N面出光980nmVCSEL的工藝研究的開題報(bào)告

N面出光980nmVCSEL的工藝研究的開題報(bào)告一、選題背景VCSEL（Vertical-CavitySurface-EmittingLaser）是一種非常重要的半導(dǎo)體激光器。在短距離高速光通信、半導(dǎo)體激光雷達(dá)、3D傳感等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。一般VCSEL工作波長為850nm和1310nm。但隨著近年來各類應(yīng)用場景的不斷增多，需要更高的數(shù)據(jù)傳輸率和更高的系統(tǒng)性能，因此波長更短的VCSEL逐漸得到人們的關(guān)注。980nmVCSEL具有工作在1310nm波長以下的特點(diǎn)，具有更高數(shù)據(jù)傳輸速率。同時(shí)，980nmVCSEL還可以應(yīng)用于醫(yī)學(xué)和軍事領(lǐng)域中的激光器系統(tǒng)。本次選題研究的980nmVCSEL工藝，將對(duì)其在數(shù)據(jù)通信和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用有積極的推動(dòng)作用，從而具有很高的研究價(jià)值和應(yīng)用價(jià)值。二、研究目的本項(xiàng)目旨在研究N面出光的980nmVCSEL的制備工藝，主要包括以下方面：1.N面出光的980nmVCSEL結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；2.980nmVCSEL器件的制備工藝研究；3.980nmVCSEL器件的性能測試。三、研究內(nèi)容1.設(shè)計(jì)N面出光的980nmVCSEL結(jié)構(gòu)針對(duì)980nmVCSEL的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)出N面出光的VCSEL結(jié)構(gòu)。通過有限元仿真分析，在不同的結(jié)構(gòu)參數(shù)下對(duì)這種結(jié)構(gòu)的電光學(xué)特性進(jìn)行研究。2.980nmVCSEL器件的制備工藝研究利用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）生長技術(shù)，生長出符合設(shè)計(jì)要求的N面出光的980nmVCSEL材料。通過優(yōu)化工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)光電特性的優(yōu)化。3.980nmVCSEL器件的性能測試使用相應(yīng)的測試儀器對(duì)制備好的980nmVCSEL器件進(jìn)行性能測試，包括測試其輸出功率、譜線特性、電學(xué)特性、溫度特性等。四、研究意義1.本研究可深入理解VCSEL的物理特性以及其在光通信中的應(yīng)用；2.980nmVCSEL的研制可以拓展其應(yīng)用領(lǐng)域，推動(dòng)光通信技術(shù)快速發(fā)展，促進(jìn)我國通信產(chǎn)業(yè)發(fā)展；3.N面出光的980nmVCSEL結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及制備技術(shù)可擴(kuò)展至其他波長的VCSEL器件制備；。五、研究方法本文將針對(duì)980nmVCSEL器件的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和應(yīng)用要求，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料生長和器件加工技術(shù)等方法，制備出符合要求的N面出光的980nmVCSEL器件，并對(duì)其進(jìn)行詳盡的性能測試和分析。主要研究方法包括：1.二維有限元仿真分析，對(duì)N面出光的VCSEL結(jié)構(gòu)進(jìn)行電光學(xué)特性分析；2.利用MOCVD生長技術(shù)，制備980nmVCSEL材料；3.制備980nmVCSEL器件的工藝研究，包括光刻、腐蝕、金屬化等工藝；4.利用測試儀器對(duì)器件進(jìn)行性能測試和分析。六、預(yù)期成果1.制備出符合設(shè)計(jì)要求、性能良好的N面出光的980nmVCSEL器件；2.深入掌握VCSEL器件的物理特性和制備工藝；3.在此基礎(chǔ)上研究出其他波長的VCSEL器件的制備工藝；4.為光通信和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中相關(guān)設(shè)備的開發(fā)和應(yīng)用提供技術(shù)支持。七、預(yù)期進(jìn)展本項(xiàng)目將以N面出光的980nmVCSEL為研究對(duì)象，針對(duì)其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和應(yīng)用要求，開展結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工工藝制備、光電性能測試等研究。預(yù)期能夠制備出符合要求的980nm