浙江中寧硅業(yè)有限公司10kt-a高純一氧化二氮精餾提純項目環(huán)境影響報告表

建設(shè)項目環(huán)境影響報告表（污染影響類）項目名稱：10kt/a高純一氧化二氮精餾提純項目建設(shè)單位（蓋章）：浙江中寧硅業(yè)股份有限公司編制日期：2023年11月中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部制I 附件11500t/a硅烷灌裝項目環(huán)評審查意見及環(huán)境附件12300噸/年四氟化硅氣體充裝及300噸/附件132100t/a特氣充裝、300t/a四氟化硅精餾、20建設(shè)項目名稱浙江中寧硅業(yè)股份有限公司10kt/a高純一氧化二氮精餾提純項目項目代碼2011-330851-04-02-111159建設(shè)單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設(shè)地點浙江省衢州市新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號浙江中寧硅業(yè)股份有限公司內(nèi)部地理坐標（118度50分40.140秒，28度53分35.470秒）國民經(jīng)濟行業(yè)類別C2619其他基礎(chǔ)化學(xué)原料制造建設(shè)項目行業(yè)類別“二十三、化學(xué)原料和化學(xué)制品制造業(yè)26”中“44基礎(chǔ)化學(xué)原料制造261分裝的（不產(chǎn)生廢水或揮發(fā)性有機物的除外）”建設(shè)性質(zhì)□新建（遷建）□技術(shù)改造建設(shè)項目申報情形■首次申報項目□不予批準后再次申報項目口超五年重新審核項目□重大變動重新報批項目項目備案部門衢州市智造新城衢州智造新城管理委員會項目備案文號2011-330851-04-02-111159總投資（萬6000環(huán)保投資（萬元）48.5環(huán)保投資占0.81%施工工期3個月是否開工建設(shè)9004.5專項評價設(shè)置情況別是否需要設(shè)置專項否新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項目（槽罐車外送污水處）；否有毒有害和易燃易爆危險物質(zhì)存儲量超過臨界量本項目危險物質(zhì)一氧化二氮存儲量超過臨界是取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場、索餌場、越冬場和洄游通道的新增河道否否規(guī)劃情況規(guī)劃名稱：《衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片區(qū)總體規(guī)劃》；一期規(guī)劃審批機關(guān)：浙江省人民政府；二期規(guī)劃審批機關(guān)：衢州市人民政府；審批文件名稱及文號：《衢州市人民政府關(guān)于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)二期控制性詳細規(guī)劃的批復(fù)》（衢政發(fā)[2011]53號）。規(guī)劃環(huán)境影響評價情況規(guī)劃名稱：《衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片區(qū)總體規(guī)劃環(huán)境影響報告書》；審批機關(guān)：原浙江省環(huán)境保護廳；審批文件及文號：《關(guān)于衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片區(qū)總體規(guī)劃環(huán)境影響報告書的環(huán)保意見》（浙環(huán)函2016[137]）。規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析1、《衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片區(qū)總體規(guī)劃》符合性分析（1）地理位置高新片區(qū)位于衢州市區(qū)南面，距衢州火車站1.2公里，衢州機場6公里，距衢州市中心4公里，距杭金衢高速公路衢州互通口10公里。（2）規(guī)劃范圍本次規(guī)劃范圍北至沙金大道（物流大道），南至規(guī)劃315省道，西至46省道，東至廠前路，總用地規(guī)模為25.29平方公里。（3）規(guī)劃期限總體規(guī)劃期限為2015年至2025年，規(guī)劃基準年為2014年。近期建設(shè)規(guī)劃期限為2015年至2020年。（4）功能定位高新片區(qū)功能定位確定為“以氟硅新材料為特色、以現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)集群為導(dǎo)向的高新產(chǎn)業(yè)一體化工業(yè)園區(qū)”，同時將高新片區(qū)打造成中國氟都、建設(shè)工業(yè)新城的重要組成部分，衢化片區(qū)的產(chǎn)業(yè)拓展區(qū)與新材料產(chǎn)業(yè)基地，有本地特色的現(xiàn)代化生態(tài)園區(qū)、以氟硅為特色的新材料基地。（5）規(guī)劃目標高新片區(qū)的總體目標為打造效益型、低碳型、活力型、人性化的工業(yè)園區(qū)。效益型工業(yè)園區(qū)—通過規(guī)劃引導(dǎo)與有序開發(fā)，力爭實現(xiàn)土地利用的高效率、基礎(chǔ)設(shè)施配套的高效率、污染治理的高效率和企業(yè)生產(chǎn)的高效率，并孕育培養(yǎng)出一批具有相當活力和市場競爭力的高新技術(shù)企業(yè)，使本區(qū)建設(shè)成為一個低成本、高附加值的氟硅新材料產(chǎn)業(yè)基地。（6）產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃整個片區(qū)規(guī)劃形成9個產(chǎn)業(yè)組團，分別為物流產(chǎn)業(yè)組團、專用化學(xué)品產(chǎn)業(yè)組團、生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)組團、氟硅新材料產(chǎn)業(yè)組團、金屬制品產(chǎn)業(yè)組團、韓國產(chǎn)業(yè)組團、電子化學(xué)材料產(chǎn)業(yè)組團、循環(huán)經(jīng)濟靜脈產(chǎn)業(yè)組團、鈷材料鋰電池產(chǎn)業(yè)組團。符合性分析：本項目為10kt/a高純一氧化二氮精餾提純項目，項目所在地位于氟硅新材料產(chǎn)業(yè)組團，本項目進行高純一氧化二氮精餾提純，產(chǎn)品可作為電子級電子氣體，項目的實施符合高新片區(qū)“以氟硅新材料為特色、以現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)集群為導(dǎo)向的高新產(chǎn)業(yè)一體化工業(yè)園區(qū)”的功能定位。本項目排放的三廢經(jīng)處理后均能達標排放，對環(huán)境的影響較小。項目已于2020年11月12日在衢州智造新城管委會備案（項目代碼為2011-330851-04-02-111159），因此本項目的建設(shè)符合衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片區(qū)總體規(guī)劃的要求。2、《衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片區(qū)總體規(guī)劃環(huán)境影響報告書》符合性分析《衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)高新片總體規(guī)劃環(huán)境影響報告書》由浙江省環(huán)科環(huán)境咨詢有限公司編制，并于2016年4月5日取得批復(fù)（浙環(huán)函[2016]137號）。為推進高新片區(qū)“區(qū)域環(huán)評+環(huán)境標準”改革，對現(xiàn)有規(guī)劃環(huán)評按清單式管理要求進行補充完善，作為支撐規(guī)劃科學(xué)決策實施的重要依據(jù)和項目環(huán)境準入的強制約束。衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)管委會委托浙江環(huán)科環(huán)境咨詢有限公司編寫了規(guī)劃環(huán)評補充材料（202001版制定了生態(tài)空間清單、現(xiàn)有問題整改措施清單、污染物排放總量管控限值清單、規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單、環(huán)境準入條件清單、環(huán)境標準清單等6張規(guī)劃環(huán)評結(jié)論清單。根據(jù)表1-2分析，該項目符合規(guī)劃環(huán)評補充材料制定的生態(tài)空間清單、現(xiàn)有問題整改措施清單、污染物排放總量管控限值清單、規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單、環(huán)境準入條件清單、環(huán)境標準清單等6張規(guī)劃環(huán)評結(jié)論清單。因此，本項目符合規(guī)劃環(huán)評的要表1-2高新片區(qū)規(guī)劃環(huán)評符合性分析條件。嚴格按照區(qū)域環(huán)境承載能力，控制區(qū)域排及當?shù)刂鲗?dǎo)（特色）產(chǎn)業(yè)的其他三類工業(yè)建設(shè)項空間布局范圍，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護綠地、生態(tài)綠地等隔離帶，確保人居河湖濕地生境，禁止未經(jīng)法定許可占用水域；除防洪、航運為主要功能的河湖堤岸外，禁止非生態(tài)型河湖堤岸改造；建設(shè)項目不得影響河道自然負面清單：工業(yè)區(qū)塊內(nèi)允許各類企業(yè)項目建設(shè)，但需嚴控三類企業(yè)數(shù)量和排污總量。凡屬國家、省淘汰落后產(chǎn)能目錄的項目，相關(guān)產(chǎn)業(yè)園區(qū)和工業(yè)功能區(qū)規(guī)定的禁入和限制類的工業(yè)項目，一律達到同行業(yè)國內(nèi)先進水防滲，加強土壤和地下水單污分流不徹底，存在污水隨清下水一道排放的現(xiàn)有一定影響。從幾次監(jiān)測數(shù)據(jù)來看，區(qū)域大氣環(huán)境中氯化氫、氨特征污染因子累積效應(yīng)明顯，氯化氫局部區(qū)域已無環(huán)境容量，不過近年來呈逐步改善的趨勢；從近幾年的信訪投訴情況來看，周單中未有涉及中寧硅業(yè)的內(nèi)容。本次環(huán)評對企業(yè)現(xiàn)有項目存在的主要環(huán)境問題提出了相應(yīng)的整改措施，企業(yè)應(yīng)對照問題清單對存在的問題進行整改。在此基礎(chǔ)上，本項目符合現(xiàn)有問題整改措施清單要單3935.16t/a；揮發(fā)性有機物近期3327.87t/a、遠期2、水污染物：化學(xué)需氧量近期721.38t/a、遠期單本項目位于浙江省衢州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北①環(huán)境準入指導(dǎo)意見：《關(guān)于印發(fā)〈浙江省生活《浙江省生活垃圾焚燒產(chǎn)業(yè)環(huán)境準入指導(dǎo)意見（試行）》、《浙江省燃煤發(fā)電產(chǎn)業(yè)環(huán)境準入指導(dǎo)意見（試行）》、《浙江省化學(xué)原料藥產(chǎn)業(yè)環(huán)境準入指導(dǎo)意見（修訂）》、《浙江省熱電聯(lián)產(chǎn)指導(dǎo)意見。其他符合性分析1、審批原則符合性分析對照《浙江省建設(shè)項目環(huán)境保護管理辦法》（浙江省人民政府令第388號），本項目審批原則符合性分析如下。（1）建設(shè)項目環(huán)評審批原則符合性①建設(shè)項目應(yīng)當符合生態(tài)保護紅線、環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上線和生態(tài)環(huán)境準入清單管控的要求“三線一單”符合性分析：“三線一單”生態(tài)保護紅線本項目位于浙江省衢州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號浙江中寧硅業(yè)股份有限公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)，根據(jù)《衢州市區(qū)生態(tài)保護紅線圖》，項目不在生態(tài)保護紅線范圍內(nèi)；根據(jù)《衢州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》（衢環(huán)發(fā)[2020]139號），本項目位于浙環(huán)境質(zhì)量底線），境空氣質(zhì)量達標區(qū)。根據(jù)補充監(jiān)測數(shù)據(jù)，特征因子汞及其化合物均符合相應(yīng)標準限值。項目附近地表水各監(jiān)測斷面的各項指標均求。項目污染物排放總量仍在原核定總量指標內(nèi)，項目建成后周邊環(huán)境質(zhì)量能夠維持當前等級。因此，本項目建設(shè)不會突破區(qū)域資源利用上線本項目位于衢州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)，項目生產(chǎn)設(shè)備主要使用電能夠滿足項目正常運行。項目實現(xiàn)固體廢物的資源化和減量化，環(huán)境準入清單本項目為高純一氧化二氮精餾提純項目，屬于二類工業(yè)項目，根“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案符合性分析：對照《衢州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》（衢環(huán)發(fā)[2020]139號），項目所在區(qū)域位于浙江省衢州市柯城區(qū)主城區(qū)產(chǎn)業(yè)集聚重點管控區(qū)（ZH33080220032）。本項目與所在管控分區(qū)生態(tài)準入清單符合性分析如下：浙江省衢州市柯城區(qū)主城區(qū)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)空間布局項目為高純一氧化二氮精餾提純項目，屬于物理分污染物排氮排放量未突破許可排放能達到同行業(yè)國內(nèi)先進水本報告要求企業(yè)加強土壤環(huán)境風險業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風險防范設(shè)施點環(huán)境風險管控企業(yè)應(yīng)急預(yù)案制企業(yè)已制定突發(fā)環(huán)境事件目實施后企業(yè)應(yīng)及時修訂資源開發(fā)本項目建設(shè)過程中選擇節(jié)施，提高資源能源利用效綜上，本項目符合衢州市“三線一單”的管理要求。同時，本項目選址于衢州市新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號浙江中寧硅業(yè)股份有限公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)，在智造新城城鎮(zhèn)開發(fā)邊界范圍內(nèi)。本項目用地性質(zhì)為工業(yè)用地，不屬于衢州市智造新城范圍內(nèi)永久基本農(nóng)田范圍。本項目位于浙江省衢州市柯城區(qū)主城區(qū)產(chǎn)業(yè)集聚重點管控區(qū)（ZH33080220032因此，本項目不在生態(tài)保護紅線內(nèi)。綜上所述，本項目符合“三線三區(qū)”的相關(guān)要求。②排放污染物應(yīng)當符合國家、省規(guī)定的污染物排放標準和重點污染物排放總量控制要求根據(jù)工程分析及環(huán)境影響預(yù)測分析，項目產(chǎn)生的廢氣、廢水、噪聲經(jīng)處理后均能達標排放，各種固體廢物得到妥善處置后，對環(huán)境的影響較小，環(huán)境功能可維持現(xiàn)狀，項目排放的污染物總量指標可在區(qū)域內(nèi)進行替代削減。（2）建設(shè)項目環(huán)評審批要求符合性①建設(shè)項目符合國家和省產(chǎn)業(yè)政策等的要求對照國家發(fā)改委《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2021年本）》，本項目不屬于目錄中限值類和淘汰類項目；對照《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南（試行）》浙江省實施細則等，本項目不屬于禁止建設(shè)類項目，因此本項目不在國家、省、市產(chǎn)業(yè)政策淘汰和限制之列，同時項目已在衢州市智造新城衢州智造新城管理委員會備案，項目的實施符合國家和地方的產(chǎn)業(yè)政策。②《〈長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南（試行，2022年版）〉浙江省實施細則》符合性分析浙江中寧硅業(yè)股份有限公司位于衢州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園，項目所在地為依法合規(guī)設(shè)立并經(jīng)規(guī)劃環(huán)評的化工園區(qū)，本項目不新增土地，利用廠區(qū)內(nèi)現(xiàn)有土地實施。根據(jù)《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南（試行，2022年版）》（長江辦[2022]7號）、《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南（試行，2022年版）浙江省實施細則》（浙長江辦[2022]6號）文件要求，符合性分析見表1-5。根據(jù)分析，本項目符合該文件要求。表1-5浙長江辦[2022]6號（節(jié)選）符合性分析條條條條立并經(jīng)規(guī)劃環(huán)評《環(huán)境保護綜合不屬于高污染項條條條條建設(shè)項目符合主體功能區(qū)規(guī)劃、土地利用總體規(guī)劃的要求本項目位于浙江省衢州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號浙江中寧硅業(yè)股份有限公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)，項目用地性質(zhì)為工業(yè)用地，符合衢州市土地利用規(guī)劃要求。綜上所述，本項目建設(shè)符合相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策要求。2、《關(guān)于實施化工園區(qū)改造提升推動園區(qū)規(guī)范發(fā)展的通知》相符性分析對照浙經(jīng)信材料〔2021〕77號《浙江省經(jīng)濟和信息化廳浙江省生態(tài)環(huán)境廳浙江省應(yīng)急管理廳關(guān)于實施化工園區(qū)改造提升推動園區(qū)規(guī)范發(fā)展的通知》，該項目符合性分析詳見表1-6。由表可知，本項目符合該文件的要求。表1-6浙經(jīng)信材料〔2021〕77號符合性分析性1各地要嚴格按照化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃要求，制定化工項目入園標準，原則上限制園區(qū)內(nèi)無上下游產(chǎn)業(yè)關(guān)聯(lián)度、兩頭（原料、產(chǎn)品銷售）在外的基礎(chǔ)化工原料建設(shè)項目；要限制主要通過公路運輸且運輸量大的以爆炸性化學(xué)品、劇（高）毒化學(xué)品或液化烴類易燃爆化學(xué)品為主要原料的化工建建設(shè)項目，同時抓住當前國土空間規(guī)劃和“十四五”化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃制定機遇期，因地制宜制定園區(qū)外危險化外危險化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)遷建入園。有化學(xué)合成反應(yīng)的新建化工項目需進入化工園區(qū)；園區(qū)外化工企業(yè)技術(shù)改造項目，不得增加安全風險和主要污染落實“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求，依法依規(guī)開展園區(qū)規(guī)劃環(huán)評，嚴格把好入園項目環(huán)境準入關(guān)，持續(xù)提升園區(qū)污染防治和環(huán)境管理水平。建立健全化工企業(yè)污染排放許可機制，落實自行監(jiān)測及信息公開主體責任，實現(xiàn)化工企業(yè)持證排污、按證排污全覆蓋。開展化工企業(yè)環(huán)境風險評估，繪制環(huán)境風險地圖，加強化工園區(qū)環(huán)境應(yīng)急預(yù)案編制和環(huán)境風險防控體系建設(shè)，建立環(huán)境監(jiān)測監(jiān)控系統(tǒng)并與生態(tài)環(huán)境部門聯(lián)網(wǎng)實現(xiàn)數(shù)據(jù)互通，鼓勵對化工園區(qū)、化工企業(yè)雨水排放口安裝水流、水質(zhì)在線監(jiān)控；引導(dǎo)化工企檢維修、設(shè)備清洗等非正常工況的環(huán)境管理制度；建設(shè)園區(qū)空氣質(zhì)量監(jiān)測子監(jiān)測，探索建立園區(qū)臭氣異味溯源監(jiān)測體系。鼓勵建設(shè)滿足化工廢水處置要求的集中式污水處理設(shè)施和園區(qū)配套危廢集中利用處置設(shè)施并正常運行；深化園區(qū)“污水零直排區(qū)”建設(shè)和“回頭看”檢查，提升“污水零直排區(qū)”內(nèi)水污染物多級環(huán)境防控體系，結(jié)合園區(qū)企業(yè)特征污染物、水質(zhì)指紋庫，實施污染溯源管理。加強地下水污染排查、管控和治理，建立并落實地下水污染監(jiān)測制度，堅決遏制污染加重或擴散趨勢。2、本項目為改擴建項目，新增重點污染物排放總量的調(diào)劑平衡來3、《建設(shè)項目環(huán)境保護管理條例》(國務(wù)院令第682號)“四性五不批”相符性分析對照《建設(shè)項目環(huán)境保護管理條例》（國務(wù)院令第682號）中的第九條及第十一條有關(guān)內(nèi)容，本項目與“四性五不批”相符性分析如下。本項目所在地的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀均滿足標準要求；項目污染物排放符合國家、省規(guī)定的排放標準；項目的環(huán)境影響符合所在地環(huán)境功能區(qū)劃的質(zhì)量環(huán)境影響分析預(yù)測評估的根據(jù)本項目的污染物排放特點，本環(huán)評對廢氣、廢水及固廢進行了影響分析，對噪聲進行了預(yù)測本項目生產(chǎn)廢水納管、廢氣均經(jīng)過相應(yīng)的處理措施處理后達標排放、廠區(qū)采取合理的消聲降噪措施、各項固廢均合理處置，資源化利用。環(huán)境保環(huán)境影響評價結(jié)論的科學(xué)性本環(huán)評結(jié)論客觀、過程公開、評價公正，評價過程均依照環(huán)評相關(guān)技術(shù)導(dǎo)則、技術(shù)方法等進行，建設(shè)項目類型及其選址、布局、規(guī)模等不符合環(huán)境保護法律法規(guī)和相關(guān)法定本項目選址于浙江省衢州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量未達到國家或者地方環(huán)境質(zhì)量標準，且建設(shè)項目擬采取的措施不能滿足區(qū)域環(huán)境質(zhì)所在區(qū)域大氣、地表水的現(xiàn)狀資料均滿足環(huán)境質(zhì)量標準，項目擬建地晝夜間噪聲監(jiān)測值均達標。建設(shè)項目擬采取的措施可滿足區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善建設(shè)項目采取的污染防治措施無法確保污染物排放達到國家和地方排放標準，或者未采取必要措施項目運營過程中各類污染物均可得到有效控制并改建、擴建和技術(shù)改造項目，未針對項目原有環(huán)境污染和生態(tài)破壞提出有效本項目屬于改建項目，本項目針對項目原有環(huán)境建設(shè)項目的環(huán)境影響報告書、環(huán)境影響報告表的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)明顯不實，內(nèi)容存在重大缺陷、遺漏，或者環(huán)境影響評價結(jié)論不本環(huán)評報告涉及的項目基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)均采用項目方可研設(shè)計內(nèi)容，環(huán)境空氣和地表水監(jiān)測數(shù)據(jù)均來自生態(tài)環(huán)境主管部門公開發(fā)布的質(zhì)量數(shù)據(jù)，噪聲由有資質(zhì)監(jiān)測單位監(jiān)測。數(shù)據(jù)真實有效，不存在重大缺陷和遺漏。本項目數(shù)據(jù)真實可靠，內(nèi)容建設(shè)內(nèi)容2.1建設(shè)內(nèi)容2.1.1項目由來浙江中寧硅業(yè)股份有限公司（以下簡稱“中寧硅業(yè)”）位于浙江省衢州市高新園區(qū)華蔭北路27號，成立于2007年12月21日，是一家專業(yè)生產(chǎn)高純硅烷和硅粉的企業(yè)。2018年3月27日，浙江中寧硅業(yè)有限公司實行了重整，河南多氟多化工股份有限公司以51%控股浙江中寧硅業(yè)有限公司。2023年8月15日，浙江中寧硅業(yè)有限公司正式更名為浙江中寧硅業(yè)股份有限公司。中寧硅業(yè)現(xiàn)有一條國內(nèi)最大的高純硅烷生產(chǎn)線，公司目前擁有2057t/a甲硅烷、3700t/a四氫化鋁鈉（中間產(chǎn)品）、7030t/a四氟化硅（中間產(chǎn)品）的產(chǎn)能，擁有一座規(guī)模為500t/a的甲硅烷灌裝站、一座規(guī)模為300t/a的四氟化硅灌裝站。電子氣體是IC制造過程中必不可少的原料。同時它也廣泛應(yīng)用于光電子、化合物半導(dǎo)體、太陽能光伏電池、液晶顯示器、光導(dǎo)纖維制造等其它諸多領(lǐng)域。電子氣體的純度直接影響IC的性能、集成度、成品率，電子氣體的價格影響IC的市場競爭力，所以電子氣體是IC制造關(guān)鍵材料之一。作為電子工業(yè)體系的核心關(guān)鍵原材料之一，高純電子氣體一直受到歐美日等發(fā)達國家的技術(shù)封鎖。由于其在國防軍事、航空航天、新型太陽能電池、電子產(chǎn)品等方面有著極其廣泛的應(yīng)用。隨著我國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對高純氣體品種的要求越來越多，高純一氧化二氮(N2O)作為電子氣體，主要用于半導(dǎo)體光電器件研制生產(chǎn)的介質(zhì)膜工藝，是直接影響光電器件質(zhì)量的不可替代的關(guān)鍵電子氣體。高純一氧化二氮(N2O)作為關(guān)鍵氣體原材料，在半導(dǎo)體光電器件研制生產(chǎn)等領(lǐng)域市場缺口依舊比較大。因此公司擬投資6000萬元，利用公司現(xiàn)有場地，新建精餾裝置、深度脫水裝置、儲存裝置、充裝系統(tǒng)等，建設(shè)10kt/a高純一氧化二氮精餾提純項目。本項目已于2020年11月12日經(jīng)衢州市智造新城衢州智造新城管理委員會備案通過（備案通知書見附件1）。根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》及《建設(shè)項目環(huán)境管理條例》（國務(wù)院令第682號）中有關(guān)規(guī)定，該建設(shè)項目應(yīng)進行環(huán)境影響評價。對照《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》（2021年版），本項目屬于分類目錄中：“二十三、化學(xué)原料和化學(xué)制品制造業(yè)26”中“44基礎(chǔ)化學(xué)原料制造261中“單純物理分離、物理提純、混合、分裝的（不產(chǎn)生廢水或揮發(fā)性有機物的除外）”，需編制環(huán)境影響報告表。為此，浙江中寧硅業(yè)股份有限公司委托浙江七方環(huán)境科技有限公司承擔該項目環(huán)境影響報告表的編制工作。接受委托后我公司在實地踏勘和調(diào)查分析的基礎(chǔ)上，收集相關(guān)資料，按國家相關(guān)法律法規(guī)及規(guī)范要求，編制了本項目環(huán)境影響報告表，報請生態(tài)環(huán)境主管部門審批。2.1.2建設(shè)項目概況項目名稱：10kt/a高純一氧化二氮精餾提純項目建設(shè)性質(zhì)：改建建設(shè)單位：浙江中寧硅業(yè)股份有限公司項目投資：擬投資6000萬元建設(shè)地點及周邊概況：項目位于衢州市新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號浙江中寧硅業(yè)股份有限公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)，具體地理位置見附圖1。根據(jù)現(xiàn)場踏勘，浙江中寧硅業(yè)股份有限公司整個廠區(qū)北面為園區(qū)空地，目前建設(shè)為元立停車場，南面為浙江西亞特電子材料有限公司；西面為園區(qū)空地；東面為園區(qū)正和硅材料、杉杉新材料和鵬孚隆新材料企業(yè)。距離廠區(qū)最近的敏感點位于西面約70m外的十八里村，西南面楊家突村距離廠界約240米，北面黃家村距離廠界約320米。周邊環(huán)境概況見圖2.1-1。N黃家村320mIHGE十八里村70mEFDA西亞西亞B鵬孚隆新特電材料子楊家突村ABCDEFGHI2.1.3主要建設(shè)內(nèi)容本項目主要建設(shè)內(nèi)容見表2.1-2。1新建一條利用尾氣法原料一氧化二氮提純高純一氧化二氮尾氣法原料一氧化新建一條利用硝銨法原料一氧化二氮提純高純一氧化二氮硝銨法原料一氧化新建原料及成品罐區(qū)，包括新建2只50m3原料一氧化二氮3成品一氧化二氮），壓力罐，2程3本項目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)已建的無機廢水處理站預(yù)處理后納456公792.1.4項目主要產(chǎn)品及生產(chǎn)規(guī)模本項目產(chǎn)品方案見表2.1-3。1本項目產(chǎn)品執(zhí)行《電子工業(yè)用氣體氧化亞氮》（GB/T14600-2009），具體見表2.1-4。表2.1-4高純一氧化二氮(N2O)質(zhì)量標準烴C1~C5（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）312.1.5主要原輔材料及能源消耗項目主要原輔材料及能源消耗具體見表2.1-5。表2.1-5項目主要原輔材料及能源消耗一序號1243Al2O350%，項目主要原料普通一氧化二氮分為尾氣法一氧化二氮和硝銨法一氧化二氮，用量分別為5005t/a，均為外購（山東華魯恒升化工股份有限公司）。兩種原料的差別之處在于尾氣法一氧化二氮中雜質(zhì)二氧化碳的含量較硝銨法一氧化二氮的高，具體原料一氧化二氮成分>99.9>99.9原料一氧化二氮的理化性質(zhì)見表2.1-7。牙科、外科、婦產(chǎn)科用麻醉劑，探漏，制冷劑，助燃劑，防腐劑，化工原料，原子吸收質(zhì)中等度：可能導(dǎo)致或加劇燃燒；氧化劑，內(nèi)裝高壓氣體；遇熱可能爆炸，可能造成昏睡或眩暈，可能對生育能力或胎兒造成傷害，長期或重復(fù)一氧化二氮在常溫常壓下為稍有甜味的無色無臭麻醉性氣體，液化后也是無色。物理性點與其作用生成其亞硝酸鹽。與可燃性氣體形成爆炸性氣體，把氫、氨、一氧化碳及其它某些易燃物和一氧化二氮的混合物加熱時可發(fā)生爆炸。在300℃以上溫度可氧化有機物。它是一種麻醉劑，可用于外科手術(shù)?？扇苡谒?、乙醇、濃硫酸，易溶于醚和脂肪油物理化學(xué)危險：跟可燃物質(zhì)接觸可能會引起火災(zāi)。高壓液化氣體健康危害：吸入本品可能引起瞌睡和頭昏眼花，可能伴隨嗜睡、警惕性下降、反射作用通過割傷、擦傷或病變處進入血液，可能產(chǎn)生全身損傷的有害作用。眼睛直接接觸本品根據(jù)GB30000-2013化學(xué)品分類和標簽規(guī)范系列標準（參閱第十六部分），該產(chǎn)品分類如下：氧化性氣體，類別1；高壓氣體，液化氣體；特定目標器官毒性-單次接觸：麻性不相容的物質(zhì)：活潑金屬、醇、醛、二硫化碳、碳、硫、磷、硼、還原劑、金屬乙炔化分解產(chǎn)物：在正常的儲存和使用條件下，不2.1.6主要生產(chǎn)設(shè)備本項目主要設(shè)備清單見表2.1-8。一1套1件1件12套4件1件4臺1件4臺13套4件4件4件1臺14套45套4件8件8件8件6臺47V=3m3臺48套5件5件5件5件5件5件59套2套4套6二1套5件5件5件5件5件5件52套2套4套6三1件22件23件24件25件16件77只8臺四1臺12套13套14V=3m3臺15臺16臺1備注：原料氣儲罐、高純氣儲罐的儲罐類型采用低溫液體儲罐，低溫儲罐是一種雙層真空絕熱儲槽，儲產(chǎn)能匹配性分析：根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備清單分析，項目產(chǎn)能約束的主要設(shè)備為精餾塔，精餾塔連續(xù)性生產(chǎn)，具體產(chǎn)能匹配性分析見下表。能122.1.7項目總平面布置中寧硅業(yè)廠區(qū)呈不規(guī)則四邊形，東北角為辦公區(qū)，西南面為儲存區(qū)，南面為公用工程及輔助生產(chǎn)區(qū)，中部為生產(chǎn)區(qū)。本項目布置在廠區(qū)北側(cè)空地，依次布置原料成品罐區(qū)、笑氣提純裝置、笑氣灌裝站。具體總平布置圖見附圖7。2.1.8公用工程>給排水工程給水：項目自來水由園區(qū)自來水管網(wǎng)直接接入。排水：廠區(qū)采用雨污分流制。雨水經(jīng)廠區(qū)雨水口收集后排至園區(qū)雨水管道，廠區(qū)初期雨水經(jīng)管道收集排入廠區(qū)初期雨水處理設(shè)施處理后納管；本項目生產(chǎn)廢水經(jīng)收集后送至廠區(qū)新建的無機廢水處理站處理，處理達標后納管送至巨化環(huán)科污水處理廠處理。本項目水平衡見圖2.1-2。本項目電源由園區(qū)變電所供給，在廠區(qū)的北側(cè)設(shè)有10KV高壓電纜。在總配電房，設(shè)10kV級干式電力變壓器，采用YJV22型電力電纜埋地接入變壓器，經(jīng)變電所變電后分配至各用電單體。2.1.9勞動定員企業(yè)廠區(qū)現(xiàn)有勞動定員318人，本項目新增勞動定員20人，年工作時間300天，生產(chǎn)裝置及輔助裝置均按四班三運轉(zhuǎn)連續(xù)生產(chǎn)，輔助工人及管理人員實行白班制。工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)2.2生產(chǎn)工藝流程槽車來的普通一氧化二氮經(jīng)過卸車泵輸送至罐區(qū)普通笑氣儲罐內(nèi)；其中硝銨法一氧化二氮經(jīng)深度脫水、精餾工序，提純制得高純一氧化二氮，尾氣法一氧化二氮經(jīng)洗滌、脫水、冷凍壓縮、液化、深度脫水、精餾工序，提純制得高純一氧化二氮。一、尾氣法原料提純工藝流程說明：來自尾氣法原料笑氣儲罐的一氧化二氮原料（壓力：1.6~2.0MPaG，溫度：-25~-15℃),進入笑氣加熱器和來自不凍液循環(huán)泵的不凍液換熱后升溫，再進入笑氣汽化器完全汽化至常溫，減壓至0.5~0.6MPa進入笑氣洗滌裝置。氣體從堿洗塔底部進入頂部排出，與塔頂流下來的質(zhì)量濃度10~15%的氫氧化鈉水溶液在填料層充分接觸洗滌，氣體中的二氧化碳雜質(zhì)被堿液吸收，氣體再從水洗塔底部進入頂部排出，與塔頂流下來的脫鹽水在填料層充分接觸洗滌，凈化后的氣體進入氣體緩沖罐。每臺洗滌塔各配一臺洗滌液循環(huán)泵并調(diào)控洗滌液循環(huán)量，另外通過片堿和脫鹽水按一定重量比例投加在配堿罐內(nèi)混合均勻來配制堿液，洗滌塔釜內(nèi)的液體定期排放和補充。進入氣體緩沖罐的氣體氣液分離后氣體再進入冷卻干燥器和不凍液換熱后冷卻降溫至約20℃,氣體中冷凝水進入底部的儲液罐緩存，液位到達一定高度后自動排放。較干燥的氣體再進入壓縮機組。冷卻干燥器管程的不凍液回到不凍液槽，再通過不凍液循環(huán)泵輸送至笑氣加熱器降溫至約5℃循環(huán)回冷卻干燥器。氣體在壓縮機組中被二級壓縮至約1.8~2.1MPa，并分別在一、二級冷卻器和循環(huán)冷卻水換熱降溫至40℃進入干燥系統(tǒng)，壓縮氣體中的冷凝水定期排放。壓縮機可變頻調(diào)節(jié)并設(shè)有回流管路，可以調(diào)節(jié)抽氣量并穩(wěn)定壓力。干燥系統(tǒng)分為兩路并聯(lián)，每路分別設(shè)3個串聯(lián)的吸附器，設(shè)備內(nèi)填充有脫水除雜的吸附材料，氣體依次通過一路的三級吸附器，氣體中的水分等雜質(zhì)被吸附后進入低溫液化機組。每路吸附器間隔一定周期需用高溫氮氣吹除雜質(zhì)進行再生，此時氣體需切換進入到另一路再生好的吸附器。正常吸附過程的吸附器操作壓力1.8~2.1MPa、溫度：常溫。熱再生過程的吸附干燥器排空物料后再通入熱氮氣，操作壓力：0.4~0.6MPaG，最高工作溫度：260℃。氣體在低溫液化機組中和氟利昂制冷劑換熱降溫至-25~-15℃,液化后進入中間罐緩存。中間罐的操作壓力：1.6~2.0MPaG，溫度：-25~-15℃。來自中間罐的氧化亞氮液體進入深度脫水裝置。從吸附干燥器設(shè)備的底部進入頂部排出，設(shè)備內(nèi)填充有脫水除雜的吸附材料，物料中的微量水分等雜質(zhì)被吸附后再進入高純精餾裝置。正常吸附過程的吸附干燥器操作壓力和溫度和普通笑氣儲罐保持一致。熱再生過程的吸附干燥器排空物料后再通入熱氮氣，操作壓力：0.4~0.6MPaG，最高工作溫度：260℃。進入高純精餾裝置的原料依次和塔頂氣相和塔釜液相換熱后降溫，通過閥門調(diào)控進入精餾塔（塔操作壓力：0~0.05MPaG，塔釜溫度：-83~-88℃)輕質(zhì)雜質(zhì)隨氣相從塔頂排出。純化合格后的塔釜液相被低溫液體泵增壓和原料換熱后輸送進入高純笑氣儲罐（壓力：1.6~2.0MPaG，溫度：-25~-15℃)。笑氣回收系統(tǒng)：卸車、充裝管道余氣，干燥吸附器再生前余氣以及精餾塔頂?shù)呐艢饣厥罩列饣厥站彌_罐，笑氣回收緩沖罐為常壓或微正壓，笑氣回收緩沖罐內(nèi)的氣體經(jīng)壓縮機加壓、液化儲存于笑氣回收罐，笑氣回收罐內(nèi)液體經(jīng)低溫泵返料至中間槽回用作為精餾原料進行精餾提純或進行鋼瓶充裝。二、硝銨法原料提純工藝流程說明：來自硝銨法原料笑氣儲罐的液體氧化亞氮原料（壓力：1.6~2.0MPaG，溫度：-25~-15℃)進入深度脫水裝置。從吸附干燥器設(shè)備的底部進入頂部排出，設(shè)備內(nèi)填充有脫水除雜的吸附材料，物料中的微量水分等雜質(zhì)被吸附后再進入高純精餾裝置。正常吸附過程的吸附干燥器操作壓力和溫度和普通笑氣儲罐保持一致。熱再生過程的吸附干燥器排空物料后再通入熱氮氣，操作壓力：0.4~0.6MPaG，最高工作溫度：260℃。進入高純精餾裝置的原料依次和塔頂氣相和塔釜液相換熱后降溫，通過閥門調(diào)控進入精餾塔（塔操作壓力：0~0.05MPaG，塔釜溫度：-83~-88℃)輕質(zhì)雜質(zhì)隨氣相從塔頂排出。純化合格后的塔釜液相被低溫液體泵增壓和原料換熱后輸送進入高純笑氣儲罐（壓力：1.6~2.0MPaG，溫度：-25~-15℃)。笑氣回收系統(tǒng)：卸車、充裝管道余氣，干燥吸附器再生前余氣以及精餾塔頂?shù)呐艢饣厥罩列饣厥站彌_罐，笑氣回收緩沖罐為常壓或微正壓，笑氣回收緩沖罐內(nèi)的氣體經(jīng)壓縮機加壓、液化儲存于笑氣回收罐，笑氣回收罐內(nèi)液體經(jīng)低溫泵返料至中間槽回用作為精餾原料進行精餾提純或進行鋼瓶充裝。2.3主要污染源及污染因子2.3.1施工期（1）噪聲污染物：主要來自施工機械設(shè)備產(chǎn)生的機械噪聲及運輸、地基處理等產(chǎn)生的作業(yè)噪聲。（2）大氣污染物：整個施工過程包括場地整理、打樁、挖土、材料運輸、裝卸、粉狀材料堆場，汽車行駛均產(chǎn)生揚塵。（3）廢水污染物：主要來自于施工滲水及施工人員生活污水。（4）固體廢棄物：施工期產(chǎn)生大量廢建筑材料、土石方、生活垃圾。2.3.2營運期本項目三廢主要產(chǎn)生環(huán)節(jié)及污染因子具體見表2.3-1。表2.3-1主要污染環(huán)節(jié)及污染因子一以NOx計（主要為N2O）水/與項目有關(guān)的原有環(huán)境污染問題2.4與現(xiàn)有項目有關(guān)的原有環(huán)境污染問題浙江中寧硅業(yè)股份有限公司位于衢州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華蔭北路27號，是一家專業(yè)生產(chǎn)高純硅烷和硅粉的企業(yè)，成立于2007年。2018年3月27日，浙江中寧硅業(yè)有限公司實行了重整，河南多氟多化工股份有限公司以51%控股浙江中寧硅業(yè)有限公司。2023年8月15日，浙江中寧硅業(yè)有限公司正式更名為浙江中寧硅業(yè)股份有限公司。2008年8月，企業(yè)投資新建一期1500t/a多晶硅項目。2012年，企業(yè)新建一座規(guī)模為500t/a的硅烷灌裝站，將硅烷作為產(chǎn)品之一進行外售；2018年，企業(yè)為適應(yīng)市場需要，在現(xiàn)有硅烷充裝站上進行技改，同時新增四氟化硅充裝站，該項目已完成建設(shè)。2019年中寧硅業(yè)實施2100t/a特氣充裝、300t/a四氟化硅精餾、200t/a高純納米硅粉生產(chǎn)及1000t/a氣體儲運技改項目，該項目已通過自主驗收。2021年，公司實施了2100t/a高純硅烷系列產(chǎn)品技改項目。2022年，公司實施了300t/a四氟化硅裝置技改項目，該項目已通過自主驗收。2023年，公司年產(chǎn)100噸氟氮混合氣技改項目已通過審批，并重新報批了2100t/a高純硅烷系列產(chǎn)品技改項目。浙江中寧硅業(yè)股份有限公司于2023年6月29日重新申報排污許可證（編號為91330800670271619H001V）。2.4.1環(huán)保手續(xù)履行情況企業(yè)總廠歷年環(huán)保手續(xù)履行情況見表2.4-1。號一期1500t/a多晶硅項目環(huán)境號號/年充裝四氟化硅氣體300t及300t硅烷硅粉生產(chǎn)及1000t/a氣體儲運/////2.4.2現(xiàn)有項目污染達標性分析2.4.2.1產(chǎn)品方案和生產(chǎn)規(guī)?，F(xiàn)有項目產(chǎn)品方案和生產(chǎn)規(guī)模見表2.4-2。能量10//2裝3/4粉生產(chǎn)及1000t/a氣體儲運技00000056目////////2.4.2.2現(xiàn)有項目原輔材料消耗情況現(xiàn)有項目原輔材料消耗情況見表2.4-3。12鈉345698%798%890/0/01目1/2//12030405601/2/3/4/1/2/3/4/2.4.2.3現(xiàn)有項目生產(chǎn)設(shè)備及輔助設(shè)備情況現(xiàn)有項目主要生產(chǎn)設(shè)備見表2.4-4。一112211212112322522241132232512126333113二132立式DN1800×2600131415161三1/12/13/14/15/16/17/28/19/1/2/5四100t/a流化床制備硅碳復(fù)合材料中112133/1.5Mpa143/1.5Mpa151617181五112131455161718192555111112222111111六1221314/15/16/273/h,揚程22m483/h,揚程45m29/2/2/12.4.2.4現(xiàn)有項目生產(chǎn)工藝（一）一期1500t/a多晶硅項目一期1500t/a多晶硅項目中主要包含四氫化鈉鋁（SAH）制備單元、四氟化硅（STF）制備單元、硅烷制備單元、硅烷提純單元、多晶硅制備單元（該裝置已停用）、溶劑回收和四氟化鋁鈉干燥單元。①四氫化鈉鋁（SAH）制備單元三乙基鋁、鋁粉、循環(huán)甲苯投入到甲苯槽中混合。金屬鈉經(jīng)導(dǎo)熱硅油加熱后從稱重槽中投入SAH反應(yīng)釜中，與從甲苯槽輸送的原料混合反應(yīng)。反應(yīng)完成后產(chǎn)物通入到SAH沉降槽內(nèi)進行兩次分離和一次溶解。第一次分離出約75%的甲苯和溶解于甲苯中的催化劑OMH-1。第二次分離用蒸餾過的甲苯再次清洗SAH以便溶解回收更多的OMH-1催化劑。第二次分離后，SAH顆粒被溶解在二甲醚（CH3OC2H4OCH3）-甲苯混合物中，當SAH溶解完成后，SAH/二甲醚混合溶液（含有未反應(yīng)掉的鋁粉，溶解態(tài)OMH-1和固態(tài)Na3AlH6）送到SAH儲存槽中。SAH送入到SAH儲槽后，SAH沉降槽尾氣放空排放。②四氟化硅（STF）制備單元原環(huán)評中采用螢石粉與發(fā)煙硫酸制備HF，螢石粉（CaF2）通過螺旋鉸刀輸送至回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐，與濃硫酸反應(yīng)生成氟化氫（HF），氟化氫氣體經(jīng)洗滌、冷凝，儲存在HF儲槽，然后用泵送至STF反應(yīng)釜。根據(jù)企業(yè)提供的資料，企業(yè)目前回轉(zhuǎn)反應(yīng)器已經(jīng)拆除，現(xiàn)有HF全部購買，不再進行HF制備。STF以批次方式生產(chǎn)，采用兩個STF反應(yīng)釜輪番進行。向打漿槽內(nèi)通入75%硫酸，后加入石英砂（SiO2）粉料進行混合，混合好的漿料輸送至1#STF反應(yīng)器內(nèi)與來自氫氟酸儲罐的HF反應(yīng)，反應(yīng)過程中補充一定量的75%硫酸。隨反應(yīng)進行，硫酸濃度降至63%時停止反應(yīng)，將稀硫酸壓制稀硫酸儲槽內(nèi)，反應(yīng)產(chǎn)物四氟化硅（STF）經(jīng)洗滌、壓縮送至四氟化硅（STF）儲槽，以供硅烷生產(chǎn)單元生產(chǎn)硅烷。63%硫酸儲槽中的稀硫酸經(jīng)泵輸送到硫酸濃縮器中減壓蒸發(fā)出部分水分濃度達到83%后，回到75%硫酸儲槽循環(huán)使用。③硅烷制備單元SAH原料與STF原料采用逆流流向，即SAH從1#反應(yīng)器流向2#反應(yīng)器，STF從2#反應(yīng)器流向1#反應(yīng)器。硅烷反應(yīng)系統(tǒng):來自SAH儲槽內(nèi)的SAH溶液由泵輸送至洗滌塔底部，溶劑回收單元輸送泵送來二甲醚-甲苯溶劑進入溶劑儲槽，經(jīng)溶劑冷卻器冷卻后，從硅烷洗滌塔頂部進入洗滌塔。該溶劑與SAH溶液混合得到8%-10.5%SAH溶液，送到第一硅烷反應(yīng)器。第二硅烷反應(yīng)器STF和溶劑及生成的硅烷，分別經(jīng)STF汽提塔和回流罐，再經(jīng)深冷送入第一硅烷反應(yīng)器，給第一硅烷反應(yīng)器提供冷量，SAH和STF的反應(yīng)產(chǎn)生硅烷氣體和SAF固體。在第一硅烷反應(yīng)器中，2~5%未反應(yīng)的SAH/溶劑混合物從第一硅烷反應(yīng)器底部經(jīng)泵送入第二硅烷反應(yīng)器，同時一部分經(jīng)冷卻器返回第一硅烷反應(yīng)器，反應(yīng)熱通過冷卻器帶走。新鮮STF用專用管道送入第二硅烷反應(yīng)器，STF與從第一硅烷反應(yīng)器來的殘留SAH反應(yīng)生成硅烷氣體。第二硅烷反應(yīng)器沒有反應(yīng)掉的STF與硅烷氣體，從第二硅烷反應(yīng)器出來經(jīng)汽提塔回流罐進入第一硅烷反應(yīng)器。反應(yīng)產(chǎn)物SAF/溶劑混合物由第二硅烷反應(yīng)器用泵打入STF汽提塔。STF汽提:來自第二硅烷反應(yīng)器混合液體SAF/溶劑從STF汽提塔頂部進入，塔釜采用蒸汽再沸器加熱為STF汽提塔提供熱源，通過塔底部泵強制循環(huán)。從STF汽提塔底部出來的混合物料，用泵分別送入溶劑回收與SAF干燥處理單元SAF漿料儲罐。STF汽提塔頂STF、硅烷、二甲醚氣體，經(jīng)深冷器二甲醚氣體被冷凝，STF、硅烷、二甲醚氣液兩相混合物進入回流罐?；亓鞴揄敳侩x開的STF、硅烷氣體經(jīng)深冷器進入第一硅烷反應(yīng)器?；亓鞴薜撞恳后w回流至汽提塔頂部。硅烷洗滌和壓縮:第一硅烷反應(yīng)器和第二硅烷反應(yīng)器產(chǎn)生的硅烷，由底部進入硅烷洗滌塔。底部通過SAH溶液去除硅烷氣中含有的少量STF等雜質(zhì)；頂部設(shè)有溶劑噴灑，將溶劑回收單元回收的溶劑和補充系統(tǒng)損失的溶劑經(jīng)混合深冷后直接噴灑冷卻填料層，通過低溫減少硅烷中溶劑的含量。自硅烷洗滌塔塔頂出來硅烷氣經(jīng)除霧器除去溶劑液滴，與硅烷凈化單元過量硅烷匯合，進入硅烷加熱器，然后進入硅烷壓縮機后送硅烷凈化單元提純。④硅烷提純單元粗硅烷含輕組分雜質(zhì)在脫輕塔去除，大部分重組分已在硅烷制備單元硅烷洗滌塔去除。脫輕塔塔頂為內(nèi)置冷凝器，為避免過多的管道與該冷凝器聯(lián)接，輕組分如氫氣，甲烷和少量流失硅烷從塔頂部離開，塔釜的硅烷和重組分液體進入脫重塔。硅烷和重組分溶液進入脫重塔。脫重塔塔釜脫去的重組分主要有乙烷、乙烯、二乙基硅烷，乙基硅烷和流失的硅烷。硅烷從脫重塔頂部出來，進入吸附塔。脫重塔塔頂出來的硅烷含有大約30~70ppm的乙烯，乙烯與硅烷相對揮發(fā)度為0.97，很難用常規(guī)精餾把它從硅烷分離出來。因此，采用三級4A分子篩分離乙烯，乙烯在分子篩中被吸收得到高純度硅烷氣體。由于分子篩同時還可以吸收乙烷等重組分物質(zhì)，這些分子篩為脫重塔提供了雙保險。從吸附塔出來的硅烷進入脫乙基硅烷塔。離開吸附塔的硅烷進入脫乙基硅烷塔。在吸附塔中乙烯被吸收，分子篩對乙烯和硅烷具有催化劑作用，反應(yīng)生成乙基硅烷。為除去乙基硅烷，在吸附塔和高純硅烷儲罐間增加脫乙基硅烷塔去除乙基硅烷。塔釜是乙基硅烷和硅烷，出塔釜液體去硅烷制備單元硅烷壓縮機入口再返回本單元。塔頂硅烷進入硅烷儲存系統(tǒng)。從脫乙基硅烷塔頂部出來的硅烷經(jīng)冷凝后分別進入兩個硅烷中間罐，硅烷質(zhì)量合格后送到兩個產(chǎn)品罐。采用中間罐和產(chǎn)品罐的差壓法來轉(zhuǎn)運硅烷。產(chǎn)品罐硅烷經(jīng)硅烷加熱器使硅烷氣化，氣化后硅烷經(jīng)過空氣加熱器加熱到-10℃送硅烷充裝單元和納米硅粉制備單元。硅烷儲罐設(shè)置安裝安全閥。超壓時硅烷直接送焚燒爐，低溫液體硅烷將澆滅和冷卻燃燒火焰。因此，硅烷在送入焚燒爐前必須升溫，在放空去焚燒爐的管道上設(shè)置有蒸汽氣加熱器。從硅烷凈化單元出來的尾氣進入焚燒爐焚燒。⑤溶劑回收和四氟化鋁鈉干燥單元（1）溶劑蒸發(fā)和固態(tài)干燥工藝流程:從硅烷制備單元來含有甲苯、乙二醇二甲醚（二甲醚）及SAF的漿料，進入SAF漿料儲罐，SAF漿料儲藏罐配有攪拌器，控制液體里固態(tài)物質(zhì)不沉淀，溫度接近外部環(huán)境溫度。SAF漿料由泵送入Luwa薄膜干燥器垂直段，在垂直部分加熱，約80-90%的溶液蒸發(fā)。垂直部分用蒸汽加熱。SAF從垂直進入橫向干燥室，橫向部分用導(dǎo)熱油加熱。溶劑蒸汽從干燥器頂部出來進入溶劑的蒸餾工序。干燥器底部的粉料通過旋轉(zhuǎn)空氣鎖被輸送到布袋除塵器，收集包裝，協(xié)議外賣。（2）溶劑的蒸餾工藝流程:有機溶劑甲苯、二甲醚從Luwa干燥器垂直部分揮發(fā)出來后，經(jīng)過Luwa頂部冷凝器冷凝，在冷凝器中被分離出的有機溶劑送溶劑接收罐，通過泵送入溶劑蒸餾塔。溶劑接收罐頂部出來的不凝氣體被溶劑蒸餾塔頂部出來的一部分氣體吸入噴射器中，噴射器出來的物料經(jīng)兩級冷凝后進入氣液分離罐，頂部出來不凝氣進入焚燒爐焚燒，氣液分離罐出來的液體回流至溶劑蒸餾塔。蒸餾塔的工作溫度為163℃,工作壓力為2kg/cm2。溶劑蒸餾塔有兩個作用：一是從塔頂分離出溶液中溶解的輕組分，輕組分氣體用來驅(qū)動噴射器。二是將甲苯從二甲醚中分離出來，溶劑蒸餾塔釜甲苯送四氫化鈉鋁制備單元循環(huán)使用。溶劑蒸餾塔為浮閥塔，塔分為兩部分：上部為從溶液中分離出輕組分，下部是分離二甲醚和甲苯。物料從溶劑蒸餾下部進入，入口低于二甲醚采出口幾個塔板位置，溶劑蒸餾塔第四塊塔板采出二甲醚，二甲醚含量控制在85%（wt）左右，二甲醚經(jīng)冷卻后送入二甲醚溶劑槽，再經(jīng)二甲醚輸送泵分別送入四氫化鈉鋁單元SAH沉淀槽和硅烷制備單元硅烷洗滌塔。甲苯從塔底部采出，經(jīng)塔底甲苯冷凝器冷卻后，依靠溶劑蒸餾塔和甲苯溶劑罐的壓差進入甲苯溶劑罐，甲苯和二甲醚均貯存于立式壓力容器內(nèi)，甲苯經(jīng)泵輸送入四氫化鈉鋁制備單元循環(huán)（3）SAF儲存和輸出工藝流程:由Luwa干燥器來SAF粉末平均顆粒在5-10微米，通過Luwa干燥器底部旋轉(zhuǎn)空氣鎖，將SAF粉末送入空氣輸送系統(tǒng)，經(jīng)過布袋除塵器將固體顆粒截留下來，進入灰斗，作為聯(lián)產(chǎn)產(chǎn)品外賣。SAF布袋除塵器所用玻璃纖維集塵袋使用溫度為260℃,使用工廠氮氣脈沖清洗集塵袋，過濾后的氣體進入引風機，引風機出口氣體直接排入大氣。集塵袋里的SAF固體粉末依靠機械振打，通過旋轉(zhuǎn)空氣鎖進入SAF灰斗，經(jīng)計量后裝袋，作為聯(lián)產(chǎn)產(chǎn)品協(xié)議外賣。（二）500t/a硅烷灌裝項目硅烷儲罐（公用多晶硅單元）→進口緩沖罐→硅烷壓縮機→充裝硅烷氣體經(jīng)成品罐至緩沖罐，由硅烷壓縮機加壓后引出至充裝排，充入灌裝瓶。（三）300噸/年四氟化硅氣體充裝及300噸/年硅烷氣體管束式集裝箱充裝項目該項目在現(xiàn)有500t/a硅烷灌裝站項目的基礎(chǔ)上技改，只增加充裝能力為300t/a的管束式集裝箱充裝位，不增加壓縮機，總計充裝能力仍為500t/a，新增300t/a四氟化硅氣體充裝的能①四氟化硅氣體充裝四氟化硅氣體經(jīng)成品罐至緩沖罐，由四氟化硅壓縮機加壓后引出至充裝排，充入灌裝瓶。②硅烷氣體管束式集裝箱充裝硅烷氣體經(jīng)壓縮機出口總管引出至充裝排，充入管束式集裝箱。（四）2100t/a特氣充裝、300t/a四氟化硅精餾、200t/a高純納米硅粉生產(chǎn)及1000t/a氣體儲運技改項目①1300t/a硅烷充裝工藝流程硅烷氣（0.5MPa）來自硅烷車間硅烷儲罐，打開硅烷壓縮機緩沖罐前的調(diào)節(jié)閥及手閥向硅烷壓縮機緩沖罐引入硅烷氣體并升壓至0.5MPa，打開硅烷壓縮機進出口管線各閥及硅烷管束式集裝箱/Y瓶/標準瓶充裝用各調(diào)節(jié)閥，啟動壓縮機，經(jīng)壓縮機提升壓力至11.0MPa左右后向硅烷管束式集裝箱/Y瓶/標準瓶充裝氣體，監(jiān)控硅烷管束式集裝箱/Y瓶/標準瓶充裝壓力（9-11MPa），當硅烷管束式集裝箱/Y瓶/標準瓶充裝氣體重量達到設(shè)定重量（2.4-4t/100kg/10kg）時，系統(tǒng)自動關(guān)閉充調(diào)節(jié)閥，同時停壓縮機。②100t/a混合氣充裝工藝流程硅烷混氫充裝：將40L標瓶高純氫（15.0MPa）接入充裝排，打開高純氫充裝管路相應(yīng)閥門向充裝鋼瓶瓶內(nèi)充入一定量的氫氣（5-10ppm，精密質(zhì)量流量計聯(lián)鎖切斷調(diào)節(jié)閥，按客戶需求配比核算）后切斷氫氣充裝。然后切換至硅烷壓縮機出口硅烷管線，打開相應(yīng)閥門，啟動硅烷壓縮機向鋼瓶內(nèi)充裝硅烷至設(shè)定的重量（10kg），關(guān)閉充裝調(diào)節(jié)閥組、停壓縮機。然后采用液壓車將鋼瓶搬運至滾瓶機混合均勻，外售。③高純氮氣充裝工藝流程打開硅烷車間來的高純氮氣管線各閥及充裝排相應(yīng)閥門，向標瓶充裝氮氣至核定的重量，關(guān)閉相應(yīng)調(diào)節(jié)閥，標瓶裝車外售。④700t/a氫氣充裝工藝流程640t/a純氫氣充裝工藝流程打開純氫儲罐（14.0MPa）至氫氣壓縮機進口管線閥門，打開氫氣壓縮機出口管線各閥及管束式集裝箱或充裝排閥組各閥，啟動氫氣壓縮機向氫氣鋼瓶集裝格或管束式集裝箱充裝氫氣，監(jiān)測充裝集裝格或管束式集裝箱壓力（15.0~20MPa），當充裝壓力達到設(shè)定壓力后關(guān)閉相應(yīng)閥門，停壓縮機，封瓶外售。具體工藝流程如下：60t/a高純氫氣充裝工藝流程打開高純氫（1.0MPa）儲罐出口閥、高純氫純化器進出口閥、高純氫經(jīng)充裝壓縮機進出口閥及管束式集裝箱或充裝排閥組各閥，啟動高純氫氣壓縮機向高純氫鋼瓶集裝格或管束式集裝箱充裝高純氫氣，監(jiān)測充裝集裝格或管束式集裝箱壓力（15.0~20MPa），當充裝壓力達到設(shè)定壓力后關(guān)閉相應(yīng)閥門，停壓縮機，封瓶外售。具體工藝流程如下：⑤四氟化硅精餾工藝流程粗四氟化硅氣經(jīng)原料氣壓縮機加壓后，與脫重塔塔釜液及脫重塔塔頂氣換熱回收冷量后進入脫輕塔中部，脫輕塔塔頂采出輕組分經(jīng)過回收冷量后返回四氟化硅車間吸氣緩沖罐（原有），塔底物料自壓進入脫重塔中部。脫重塔塔頂采出高純四氟化硅產(chǎn)品氣經(jīng)過回收冷量后進入四氟化硅車間充裝系統(tǒng)。塔底采出經(jīng)過回收冷量并氣化后返回四氟化硅車間吸氣緩沖罐（原有）。脫輕塔塔頂采出的輕組分主要成分為SiF4及PPM級O2、N2、H2，排放至現(xiàn)有尾氣吸收系統(tǒng)（兩級水洗、一級堿洗）處理后達標排放；脫重塔塔底采出的重組份主要成分為SiF4，少量HF氣體及PPM級CO2等，排放至現(xiàn)有尾氣吸收系統(tǒng)（兩級水洗、一級堿洗）處理后達標排放。具體工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)如下圖所示。⑥高純納米硅粉生產(chǎn)工藝流程反應(yīng)原理硅烷與氫氣混合后在高溫下進行熱分解，生成硅粉和氫氣。工藝流程高純硅烷與高純氫氣進入配比緩沖罐進行混合配比，得到混合氣，混合氣進入硅烷管式反應(yīng)器，硅烷管式反應(yīng)器中，硅烷加熱分解成粒狀硅粉及氫氣，硅烷管式反應(yīng)器的出口得到氣粉混合氣，反應(yīng)后的氣粉混合氣經(jīng)尾氣冷卻器冷卻后，溫度降至100℃以下，進入一級硅粉過濾器，將硅粉濾出，收集在一級硅粉過濾器底部，當一級硅粉過濾器達到指定數(shù)量的硅粉后，關(guān)閉一級硅粉過濾器，打開二級硅粉過濾器，讓尾氣冷卻器冷卻后的氣粉混合氣進入二級硅粉過濾器繼續(xù)生產(chǎn)；一級硅粉過濾器及二級硅粉過濾器底部的硅粉放入硅粉收集罐中后包裝出售；經(jīng)一級硅粉過濾器或二級硅粉過濾器過濾后的尾氣進入焚燒爐。具體工藝流程見下圖：⑦1000t/a氣體儲運生產(chǎn)工藝流程該項目改建原乙類倉庫，用于液氨鋼瓶的轉(zhuǎn)運和儲存，儲運能力1000t/a。用戶運來的液氨鋼瓶（944L，重量480kg，壓力3MPa）通過汽車運輸?shù)綇S區(qū)，叉車卸車后存放至轉(zhuǎn)運倉庫儲存，在用戶提出轉(zhuǎn)運需求時用叉車裝車由用戶轉(zhuǎn)運至己方倉庫。（五）100t/a流化床制備硅碳復(fù)合材料中試項目1、工藝原理及反應(yīng)方程式具體反應(yīng)方程式如下式所示：SiH4Si+2H22、工藝流程圖3、工藝流程說明（1）石墨顆粒加入和流化：石墨顆粒選擇多孔結(jié)構(gòu)，為保證粒徑均勻，避免大顆粒進入影響成品品質(zhì)，計重后的石墨加入經(jīng)氮氣置換后的石墨料倉，投料過程中的揚塵通過石墨料倉過濾器過濾收集回用，石墨進入流化床反應(yīng)器后，調(diào)節(jié)氫氣流量，使石墨顆粒流化起來。置換廢氣、投料粉塵和石墨料倉呼吸廢氣均通入RCO廢氣處理裝置處理后由15米排氣筒高空排放，因原料石墨用量較少，且高效過濾器過濾效果約99.9%，G1石墨料倉廢氣中存僅在少量石墨粉塵。（2）硅烷分解包覆：為對已經(jīng)流化起來的石墨顆粒進行包覆，啟動流化床外電加熱器，使得流化床內(nèi)溫度達到并穩(wěn)定在650℃,然后降低氫氣流量，通入硅烷氣，硅烷在高溫下分解，生成的硅進入多孔石墨內(nèi)部并包覆在石墨顆粒表面，控制硅烷通入時間，以獲得要求包覆厚度的碳硅復(fù)合材料顆粒。硅烷分解反應(yīng)生成的H2和一些微小硅粉塵經(jīng)換熱器冷卻后進入粉料冷卻罐。（3）成品顆粒冷卻：通過加大氫氣流量，將制備好的碳硅復(fù)合顆粒從流化床吹入粉料冷卻罐。尾氣經(jīng)換熱器冷卻后通入反吹過濾器處理，該反吹過濾器采用陶瓷濾芯，陶瓷濾杯高效過濾器的處理效率可高達99.99%，因此硅碳復(fù)合顆粒和極少量未完全反應(yīng)的石墨、硅粉一并收集于陶瓷濾芯中，過濾后的尾氣主要為高濃度氫氣和多余的硅烷氣，尾氣G2經(jīng)過濾器處理后直接進入RCO廢氣處理裝置處理。高溫的碳硅復(fù)合顆粒在粉料冷卻罐里，被循環(huán)冷卻水不斷換熱降溫，達到常溫后，過濾器陶瓷濾杯中收集的產(chǎn)品混合少量過濾下來的石墨硅粉一起通過高壓氫氣反吹進入粉料收集罐中。（4）復(fù)合材料的包裝和儲存：裝置停車后使用氮氣置換收集罐中的氣體，置換完成后，將碳硅復(fù)合粉料從粉料收集罐中取出，包裝為成品。該置換廢氣經(jīng)陶瓷過濾器濾下氣流中攜帶的產(chǎn)品粉塵后進入RCO廢氣處理裝置處理。（六）STF（四氟化硅）裝置技改項目①氫氟酸儲運流程氫氟酸儲罐布置在酸罐庫區(qū)內(nèi)，實施封閉化管理，并配套設(shè)置泄漏報警設(shè)施、尾氣吸收系統(tǒng)。來自槽車的氫氟酸通過氮氣壓入到氫氟酸儲罐內(nèi)，裝卸過程會產(chǎn)生卸車廢氣。儲存于氫氟酸儲罐中的AHF再通過屏蔽泵經(jīng)管道輸送至STF生產(chǎn)單元用于四氟化硅的生產(chǎn)。氫氟酸儲罐為壓力罐（0.5MPa），日常儲存過程中基本無呼吸廢氣產(chǎn)生。氫氟酸儲罐卸車廢氣經(jīng)收集后送至氫氟酸儲罐尾氣處理系統(tǒng)處理。②氟硅酸儲運流程正常工況下，來自STF生產(chǎn)單元洗滌塔循環(huán)罐的氟硅酸通過輸送泵經(jīng)管道直接送入STF反應(yīng)釜回用于四氟化硅生產(chǎn)；當STF反應(yīng)釜進行壓料時，STF生產(chǎn)單元洗滌塔循環(huán)罐的氟硅酸通過輸送泵經(jīng)管道進入氟硅酸儲罐內(nèi)，待壓料結(jié)束后再通過輸送泵送至STF反應(yīng)釜用于四氟化硅的生產(chǎn)。氟硅酸儲罐產(chǎn)生的呼吸廢氣經(jīng)收集后送至氫氟酸儲罐尾氣處理系統(tǒng)處理。③98%硫酸儲運流程98%硫酸通過低位槽經(jīng)輸送泵經(jīng)管道卸入98%硫酸儲罐內(nèi)，使用時再通過輸送泵經(jīng)管道輸送至STF生產(chǎn)單元用于四氟化硅的生產(chǎn)，濃硫酸儲罐呼吸廢氣直接排放。2.4.2.5現(xiàn)有項目污染因素及防治措施企業(yè)現(xiàn)有的項目廢水、廢氣、固廢防治措施見表2.4-5。表2.4-5現(xiàn)有項目污染因素及防治措施匯總一覽表烷物產(chǎn)及1000t/a氣體儲運放MnS,ZnS等NiO理等2.4.2.6現(xiàn)有項目污染源分析（一）污染源強調(diào)查與分析結(jié)果（1）廢氣結(jié)合企業(yè)現(xiàn)有項目實際生產(chǎn)情況調(diào)查，項目達產(chǎn)時廢氣產(chǎn)生及排放情況匯總見下表。其中廢氣排放量根據(jù)監(jiān)測報告進行核算，沒有監(jiān)測的因子和未建設(shè)的項目廢氣源強參照環(huán)評報告確定。表2.4-6現(xiàn)有項目廢氣排放情況單位：t12345NOx6789NOxNOxDME：4.3381/2/3/4NOX/5/6/7/8VOCS/（2）廢水企業(yè)針對2022年生產(chǎn)廢水排放量進行統(tǒng)計，本報告引用該統(tǒng)計年報數(shù)據(jù)，現(xiàn)有項目廢水產(chǎn)生及排放情況見下表。表2.4-7現(xiàn)有已建項目廢水排放情況單位：t/aNH3-N水/①巨化環(huán)?？萍脊疚鬯幚韽SCOD排放執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》（GB18918-20），（3）固廢表2.4-8現(xiàn)有已建項目固體廢物污染量劑8確確33確/注：根據(jù)企業(yè)提供資料制氫單元廢催化劑更換周期5年以上，2022年未進行更換，因此2022年無廢催化劑產(chǎn)生；其他廢脫硫劑、廢吸附劑、廢活性炭及硅烷提純單元的廢分子業(yè)與浙江紅獅環(huán)保股份有限公司簽訂協(xié)議中列出的污染物為“廢活性（二）主要污染因子排放達標性分析（1）廢氣①有組織排放：本報告引用中寧公司委托浙江溢景檢測科技有限公司的自行監(jiān)測數(shù)據(jù)（浙溢檢氣字（2023）第042402號），企業(yè)現(xiàn)有已建項目污染源廢氣檢測結(jié)果如下表所示。9-3-3-39-499第一次煙溫(℃)第一次煙溫(℃)根據(jù)檢測結(jié)果可知，焚燒爐廢氣排放濃度滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級排放的相關(guān)限值要求；SAF布袋除塵器廢氣排氣筒出口各污染物排放速率和濃度均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級排放的相關(guān)限值要求；天然氣蒸汽鍋爐排放口中各污染物均能滿足《鍋爐大氣污染物排放標準》（GB13271-2014）表3特別排放限值的要求，氮氧化物符合50mg/m3標準（根據(jù)《燃氣鍋爐低氮改造工作技術(shù)指南（試行）》（浙江省生態(tài)環(huán)境廳2019年9月）文件要求，氮氧化物從嚴執(zhí)行50mg/m3的低氮排放要求）；制氫單元轉(zhuǎn)化爐排氣筒SO2、NOx和顆粒物符合《浙江省工業(yè)爐窯大氣污染綜合治理實施方案》（浙環(huán)函〔2019〕315號）的有關(guān)要求（暫未制訂行業(yè)排放標準的，原則上按照顆粒物、二氧化硫、氮氧化物排放限值分別不高于30、200、300毫克/立方米）；STF裝置洗滌塔和氟化氫罐區(qū)的氟化物、硫酸霧廢氣濃度符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級排放的相關(guān)限值要求。②無組織排放：根據(jù)企業(yè)提供的監(jiān)測報告《浙巨化檢氣字（2021）第0511號》、《浙溢檢氣字（2022）第121601號》，企業(yè)無組織廢氣監(jiān)測結(jié)果如下。2021年4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4-4無組織排放各測點顆粒物、甲苯、非甲烷總烴、氟化物、硫酸霧均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中表2的限值要求。（2）廢水企業(yè)廠區(qū)內(nèi)排水實行雨污分流，生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后納管進入衢州城市污水處理廠處理，生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站預(yù)處理后納管進入巨化環(huán)科污水處理廠處理。①廠區(qū)污水處理站：企業(yè)污水處理站由浙江省環(huán)境工程有限公司設(shè)計，污水處理規(guī)模為192t/d進行設(shè)計，主要采用化學(xué)氧化、物化處理工藝和生化處理工藝。污水處理工藝見下圖。主要工藝流程說明：（1）四氟化硅車間廢水主要含有氟化物，主要采用物化處理工藝。含氟廢水進入調(diào)節(jié)池調(diào)解PH；然后進入中和池，添加氫氧化鈣/氧化鈣進行中和；再進入反應(yīng)池反應(yīng)后進入絮凝池添加絮凝劑；經(jīng)沉淀池沉淀后上清液進入污水預(yù)排池，經(jīng)檢驗合格后進入污水排放池，污泥進入污泥濃縮池，經(jīng)壓濾后裝袋委外處理。（2）綜合廢水主要含有一定濃度的COD，主要采用生化處理工藝。來自車間初期雨水池、事故應(yīng)急池和檢維修產(chǎn)生的洗滌廢水，經(jīng)調(diào)節(jié)池混合后，進入鐵碳塔，在微電解塔里廢水進行電化學(xué)反應(yīng)，在酸性條件下，鐵與碳之間會形成無數(shù)個微電流反應(yīng)，苯胺類化合物及其他有機物在微電解作用下被氧化還原；然后進入中和混凝池，中和混凝反應(yīng)形成泥水混合物；再進入初沉池，泥水分離后清液自流至生化系統(tǒng)，污泥進入污泥濃縮池；生化系統(tǒng)在缺氧，好氧菌交替作用下可降解COD，出水經(jīng)沉淀池截留污泥后，上清液進入污水預(yù)排池，污泥進入污泥濃縮池。（3）F/N廢水F/N廢水主要含有氟化物，經(jīng)一次反應(yīng)沉淀和二次反應(yīng)沉淀池，投加石灰等藥劑除氟，再投加絮凝劑分離，上清液進入外排池，經(jīng)在線分析檢測合格后，進入污水排放池納管，污泥經(jīng)壓濾機后裝袋委外處理。本次評價引用企業(yè)2022年廢水自行監(jiān)測報告（浙巨化檢水字20220119第001號）及（浙溢檢水字（2023）第041403號）數(shù)據(jù)進行評價，廠區(qū)各單元污水總排口監(jiān)測結(jié)果見下表。pHBOD5口///口//8/表2.4-13浙溢檢水字（2023）第041//8/5~7///////////////根據(jù)監(jiān)測結(jié)果可知，企業(yè)現(xiàn)有生產(chǎn)廢水和生活污水中各項污染物指標最大濃度均符合相應(yīng)的納管標準，雨水監(jiān)測因子能夠滿足《市美麗辦關(guān)于印發(fā)〈衢州市水生態(tài)環(huán)境保護暨治水長效戰(zhàn)2022年度工作計劃〉的通知》（美麗衢州辦[2022]8號）中的相關(guān)要求。生產(chǎn)廢水排放口設(shè)有在線監(jiān)測裝置，本報告選取2022年7月~12月的在線監(jiān)測數(shù)據(jù)統(tǒng)計結(jié)果如下。pH值/備注：在線數(shù)據(jù)來源于浙江省污染源自動監(jiān)控信息管理平臺圖2.4-19廢水CODCr在線監(jiān)測圖生產(chǎn)廢水排放口pH和COD因子在線監(jiān)測數(shù)據(jù)滿足《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）三級標準。（3）噪聲為了解廠界噪聲排放情況，本報告引用企業(yè)《STF（四氟化硅）裝置技改項目環(huán)保設(shè)施竣工驗收監(jiān)測》報告中的廠界噪聲監(jiān)測數(shù)據(jù)進行說明（浙溢檢噪字[2022]第121301號）和2023年4月的自行監(jiān)測數(shù)據(jù)進行說明（浙溢檢噪字[2023]第040901號），監(jiān)測結(jié)果見表2.4-15。監(jiān)測結(jié)果表明，西側(cè)、北側(cè)、南側(cè)廠界噪聲監(jiān)測值能夠達到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類標準，東側(cè)廠界噪聲監(jiān)測值能夠達到4類標準，附近敏感點十八里村、黃家村能夠滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標準》（GB3096-2008）中的2類區(qū)標準。2.4.3在建項目企業(yè)在建項目為“2100t/a高純硅烷系列產(chǎn)品技改項目”，根據(jù)企業(yè)提供資料，企業(yè)對該項目STF等主要生產(chǎn)單元已基本建設(shè)完成，企業(yè)建設(shè)過程中，根據(jù)市場調(diào)查發(fā)現(xiàn)存在氟硅酸鈉制備四氟化硅工藝原料供應(yīng)不足、副產(chǎn)物氟化鈉銷售困難等問題，企業(yè)已對該項目進行技術(shù)改造，項目已停止建設(shè)并對相關(guān)工序進行拆除，對照相關(guān)環(huán)保要求已重新申報環(huán)評手續(xù)，目前已通過審批。因此2100t/a高純硅烷系列產(chǎn)品技改項目納入未建項目進行評價。2.4.4未建項目企業(yè)未建項目為“年產(chǎn)100噸氟氮混合氣技改項目”以及重新報批后的“2100t/a高純硅烷系列產(chǎn)品技改項目”、“5000噸/年電子特氣硅烷系列產(chǎn)品項目”，未建項目根據(jù)環(huán)評等資料進行評價。2.4.4.1產(chǎn)品方案和生產(chǎn)規(guī)模未建項目產(chǎn)品產(chǎn)量情況見下表。123/4/56/7892.4.4.2原輔材料消耗情況未建項目原輔材料消耗見下表。1固2固3固4液外購5液6液7液8液9液固液固4氣固固鎳固/冶金級硅（非晶型的）固≥98%4970.485氫氣氣≥99.5%908.8四氯化硅液≥99.5%4184氫氧化鈉液30%500銅系催化劑固氯化亞銅132.866歧化催化劑固樹脂30硼磷吸附劑固樹脂202.4.4.3工藝流程（1）2100t/a高純硅烷系列產(chǎn)品技改項目制備單元、硅烷制備單元、硅烷提純單元、溶劑回收和四氟化鋁鈉干燥單元、乙硅烷制備單①四氫化鈉鋁（SAH）制備單元SAH以批次方式生產(chǎn)，為了縮短反應(yīng)時間，反應(yīng)在高壓下進行。首先三乙基鋁、鋁粉、循環(huán)甲苯在循環(huán)甲苯槽中混合，然后轉(zhuǎn)送到SAH反應(yīng)釜中，循環(huán)甲苯中含有OMH-1催化劑，新加入的三乙基鋁是為了補充從SAH溶液中流失的量。金屬鈉加熱融化，由氮氣壓至計量槽，從計量槽投入到SAH反應(yīng)釜中，整個過程均在氮氣保護下進行。氫氣通過插在液面下管道送到反應(yīng)釜。生成物SAH漿液也通過該管道被壓入SAH沉降槽。SAH反應(yīng)釜工況如下：溫度100~140℃,壓力130~140bar，反應(yīng)時間通常120~140min。SAH沉降槽的操作包括兩步分離和一步溶解。在每步分離中，SAH被沉淀下來，分離出的甲苯溶劑進入甲苯溶劑槽中。第一次分離可以分離出約75%的甲苯和溶解于甲苯中的催化劑OMH-1。第二次分離用蒸餾過的甲苯再次清洗SAH以便溶解回收更多的OMH-1催化劑。第二次分離后，SAH顆粒被溶解在二甲醚（CH3OC2H4OCH3）-甲苯混合物中，當SAH溶解完成后，SAH/二甲醚混合溶液（含有未反應(yīng)掉的鋁粉，溶解態(tài)OMH-1和固態(tài)Na3AlH6）送到SAH儲存槽中。每次SAH轉(zhuǎn)送到SAH儲存槽后，SAH沉降槽要進行放空。放空過程中，未反應(yīng)完的氫氣和揮發(fā)的甲苯、二甲醚、二乙基硅烷（回收的溶劑中帶入）混合廢氣送入焚燒爐燃燒后排放。四氫化鋁鈉（SAH）壓片制作工藝：將SAH沉降槽R-1102/2102內(nèi)的SAH漿料（SAH/甲苯混合溶液）壓送至三合一過濾器X-1104進行壓濾，濾液返回至回收甲苯儲罐D(zhuǎn)-1103/D-2103。然后用新鮮的甲苯洗滌X-1104里的濾餅。洗滌完成后向X-1104夾套通入蒸汽進行升溫干燥。甲苯蒸汽經(jīng)冷凝器E-1118冷凝回收甲苯后排入焚燒爐管線，冷凝液返回至D-1103/D-2103。然后關(guān)閉蒸汽打開冷卻水對X-1104進行冷卻，冷卻后將SAH粉料卸至壓片機的料倉然后進行壓片，壓片完成后用PE袋充氮包裝后放入規(guī)格為25kg/桶的鐵桶外售。項目工藝流程見圖2.4-20。②四氟化硅（STF）制備單元來自酸罐庫區(qū)氟化氫儲槽的氟化氫通過泵送至STF反應(yīng)釜（反應(yīng)過程中氟化氫持續(xù)進料）。STF以批次方式生產(chǎn)，采用兩個STF反應(yīng)釜輪番進行。首先向打漿槽注入98％硫酸，補充一定量63%硫酸，配成75%硫酸。然后加入石英砂（SiO2）粉料，與75％硫酸在打漿槽預(yù)混，將混合好的漿料用氮氣壓送到1#STF反應(yīng)器，然后加入液態(tài)氟化氫。STF反應(yīng)器工況如下：溫度70～100℃,壓力0～0.07MPa，液位為80%,反應(yīng)時間為20h。隨著反應(yīng)的進行，硫酸濃度降到63％左右后，停止反應(yīng)，冷卻降溫后，將稀硫酸壓到稀硫酸儲槽。反應(yīng)產(chǎn)物四氟化硅送入硫酸干燥塔用98%硫酸洗滌、干燥、脫水，再經(jīng)壓縮機壓縮送至四氟化硅儲槽。稀硫酸儲槽的63%稀硫酸經(jīng)硫酸濃縮器濃縮，蒸發(fā)其中多余的水分，將濃度提升至75%后循環(huán)使用。反應(yīng)釜生產(chǎn)時產(chǎn)生的反應(yīng)廢氣（G2-1，主要含四氟化硅、硫酸霧）進入洗滌塔（一級酸洗），經(jīng)洗滌液（濃度為3-5%氫氟酸水溶液）吸收后形成氟硅酸，氟硅酸由洗滌塔循環(huán)罐泵入氟硅酸儲槽，需要使用時由泵重新加入STF反應(yīng)釜，與石英砂反應(yīng)生產(chǎn)四氟化硅，氟硅酸在系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)使用。未被吸收的廢氣經(jīng)后續(xù)洗滌塔（二級水洗+一級堿洗）處理后15m高空排放。③硅烷制備單元硅烷制備單元包括四個部分：硅烷反應(yīng)系統(tǒng)、STF汽提、硅烷洗滌和壓縮。本單元工藝流程見圖2.4-22。a、硅烷反應(yīng)系統(tǒng)硅烷反應(yīng)分兩步完成：第一硅烷反應(yīng)器完成90~95%的反應(yīng)，余下的在第二硅烷反應(yīng)器中完成。SAH是從第一硅烷反應(yīng)器向第二硅烷反應(yīng)器流動的，而STF是從第二硅烷反應(yīng)器向第一硅烷反應(yīng)器流動的，這樣兩種物質(zhì)可以盡量反應(yīng)完全。SAH溶液從SAH儲存槽中由泵送入硅烷洗滌塔底部，溶劑回收單元輸送泵送來二甲醚-甲苯溶劑進入溶劑儲槽，經(jīng)溶劑冷卻器冷卻后，從硅烷洗滌塔頂部進入洗滌塔。該溶劑與SAH溶液混合得到8%-10.5%SAH溶液，送到第一硅烷反應(yīng)器。第二硅烷反應(yīng)器STF和溶劑及生成的硅烷，分別經(jīng)STF汽提塔和回流罐，再經(jīng)深冷送入第一硅烷反應(yīng)器，給第一硅烷反應(yīng)器提供冷量，SAH和STF的反應(yīng)產(chǎn)生硅烷氣體和SAF固體。在第一硅烷反應(yīng)器中，2～5%未反應(yīng)的SAH/溶劑混合物從第一硅烷反應(yīng)器底部經(jīng)泵送入第二硅烷反應(yīng)器，同時一部分經(jīng)冷卻器返回第一硅烷反應(yīng)器，反應(yīng)熱通過冷卻器帶走。新鮮STF用專用管道送入第二硅烷反應(yīng)器，STF與從第一硅烷反應(yīng)器來的殘留SAH反應(yīng)生成硅烷氣體。第二硅烷反應(yīng)器沒有反應(yīng)掉的STF與硅烷氣體，從第二硅烷反應(yīng)器出來經(jīng)汽提塔回流罐進入第一硅烷反應(yīng)器。反應(yīng)產(chǎn)物SAF/溶劑混合物由第二硅烷反應(yīng)器用泵打入STF汽提塔。b、STF汽提來自第二硅烷反應(yīng)器混合液體SAF/溶劑從STF汽提塔頂部進入，塔釜采用蒸汽再沸器加熱為STF汽提塔提供熱源，通過塔底部泵強制循環(huán)。從STF汽提塔底部出來的混合物料，用泵分別送入溶劑回收與SAF干燥處理單元的SAF漿料儲罐。STF汽提塔頂STF、硅烷、二甲醚氣體，經(jīng)深冷器冷卻后，二甲醚氣體被冷凝，STF、硅烷、二甲醚氣液兩相混合物進入回流罐?；亓鞴揄敳侩x開的STF、硅烷氣體經(jīng)深冷器進入第一硅烷反應(yīng)器?；亓鞴薜撞恳后w回流至汽提塔頂部。c、硅烷洗滌和壓縮第一硅烷反應(yīng)器和第二硅烷反應(yīng)器產(chǎn)生的硅烷，由底部進入硅烷洗滌塔。底部通過SAH溶液去除硅烷氣中含有的少量STF等雜質(zhì)；頂部設(shè)有溶劑噴灑，將溶劑回收單元回收的溶劑和補充系統(tǒng)損失的溶劑經(jīng)混合深冷后直接噴灑冷卻填料層，通過低溫減少硅烷中溶劑的含量。自硅烷洗滌塔塔頂出來硅烷氣經(jīng)除霧器除去溶劑液滴，與硅烷凈化單元來的硅烷匯合，進入硅烷加熱器，然后進入硅烷壓縮機后送硅烷凈化單元提純。④硅烷提純單元硅烷制備單元來的粗硅烷氣體含有氫氣，甲烷，乙烯，乙烷，乙基硅烷、二乙基硅烷等雜質(zhì)，需送硅烷提純單元提純后再到硅烷儲存單元。硅烷提純單元主要包括脫輕塔、脫重塔、吸附塔、脫乙基硅烷塔和硅烷回流與儲存五部分，脫輕廢氣、脫重廢氣和吸附塔再生廢氣送入焚燒爐燃燒后排放。A、脫輕塔粗硅烷含輕組分雜質(zhì)在脫輕塔去除，大部分重組分已在硅烷制備單元硅烷洗滌塔去除。脫輕塔塔頂為內(nèi)置冷凝器，為避免過多的