(高清版)GBT 43771-2024 電子氣體 一氧化碳

電子氣體一氧化碳2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)IGB/T43771—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：河南心連心深冷能源股份有限公司、福建久策氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、華測(cè)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司、福建德爾科技股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、北京高麥克儀器科技有限公司、岳陽(yáng)凱美特電子特種稀有氣體有限公司、三峽大學(xué)、湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司、蘭州裕隆氣體股份有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司、上海申南特種氣體有限公司、上海凡偉儀器設(shè)備有限公司、液化空氣(中國(guó))投資有限公司、浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院、浙江省計(jì)量與標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)、浙江中硝康鵬化學(xué)有限公司、玉門大洋天慶石化有限責(zé)任公司、杭氧集團(tuán)股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、大連光明化學(xué)工業(yè)氣體質(zhì)量監(jiān)測(cè)中心有限公司、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、沈陽(yáng)中復(fù)科金壓力容器有限公司、眉山麥克在線設(shè)備股份有限公司、北京睿信捷環(huán)?？萍加邢薰尽⒅袊?guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)、空氣化工產(chǎn)品(中國(guó))投資有限公司、哈爾濱黎明氣體有限公司、中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院化學(xué)研究所、浙江西亞特電子材料有限公司、浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司、和立氣體(上海)有限公司、昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司。周鵬云、唐霞梅。1電子氣體一氧化碳本文件適用于工業(yè)級(jí)一氧化碳經(jīng)純化制備的電子用一氧化碳。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T5832.3氣體中微量水分的測(cè)定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無(wú)縫氣瓶GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB15603危險(xiǎn)化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)存通則GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T28727氣體分析硫化物的測(cè)定火焰光度氣相色譜法GB/T34972電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T43306氣體分析采樣導(dǎo)則TSGR0005移動(dòng)式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程3術(shù)語(yǔ)和定義本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。4技術(shù)要求一氧化碳的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。2表1技術(shù)要求項(xiàng)目指標(biāo)一氧化碳(CO)純度(摩爾分?jǐn)?shù))/10-2氫(H?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~6(氧+氬)(O?+Ar)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-5氮(N?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6二氧化碳(CO?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6總烴(以甲烷計(jì))含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6總硫(以硫計(jì))含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6水分(H?O)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6鐵(Fe)含量/(μg/g)<0.001鎳(Ni)含量/(μg/g)<0.0015采樣一氧化碳的采樣應(yīng)符合GB/T43306的規(guī)定。6試驗(yàn)方法警示——本文件規(guī)定的一些試驗(yàn)過(guò)程可能導(dǎo)致危險(xiǎn)情況，使用者應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】捣雷o(hù)措施。6.1—氧化碳純度一氧化碳純度按公式(1)計(jì)算：x=100-(x?+xz+x?+x+xs+xs+x?)×10-……………(1)式中：x——一氧化碳純度(摩爾分?jǐn)?shù)),10-2;x?——?dú)浜?摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;x?——(氧+氬)含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-;x?——二氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6;xs——總烴含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xs——總硫含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——水分含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-6。按GB/T28726規(guī)定的方法測(cè)定一氧化碳中氫、氧+氬、氮、二氧化碳含量。可采用其他等效的方法測(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。3長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。色譜柱I:長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.2他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氫、氧+氬、氮含量。色譜柱Ⅱ:長(zhǎng)約6m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(二乙烯苯與N-2-烯基-2-吡咯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定二氧化碳含量。標(biāo)準(zhǔn)樣品中各組分含量的摩爾分?jǐn)?shù)為(1～5)×10-6,平衡氣為氦氣。6.3總烴含量的測(cè)定按GB/T8984規(guī)定的方法測(cè)定一氧化碳中總烴含量?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.3.2預(yù)分離柱長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的硅烷化玻璃微球載體，或其他等效色譜柱。甲烷含量的摩爾分?jǐn)?shù)為(1～5)×10-?,平衡氣為氮?dú)?。參考的氣路流程示意圖及典型色譜圖見附錄A。6.4總硫含量的測(cè)定按GB/T28727規(guī)定的方法測(cè)定一氧化碳中總硫含量。可采用其他等效的方法測(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。長(zhǎng)約4m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。4長(zhǎng)約3m、內(nèi)徑3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的硅烷化玻璃微球載體，或其他等效色譜柱。羰基硫含量的摩爾分?jǐn)?shù)為(1～5)×10-6,平衡氣為氮?dú)狻⒖嫉臍饴妨鞒淌疽鈭D見附錄A。6.5水分含量的測(cè)定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。按照GB/T34972的規(guī)定執(zhí)行。6.7尾氣處理測(cè)定時(shí)，應(yīng)有一氧化碳尾氣處理措施，以防止一氧化碳對(duì)環(huán)境的污染和人員的傷害。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1組批同一生產(chǎn)線連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)的瓶裝一氧化碳產(chǎn)品為一批。7.2.1應(yīng)逐一檢驗(yàn)氫含量、(氧+氬)含量、氮含量、二氧化碳含量、總烴含量、總硫含量及水分含量，當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合表1技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。7.2.2應(yīng)按表2規(guī)定的抽樣數(shù)量隨機(jī)抽樣檢驗(yàn)鐵含量及鎳含量。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該批產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合表1技術(shù)要求時(shí)，則應(yīng)自同批產(chǎn)品中重新加倍隨機(jī)抽樣檢驗(yàn)，若檢驗(yàn)結(jié)果符合表1技術(shù)要求時(shí)，則判除不合格的那瓶產(chǎn)品外，該批產(chǎn)品合格；若檢驗(yàn)結(jié)果仍不符合表1技術(shù)要求時(shí)，則判該批產(chǎn)品不合格。表2抽樣表每批氣瓶數(shù)最少抽樣氣瓶數(shù)12558.1標(biāo)志8.1.1一氧化碳出廠時(shí)應(yīng)有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期或批號(hào)，以及保質(zhì)期；——充裝壓力(MPa);——本文件編號(hào)及一氧化碳的純度。8.1.2包裝容器上應(yīng)涂刷“電子氣體一氧化碳”字樣。8.1.3一氧化碳的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，包裝標(biāo)簽應(yīng)符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2.1包裝一氧化碳的氣瓶應(yīng)符合GB/T11640的規(guī)定。8.2.2一氧化碳的充裝及貯運(yùn)應(yīng)符合GB/T14194、TSGR0005、TSG23的規(guī)定。充裝及貯運(yùn)的安全8.2.3宜使用進(jìn)行內(nèi)表面處理的氣瓶。8.2.4瓶閥出氣口連接方式宜使用DISS724或CGA350。8.2.5應(yīng)防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6用戶返回的一氧化碳?xì)馄恐袣怏w的殘余壓力不宜低于0.5MPa。8.2.7一氧化碳產(chǎn)品的貯存應(yīng)符合GB15603的規(guī)定，存放在陰涼、干燥、通風(fēng)的庫(kù)房?jī)?nèi)，不應(yīng)暴曬，遠(yuǎn)離熱源。8.3安全信息一氧化碳的安全信息見附錄B。6(資料性)氣路流程示意圖及典型色譜圖A.1測(cè)定總烴的氣路流程示意圖測(cè)定一氧化碳中總烴含量時(shí)，參考的氣路流程示意圖見圖A.1。標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：8——放空針閥；2——樣品進(jìn)口；9——玻璃微球柱；3——樣品過(guò)濾器；10——高純氫氣；4——定量管；11——高純空氣；5——樣品出口；12——?dú)浠鹧骐x子化檢測(cè)器；6——流量計(jì)；13——預(yù)分離柱。7——十通閥；A.2測(cè)定總烴的典型色譜圖測(cè)定總烴的典型標(biāo)準(zhǔn)樣品色譜圖見圖A.2,典型樣品色譜圖見圖A.3。7圖A.2典型標(biāo)準(zhǔn)樣品色譜圖圖A.3典型樣品色譜圖8GB/T43771—2024標(biāo)引序號(hào)說(shuō)明：1——高純氮?dú)猓?——樣品進(jìn)口；3——樣品過(guò)濾器；4——定量管；5——樣品出口；6——流量計(jì)；7——聚四氟十通閥；8——放空針閥；9——玻璃微球柱；10——高純氫氣；11——高純空氣；12——火焰光度離子化檢測(cè)器；13——預(yù)分離柱。圖A.4測(cè)定總硫的氣路流程示意圖9(資料性)B.1基本信息B.1.4物理性質(zhì)：沸點(diǎn)-191℃,熔點(diǎn)-205℃,水中溶解度20℃時(shí)2.3mL/100mL,蒸汽相對(duì)密度(空氣=1)0.97,閃點(diǎn)易燃?xì)怏w，自燃溫度605℃。B.1.5空氣中爆炸極限(體積分?jǐn)?shù)):12.5%～74.2%。B.1.6毒性：(非高原)時(shí)間加權(quán)平均值20mg/m3,短時(shí)間接觸容許濃度為30mg/m3。B.2危險(xiǎn)性說(shuō)明B.2.1一氧化碳是無(wú)嗅、無(wú)味、無(wú)色的壓縮氣體，與空氣充分混合易形成爆炸性混合物。B.2.2遇熱可能爆炸。B.2.4在一定條件下，一氧化碳可與鐵、鎳等大部分過(guò)渡金屬發(fā)生反應(yīng)生成有毒、易燃、易爆的不穩(wěn)定金屬羰基化合物，且高溫高壓會(huì)加速該反應(yīng)進(jìn)行。B.3.3操作人員佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具(半面罩),穿防靜電服。B.3.4遠(yuǎn)離火種、熱源。B.3.5工作場(chǎng)所不吸煙。B.3.8搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止氣瓶及附件破損。B.3.9配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。B.4緊急情況應(yīng)對(duì)措施如果誤吸入一氧化碳，迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給氧。如呼吸B.5泄漏處理處置B.5.1消除所有點(diǎn)火源。B.5.3應(yīng)急處理人員穿正壓自給式呼吸器，穿防靜電服。B.5.4盡可能切斷泄漏源。B.5.5隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡。B.5.6防止氣體通過(guò)下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和有限空間擴(kuò)散。B.5.7作業(yè)時(shí)使用設(shè)備接地。B.6存儲(chǔ)注意事項(xiàng)B.6.1儲(chǔ)存于陰涼、干燥、通風(fēng)良好的專用庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。B.6.2與氧化劑分離儲(chǔ)存。B.6.3儲(chǔ)存區(qū)采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。B.6.4不使用產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。B.6.5儲(chǔ)存區(qū)配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。B.7廢棄處置說(shuō)明B.7.1廢棄化學(xué)品可用焚燒法處置。或與制