編制說明（貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)定方法）

2貴金屬鍵合絲以良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和化學(xué)穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于高端IC度測(cè)量尤為重要，是鍵合絲產(chǎn)品生產(chǎn)及研發(fā)影響區(qū)長(zhǎng)短。GB/T6394-2017《金屬平均晶粒度測(cè)定方法》[3]規(guī)定了金屬平3法二聚焦離子束FIB法是針對(duì)50微米以下各類貴金屬鍵合絲的熱影響區(qū)長(zhǎng)門提出制定貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)定方法標(biāo)準(zhǔn)制定計(jì)劃書，于2023年5月獲全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)批準(zhǔn)，項(xiàng)目計(jì)劃編號(hào)因公司發(fā)展需要，貴研鉑業(yè)股份有限公司已更名為云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司，更名事宜于2023年12月8日通過上市公司股東大會(huì)審議，2023年12月12日完成工商變更，并取得新的營(yíng)業(yè)執(zhí)照，故第一起草單位名稱變更為云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司。4成績(jī)，其中制定了國(guó)內(nèi)第一項(xiàng)FIB先進(jìn)制樣法標(biāo)準(zhǔn)GB/T38783-2020《貴金屬?gòu)?fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡測(cè)定方法》細(xì)絲研發(fā)提出的檢測(cè)需求，我們已經(jīng)應(yīng)用FIB技術(shù)對(duì)超細(xì)貴金屬鍵合絲做了大量工作，包括直徑20微米以下貴金屬超細(xì)復(fù)合絲橫截面的制備及其覆層厚度測(cè)量；直徑12微米加工態(tài)超細(xì)貴金屬絲材的縱截面制備及電子背散射衍射（EBSD）分析測(cè)試；20μm鍵合金絲燒球處理后縱截面制備及組織觀標(biāo)準(zhǔn)起草人擁有10年的貴金屬材料研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，長(zhǎng)期從事貴金屬材料的標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目編制單位云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司承擔(dān)項(xiàng)5北京博達(dá)有色金屬焊料煙臺(tái)一諾電子材料有限測(cè)試評(píng)價(jià)有限公司、郴州市產(chǎn)商品質(zhì)量監(jiān)督檢云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司自備及北京博達(dá)有色金屬焊料有限責(zé)任公司、煙臺(tái)一諾電子材料有限公2015年云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司通過國(guó)家某平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目先后引進(jìn)FIB-SEM、TEM等設(shè)備使得檢測(cè)中心物性測(cè)試能力得到極6提出了對(duì)其產(chǎn)品20微米絲徑的貴金屬鍵合絲的熱影響區(qū)長(zhǎng)度測(cè)量的測(cè)試需2020年以來，我們應(yīng)用FIB-SEM雙束系統(tǒng)檢測(cè)先后測(cè)試了不同成分、級(jí)主管部門提出制定貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)定方法標(biāo)準(zhǔn)制定計(jì)劃書，于2023年5月獲全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)批準(zhǔn)，項(xiàng)目公司作為共同起草人，以及其提出的直接觀察法也可用FIB法測(cè)量，即本標(biāo)準(zhǔn)所用的直接觀察法7品熱影響區(qū)長(zhǎng)度的快速檢測(cè)與粗略測(cè)定，F(xiàn)IB法測(cè)試成本高但獲得的晶粒組使用FIB對(duì)貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的測(cè)量體現(xiàn)了該標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn) 作用，隨著技術(shù)的提高使用成本的下降該設(shè)備普及的可能性較大，可見 工及燒球處理后的鍵合金絲組織可以通過掃描電鏡的背散射成像模式觀察8切割時(shí)間較長(zhǎng)，不太適合絲徑大于50μ為保證足夠的強(qiáng)度與韌性，貴金屬鍵合絲產(chǎn)品一般都進(jìn)行加工與適當(dāng)退9參與鍵合金絲直接觀察法驗(yàn)證的單位有北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司、煙臺(tái)一諾電子材料有限公司、國(guó)和通用（青島）測(cè)試評(píng)價(jià)有限公司、YG3-20同批次樣品參與驗(yàn)證，驗(yàn)證情況如下：下表是各驗(yàn)證單位對(duì)同批次YG3-20鍵合金絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的測(cè)量值，下圖是各YG3-20鍵合金絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的測(cè)量值對(duì)各驗(yàn)證單位對(duì)同批次YG3-20鍵合金絲從圖表可看出，達(dá)博、一諾、郴州質(zhì)檢和貴研四家單位對(duì)YG3-20鍵合YG3-25同批次樣品參與驗(yàn)證，驗(yàn)證情況如下：下表是各驗(yàn)證單位對(duì)同批次YG3-25鍵合金絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的測(cè)量值，下圖是各YG3-25鍵合金絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的測(cè)量值對(duì)各驗(yàn)證單位對(duì)同批次YG3-25鍵合金絲家測(cè)量值差異的因素主要有同批次樣品之間的北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司參與了聚焦離子束（FIB）法的驗(yàn)證。其中采用的是國(guó)儀量子DB500雙束電子顯微鏡，鎵離子束與電子束傾角為54°。達(dá)博和貴研兩家單位分別對(duì)同批次的Au-下圖是各驗(yàn)證單位對(duì)同批次Au-20鍵合金絲熱影響區(qū)長(zhǎng)度的測(cè)量值對(duì)比統(tǒng)計(jì)各驗(yàn)證單位對(duì)同批次Au-20鍵合金絲熱影響其中方法一直接觀察法是針對(duì)鍵合金絲產(chǎn)品便捷，可以滿足不同絲徑和型號(hào)鍵合金絲熱方法測(cè)量精度有限，適用于鍵合金絲產(chǎn)品熱二FIB法是針對(duì)50微米以下各類貴金屬鍵合絲的熱影響區(qū)長(zhǎng)度的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量，雖然方法步驟復(fù)雜，但是它能可觀真實(shí)的真實(shí)情況，離子束成像更清晰，測(cè)量結(jié)果一項(xiàng)FIB技術(shù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)GB/T38783-2020《貴金屬?gòu)?fù)合材料覆層厚度的掃［1］郭迎春,楊國(guó)祥,孔建穩(wěn),等.鍵合金絲的研究進(jìn)展及應(yīng)用[J].