模具材料與熱處理 教學(xué)課件 吳光明 第五章

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或者直接輸入下面地址：5Q主編第一節(jié)模具外表強(qiáng)化處理概述對(duì)模具外表進(jìn)行處理，可以提高其外表硬度，改變表層化學(xué)成分和組織，進(jìn)而提高其耐磨性、抗粘附性、疲勞抗力和耐蝕性等。模具外表使用性能的提高，不僅可以有效地延長模具的使用壽命，降低生產(chǎn)本錢，而且還能提高被加工件的外表質(zhì)量。

表5-1外表強(qiáng)化處理的作用及應(yīng)用第一節(jié)模具外表強(qiáng)化處理概述表5-1外表強(qiáng)化處理的作用及應(yīng)用對(duì)模具外表進(jìn)行處理，可以提高其外表硬度，改變表層化學(xué)成分和組織，進(jìn)而提高其耐磨性、抗粘附性、疲勞抗力和耐蝕性等。模具外表使用性能的提高，不僅可以有效地延長模具的使用壽命，降低生產(chǎn)本錢，而且還能提高被加工件的外表質(zhì)量。

第一節(jié)模具外表強(qiáng)化處理概述表5-2外表強(qiáng)化處理的具體分類第二節(jié)模具外表化學(xué)強(qiáng)化處理化學(xué)熱處理是指將金屬或合金工件置于一定的活性介質(zhì)中保溫，使一種或幾種元素滲入它的表層，以改變其化學(xué)成分、組織和性能的熱處理工藝。化學(xué)熱處理的種類很多，一般都以滲入的元素來命名。常用的化學(xué)熱處理方法有滲碳、滲氮、碳氮共滲、滲硫、硫氮共滲、滲硼、硼氮共滲、滲鋁、滲鉻、滲硅、滲鋅和鹽浴滲金屬等。一、滲碳、滲氮、滲硫、滲硼處理

1.滲碳

模具在滲碳介質(zhì)中加熱，使鋼的外表滲入碳元素的熱處理過程稱為滲碳。

(1)滲碳的特點(diǎn)碳原子的滲入可以使模具工作外表獲得高的硬度、耐磨性與疲勞強(qiáng)度，而心部仍具有一定的強(qiáng)度和良好的韌性。滲層的碳的質(zhì)量分?jǐn)?shù)一般為0.85％～1.05％，經(jīng)淬火后，硬度為60～62HRC。

(2)滲碳的方法根據(jù)滲碳介質(zhì)的物理狀態(tài)，滲碳方法可分為固體滲碳、液體滲碳、氣體滲碳、離子滲碳和真空滲碳等。1.滲碳圖5-1固體滲碳裝箱示意圖

1—泥封2—蓋3—試樣

4—零件5—滲碳劑6—滲碳箱1)工作原理。

固體滲碳是將工件置于填滿木炭和碳酸鋇的密封箱內(nèi)進(jìn)行(圖5-1)，滲碳劑是木炭和碳酸鋇的混合物，其中木炭起滲碳作用，碳酸鋇起催滲作用。在高溫下，木炭與空隙中的氧氣滲碳采用液體或氣體碳?xì)浠衔镒鳛闈B碳劑。國內(nèi)應(yīng)用最廣的氣體滲碳方法是滴注式氣體滲碳，其方法是將工件置于密封的加熱爐中(圖5-2)，圖5-2滴注式氣體滲碳爐示意圖

1—風(fēng)扇電動(dòng)機(jī)2—廢氣火焰3—爐蓋4—砂封

5—電阻絲6—耐熱罐7—工件8—爐體1.滲碳(3)滲碳在模具中的應(yīng)用滲碳主要用于承受沖擊很大、要求高強(qiáng)度和良好抗裂性能的小型模具及冷擠壓成型的塑料模具，其應(yīng)用效果見表5-3。表5-3模具滲碳的應(yīng)用效果2.滲氮

滲氮也稱氮化，它是在一定溫度下，使活性氮原子滲入模具工作外表并向內(nèi)擴(kuò)散，形成氮化物層的工藝過程。滲氮是模具上應(yīng)用最廣的一種外表處理方法，幾乎適用于所有類型的模具。

(1)滲氮的特點(diǎn)

1)具有高的外表硬度及耐磨性，并能保持到600℃左右而不明顯下降。

2)具有高的疲勞抗力和耐蝕性。

3)滲氮處理溫度低，滲后不再進(jìn)行其他熱處理，所以工件變形小，適合精密模具的外表強(qiáng)化。

4)滲氮層淺(＜0.7mm)，脆性較大，只適合于含鉻、鉬等的合金鋼。

(2)滲氮的方法目前，常用的滲氮方法主要是氣體滲氮和離子滲氮。2.滲氮表5-4局部模具鋼的滲氮工藝標(biāo)準(zhǔn)2.滲氮圖5-3鐘罩式離子滲氮爐

1—進(jìn)水管2—進(jìn)氨管3—陰極托盤裝置

4—進(jìn)水管5—電阻真空規(guī)管6—真空泵

7—抽氣系統(tǒng)8—底盤9—陽極接線座

10—屏蔽帽11—瓷絕緣子12—觀察孔

13—內(nèi)爐壁陽極14—雙層爐體2)離子滲氮。離子滲氮是在離子滲氮爐中進(jìn)行的。它是在一定的真空度下利用工件(陰極)和陽極間產(chǎn)生的輝光放電現(xiàn)象進(jìn)行的，所以又稱輝光離子滲氮。將工件置于離子滲氮爐(圖5-3)中的托盤上2.滲氮2)離子滲氮。

①真空度一般為1.33～13.3Pa。

②氣體壓力常用為266～798Pa。

③電流密度為0.5～5mA／cm2。

④輝光電壓：加熱電壓為550～750V，保溫階段電壓應(yīng)適當(dāng)比加熱電壓低，通常為550～650V，形狀簡單時(shí)取650V，形狀復(fù)雜時(shí)取550V。

⑤滲氮溫度：一般取450～600℃，但即使在400℃以下也能進(jìn)行滲氮處理。

⑥極間距離：一般以30～70mm為適宜。

⑦滲氮時(shí)間：根據(jù)滲氮模具材料、滲氮層厚度和硬度選擇適宜時(shí)間。2.滲氮(3)滲氮在模具中的應(yīng)用氣體滲氮現(xiàn)已逐漸由離子滲氮、氮碳共滲、真空滲氮取代，所以離子滲氮在模具上的應(yīng)用更廣，使用效果也更好，局部模具鋼的離子滲氮工藝與使用效果見表5-5。

表5?5局部模具鋼的離子滲氮工藝與使用效果表5-5局部模具鋼的離子滲氮工藝與使用效果(4)幾種典型材料制成的模具的滲氮工藝標(biāo)準(zhǔn)30CrMnSiA鋼采用一段外表處理法，滲氮溫度為500℃±5℃，保溫時(shí)間為25～30h，氨分解率為20％～30％，滲氮層厚度為0.2～0.3mm，外表硬度大于58HRC。3.滲硫

拉深模具、擠壓模具等常在干摩擦條件下工作，因此要求模具工作外表具有較小的摩擦因數(shù)。滲硫可在鋼鐵材料外表生成很薄的FeS薄膜，以降低摩擦因數(shù)而提高抗咬合性能.4.滲硼

滲硼是將工件置于含硼的介質(zhì)中，經(jīng)過加熱與保溫使硼元素滲入工件外表，形成FeB和Fe2B化合層的工藝過程。滲硼后的模具具有硬度高、耐磨性好、耐熱、熱硬性及耐蝕性高等特點(diǎn);在600℃高溫下材料表層可不發(fā)生氧化，該溫度以下可正常工作；在600～800℃工作時(shí)硬度不降低。但滲硼層的脆性大，工件在承受強(qiáng)大的沖擊載荷時(shí)，很容易發(fā)生滲層剝落與開裂。4.滲硼處理時(shí)基體發(fā)生相變，而硼化層不發(fā)生相變，因此滲層易開裂，故要盡量使用緩和的淬火介質(zhì)并及時(shí)回火。滲硼適用于各種成分的鋼，用于多種冷作、熱作模具。但由于滲硼溫度高，零件變形大，因此限制了其在高精度模具上的應(yīng)用。模具各種零件滲硼前后的效果比較見表5-6。表5-6模具各種零件滲硼前后的效果比較二、多元共滲及復(fù)合滲處理多元共滲是將工件表層滲入多于一種元素的化學(xué)熱處理工藝。實(shí)際生產(chǎn)中應(yīng)用較多的多元共滲有碳氮共滲、氮碳共滲、硼硫復(fù)合滲和硫氮碳共滲等。

1.碳氮共滲

在一定溫度下，向工件表層同時(shí)滲入碳和氮，并以滲碳為主的化學(xué)熱處理工藝稱為碳氮共滲。根據(jù)共滲介質(zhì)的不同，碳氮共滲可分為固體法、氣體法和液體法，實(shí)際生產(chǎn)中常用的是氣體碳氮共滲法。

氣體碳氮共滲的特點(diǎn)是：共滲層力學(xué)性能兼顧了滲碳層和滲氮層的優(yōu)點(diǎn),工件變形小,共滲速度明顯大于單獨(dú)滲氮或單獨(dú)滲碳的速度。氣體氮碳共滲具有以下特點(diǎn)。

1)處理溫度低(一般為530～570℃)，時(shí)間短(一般為1～6h)，工件變形小。

2)不受鋼種限制，碳鋼、低合金鋼、工具鋼、鑄鐵及鐵基粉末冶金材料等均可進(jìn)行處理。

3)工件經(jīng)處理后可獲得較高的外表硬度、疲勞抗力、耐磨性和耐蝕性，在干摩擦條件下，還具有抗擦傷和抗咬合等性能。

4)滲層脆性小，不易剝落。但因滲層較薄，不適合重載工作的零件。2.氮碳共滲

該種工藝是向鋼件外表同時(shí)滲入氮和碳，并以滲氮為主的化學(xué)熱處理。由于處理后的滲層脆性小，硬度較滲氮層低，故又稱為軟氮化。氮碳共滲方法主要有液體法和氣體法兩種，實(shí)際生產(chǎn)中常應(yīng)用的是氣體氮碳共滲法。2.氮碳共滲1)處理溫度低(一般為530～570℃)，時(shí)間短(一般為1～6h)，工件變形小。

2)不受鋼種限制，碳鋼、低合金鋼、工具鋼、鑄鐵及鐵基粉末冶金材料等均可進(jìn)行處理。

3)工件經(jīng)處理后可獲得較高的外表硬度、疲勞抗力、耐磨性和耐蝕性，在干摩擦條件下，還具有抗擦傷和抗咬合等性能。

4)滲層脆性小，不易剝落。表5-7典型模具氣體氮碳共滲工藝與壽命3.硼硫復(fù)合滲

為了使?jié)B硼模具不僅外表硬度高，而且具有減摩潤滑性能，可在滲硼后再滲硫，即在高硬度滲硼層的根底上再覆蓋十層減摩性、潤滑性良好的滲硫?qū)印?/p>

硼硫復(fù)合滲的滲硫工藝為低溫液體滲硫，在滲硼、淬回火和清洗脫脂后進(jìn)行，滲硫介質(zhì)是質(zhì)量分?jǐn)?shù)為96％的硫和4％的二硫化銅，熔點(diǎn)為115℃。在這種介質(zhì)中經(jīng)180～200℃保溫6h后，滲硫?qū)拥暮穸燃s為5～8μm。

4.硫氮碳共滲

硫氮碳共滲是將工件置于含有活性S、N、C原子的介質(zhì)中，在500～600℃中保溫一定時(shí)間，使工件外表同時(shí)滲入這三種元素的化學(xué)熱處理工藝。經(jīng)過三元共滲，工件表層獲得硫化物的薄表層、氮碳化合物的次表層和擴(kuò)散層。三、TD法滲釩、滲鈮、滲鉻1)無論模具形狀如何復(fù)雜，都能形成均勻的碳化物被覆層。

2)處理后的外表粗糙度值與處理前大致相同。

3)熔鹽的使用壽命長。

4)碳化物層磨損后可重新處理，不需要去除殘留的碳化物，不影響與基體的結(jié)合力。

5)母材鋼種較廣，可通過淬火使基體強(qiáng)化。

三、TD法滲釩、滲鈮、滲鉻1)處理溫度高，滲層會(huì)引起尺寸脹大，對(duì)高精度模具應(yīng)采取措施，預(yù)防變形。

2)處理前模具必須加工到要求的外表粗糙度值，以保證處理后的外表質(zhì)量。3)當(dāng)載荷過大，引起模具產(chǎn)生塑性變形時(shí)，會(huì)引起碳化物層產(chǎn)生裂紋。

4)薄刃模具在薄刃處供碳缺乏，難以形成厚的碳化物層。

5)對(duì)基體材料的含碳量應(yīng)合理選擇，在不影響鋼的韌性或其他性能的條件下，應(yīng)保證能提供足夠的碳，以形成碳化物。

6)模具在500℃以上氧化性氣氛中長期使用會(huì)使VC、NbC等碳化物層氧化，影響其性能。三、TD法滲釩、滲鈮、滲鉻圖5-4TD法處理用鹽浴爐示意圖

a)直接加熱爐b)間接加熱爐

1—電熱元件2—TD用鹽浴3—加熱用鹽浴4—金屬坩堝5—加熱用電極如圖5-4所示為TD法處理用鹽浴爐的示意圖。其主要工藝過程是：將脫水硼砂Na2B4O7(占熔鹽總質(zhì)量分?jǐn)?shù)的70％～90％)放入耐熱鋼坩堝中熔融，參加含有欲滲金屬的鐵合金或其氧化物，再將具有一定含碳量的鋼制模具浸入鹽浴.第三節(jié)模具外表涂鍍處理模具外表涂鍍處理是通過物理覆蓋、沉積等方式，在模具外表覆蓋上一層與基體不同的金屬化合物，保護(hù)模具基體并提高模具表層的力學(xué)和理化性能的方法。這不僅可提高其耐蝕性，而且還可用來提高模具的硬度和耐磨性等。常用的外表涂鍍處理技術(shù)有鍍金屬、化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)等。

一、電鍍與電刷鍍

1.電鍍

電鍍是使用電化學(xué)方法在金屬或非金屬制品外表沉積金屬或合金層。電鍍時(shí)，將被鍍的模具工作零件和直流電源的陰極相連，要鍍覆的金屬(鍍鉻除外)和直流電源的陽極相連，并將其放在盛有電鍍液的鍍槽中。當(dāng)電源與鍍槽接通時(shí)，即在陰極上沉積欲鍍的金屬層。如圖5-5所示為電鍍?cè)?。圖5-5電鍍?cè)硎疽鈭D2.電刷鍍圖5-6電刷鍍裝置與工作原理圖

1—工件2—鍍層3—鍍液4—包套5—陽極6—導(dǎo)電柄7—電刷鍍電源8—陽極電纜

9—陰極電纜10—循環(huán)使用溶液11—拾液盤2.電刷鍍

電刷鍍是在可導(dǎo)電工件(或模具)外表需要鍍覆的部位快速沉積金屬鍍層的新技術(shù)。它與普通電鍍的原理相同，但形式特殊。電刷鍍裝置與工作原理如圖5-6所示。電刷鍍與電鍍?cè)硐嗤?，只是具體施鍍方式不同，屬于電鍍的一種特殊方式，無鍍槽，故又稱為無槽鍍或涂鍍。1.模具工作外表修復(fù)

某彩色電視機(jī)機(jī)殼注射模用中碳合金模具鋼制造,價(jià)格昂貴，工作中不慎落入螺母，合模時(shí)造成模具型腔外表局部嚴(yán)重?fù)p傷，不能繼續(xù)使用。原采用焊接修理導(dǎo)致產(chǎn)生裂紋，繼而用氣、釬焊填補(bǔ)又造成焊層剝離和裂紋擴(kuò)展，后來采用電刷鍍技術(shù)，僅一天就將模具修復(fù)。2.模具外表強(qiáng)化

生產(chǎn)大號(hào)塑料盆的注射模的材料為灰鑄鐵，模具底盤直徑為1000mm，合模高度為400mm，重1.3t。由于模具型腔外表硬度低，磨損嚴(yán)重，外表粗糙度值變大，致使加工出來的產(chǎn)品增厚加重，外表質(zhì)量變差。采用電刷鍍技術(shù)對(duì)模具型腔外表進(jìn)行強(qiáng)化處理，先電刷鍍堿銅作為過渡層，再電刷鍍鎳鈷合金作為工作表層，電刷鍍后到達(dá)以下效果：

1)型腔外表硬度由23HRC提高到40HRC左右。

2)外表粗糙度值由Ra6.3μm減為0.8μm。

3)模具外表耐磨性提高了兩倍。

4)塑件制品脫模容易。

該模具經(jīng)電刷鍍后三班生產(chǎn)連續(xù)使用1年多，效果良好。3.化學(xué)鍍

化學(xué)鍍是將工件置于鍍液中，鍍液中的金屬離子通過獲得由鍍液中的化學(xué)反響而產(chǎn)生的電子，在工件外表上復(fù)原沉積而形成鍍層。

化學(xué)鍍可以獲得單一金屬鍍層、合金鍍層、復(fù)合鍍層和非晶態(tài)鍍層。與電鍍和電刷鍍相比，化學(xué)鍍均鍍性強(qiáng)，仿形性好(在形狀復(fù)雜的外表上產(chǎn)生均勻厚度的鍍層)；沉積厚度可控制，鍍層致密，與基體結(jié)合性好；設(shè)備簡單，操作方便。對(duì)于形狀復(fù)雜的模具，采用化學(xué)鍍還可以防止常規(guī)熱處理引起的變形。二、氣相沉積

氣相沉積是將含有形成沉積元素的氣相物質(zhì)輸送到工件外表，在工件外表形成沉積層的工藝方法。按工作原理，氣相沉積可分為化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)兩類。氣相沉積層元素主要有TiC、TiN和Ti(C、N)。

TiC、TiN涂層的特點(diǎn)有下面幾個(gè)：

1)涂層具有很高的硬度、較低的摩擦因數(shù)和自潤滑性能，耐磨性良好。

2)涂層具有很高的熔點(diǎn)，TiC涂層的熔點(diǎn)為3800℃，TiN涂層的熔點(diǎn)為2930℃，化學(xué)穩(wěn)定性好，難以與其他金屬反響。

3)涂層具有較強(qiáng)的耐蝕性，可抵抗硫酸、鹽酸、氯化鈉水溶液的侵蝕。

4)涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力，TiN涂層約500℃，TiC涂層約400℃。

1.化學(xué)氣相沉積(CVD)圖5-7化學(xué)氣相沉積原理示意圖

1—進(jìn)氣系統(tǒng)2—反響室3—電爐絲4—加熱爐體5—模具6—模具卡具

7—排氣管8—機(jī)械泵9—廢氣處理系統(tǒng)10—加熱爐電源及測(cè)溫儀1.化學(xué)氣相沉積(CVD)采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)處理與未處理外表的效果比較見表5-8。表5-8化學(xué)氣相沉積TiC、TiN、Ti(C、N)前后比照2.物理氣相沉積(PVD)圖5-8離子鍍根本原理圖

1—基板(陰極)2—陰極暗區(qū)

3—輝光放電區(qū)4—蒸發(fā)燈絲(陽極)

5—絕緣管6—燈絲電源7—高壓電源物理氣相沉積是用物理方法把欲涂覆物質(zhì)沉積在工件外表上形成膜的過程，通常稱為PVD(PhysicalVaporDeposition)法。目前常用的物理氣相沉積蒸鍍、濺射及離子鍍有三種方法，其中離子鍍應(yīng)用最為廣泛。圖5-9空心陰極離子鍍?cè)韴D

1—空心陰極等離子電子槍2—中空?qǐng)A筒鉭陰極3—進(jìn)氣孔4—鐘罩

5—工作臺(tái)6—模具7—蒸發(fā)物質(zhì)８—等離子電子束第四節(jié)其他外表加工強(qiáng)化處理一、電火花外表強(qiáng)化

電火花外表強(qiáng)化是利用工具電極與工件間在氣體中產(chǎn)生的火花放電作用，把作為電極的導(dǎo)電材料熔滲進(jìn)工件表層，形成合金化的外表強(qiáng)化層，改善工件外表的物理及化學(xué)性能。電火花外表強(qiáng)化過程示意圖如圖5-10所示。1)當(dāng)采用硬質(zhì)合金作電極材料時(shí)，硬度可以更高，耐熱性、耐蝕性和疲勞強(qiáng)度都大大提高。

2)當(dāng)使用鉻錳、鎢鉻鈷合金、硬質(zhì)合金作工具電極強(qiáng)化45鋼時(shí)，其耐磨性比原表層提高2～2.5倍。

3)用石墨作電極材料強(qiáng)化45鋼，用食鹽水作腐蝕性試驗(yàn)，其耐蝕性提高90％，用WC、CrMn作電極強(qiáng)化不銹鋼時(shí)，耐蝕性提高3～5倍。

4)硬化層厚度為0.01～0.08mm。一、電火花外表強(qiáng)化圖5-10電火花外表強(qiáng)化過程示意圖

a)開始b)工作c)完成d)結(jié)束二、火焰淬火

火焰淬火是通過噴嘴將火焰(通常用氧乙炔焰)噴射到工件外表，將工件迅速加熱到淬火溫度，然后在規(guī)定的冷卻介質(zhì)中冷卻到室溫的熱處理工藝。

雖然該工藝比高頻感應(yīng)淬火落后，但與感應(yīng)淬火相比，火焰淬火的設(shè)備簡單、操作方便，特別適合大型模具零件和小批量、多品種模具零件的熱處理。如汽車車身覆蓋件大型拉深模、大型塑料模、大型沖模等模具零件的刃口，利用火焰淬火有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)且能降低生產(chǎn)本錢。三、激光外表強(qiáng)化

激光外表強(qiáng)化是利用高功率、高密度激光束(一般用104～106W／cm2)對(duì)金屬進(jìn)行外表處理的方法。

激光熱處理為高速加熱、高速冷卻，獲得的組織細(xì)密、硬度高、耐磨性好，有助于提高疲勞性能。三、激光外表強(qiáng)化圖5-11激光熱處理實(shí)驗(yàn)裝置示意圖激光熱處理一般采用功率為千瓦級(jí)的連續(xù)工作CO2激光，通常的激光熱處理實(shí)驗(yàn)裝置如圖5-11所示。三、激光外表強(qiáng)化表5-945鋼和42CrMo鋼激光淬火的效果如果在模具外表涂敷硬質(zhì)合金粉末，即可實(shí)現(xiàn)外表合金化。激光加熱的優(yōu)點(diǎn)是工件無須置于真空。表5-9所列為45鋼和42CrMo鋼激光淬火的效果。四、電子束外表處理電子束是一束集中的高速電子，與波一樣，并具備波所有的特性。當(dāng)電子束照射到金屬外表時(shí)，與金屬表層電子發(fā)生碰撞，從而使被處理的金屬表層溫度迅速升高。電子束外表處理原理如圖5-12所示。1.電子束淬火

該方法是利用高能量密度的電子束轟擊金屬工件外表，在很短時(shí)間內(nèi)使金屬外表加熱到相變溫度，然后依靠工件自身冷卻而實(shí)現(xiàn)淬火。由于加熱時(shí)間短，冷卻速度快，因此可獲得超細(xì)晶粒組織，使得金屬表層的強(qiáng)韌性和耐磨性顯著提高。四、電子束外表處理圖5-12電子束外表處理原理示意圖

1—工作臺(tái)2—加工室3—電磁透鏡

4—柵板5—鎢絲6—電源7—電子束

8—偏轉(zhuǎn)線圈9—工件2.電子束外表合金化處理

將合金粉末加熱熔化，涂覆到金屬外表的處理方法，稱為電子束外表合金化處理。3.電子束外表重熔處理

利用電子束將工件外表局部加熱熔化，并快速凝固而獲得細(xì)小的晶粒組織或非晶態(tài)組織的處理過程稱為電子束外表重熔。五、離子注入外表處理

離子注入是將某種元素的原子電離成離子，并使其在幾十至幾百千伏的電壓下進(jìn)行加速，獲得較高速度后射入放在真空靶室中的材料表層。材料經(jīng)離子注入后，其外表的物理性能、化學(xué)性能及力學(xué)性能會(huì)發(fā)生顯著變化。

離子注入裝置如圖5-13所示，其工作原理為：將需要注入元素的原子，在加速器的離子中電離成離子，離子在幾萬伏高壓下被引出進(jìn)入磁分析儀進(jìn)行篩選，獲得所需要的高純度圖5-13離子注入裝置

1—離子源2—磁分析器3—高壓電極