MEMS圓板諧振器件擠壓膜阻尼機(jī)理與模型開(kāi)題報(bào)告

MEMS圓板諧振器件擠壓膜阻尼機(jī)理與模型開(kāi)題報(bào)告一、研究背景隨著電子科技的發(fā)展，MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)被廣泛應(yīng)用于傳感器、慣性導(dǎo)航器、振蕩器等領(lǐng)域。圓板諧振器件是MEMS中的一種重要結(jié)構(gòu)，具有振動(dòng)頻率高、體積小、功耗低等特點(diǎn)，能夠用于高精度振蕩器、濾波器等電子器件中。由于其結(jié)構(gòu)特殊，振動(dòng)模式較復(fù)雜，因此在實(shí)際運(yùn)用中存在著很多問(wèn)題亟待解決。MEMS圓板諧振器件的擠壓膜阻尼機(jī)理對(duì)其性能有著重要影響。擠壓膜阻尼是指，當(dāng)圓板振動(dòng)時(shí)，振動(dòng)模態(tài)在完成一個(gè)周期后會(huì)活躍地扭曲并形成橫向波紋，從而使其受到相應(yīng)的阻尼力，影響諧振器件的振動(dòng)特性。目前，關(guān)于圓板諧振器件擠壓膜阻尼的研究較為有限。因此，開(kāi)展圓板諧振器件擠壓膜阻尼機(jī)理的研究，對(duì)于提高圓板諧振器件的性能，具有重要意義。二、研究?jī)?nèi)容1.MEMS圓板諧振器件的基本原理和振動(dòng)特性分析；2.MEMS圓板諧振器件的擠壓膜阻尼機(jī)理研究；3.基于有限元分析方法，建立MEMS圓板諧振器件擠壓膜阻尼的數(shù)值模型；4.分析圓板諧振器件中擠壓膜阻尼與其他阻尼之間的相互作用關(guān)系；5.驗(yàn)證數(shù)值模型的準(zhǔn)確性，并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)量。三、研究意義1.對(duì)圓板諧振器件的性能進(jìn)行深入研究，為其應(yīng)用提供理論基礎(chǔ)；2.分析圓板諧振器件中擠壓膜阻尼與其他阻尼之間的相互作用關(guān)系，為其優(yōu)化設(shè)計(jì)提供依據(jù)；3.建立MEMS圓板諧振器件擠壓膜阻尼的數(shù)值模型，為圓板諧振器件仿真分析提供工具。四、研究方法1.文獻(xiàn)資料調(diào)研和分析，了解圓板諧振器件相關(guān)理論知識(shí)和研究進(jìn)展；2.使用有限元分析軟件建立MEMS圓板諧振器件的數(shù)值模型，并進(jìn)行仿真分析；3.設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)方案，對(duì)MEMS圓板諧振器件進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)量，驗(yàn)證數(shù)值模型的準(zhǔn)確性。五、研究進(jìn)度計(jì)劃1.前期調(diào)研和文獻(xiàn)分析，掌握MEMS圓板諧振器件基本原理和研究現(xiàn)狀（3周）；2.建立MEMS圓板諧振器件的數(shù)值模型，分析擠壓膜阻尼機(jī)理（6周）；3.分析圓板諧振器件中擠壓膜阻尼對(duì)其性能的影響（4周）；4.設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)方案，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)量，驗(yàn)證數(shù)值模型的準(zhǔn)確性（4周）；5.總結(jié)分析實(shí)驗(yàn)結(jié)果，并撰寫(xiě)論文（5周）。六、預(yù)期結(jié)果1.研究圓板諧振器件擠壓膜阻尼機(jī)理與其他阻尼之間的相互作用關(guān)系，為其優(yōu)化設(shè)計(jì)提供依據(jù)；2.建立MEMS圓板諧振器件擠壓膜阻尼的數(shù)值模型，為圓板