聲表面波器件的制備及其性能研究的中期報(bào)告

聲表面波器件的制備及其性能研究的中期報(bào)告聲表面波器件（SurfaceAcousticWaveDevice，SAW）是一種利用表面聲波效應(yīng)來傳輸和處理信號(hào)的器件。SAW器件能夠?qū)崿F(xiàn)高品質(zhì)因數(shù)、快速響應(yīng)、高靈敏度和低失真等性能，被廣泛應(yīng)用于通信、傳感、信號(hào)處理等領(lǐng)域。本文對SAW器件的制備及其性能研究進(jìn)行中期報(bào)告。一、制備過程SAW器件的制備過程主要包括薄膜制備、掩膜制備、光刻、電子束曝光、蝕刻和金屬化等步驟。1.薄膜制備SAW器件的基底一般采用石英、LiNbO3等材料，上面覆蓋上一層氧化鋁或氮化鋁等絕緣層，再在其上蒸鍍上一層金屬電極。其中絕緣層的厚度和材料的選擇對SAW器件的性能有很大影響。2.掩膜制備掩膜是蝕刻過程中的模板，它通過掩膜光刻和電子束曝光的方式制備而成。掩膜的制備需要根據(jù)具體的設(shè)備結(jié)構(gòu)要求來確定。3.光刻光刻是將掩膜上的圖形轉(zhuǎn)移到器件上的關(guān)鍵步驟。在光刻過程中，通過射入紫外線或其他光源，使得光刻膠發(fā)生固化或溶解，從而形成所需要的圖形。4.電子束曝光電子束曝光通常用于制備高精度的掩膜，其分辨率可以達(dá)到奈米級(jí)。通過電子束在掩膜上的掃描，可以形成高精度的圖形。5.蝕刻蝕刻過程主要是將光刻或電子束曝光形成的圖形轉(zhuǎn)移到器件表面。常用的蝕刻方法包括濕法蝕刻和干法蝕刻兩種。6.金屬化金屬化是將器件上的金屬電極連接到信號(hào)源和檢測器等外部電路上。通常采用金屬蒸鍍和電鍍等方式實(shí)現(xiàn)。二、性能研究SAW器件的性能研究主要包括頻率響應(yīng)、傳播損耗、靈敏度和壓電系數(shù)等方面。1.頻率響應(yīng)頻率響應(yīng)是指SAW器件輸出信號(hào)幅度與頻率之間的關(guān)系。頻率響應(yīng)曲線可以通過掃頻儀或網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測試。SAW器件頻率響應(yīng)曲線的峰值和帶寬決定了其應(yīng)用的頻率范圍和技術(shù)特征。2.傳播損耗傳播損耗是指SAW表面聲波經(jīng)過一定距離傳播過程中的信號(hào)能量損耗。傳播損耗的主要來源包括材料損耗、耦合損耗和輻射損耗等方面。3.靈敏度靈敏度是指SAW器件輸入信號(hào)變化引起輸出信號(hào)變化的程度。靈敏度通常是指SAW濾波器的ITU（IntermodulationTemperatureUnit）值和壓電傳感器的靈敏度系數(shù)。4.壓電系數(shù)壓電系數(shù)是指SAW器件中所采用的壓電材料的機(jī)電響應(yīng)系數(shù)，反映了材料對應(yīng)力的響應(yīng)能力。壓電系數(shù)越大，SAW器件的傳感能力越強(qiáng)。參考文獻(xiàn)：1.王曉珂,等.聲表面波器件及其應(yīng)用[M].北京:冶金工業(yè)出版社,2010.2.鄧