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2024/3/7第三章半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計分布
(CarrierStatistics)載流子濃度=(∫狀態(tài)密度g(E)×分布函數(shù)f(E)dE)/V狀態(tài)密度g(E)—單位能量間隔中的量子態(tài)數(shù)(能級數(shù))分布函數(shù)f(E)—能量為E的量子態(tài)被一個粒子占據(jù)的幾率.*狀態(tài)密度(Densityofstates):金屬自由電子g(E)半導(dǎo)體導(dǎo)帶電子gc(E)1.Electornconcentration(導(dǎo)帶中的電子濃度)2024/3/7對于Si,Ge其中:Ge:s:thenumberofellipsoidalsurfaceslyingwithinthefirstBrillouin導(dǎo)帶底電子狀態(tài)密度有效質(zhì)量Si:s=6s=(1/2)8=42024/3/7*分布函數(shù)f(E)半導(dǎo)體導(dǎo)帶中的電子按能量的分布服從費米統(tǒng)計分布?!柶澛植糵ermifunction非簡并半導(dǎo)體(nondegeneratedsemiconductor)簡并半導(dǎo)體(degeneratedsemiconductor)2024/3/7*導(dǎo)帶電子濃度n令Etop→∞則χtop→∞2024/3/7導(dǎo)帶的有效狀態(tài)密度Nc電子占據(jù)量子態(tài)Ec的幾率2024/3/7*狀態(tài)密度:2024/3/72.Holeconcentration(價帶中的空穴濃度)*分布函數(shù)fV(E)fV(E)表示空穴占據(jù)能態(tài)E的幾率,即能態(tài)E不被電子占據(jù)的幾率。*價帶空穴濃度p0價帶的有效狀態(tài)密度Nv價帶頂部EV態(tài)被空穴占據(jù)的幾率2024/3/72024/3/73.施主能級上的電子濃度*狀態(tài)密度=所摻施主雜質(zhì)的濃度ND(E=ED)*分布函數(shù)fD(E):施主雜質(zhì)能級與導(dǎo)帶中的能級不同,只能是以下兩種情況之一:
(1)
被一個有任一自旋方向的電子所占據(jù);(2)不接受電子*施主能級上的電子濃度nD電離了的施主濃度(ionizeddonors)2024/3/72024/3/74.受主能級上的空穴濃度*狀態(tài)密度=所摻受主雜質(zhì)的濃度NA(E=EA)*受主能級上的空穴濃度PA:*分布函數(shù)fA(E)(空穴占據(jù)受主能級的幾率):電離了的受主雜質(zhì)濃度(ionizedacceptors)2024/3/7分析:n0
、p0的大小
與T、EF有關(guān)EF
的高低反映了半導(dǎo)體的摻雜水平。2n0
與p0的乘積與EF無關(guān)即與摻雜無關(guān)。3.電中性關(guān)系(ChargeNeutralityRelationship)2024/3/71.intrinsicsemiconductor2.3CarrierconcentrationandEFCalculations2024/3/7本征半導(dǎo)體的電中性方程:n0=p0=
ni兩邊取對數(shù)并整理,得:(載流子濃度和EF的計算)結(jié)論:本征半導(dǎo)體的費米能級Ei基本位于禁帶中央.2024/3/7本征半導(dǎo)體的費米能級EF一般用Ei表示2024/3/7Intrinsiccarrierconcentrationni
:
(本征載流子濃度)
結(jié)論:本征載流子濃度ni隨溫度升高而增加.lnni~1/T基本是直線關(guān)系.電中性方程:以只含施主為例來分析:分溫區(qū)討論:(1)低溫弱電離區(qū)電中性方程2.extrinsicsemiconductor(非本征/雜質(zhì)半導(dǎo)體)Freeze-out2024/3/7兩邊取對數(shù)并整理,得:ED起了本征情況下EV的作用載流子濃度:2024/3/72024/3/7(2)中溫強電離區(qū)電中性方程兩邊取對數(shù)并整理,得:載流子濃度:(本征激發(fā)不可忽略)電中性方程(3)過渡區(qū)n0---多數(shù)載流子p0---少數(shù)載流子2024/3/7(4)高溫本征區(qū)(本征激發(fā)產(chǎn)生的載流子遠多于雜質(zhì)電離產(chǎn)生的載流子)電中性方程載流子濃度:2024/3/7溫區(qū)低溫中溫高溫
費米能級載流子濃度2024/3/7(1)n~T分析、討論2024/3/7(2)EF~T2024/3/7(3)EF~摻雜(T一定,則NC也一定)T一定,ND越大,EF越靠近ECT一定,NA越大,EF越靠近EV。2024/3/7例.一塊補償硅材料,已知摻入受主雜質(zhì)濃度NA=1×1015cm-3,室溫下測得其費米能級位置恰好與施主能級重合,并測得熱平衡時電子濃度n0=5×1015cm-3
。已知室溫下硅本征載流子濃度ni=1.5×1010cm-3。試問:(1)熱平衡時空穴濃度為多少?(2)摻入材料中的施主雜質(zhì)濃度為多少?(3)電離雜質(zhì)中心為多少?(4)中性雜質(zhì)中心為多少?2024/3/72024/3/72.4簡并半導(dǎo)體(degenrratedsemiconductor)
對于簡并半導(dǎo)體,導(dǎo)帶底部的量子態(tài)基本被電子占滿.電子分布函數(shù)不再能近似為玻爾茲曼分布函數(shù)了,而要用費米分布描述1載流子濃度2024/3/7費米積分P762024/3/7當摻雜濃度很高時,會使
EF接近或進入了導(dǎo)帶.—半導(dǎo)體簡并化了.EC-EF>2k0T非簡并2簡并化條件0<EC-EF<
2k0T弱簡并EC-EF<0簡并2024/3/73雜質(zhì)帶形成
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