單靶鍍膜工藝操作規(guī)范

單靶鍍膜工藝操作標準適用范圍本規(guī)程規(guī)定了單靶鍍膜操作的技術要求和操作步驟。技術要求2.1鋁靶的直徑≥60mm2.2壓縮空氣的壓強應到達0.4～0.6Mpa；2.3鍍膜操作室的室溫小于35℃2.4鍍室內清潔，無灰塵、異物。操作步驟3.1工作準備翻開壓縮空氣閥門，檢查空氣壓強是否到達0.4～0.6Mpa。翻開冷卻循環(huán)水閥門，同時檢查通水狀況是否良好，各水管的接頭和閥門有無泄漏。檢查氬氣、氮氣兩種氣體的聯(lián)接狀況，看接頭是否有泄漏,分別翻開氬氣、氮氣的總閥。3.2開機開啟本機電源。將機箱控制面板上的電源開關置于“開〞的位置，手動狀態(tài)下，翻開“機械泵〞，延時1分鐘后，壓差閥自動翻開，按下“前級閥〞按鈕，當電離計顯示數(shù)值低于8Pa時，開“機械泵擴散泵〞，擴散泵加熱。擴散泵加熱溫度超過160℃后，方可進行正常的操作。緩慢調節(jié)氬氣、氮氣減壓閥，得氬氣、氮氣的低壓表讀數(shù)控制在0.1-0.2MPa之間。翻開質量流量計顯示器電源開關。翻開計算機電源，輸入工藝卡片中規(guī)定的工藝參數(shù)。打至“放氣〞按鈕，放完氣后打到“停〞，然后翻開鍍室門。3.3裝管翻開轉架電源開關，將合格內管插入轉架插桿。裝管時，預先戴好一次性手套，外層再戴上干凈的細紗手套，戴好之后不許觸摸其他物品，如門、車把、桌椅等。玻璃管全部插滿插桿后，觀察每支管子的自轉狀態(tài)，確定玻璃管間無碰撞后，關閉轉架電源開關，關閉鍍室門。3.4粗抽真空將“前級〞撥到“停〞撥到“粗抽〞系統(tǒng)進入“粗抽〞，復合計開始顯示讀數(shù)。3.5精抽真空當復合計顯示值小于8Pa時，將按鈕由“粗抽〞撥到“停〞然后到“前級〞再到“高閥〞。3.6濺射鍍膜當高真空到達工藝設定〔復合計顯示值〕后，將按鈕到達“光欄〞按下“氬氣〞開關將質量流量計到達“自動〞“閥控〞。開始進氬氣。翻開轉架旋轉電源開關、慢慢調至80±10V。當電離計顯示到工藝壓強時，翻開靶電源，調節(jié)電流旋鈕至規(guī)定電流值。直到電壓到達400V，按下“運行〞開始鍍膜。當鍍膜機處于濺射工作狀態(tài)時，操作工隨時觀察設備的運行狀態(tài)，注意各儀器儀表顯示的數(shù)值變化，嚴格按要求填寫?鍍膜操作記錄?。3.7裝配支架裝填支架前，檢查支架清洗是否干凈，焊接是否牢固。支架裝填到外管的圓頭部，裝填時應防止劃傷外管的內壁。裝填支架必需使用專用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接觸支架以免造成污染。3.8終止濺射鍍膜計算機程序運行到1秒后，執(zhí)行如下操作：當鍍室內真空度到達9.0×10-2Pa以上后，將“高閥〞關閉，到達“前級〞狀態(tài)，將按鈕到達“放氣〞放完氣后到達“停〞3.9出管取管：手握已鍍膜管下部垂直往上提，使管口脫離轉架軸，將鍍膜管移出鍍室。內外管裝配：手握已鍍膜內管，管口向上，管身豎直放入外管中；放入時應注意防止內管的圓頭劃傷外管內壁，使其輕緩下落，直至接觸到支架。內管裝入外管后，按住內管端口往下輕壓，使支架包住圓頭。3.10連續(xù)工作時重復3.3～3.9的操作步驟。3.11產(chǎn)品經(jīng)自檢合格后，由操作工在內管管口部位印上工號，轉下工序。3.12關機當鍍膜機要停止工作時，執(zhí)行如下機程序：在鍍膜機停止工作前，先關鍍室門，翻開“粗抽〞按鈕，將鍍室真空度抽到8Pa以下。然后將“粗抽〞撥到“停〞撥到“前級〞，將按鈕“機械泵擴散泵〞撥到“機械泵〞，冷卻〔60℃之后〕關掉“前級〞關掉“關兩氣總閥〔高壓、低壓〕。關循環(huán)水，關電源總開關。假設設備關機后長期停放，那么需放凈水套