T-CSES 122-2023 再生水利用電子級(jí)水水源水質(zhì)

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13.030.20學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載CCS

Z05 T/CSES

—2023再生水利用

電子級(jí)水水源水質(zhì)Guidelines

reuse

-

Source

發(fā)布

實(shí)施中國(guó)環(huán)境科學(xué)學(xué)會(huì) 發(fā)

布學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)兔兔ｗ下載學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)兔兔ｗ下載學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載 前 言

...........................................................................

II引 言

..........................................................................

III1

范圍

................................................................................

12

規(guī)范性引用文件

......................................................................

13

術(shù)語(yǔ)和定義

..........................................................................

14

縮略語(yǔ)

..............................................................................

25

分級(jí)和用途

..........................................................................

26

水質(zhì)控制項(xiàng)目及其限值

................................................................

37

處理流程與環(huán)節(jié)

......................................................................

48

安全與風(fēng)險(xiǎn)控制

......................................................................

49

取樣與檢測(cè)

..........................................................................

4附 錄 A （資料性）

電子級(jí)水制備流程及制備環(huán)節(jié)和技術(shù)................................

5附 錄 B （資料性）

高級(jí)處理技術(shù)選擇................................................

6附 錄 C （資料性）

水質(zhì)檢測(cè)方法....................................................

7參 考 文 獻(xiàn)

........................................................................

8學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載 本文件按照GB/T

1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則

第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由清華大學(xué)提出。本文件由中國(guó)環(huán)境科學(xué)學(xué)會(huì)歸口。本文件起草單位：天津中水有限公司、世源科技工程有限公司、中冶京誠(chéng)工程技術(shù)有限公司。本文件主要起草人：胡洪營(yíng)、田宇鳴、王文龍、吳乾元、熊江磊、巫寅虎、陳卓、黃南、茅帥龍、孫青梅、王鵬、梁思懿。II學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載 學(xué)指導(dǎo)和規(guī)范。《再生水利用

《《再生水利用

吸入暴露毒性評(píng)價(jià)》《再生水利用

效益評(píng)價(jià)指南》（T/CSES

01—2019）和《水回用指南

再生水中藥品和個(gè)人護(hù)理品類微量污染物處理技術(shù)》（T/CSES

—2021）等。III學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)兔兔ｗ下載學(xué)ｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)兔兔ｗ下載學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載再生水利用

1 范圍本文件規(guī)定了用于電子級(jí)水水源的再生水分級(jí)及水質(zhì)、處理、安全和檢測(cè)要求。示面板工業(yè)廢水經(jīng)處理后滿足相應(yīng)要求的再生水。2 規(guī)范性引用文件文件。GB/T

生活飲用水標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方法

感官性狀和物理指標(biāo)GB/T

生活飲用水標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方法

微生物指標(biāo)GB/T

工業(yè)用碳酸氫銨

總堿度的測(cè)定

容量法GB/T

6920

水質(zhì)

pH

值的測(cè)定

玻璃電極法GB/T

7477

水質(zhì)

鈣和鎂總量的測(cè)定

EDTA滴定法GB/T

7478

水質(zhì)

銨的測(cè)定

蒸餾和滴定法GB/T

電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法GB/T

電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法GB/T

電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法GB/T

11901

懸浮物的測(cè)定

重量法GB/T

13200

濁度的測(cè)定

比濁法GB/T

公共場(chǎng)所衛(wèi)生檢驗(yàn)方法

第2部分：化學(xué)污染物GB/T

41017

水回用導(dǎo)則

污水再生處理技術(shù)與工藝評(píng)價(jià)方法GB/T

41018

水回用導(dǎo)則

再生水分級(jí)HJ

620

揮發(fā)性鹵代烴的測(cè)定

頂空氣相色譜法HJ

776

32種元素的測(cè)定

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法JJG

電導(dǎo)率儀檢定規(guī)程ASTM

D5127-13(2018)

Standard

Guide

for

Ultra-Pure

Water

Used

the

Electronics

andSemiconductor

ITRS

（2015）

Technology

Roadmap

for

Semiconductors

20153 術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。常規(guī)水資源

conventional

water

source陸地上能夠得到且能在自然水循環(huán)不斷得到更新的淡水，包括陸地上的地表水和地下水。[來(lái)源：GB/T

電子工業(yè)端產(chǎn)品等電子產(chǎn)品制造業(yè)。[來(lái)源：GB

39731-2020]分級(jí)用途EWS-31顯示面板生產(chǎn)工藝的電子級(jí)水水源。E-4

電子級(jí)水水源。E-4

是用于電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的電鍍?nèi)芤褐苽浼捌渌^(guò)程。2E-3

電子級(jí)水水源。E-3

是用于大于

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的電子級(jí)水。2E-2

電子級(jí)水水源。E-2

是用于

至

5.0

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的2電子級(jí)水。EWS-2E-1

電子級(jí)水水源。E-1

是用于

至

1.0

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的2電子級(jí)水。E-1.1

電子級(jí)水水源。

是用于

0.25

至

0.35

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的電子級(jí)水。2EWS-1E-1.2

電子級(jí)水水源。

是用于

0.09

至

0.18

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的電子級(jí)水。2E-1.3

電子級(jí)水水源。

是用于

0.032

至

0.065

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生2產(chǎn)工藝的電子級(jí)水。30.007

至

0.028

μm

線寬電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的電子級(jí)水水源。ｚｆ兔學(xué)兔ｗｗｗ．ｂｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023ｚｆ兔學(xué)兔ｗｗｗ．ｂｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載電子級(jí)水

water電子和半導(dǎo)體、顯示面板等生產(chǎn)工藝過(guò)程中所用的高純水。[來(lái)源：GB

39731-2020]高級(jí)處理

advanced

treatment解性有機(jī)污染物去除的水質(zhì)凈化過(guò)程。[來(lái)源：GB/T

4 縮略語(yǔ)下列縮略語(yǔ)適用于本文件。E：電子級(jí)水（

Water）.EWSElectronic

Water

）.5 分級(jí)和用途根據(jù)水質(zhì)，將再生水分為

EWS-1、EWS-2

和

EWS-3

三級(jí)，各級(jí)再生水的用途見表

1。水質(zhì)達(dá)到相關(guān)要求時(shí)，再生水可用于電子和半導(dǎo)體、顯示面板制造等電子工業(yè)的電子級(jí)水水源。EWS-1

再生水也可用于

和

EWS-3

對(duì)應(yīng)的電子級(jí)水水源。EWS-2

再生水也可用于

EWS-3

對(duì)應(yīng)的電子級(jí)水水源。表1表1 再生水分級(jí)和用途序號(hào)項(xiàng)目限值1pH6.0-8.52濁度（NTU）

≤0.33懸浮顆粒物（mg/L）

≤1.04總硬度（以

CaCO3計(jì)）（mg/L）

≤505氨氮（mg/L）

≤0.56亞硝酸氮（mg/L）

≤0.17硝酸鹽氮（mg/L）

≤108磷酸根（以

P

計(jì)）（mg/L）

≤0.59氯離子（mg/L）

≤2010硫酸根（mg/L）

≤4511堿度（以

CaCO3計(jì)）（mg/L）

≤3012菌落總數(shù)（MPN/mL

或

）

≤100序號(hào)項(xiàng)目EWS-1EWS-2EWS-31總有機(jī)碳（mg/L）

≤0.51.02.02尿素（μg/L）

≤1015403總?cè)u甲烷（μg/L）

≤2020804硼（mg/L）

≤0.10.35全硅（mg/L）

≤3106砷（mg/L）

≤0.05/7電導(dǎo)率（μS/cm）（25

°C）≤2508總?cè)芙庑怨腆w（mg/L）

≤1509氟離子（mg/L）

≤0.5ｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下ｗｗ．ｂｚｆ兔學(xué)兔ｗｘｗ．ｃ載T/CSES

122—2023ｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下ｗｗ．ｂｚｆ兔學(xué)兔ｗｘｗ．ｃ載注1：液晶面板工藝的電子級(jí)水水質(zhì)可參照相同線寬的電子與半導(dǎo)體工藝的電子級(jí)水水質(zhì)。注2ASTM

D5127-13(2018)

Standard

Guide

for

Ultra-Pure

Water

Used

the

Electronics

Semiconductor

》，中0.032

μm及以上線寬電子和半導(dǎo)體工藝電子級(jí)水水質(zhì)。注3International

Technology

Roadmap

Semiconductors

(ITRS)

》中0.007至0.028

μm線寬電子和半導(dǎo)體工藝電子級(jí)水水質(zhì)要求。6 水質(zhì)控制項(xiàng)目及其限值再生水基本水質(zhì)控制項(xiàng)目及其限值見表

2，再生水?dāng)U展水質(zhì)控制項(xiàng)目及其限值見表

3。將尿素和三鹵甲烷作為再生水有機(jī)物的指示性水質(zhì)控制項(xiàng)目，列為基本水質(zhì)指標(biāo)。表2 表2 基本水質(zhì)控制項(xiàng)目及其限值表3 擴(kuò)展水質(zhì)控制項(xiàng)目及其限值學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載7 處理流程與環(huán)節(jié)污水宜經(jīng)過(guò)反滲透等深度處理，生產(chǎn)再生水。經(jīng)深度處理的污水符合表

2

水質(zhì)要求，但不符合表

3

水質(zhì)要求時(shí)，宜進(jìn)一步經(jīng)過(guò)高級(jí)處理，或與

2

3

擇見附錄

B。電子級(jí)水水質(zhì)有特殊要求時(shí)，經(jīng)深度處理的污水宜進(jìn)一步經(jīng)過(guò)高級(jí)處理。高級(jí)處理技術(shù)選擇見附錄

B。再生水經(jīng)過(guò)濾、離子交換樹脂、反滲透、脫氣膜、紫外線氧化等技術(shù)處理，制備成電子級(jí)水。電子級(jí)水的制備流程、制備環(huán)節(jié)與技術(shù)示例見附錄

A。8 安全與風(fēng)險(xiǎn)控制宜將再生水補(bǔ)充進(jìn)入電子級(jí)水制備系統(tǒng)的取水池。宜設(shè)置備用的電子級(jí)水水源，宜檢測(cè)取水池的再生水水量和水質(zhì)，保障電子級(jí)水制備的穩(wěn)定性和可靠性。宜在再生水管道和用水點(diǎn)的顯著位置設(shè)置“再生水”和“禁止飲用”標(biāo)識(shí)及說(shuō)明。宜制定措施管控再生水利用過(guò)程中的生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)。宜制定全過(guò)程的水質(zhì)異常和突發(fā)事件應(yīng)對(duì)措施。9 取樣與檢測(cè)取樣再生水水質(zhì)檢測(cè)取樣點(diǎn)宜設(shè)在再生水廠供水管道末端或電子級(jí)水水源補(bǔ)水點(diǎn)。水樣宜為

24

h

樣，至少每

2

h

取樣一次。檢測(cè)頻率宜在線檢測(cè)

pH

1

1

再生水的尿素檢測(cè)頻率宜增加至

1

次/天。檢測(cè)分析方法水質(zhì)控制項(xiàng)目的檢測(cè)分析方法見附錄

C，或按照國(guó)家認(rèn)定的替代方法或等效方法執(zhí)行。分級(jí)制備環(huán)節(jié)制備技術(shù)EWS-1預(yù)處理熱交換、多介質(zhì)過(guò)濾、酸化脫碳、活性炭過(guò)濾、小分子有機(jī)物去除裝置精處理兩級(jí)反滲透處理、陰離子樹脂交換、陰陽(yáng)離子樹脂混床交換、紫外線氧化、陰陽(yáng)離子拋光樹脂混床交換、脫氣拋光處理紫外線氧化、熱交換、陰陽(yáng)離子拋光樹脂混床交換、脫氣、超濾EWS-2預(yù)處理熱交換、多介質(zhì)過(guò)濾、酸化脫碳、活性炭過(guò)濾精處理兩級(jí)反滲透處理、陰離子樹脂交換、陰陽(yáng)離子樹脂混床交換、紫外線氧化、陰陽(yáng)離子拋光樹脂混床交換、脫氣拋光處理紫外線氧化、熱交換、陰陽(yáng)離子拋光樹脂混床交換、脫氣、超濾EWS-3預(yù)處理熱交換、多介質(zhì)過(guò)濾、酸化脫碳、活性炭過(guò)濾精處理兩級(jí)反滲透處理、陰離子樹脂交換、陰陽(yáng)離子樹脂混床交換、紫外線氧化、陰陽(yáng)離子拋光樹脂混床交換學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載T/CSES

122—2023學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃｏｍ標(biāo)準(zhǔn)下載

附錄 A（資料性）電子級(jí)水制備流程及制備環(huán)節(jié)和技術(shù)A.1 電子級(jí)水的制備流程A.2 A.2 再生水作為水源時(shí)電子級(jí)水的制備環(huán)節(jié)與技術(shù)示例水質(zhì)控制指標(biāo)處理技術(shù)總有機(jī)碳尿素總?cè)u甲烷硼全硅總?cè)芙庑怨腆w氟離子紫外線氧化●●●臭氧氧化●●●活性炭吸附●●●超濾/反滲透●●●●●●●離子交換●●●●●注：●可選擇載ｏｍ標(biāo)準(zhǔn)學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃ下T/CSES

122—2023載ｏｍ標(biāo)準(zhǔn)學(xué)兔兔ｗｗｗ．ｂｚｆｘｗ．ｃ下

附 錄B（資料性）高級(jí)處理技術(shù)選擇B.1 B.1 高級(jí)處理技術(shù)選擇序號(hào)檢測(cè)項(xiàng)目檢測(cè)方法依據(jù)1總有機(jī)碳氧化和紅外線分析方法GB/T

2尿素分光光度法GB/T

3總?cè)u甲烷氣相色譜法HJ

6204硼電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ

7765全硅分光光度法GB/T

6電導(dǎo)率便攜式電導(dǎo)率儀法JJG

7總?cè)芙庑怨腆w重量法GB/T

8氟離子離子色譜法GB/T

9pH玻璃電極法GB/T