GBT 25915.2-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測國家市場監(jiān)督管理總局國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會I V 12規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 14監(jiān)測計(jì)劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn) 25按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度 3附錄A(資料性)制定監(jiān)測計(jì)劃考慮事項(xiàng) 4附錄B(資料性)設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的考慮事項(xiàng) 7參考文獻(xiàn) Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第2部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下部分：本文件代替GB/T25915.2—2010《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合a)修改了范圍(見第1章，2010年版的第1章);b)術(shù)語和定義中只保留了原來的檢測、監(jiān)測2個(gè)術(shù)語，刪除了其他6個(gè)(見2010年版的第3章),第4章);——2010年首次發(fā)布為GB/T25915.2—2010;VGB/T25915是采用ISO14644系列國際標(biāo)準(zhǔn)，各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致，擬由15個(gè)部分——第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測。目的是指導(dǎo)監(jiān)測粒子污染，以避免可能產(chǎn)生的污染——第3部分：檢測方法。目的是指導(dǎo)對潔凈室內(nèi)各種污染——第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級。目的是——第10部分：按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級。目的是區(qū)分表面——第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求。目的是提出納米級別的粒子污染的檢測——第13部分：達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔。目的是提出潔凈室內(nèi)——第14部分：按粒子污染濃度評定設(shè)備適用性。目的是通過對相關(guān)——第15部分：按化學(xué)污染物濃度評定設(shè)備及材料的適合性。目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔——第16部分：提高潔凈室和空氣凈化裝置能效。目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗。除了首次或者定期按照GB/T25915.1—2021進(jìn)行潔凈室或者潔凈區(qū)分級之外，本文件強(qiáng)調(diào)需要本文件根據(jù)預(yù)定用途的風(fēng)險(xiǎn)評估確定監(jiān)測計(jì)劃的要求。獲得的數(shù)據(jù)提供了1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級用戶設(shè)定的參數(shù)值，偏離正常條件時(shí)可給出早期預(yù)警。當(dāng)超過該值時(shí)，宜加強(qiáng)關(guān)注或采取糾正2監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮所要求的空氣潔凈度水平、關(guān)鍵位置以及對潔凈室和潔行定期靜態(tài)分級測試或模擬運(yùn)行情況的動態(tài)分級測試。其他影響——確定可能影響潔凈室或潔凈區(qū)保持其空氣潔凈度能力的因素(該潔凈度是按粒子濃度劃分4.3.8按GB/T25915.1—2021中5.1的規(guī)定定期劃分潔凈室或潔凈區(qū)空氣潔凈度(按粒子濃度)的需3監(jiān)測所用儀器應(yīng)滿足監(jiān)測工作要求，應(yīng)具備有效的校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)頻度和方法應(yīng)滿足現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)如補(bǔ)救措施對設(shè)施和(或)其運(yùn)行有較大改動，應(yīng)按GB/T25915.1—2021進(jìn)行分級測試。且監(jiān)測4A.2.2包括人工測試和(或)自動監(jiān)測在內(nèi)的測試技術(shù)。A.2.8采樣系統(tǒng)對工藝或工藝環(huán)境可能產(chǎn)生的不利影響方面的考慮(例如，在小型密閉環(huán)境中粒子計(jì)A.2.11在清潔工作進(jìn)行過程中及在清潔工作剛剛完成后，清潔工作或維護(hù)工作的范圍及(或)頻度對5A.2.12與工藝有關(guān)的、可能在監(jiān)測位置處影響環(huán)境條件的事件。這類事件至少包括生產(chǎn)過程或維護(hù)A.2.16評估由設(shè)備形成的粒子源的可能。例如運(yùn)A.4.2依據(jù)對下列系統(tǒng)因素的評估決定系統(tǒng)A.4.4每個(gè)空氣樣本的采集頻度和時(shí)長(由采樣量決定)。A.4.5采樣探頭形式與朝向(如等動力或非等動力采樣)。6A.5風(fēng)速與風(fēng)量監(jiān)測A.5.1規(guī)定風(fēng)速或風(fēng)量的監(jiān)測系統(tǒng)，宜考慮A.5.2和A.5.3所述內(nèi)容。A.5.2所選定的風(fēng)速或風(fēng)量的測量方法。A.5.3測量裝置的位置，測量值對被測系統(tǒng)要有代表性。7設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值需慎重考慮，以確保它們能作為啟動應(yīng)對措施——對監(jiān)測參數(shù)合理的正常波動如何管控?例如，時(shí)延的合理性及換氣次數(shù)預(yù)估系統(tǒng)的算法；為了設(shè)定壓差的預(yù)警值和干預(yù)值，應(yīng)設(shè)定其正常工作范圍，包括開門設(shè)計(jì)氣閘室是為了幫助人員或材料從某潔凈室或潔凈區(qū)運(yùn)行至另一個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)過程中維持壓差。氣閘室的設(shè)計(jì)或運(yùn)行使門不能同時(shí)開啟。當(dāng)門有一扇開著時(shí)，氣閘室對這些正常變化應(yīng)進(jìn)行測試并記錄在案，以便合理地設(shè)定壓力預(yù)警值和壓力干預(yù)值，并遵循這些 8——將所有的門及傳遞窗關(guān)閉，將設(shè)備置于規(guī)定的運(yùn)行狀態(tài)，觀測所選房間或——按設(shè)備每種不同的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行重復(fù)測試。觀測每種狀態(tài)下所選房間或區(qū)B.2.2.1建議在觀測并記錄下正常運(yùn)行范圍后，將正壓室的壓力報(bào)警裝置設(shè)置為比實(shí)測最低壓力值低B.2.2.2為了不影響潔凈室內(nèi)的正常工作，宜常將預(yù)警或干預(yù)延后，以應(yīng)對人員出入的開門等情況。為確定合適的延遲時(shí)間宜認(rèn)真觀測普通的或預(yù)期的偏離正常狀態(tài)持續(xù)的時(shí)間長度。超出正常時(shí)長的延B.2.2.3不宜用增加壓差的簡單方式處理過大的壓力波動或泄漏，因?yàn)榭照{(diào)或通風(fēng)系統(tǒng)的性能在效率B.2.2.4在受監(jiān)管的產(chǎn)業(yè)中，對問題的根源要進(jìn)行識別并找到原因，而不能用改變運(yùn)行限值來包蓋這B.2.3.1使用壓差開關(guān)時(shí)，確保壓差開關(guān)的動作是可重復(fù)的，并且任何開關(guān)轉(zhuǎn)換都源自于所設(shè)置的預(yù)B.2.3.2為簡化校準(zhǔn)工作，無需將儀器從設(shè)施上移除，特別是那些安裝在不易接近區(qū)域中的儀器。宜度水平提供證據(jù)。宜進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)評估并按GB/T25915.1—2021對潔凈室或潔凈區(qū)進(jìn)行正常分級的數(shù)據(jù)B.3.1.3設(shè)定預(yù)警值或干預(yù)值時(shí)，重要的是對不同位置上的空氣粒子濃度以及空氣中粒子濃度隨時(shí)間的變化度具有靈敏性。對于粒子濃度低的ISO5級及更好的潔凈度，考慮預(yù)警值和干預(yù)值時(shí)要特別小B.3.1.4具體采樣位置及采樣探頭朝向的前后一致性，可對所測得的粒子濃度有顯著影響。當(dāng)要對某9初始測量并記錄。宜使用規(guī)定的采樣時(shí)間和采樣量。以這組數(shù)據(jù)就可確定所預(yù)期正常性能，并將其作為設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的依據(jù)。預(yù)計(jì)這些正B.3.2.3粒子計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)有些獨(dú)特特性宜予理解。下列e)房間里正常的活動可能使粒子計(jì)數(shù)產(chǎn)生瞬間但可接受的升高。B.3.2.4為確保高質(zhì)量的粒子監(jiān)測數(shù)據(jù)，并有助于與后續(xù)空氣樣本數(shù)據(jù)的比較，有必要使采樣位置及探頭朝向保持一致。實(shí)際采樣位置以及采樣探頭朝向的一貫性，對數(shù)據(jù)質(zhì)量有顯著影響。采樣位置或超高效過濾器送風(fēng)時(shí)，就會發(fā)生這樣的情況。在這種情況下，僅將采樣位置移動如0.5m這樣短的距B.3.3.3將預(yù)警值或干預(yù)值設(shè)置在正常工作范圍與潔凈度等級限值之間。B.3.3.6如果確定某具體位置的數(shù)據(jù)組的趨勢是需要了解的重要事項(xiàng)，應(yīng)小心保證每個(gè)采樣具有近似B.3.3.7采樣時(shí)長需要從所允許的風(fēng)險(xiǎn)水平考慮。采樣時(shí)長設(shè)置得較長，雖可使數(shù)據(jù)平穩(wěn)，并能防止B.3.4.1如果同時(shí)監(jiān)測兩個(gè)粒徑，且采樣間隔時(shí)間為1min,設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值就較為繁復(fù)。B.3.4.2B.3.4.2方法1:以一系列較高的連續(xù)讀數(shù)觸發(fā)閾值。較高讀數(shù)觸發(fā)報(bào)警所依據(jù)的是，在一段時(shí)間里讀數(shù)一直維持在較高的水平(例如，連續(xù)3個(gè)1min的讀數(shù)超過規(guī)定值)。B.3.4.3方法2:由高頻度出現(xiàn)的高讀數(shù)觸發(fā)閾值，這一方法有時(shí)稱為“y中的x”。該方法是將高于規(guī)后10個(gè)讀數(shù)中有3個(gè)高于閾值，則會觸發(fā)預(yù)警或干預(yù)。monitoringofaircleanlinessbynanoscaleparticle