODcr的排放濃度為40mg/L,NH3-N的平均排放濃度為5mg/L,則本項目經(jīng)污水廠處理后,CODcr的排放量約為70.66t/a,NH3-N的排放量約為8.83t/a。2、大氣污染物排放總量控制指標(biāo)本項目排放污染物因子中,納入?yún)^(qū)域總量控制要求和建議的主要為廢氣中的二氧化硫(SO2)、氮氧化物(NOx)、煙粉塵(顆粒物)和揮發(fā)性有機物(VOCs)、砷及其化合物。根據(jù)《關(guān)于進一步加強重金屬污染防控的意見》(環(huán)固體〔2022〕17號)本項目屬于集成電路制造行業(yè),為非重點行業(yè),因此砷及其化合物不需要申請總量。3、固體廢物排放總量控制指標(biāo)本項目固體廢物不自行處理排放,所以不設(shè)置固體廢物總量控制指標(biāo)。具體核算過程參見工程分析專項,本項目污染物排放總量見下表。表26項目主要污染物排放總量一覽表總量控制因子主要污染物排放總量(t/a)本項目是否需要總量控制指標(biāo)CODcr70.66是NH3-N8.83是煙粉塵(顆粒物)是NOx是SO2是揮發(fā)性有機物37.38是砷及其化合物0.0030否施工期環(huán)境保護措施1施工期大氣環(huán)境保護對策本項目施工期間的大氣污染源主要為施工揚塵。為減少本項目在施工期間對環(huán)境空氣的影響,在施工過程中加強內(nèi)部管理,健全環(huán)境管理制度,采用先進的生產(chǎn)工藝和治理技術(shù),落實施工場地的抑塵措施,防止和減少工地周邊的揚塵污染。按照《珠海市防治揚塵污染管理辦法》中防治揚塵污染的具體措施執(zhí)行,主要有:1)易產(chǎn)生揚塵的土方工程施工時,應(yīng)當(dāng)采取灑水抑塵措施。2)氣象預(yù)報風(fēng)速達到5級時,易產(chǎn)生揚塵的工程應(yīng)當(dāng)停止施工。裝卸建筑散體材料或者在施工現(xiàn)場粉塵飛揚的區(qū)域,應(yīng)當(dāng)采取遮擋圍蔽、噴水降塵等措施;裸地停車場應(yīng)當(dāng)采取灑水抑塵措施。3)作業(yè)現(xiàn)場各類廢棄物、建筑垃圾要做到當(dāng)天清理;工程渣土需要臨時存放的,應(yīng)當(dāng)采用覆蓋措施。4)拆除工程完工后30日內(nèi)不能開工的建設(shè)用地,建設(shè)單位應(yīng)當(dāng)采取覆蓋、地面硬化、簡易綠化措施。5)加強施工期間運輸揚塵污染的控制。施工車輛出入施工現(xiàn)場必須采取措施防止泥土帶出現(xiàn)場,避免污染周邊道路環(huán)境,施工場地應(yīng)配備車輪洗刷設(shè)備或在離開施工場地時用軟管沖洗;運送易產(chǎn)生揚塵物質(zhì)的車輛應(yīng)實行密閉運輸,避免在運輸過程中產(chǎn)生揚塵或泄漏;對區(qū)內(nèi)的運輸?shù)缆范ㄆ跒⑺瑏硗诟魇┕龅氐目ㄜ嚿系亩鄩m物料均應(yīng)用帆布覆蓋;選擇對周圍環(huán)境影響較小的運輸路線:應(yīng)限制施工區(qū)內(nèi)運輸車輛的速度,將卡車在施工場地的車速控制在10km/h,推土機的推土速度控制在8km/h內(nèi)。6)在施工工地周邊100%圍擋、工地砂土100%覆蓋、出入車輛100%沖洗、施工現(xiàn)場地面100%硬化、土方開挖100%濕法作業(yè)、渣土車輛100%密閉運輸。采取以上措施后,可有效地降低揚塵,對環(huán)境空氣質(zhì)量影響較小。2施工期水環(huán)境保護對策施工建設(shè)期的正常排水及雨天產(chǎn)生的地面徑流,將攜帶大量污染物和懸浮固體,隨意排放將對環(huán)境造成污染。建議建設(shè)單位督促施工單位在施工中重視這一問題,并采取下列措施:(1)盡量減少物料流失、散落和溢流現(xiàn)象,減少廢水產(chǎn)生量;(2)施工期生活污水不得以滲坑、滲井或漫流方式排放;(3)建造集水池、沉砂池、排水溝等水處理構(gòu)筑物,對工地廢水進行處理;(4)建造簡易化糞池等必要的污水處理設(shè)施,對工地生活污水加以處理;(5)散料堆場四周用石塊或水泥砌塊圍出高0.5m的防沖墻,防止散料被雨水沖刷流失(6)生活污水和施工廢水定期清掏。3地下水質(zhì)影響分析及防護措施本項目施工期的施工廢水和生活污水如處理不當(dāng),會發(fā)生滲漏,會使包氣帶土壤和地下水水質(zhì)受到污染。本項目擬采取的地下水防護措施有:1)施工臨時辦公區(qū)生活污水集中收集處理,不會對地下水水質(zhì)產(chǎn)生影響;2)項目產(chǎn)生的污水嚴禁滲坑、滲井或漫流方式排放;3)施工產(chǎn)生的泥漿污水和地表徑流污水在收集后經(jīng)臨時沉沙池處理;4)機械設(shè)備冷卻與沖洗污水需要在現(xiàn)場設(shè)置隔油隔渣沉淀池,施工場地設(shè)置的沉淀池、隔油池、化糞池等池體進行重點防滲處理,下水管線設(shè)置過濾網(wǎng),對池體均采用防腐鋼筋混凝土結(jié)構(gòu),混凝土中添加適當(dāng)外加劑,增強抗?jié)B、抗裂能力,適當(dāng)延長伸縮縫間距,基礎(chǔ)防滲層采用2mm厚高密度聚乙烯或至少2mm厚的其他人工材料,保證滲透系數(shù)≤10-10cm/s;5)施工基坑嚴格管理,做好防滲防漏處理,以防污染土壤和地下水環(huán)境,基坑肥槽回填須按相關(guān)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進行施工和質(zhì)量檢驗,不用弱透水性材料回填密實,防止降雨、地表污水入滲;6)盡量避免雨季施工,縮短工期,使用干化速度快的混凝土產(chǎn)品,在建筑物料中不能添加有毒有害添加劑。在挖掘現(xiàn)場設(shè)截斷槽,以防止雨水從暴露的土壤表面流出。本項目施工期在采取上述措施后,不會對地下水環(huán)境產(chǎn)生影響。4施工期聲環(huán)境保護對策施工期的噪聲影響是短期的、項目建成后,施工期噪聲的影響也就此結(jié)束。但是由于施工機械均為強噪聲源,施工期間噪聲影響范圍較大,因此必須采取以下措施,嚴格管理。(1)合理安排高噪聲施工作業(yè)的時間,每天22點至次日凌晨6點禁止高噪聲機械作業(yè),并減少用哨音調(diào)度指揮,盡可能減少對周圍地區(qū)的影響。嚴格控制產(chǎn)生環(huán)境噪聲污染的建筑施工作業(yè)噪聲,如需夜間施工必須另行申請并取得有關(guān)環(huán)保部門的批準(zhǔn)。(2)嚴格執(zhí)行《建筑施工場界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12523-2011噪聲限值見下表。表27建筑施工場界環(huán)境噪聲排放限值單位:dB(A)晝間夜間7055(3)工地周圍設(shè)立圍護屏障,同時電可在高噪聲設(shè)備附近加設(shè)可移動的簡易隔聲屏,盡可能減少設(shè)備噪聲對環(huán)境的影響。(4)在工地布置時應(yīng)考慮攪拌機等高噪聲設(shè)備安置在離敏感點相對較遠的一側(cè),運輸車輛的進出口也建議安排在該側(cè),并規(guī)定進、出路線,使行駛道路保持平坦,減少車輛的顛簸噪聲和產(chǎn)生振動。(5)加強施工區(qū)附近交通管理,避免交通堵塞而增加的車輛鳴號。(6)施工單位應(yīng)按照相關(guān)法律法規(guī)的要求做好施工期噪聲污染的防治工作,盡可能降低項目施工噪聲對周圍環(huán)境的影響,必須合理安排施工時間并采取相應(yīng)的防治措施。5施工期固體廢物環(huán)境保護對策項目在施工期間,將產(chǎn)生一定的建筑垃圾、工程渣土等。①施工現(xiàn)場工程渣土集中堆放,100%采取覆蓋措施;不需要的及時委托有資質(zhì)的單位將運至指定的受納地點。②建設(shè)工程竣工后,施工單位應(yīng)當(dāng)將工地的剩余建筑垃圾、工程渣土處理干凈。③建筑垃圾、工程渣土分類堆放,臨時儲運場地四周應(yīng)當(dāng)設(shè)置1米以上且不低于堆土高度的遮擋圍欄,并有防塵、滅蠅和防污水外流等防污染措施。④有回收利用價值的應(yīng)加以回收利用。⑤生活垃圾集中收集,委托環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運。6小結(jié)本項目施工期應(yīng)加強對施工現(xiàn)場的管理,在采取有效的防護措施后,可最大限度地降低施工期間對周圍環(huán)境的影響。運營期環(huán)境影響和保護措施4廢氣環(huán)境影響和保護措施本項目產(chǎn)生的廢氣主要有一般廢氣排風(fēng)、酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣、含砷廢氣、鍋爐廢氣、食堂廢氣、化學(xué)品供應(yīng)間廢氣。其中,一般廢氣排風(fēng)直接經(jīng)屋頂排氣筒排放;酸性廢氣經(jīng)堿液噴淋塔處理系統(tǒng)進行處理后,經(jīng)46.4m排氣筒排放;堿性廢氣經(jīng)酸液噴淋塔處理系統(tǒng)進行處理后,經(jīng)46.4m排氣筒排放;有機廢氣經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)處理后,經(jīng)46.4m排氣筒排放;含砷廢氣經(jīng)干式吸附處理后,經(jīng)46.4m排氣筒排放;其他工藝尾氣經(jīng)燃燒+水洗式等POU凈化裝置處理后產(chǎn)生的尾氣匯入酸性廢氣處理系統(tǒng)處理后,最終經(jīng)46.4m排氣筒排放;每臺鍋爐設(shè)置超低氮燃燒器,鍋爐廢氣達標(biāo)后經(jīng)每臺鍋爐設(shè)置的排氣筒經(jīng)44.4m排氣筒排放,食堂油煙經(jīng)油煙凈化器處理后,經(jīng)23m排氣筒排放;化學(xué)品供應(yīng)間廢氣經(jīng)活性炭處理后,經(jīng)26m排氣筒排放。本項目廢氣產(chǎn)排污環(huán)節(jié)、類別、污染物種類、污染物產(chǎn)生濃度和產(chǎn)生量、治理措施、廢水排放量、污染物排放情況等詳見工程分析專項。本項目生產(chǎn)廢氣分類收集,處理后排入大氣,采用濕法廢氣處理工藝產(chǎn)生的廢水排入廢水處理系統(tǒng),各類廢氣及處理系統(tǒng)見圖3,各工藝產(chǎn)生的廢氣收集系統(tǒng)見圖4。圖3本項目生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)圖圖4本項目生產(chǎn)廢氣收集系統(tǒng)示意圖1酸性廢氣處理系統(tǒng)(1)酸性廢氣處理系統(tǒng)簡介酸性廢氣處理包括其他酸性廢氣和工藝尾氣兩部分。主要來源于清洗工序。主要污染物為氟化物、氯化氫、NOx、硫酸霧、磷酸等。b)G1-2其它工藝尾氣主要來源于熱氧化、CVD、光刻中曝光以及干法刻蝕工序,主要污染物為氟化物、氯化氫、NOx、氯氣、NH3、磷化氫、硅烷等。本項目工藝尾氣經(jīng)電熱水洗/等離子水洗/燃燒水洗式POU裝置(本地處理系統(tǒng))處理,處理后與酸性廢氣排入酸性廢氣處理系統(tǒng)處理后,經(jīng)酸性廢氣排氣筒排放。酸性廢氣處理系統(tǒng)主要由廢氣洗滌塔、排風(fēng)機、排氣管和加藥系統(tǒng)等組成。廢氣先由排氣管道輸入廢氣洗滌塔,吸收液為氫氧化鈉溶液,堿液經(jīng)回圈噴灑而下,利用氫氧化鈉溶液作吸收液凈化酸霧廢氣。酸性廢氣處理流程如下圖所示。圖5酸性廢氣處理流程圖本項目新建酸性廢氣處理設(shè)施如下表。表28新建酸性廢氣處理設(shè)施簡況廢氣種類處理設(shè)施數(shù)量單套處理能力(m3/h)是否滿足處理要求酸性廢氣處理系統(tǒng)堿液洗滌塔14套(12用2備)120000是(2)POU凈化裝置簡介本項目其他工藝尾氣的POU凈化裝置主要采用電熱水洗/燃燒水洗/等離子水洗式POU裝置處理三種處理方式,具體如下表所示。表29其他工藝尾氣處理措施一覽表工作原理:通過天然氣、純氧/壓縮空氣燃燒或電加熱方式,在反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生800~1400℃的高溫。使有害氣體在其中充分燃燒/分解,產(chǎn)生固體物質(zhì)或可溶于水的氣體,再由水洗吸收,廢氣排入酸性廢氣處理系統(tǒng),廢水排入含氟/酸堿廢水處理系統(tǒng)處理。根據(jù)燃燒處理物質(zhì)的不同,設(shè)置不同的反應(yīng)溫度,純氧燃燒溫度一般位于1200~1400℃,壓縮空氣燃燒溫度一般位于800~1200℃。本項目電熱水洗/等離子水洗式POU裝置涉及的主要化學(xué)反應(yīng)式如下:表30其他工藝尾氣處理過程一覽表(3)技術(shù)可行性分析本項目使用《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ855-2017)中規(guī)定的“堿液噴淋洗滌吸收法”處理刻蝕、酸洗等產(chǎn)生的酸性廢氣,屬于可行技術(shù)。2堿性廢氣處理系統(tǒng)(1)堿性廢氣處理系統(tǒng)簡介堿性廢氣主要來源于光刻工序中的顯影、濕法刻蝕等,主要污染物為氨氣。本項目生產(chǎn)廠房為潔凈廠房,設(shè)備機臺與廢氣管道連接,產(chǎn)生的廢氣能全部收集進入堿性廢氣處理系統(tǒng)。堿性廢氣處理系統(tǒng)主要由廢氣洗滌塔、通風(fēng)機、排氣管和加藥系統(tǒng)等組成。廢氣先由排氣管道輸入廢氣洗滌塔,酸液經(jīng)回圈噴灑而下,形成霧狀,含堿廢氣經(jīng)廢氣洗滌塔處理,利用硫酸溶液作中和吸收液凈化含堿廢氣。堿性廢氣處理流程見下圖。圖6堿性廢氣處理流程圖項目新建酸液洗滌塔對堿性廢氣進行處理,處理后由堿性廢氣排氣筒排放,本項目新建堿性廢氣處理設(shè)施如下表。表31新建堿性廢氣處理設(shè)施簡況廢氣種類處理設(shè)施數(shù)量單套處理能力(m3/h)是否滿足處理要求堿性廢氣處理系統(tǒng)酸液洗滌塔6套(4用2備)70000是(2)技術(shù)可行性分析工藝堿性廢氣主要污染物為氨,采用硫酸進行噴淋,處理過程發(fā)生如下反應(yīng):2NH3+H2SO4→(NH4)2SO4本項目使用《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ855-2017)中規(guī)定的“酸液噴淋洗滌吸收法”處理顯影、堿洗等產(chǎn)生的堿性廢氣,屬于可行技術(shù)。3有機廢氣處理系統(tǒng)(1)有機廢氣處理系統(tǒng)介紹本項目有機廢氣主要來源于光刻工序中的涂膠、曝光后烘焙、有機洗、堅膜、去膠、濕法刻蝕工段以及化學(xué)機械拋光干燥洗等過程,主要污染物為VOCs。項目車間為潔凈廠房,項目機臺與廢氣管道連接,產(chǎn)生的廢氣能全部收集進入有機廢氣處理系統(tǒng),項目擬設(shè)置沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)對有機廢氣進行處理。有機廢氣處理系統(tǒng)主要由風(fēng)機、內(nèi)裝沸石的轉(zhuǎn)輪、熱交換器和濃縮氣體燃燒器等組成。轉(zhuǎn)輪由一組電機帶動旋轉(zhuǎn),通過機械變換,使轉(zhuǎn)速控制在每小時5-6轉(zhuǎn),整個系統(tǒng)通過吸附—解析—冷卻三個過程,周而復(fù)始,動態(tài)循環(huán)。低濃度廢氣通過沸石吸附、解吸后進入燃燒器燃燒后排放。本項目擬設(shè)置沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)對有機廢氣進行處理,處理后排氣筒排放。本項目新建堿性廢氣處理設(shè)施如下表。表32新建有機廢氣處理設(shè)施簡況廢氣種類處理設(shè)施數(shù)量單套處理能力(m3/h)是否滿足處理要求有機廢氣處理系統(tǒng)沸石轉(zhuǎn)輪+焚燒塔6套(4用2備)100000是沸石轉(zhuǎn)輪工作原理:含VOCs廢氣進入沸石轉(zhuǎn)輪,VOCs大部份被轉(zhuǎn)輪上的沸石吸附,吸附后的廢氣排入廢氣排氣筒。被沸石吸附的大部分VOCs氣體則進入再生區(qū)(RegenerationZone),在此區(qū)完成脫附再生,該過程主要是利用高溫空氣將沸石加以脫附(Desorption)再生。經(jīng)過再生后,沸石吸附的廢氣經(jīng)脫附而成為高濃度的VOCs廢氣。這部分高濃度的VOCs廢氣進入燃燒器,以直熱式(燃氣式)焚化的方式,將有機組份轉(zhuǎn)化為無害的CO2和水,以達到去除VOCs的目的。本項目有機廢氣沸石濃縮轉(zhuǎn)輪處理流程見下圖。圖7有機廢氣處理流程圖(2)技術(shù)可行性分析本項目使用《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ855-2017)中規(guī)定的“燃燒法”(沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒)處理涂膠、前烘、有機洗等產(chǎn)生的有機廢氣,屬于可行技術(shù)。4含砷廢氣處理系統(tǒng)本項目含砷廢氣主要來源于離子注入工序,主要污染物為砷化氫、磷化氫等,先排入干式吸附POU凈化裝置(PointOfUse裝置)處理,處理后再排入含砷廢氣處理裝置(高效過

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