Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料

ColorFilter

基礎(chǔ)培訓資料Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第1頁。第一章CF的基本原理和結(jié)構(gòu)CF（ColorFilter）是用來實現(xiàn)彩色顯示的主要器件，在色光中存在三種最基本的色光，它們的顏色分別為紅色、綠色和藍色。這三種色光以不同比例混合，幾乎可以得到自然界中的一切色光；而且這三種色光具有獨立性，其中一種原色不能由另外的原色光混合而成，由此，我們稱紅、綠、藍為色光三原色。在TFT-LCD中，ARRAY基板上每個TFT控制一個亞像素（也叫子像素，Sub-pixel)上方的液晶分子的扭曲程度，以此來調(diào)整亞像素的透光量；每三個亞像素分別透過紅光、綠光和藍光，并合成一個顯示像素（Pixel)。由于每個像素透過的紅光、綠光和藍光的比例都是不同的，因此合成的顏色也是不同的，從而形成彩色顯示。液晶盒的基本結(jié)構(gòu)見下圖所示：其中CF的基本構(gòu)成為BM層，RGB色層，OverCoat層，ITO導電層及支撐盒厚的隔墊物。Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第2頁。玻璃基板配向膜偏光片玻璃基板偏光片液晶層彩色層薄膜晶體管黑矩陣保護層ITO導電膜第一章CF的基本原理和結(jié)構(gòu)Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第3頁。第二章CF制法分類和工藝流程彩膜的制造工藝一般有染色法、電沉積法、印刷法、噴墨法和顏料分散法。各工藝的簡單流程如下圖所示：染色法電沉積法印刷法顏料分散法GelatinhνITOResisthν感光性colorResisthν噴墨法Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第4頁。比較項目染色法電沉積法印刷法噴墨法顏料分散法著色劑染料顏料顏料染料/顏料顏料成膜膜厚1.0~2.5?1.5~2.5?1.0~3.0?1.0~2.5?1.5~2.5?分辨率10~20?10~20?50~80?10~20?10~20?色特性非常優(yōu)秀普通優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀耐熱性普通優(yōu)秀優(yōu)秀普通優(yōu)秀耐光性普通非常優(yōu)秀非常優(yōu)秀普通非常優(yōu)秀耐化學性

不好優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀平坦性優(yōu)秀非常優(yōu)秀不好普通優(yōu)秀大型化的可能性優(yōu)秀普通不好不好優(yōu)秀第二章CF制法分類和工藝流程各種制法的特點比較見下表。Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第5頁?，F(xiàn)在國際上被廣泛使用的是顏料分散法。依據(jù)不同顯示模式顏料分散法的工藝流程也有所區(qū)別，見下表所示：第二章CF制法分類和工藝流程ModeProcessFlowChartTNMVAPVAIPSFFSBMRGBITOPSBMRGBITOPSRibBMRGBOCPSITOEtchingRearITOBMRGBOCPSRearITOBMRGBOCPSColor-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第6頁。第二章CF制法分類和工藝流程Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第7頁。第二章CF制法分類和工藝流程Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第8頁。TN模式的制造工藝是最基礎(chǔ)的，下面詳細介紹其工藝流程：第二章CF制法分類和工藝流程曝光PW玻璃清洗顯影R光阻涂布RPR+PRBM光阻涂布顯影G光阻涂布GPR曝光曝光顯影B光阻涂布BPR曝光顯影O/CO/CSputteringITOPS光阻涂布PSPR曝光顯影CF成品Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第9頁。第二章CF制法分類和工藝流程ITEMMainProcessConditionControlItemCleaningType:Brush，CJ，UV；Flow；Pressure；ParticleNumberCoatingCoatingType:SpinorSpin/SlitorSlit；CoatingSpeed；FilmThickness&UniformityPreBakeTemperature；Time；PRStiffnessExposureGap；Dose；Temperature；Accuracy,TotalPitchDeveloperChemicalType&Concentration:KOH,Na2CO3；

Temperature；Time；PRresidualPostBakeTemperature；Time；AdhesiveForceBetweenGlassandPRSputteringTemperature；Pressure；Power；VacuumlevelFilmThickness;Transmittance;ResistanceColor-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第10頁。No設(shè)備中文名稱1Coater涂布機2Exposure曝光機3Sputter濺射機4

Cleaner清洗機5Developer顯影機6DeveloperConcentrationAdjustUnit顯影液濃度調(diào)整裝置7HP/CP熱盤/冷盤(前烘設(shè)備)8PostBake后烘設(shè)備9Repair維修機10PatternRepair圖形修正機11Rework再加工設(shè)備12ReworkMarking再加工記數(shù)器13Titler打標機14UVAsher紫外灰化設(shè)備15EximerUV紫外清洗設(shè)備16GlassCornerCut玻璃加工機17CassetteCleaner玻璃載盒清洗機18MaskCleaner掩膜板清洗機第三章CF主要設(shè)備介紹:Process裝置Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第11頁。No設(shè)備中文名稱19ThinfilmDifferenceMeasurement薄膜段差計20FilmThicknessConveyor膜厚檢查傳送機21CD&TP精密測長機22AOI全數(shù)檢查機23Review,Micro外觀檢查機24MaskInspection掩膜板檢查機25MCPD/OD顯微分光光度計26PSInspection隔墊物高度檢查機27SheetResistance方塊電阻測量器28Macro,VisualInspection目視檢查機29OrientationFlatInspection方向別平坦度檢查機30GlassCrackInspection玻璃裂痕檢查機31Stocker,loader,Unloader,AGV玻璃載荷搬送系統(tǒng)32Unpack(DensPack)拆包機33Conveyor,Robot玻璃搬送系統(tǒng)34CassetteMGV玻璃載荷手動搬送車35SheetMGV玻璃手動搬送車36Cassette,WireCassette玻璃載荷第三章CF主要設(shè)備介紹:檢測和物流裝置Color-Filter-基礎(chǔ)培訓資料全文共13頁，當前為第12頁。No設(shè)備No設(shè)備37AFM(原子力顯微鏡)55SCRATCHTESTER38FE-SEM(場發(fā)射掃描電鏡）56光學顯微鏡39FIB-SEM(聚焦粒子束掃描電鏡)57実體燎微鏡40EDX(x熒光光譜儀)58實驗用表面粗糙器41恒溫恒濕器59實驗用膜厚測定器42低溫試驗器60SmallMCPD43熱處理器61顕微ＩＲ44熱處理器(N2)62電子天平45熱衝擊實驗機63HeaterPHH-20146Xeweatermeter64接觸角測定器47UVLamp(254nm)65MULTIHOTPLATE48曝光機66XenonFadeMeter49DYNAMIC硬度計67Refrigerator50IONSPUT