電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

ICS

C

AQ

中華人民共和國安全生產(chǎn)行業(yè)標準

AQ4201—2008

電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

TechnologyCodeofDustandPoisonControlforElectronicIndustry

（送審稿）

2008-11-19發(fā)布2009-01-01實施

國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局發(fā)布

AQ4201—2008

前言

為了更好的保護電子工業(yè)企業(yè)作業(yè)人員的安全和健康，做好防塵防毒工作，制訂本標準。

本標準中：3、4.1、4.2、4.3、4.6、5.1、5.2.1、5.2.3、5.2.6、5.3.1、6.2.4、6.2.5、6.3、

6.4.4、7、8、9、10、11等為強制性條款。

本標準由國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局提出。

本標準由全國安全生產(chǎn)標準化技術(shù)委員會歸口并解釋。

本標準起草單位：北京市勞動保護科學研究所。

本標準主要起草人：胡玢汪彤黃燕娣王培怡呂琳吳芳谷張志航顧為群。

本標準2008年11月19日首次發(fā)布。

II

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電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒的技術(shù)要求、措施和管理。

本標準適用于電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的工程技術(shù)和管理防范，也適用

于安全生產(chǎn)和職業(yè)病危害監(jiān)督管理部門對電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的監(jiān)督。

2規(guī)范性引用文件

下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時，

所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應(yīng)探討使用下列標準最新版本

的可能性。

GB8958缺氧危險作業(yè)安全規(guī)程

GB11651勞動防護用品選用規(guī)則

GB11984氯氣安全規(guī)程

GB15603常用化學危險品貯存通則

GB/T16758排風罩的分類及技術(shù)條件

GB17916毒害性商品儲藏養(yǎng)護技術(shù)條件

GB50019采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范

GB50073潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GBZ1工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準

GBZ2.1工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值化學有害因素

GBZ158工作場所職業(yè)病危害警示標識

AQ/T9002生產(chǎn)經(jīng)營單位安全生產(chǎn)事故應(yīng)急預(yù)案編制導(dǎo)則

SJ30002電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定

3總則

3.1為了有效地控制電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的粉塵、毒物危害因素，改善作業(yè)場所環(huán)境

條件，保障職工身體健康，促進生產(chǎn)發(fā)展，特制定本標準。

3.2電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒應(yīng)堅持預(yù)防為主、防治結(jié)合、源頭控制、過程可控、綜合治

理的原則，優(yōu)先選擇塵毒危害小的工藝和設(shè)備，積極采用無毒或低毒原（輔）料，以無毒代

替有毒、以低毒代替高毒，并對塵毒危害進行綜合治理，使其危害控制符合GBZ2.1要求。

3.3電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒工作應(yīng)持續(xù)改進，不斷降低作業(yè)場所塵毒物質(zhì)濃度。

3.4電子工業(yè)企業(yè)建設(shè)項目中產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)過程和設(shè)備應(yīng)設(shè)置防塵防毒設(shè)備設(shè)施，且

與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時投入生產(chǎn)和使用。

4生產(chǎn)工藝基本要求

4.1電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)對整個生產(chǎn)過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評估，明確所有產(chǎn)生粉

塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備及原（輔）料、中間產(chǎn)品、副產(chǎn)品，并建立職業(yè)衛(wèi)生

檔案。

4.2產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備設(shè)施在設(shè)計時應(yīng)符合GBZ1中第5.1節(jié)以

及SJ30002的要求。

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4.3防塵防毒設(shè)備設(shè)施應(yīng)保證作業(yè)場所中有害物質(zhì)濃度符合GBZ2.1的要求。在廠房氣象條

件、潔凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應(yīng)采取其他措施，保證作業(yè)人員健康。

4.4下列工藝過程可能產(chǎn)生粉塵、毒物危害，應(yīng)采取綜合治理措施：

（1）半導(dǎo)體器件（或集成電路）生產(chǎn)中的外延、氧化擴散、化學氣相沉積、離子注入、

腐蝕、清洗、刻蝕、濺射、塑封等工序；

（2）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等；

（3）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工藝等；

（4）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學處理、電鍍、噴砂、油漆、涂裝工

藝等；

（5）鉛蓄電池等含鉛生產(chǎn)工藝；

（6）電阻、電容等元件生產(chǎn)及印刷電路板（PCB）生產(chǎn)；

（7）電子裝聯(lián)工藝中的焊接、三防、固封工序等。

4.5當作業(yè)場所空氣中的塵、毒在技術(shù)上較難控制時，宜采取以下措施：

（1）設(shè)置密閉操作室，保證新鮮空氣供應(yīng)量不少于每人30m3/h；

（2）采用送風面具或崗位送風；

（3）送入空氣應(yīng)符合相關(guān)標準的要求。

4.6在選擇生產(chǎn)工藝時，設(shè)計者和設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供粉塵、毒物產(chǎn)生情況說明及控制措施技

術(shù)文件，原（輔）料供應(yīng)者應(yīng)提供原（輔）料塵、毒危害技術(shù)說明文件、執(zhí)行標準文件等。

上述文件均應(yīng)存檔。

5生產(chǎn)廠房

5.1選址

生產(chǎn)廠房應(yīng)選擇在環(huán)境空氣質(zhì)量、氣象條件符合職業(yè)安全衛(wèi)生要求、環(huán)境較為清潔的地

區(qū)。

5.2布局

5.2.1廠區(qū)應(yīng)合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉(zhuǎn)次數(shù)，避免不合理的交叉和重復(fù)運

輸。

5.2.2產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)區(qū)宜集中布置在廠區(qū)夏季最小頻率風向的上風側(cè)，且地勢開闊、

通風條件良好的地段。

5.2.3生產(chǎn)區(qū)內(nèi)部布置應(yīng)避免塵毒的交叉污染。

5.2.4產(chǎn)生塵毒危害的工序或工作區(qū)（間）若在同一建筑物內(nèi)，宜集中在靠近夏季最大頻率

風向下風側(cè)的外墻布置，應(yīng)與其他工序或工作區(qū)（間）可靠地隔開。

5.2.5有毒物質(zhì)、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設(shè)置在人員集中區(qū)域周邊。

有毒物質(zhì)、粉料輸送管道不應(yīng)穿越辦公室、休息室、宿舍、人員密集廠房、餐廳、經(jīng)常有人

來往的通道（含地道、通廊）等建筑物。

5.2.6密閉廠房進氣口的位置不應(yīng)設(shè)置在有毒、粉塵物質(zhì)排放口污染影響區(qū)域內(nèi)，且應(yīng)保證

在最不利氣象條件下進氣口不受到排放口有毒、粉塵物質(zhì)的影響。

5.3建（構(gòu)）筑物

5.3.1廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)充分考慮防塵防毒的要求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠高度以布置管道，且有利于

清除積塵。粉塵污染嚴重的廠房，應(yīng)留有真空清掃機具行走的通道。

5.3.2使用、產(chǎn)生劇毒物質(zhì)的作業(yè)場所，其墻壁、頂棚和地面等內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面，應(yīng)采用不

吸收、不吸附毒物的材料，宜加設(shè)保護層以便清洗。車間地面應(yīng)平整、防滑、易于清掃。經(jīng)

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常有積液的地面應(yīng)做防水處理并設(shè)置坡向排水系統(tǒng)。

5.3.3對于多層廠房，產(chǎn)生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如必須布置在下層時，

應(yīng)采取安裝有效通風、防毒設(shè)備設(shè)施等措施，以防止對上層作業(yè)環(huán)境造成不良影響。

5.3.4潔凈廠房采用的室內(nèi)裝修材料，其有害物質(zhì)散發(fā)量應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定，不宜使用對

人身體有害的石棉類建筑材料。

6工程技術(shù)措施

6.1材料儲存與運輸

6.1.1采用自動化設(shè)備，實現(xiàn)物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制，以避免或減少有害物

質(zhì)的散發(fā)。

6.1.2采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送機、溜管、溜槽等。

6.1.3改進工藝，減少粉、粒料的中轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，縮短輸送距離。

6.1.4減少散裝粉、粒料轉(zhuǎn)運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負壓等措施。

6.1.5經(jīng)常有人來往的通道（含地道、通廊），應(yīng)有自然通風或機械通風，不應(yīng)敷設(shè)有毒液體

或有毒氣體管道。

6.1.6對塵、毒物品的運輸、儲存、分配應(yīng)采取下列防范措施：

（1）在工作區(qū)內(nèi)裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉、粒料，不宜使

用抓斗吊車、翻斗車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區(qū)域，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施，灑水設(shè)施應(yīng)保證

冬季的正常使用。

（2）有毒物品應(yīng)儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯存限量應(yīng)符

合GB15603、GB17916的規(guī)定。

（3）儲存氣態(tài)有毒物質(zhì)的場所應(yīng)設(shè)置有效的氣體排放應(yīng)急處理設(shè)施，以避免發(fā)生毒氣

泄漏事故時造成毒氣擴散。相互抵觸的氣態(tài)物質(zhì)儲存容器應(yīng)分室儲存，并有可靠措施避免泄

漏時發(fā)生反應(yīng)。

（4）儲存液態(tài)有毒物質(zhì)的場所應(yīng)設(shè)置圍堰或?qū)Я鞑郏希瑖叩娜莘e應(yīng)不小于最大

單罐地上部分儲量。從圍堰或?qū)Я鞑郏希┮龅呐潘ㄅ盼郏┕埽希?yīng)匯集到專用的污

水池。相互抵觸的液態(tài)物質(zhì)儲存容器應(yīng)分別設(shè)置圍堰或?qū)Я鞑郏希?、排水（排污）管（溝）?/p>

污水池，并有可靠措施避免同時發(fā)生泄漏時散發(fā)出的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。

（5）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應(yīng)具有良好密閉性和耐蝕性。

（6）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲存間和配送

管道廊內(nèi)應(yīng)設(shè)置在線氣體檢測報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖。氦氣、六氟化硫

等窒息性特種氣體儲存間和配送管道廊內(nèi)應(yīng)設(shè)置在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風

裝置連鎖。

（7）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、頂棚和地面應(yīng)

采用不吸附毒物的材料，并便于清洗和收集。室內(nèi)管線宜暗敷。分發(fā)毒物處應(yīng)設(shè)置洗滌池和

通風柜。

（8）液氯罐儲存間應(yīng)設(shè)置在線氯氣報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖，排放

系統(tǒng)吸氣口位置應(yīng)靠近地面。儲存間內(nèi)應(yīng)設(shè)置起重設(shè)備及稀堿液池，其深度應(yīng)能浸沒液氯罐，

或配備氯氣捕消器，并符合GB11984的要求。

（9）危險化學品在潔凈廠房內(nèi)的運輸、儲存、分配，應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定。

（10）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應(yīng)參照有關(guān)規(guī)范、條文

要求，采取相應(yīng)的防范措施。

6.2工藝與設(shè)備

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6.2.1生產(chǎn)工藝與設(shè)備宜采取密閉（整體密閉、局部密閉或小室密閉）或負壓方式工作。不

能密閉時，應(yīng)設(shè)置排風罩。

6.2.2在生產(chǎn)設(shè)備合理密閉和通風的基礎(chǔ)上宜采取隔離、遙控操作。

6.2.3生產(chǎn)線上的單臺通風系統(tǒng)工藝設(shè)備宜集合成密閉的工藝系統(tǒng)。

6.2.4對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應(yīng)通過采取全自動化生產(chǎn)或遙控操作等措

施，實現(xiàn)人與危害現(xiàn)場的隔離。

6.2.5生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的劇毒氣體應(yīng)進行機旁無害化處理后再排入公共排氣管道系統(tǒng)。

6.3操作

6.3.1密閉空間進行檢修時，應(yīng)為檢修人員配備符合要求的個人防護用品，并配備現(xiàn)場監(jiān)護

人員。檢修人員進入前應(yīng)進行塵毒吹掃、沖洗、收集、檢測合格后，方可進行檢修作業(yè)。檢

測氧氣濃度應(yīng)符合GB8958要求。

6.3.2熒光粉生產(chǎn)中的硫化鋅制備反應(yīng)釜的加料和放料操作，應(yīng)與反應(yīng)釜攪拌機連鎖，放料

前關(guān)閉，加料后啟動。

6.4有毒廢物處置

6.4.1散發(fā)有毒氣體的生產(chǎn)廢水，應(yīng)盡量縮短在室內(nèi)穿過的距離，不應(yīng)采用明溝排水。在外

排時應(yīng)進行無毒化處理。

6.4.2從工作間（區(qū)）排出的含有塵、毒的廢氣、廢水、廢渣應(yīng)進行相應(yīng)的無害化治理，使

其符合相關(guān)的環(huán)保排放標準。

6.4.3生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的相互抵觸物質(zhì)應(yīng)單獨無害化處理后再排入公共排放管道，不應(yīng)混合

直排。

6.4.4生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的危險固體廢物不應(yīng)隨意放置在車間或廠區(qū)內(nèi)，應(yīng)設(shè)置專用庫房，使

用專用密閉容器儲存，交專業(yè)機構(gòu)集中處置。

7通風凈化系統(tǒng)設(shè)置

7.1在生產(chǎn)過程中可能突然逸出大量有害氣體或易造成急性中毒氣體的作業(yè)場所，應(yīng)設(shè)置事

故通風裝置及與其連鎖的自動報警裝置。其通風換氣次數(shù)應(yīng)不小于每小時12次。

7.2有塵、揮發(fā)性溶劑逸出的設(shè)備等的開口部位應(yīng)設(shè)排風裝置。

7.3篩選設(shè)備應(yīng)根據(jù)具體情況在卸料點、篩上物落料處及其本體部分按設(shè)備類型設(shè)罩并排

風：

（1）振動篩宜在篩子上設(shè)密閉排風罩。

（2）滾筒篩應(yīng)設(shè)整體密閉排風罩。

（3）多段篩宜在篩箱側(cè)面設(shè)窄縫側(cè)吸罩。罩口風速控制在5m/s以內(nèi)。篩箱頂部應(yīng)設(shè)可

開啟蓋板。

7.4混料機應(yīng)采用密閉排風圍罩，或在進、出料口分別設(shè)置排風罩。

7.5袋裝粉料的拆包、倒包應(yīng)在有負壓的專門裝置中進行。

7.6印制線路板生產(chǎn)中的鋸床、數(shù)控鉆（銑）床、開槽機、倒角機、帖膜機、蝕刻機、角磨

機、顯影機、凹蝕設(shè)備、電鍍設(shè)備、曝光機、紫外光固化機等散發(fā)粉塵、酸堿蒸汽或臭氧等

的設(shè)備，均應(yīng)采取排風措施。

7.7電鍍槽、酸洗槽、除油槽、腐蝕槽及其他化學槽等應(yīng)設(shè)槽邊側(cè)吸罩或吹吸式罩。蓄電池

板板化成槽應(yīng)設(shè)上部排風罩或側(cè)吸罩。

7.8鍍鉻槽排風管路上應(yīng)設(shè)置鉻液回收裝置。風管連接應(yīng)嚴密。

7.9批量生產(chǎn)的噴漆或噴涂作業(yè)，應(yīng)在有排風的噴漆室、噴涂室或噴漆柜、噴涂柜內(nèi)進行。

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大件生產(chǎn)的就地噴漆工作區(qū)應(yīng)有良好通風。烘干箱（室）應(yīng)設(shè)置上送下排式排風系統(tǒng)。

7.10產(chǎn)生磨削粉塵的設(shè)備，如工具磨床、砂輪機等應(yīng)設(shè)局部排風除塵裝置。

7.11使用磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒氣體進行化學氣相淀積、

外延、摻雜、擴散、離子注入、刻蝕等工藝的作業(yè)場所，應(yīng)設(shè)機械排風系統(tǒng)、事故排風系統(tǒng)

和泄漏報警裝置。泄漏報警裝置應(yīng)與事故排風系統(tǒng)、工藝設(shè)備、操作閥等連鎖。工藝設(shè)備的

尾氣排放口應(yīng)設(shè)置可靠的現(xiàn)場無害化處理裝置和局部排風裝置。

7.12半導(dǎo)體圓片粘片、硅片處理、熔蠟、熒光粉的配置和涂復(fù)、氣相清洗、紅外熱熔、熱

風平整等產(chǎn)生有機溶劑蒸汽的作業(yè)點，均應(yīng)設(shè)排風裝置。

7.13濺射工藝過程和墊料散布過程中產(chǎn)生的爆炸性粉塵廢氣應(yīng)進行單獨排風，在排氣管道

前端設(shè)置集塵裝置并使用惰性氣體保護，集塵裝置宜配備惰性氣體抑爆裝置。

7.14刻蝕工藝過程操作現(xiàn)場應(yīng)單獨設(shè)置局部排氣裝置。

7.15在光刻過程中產(chǎn)生的有機廢氣、堿性廢氣宜分別使用不同的排氣系統(tǒng)，如不可行，其

排氣系統(tǒng)不應(yīng)與其他排氣系統(tǒng)連接，以避免發(fā)生連鎖反應(yīng)事故。

7.16裝聯(lián)工藝中的再流焊、波峰焊、浸錫焊以及手工焊接等作業(yè)點，應(yīng)設(shè)排風裝置或煙霧

凈化裝置。

7.17電焊、氣焊等離子切割，熔鉛鍋等產(chǎn)生金屬蒸汽的工作點，應(yīng)設(shè)下排風裝置。

7.18玻璃熱加工、芯柱壓制、高鉛玻璃電真空器件的熱加工、溶制鉛玻璃池爐觀察孔等處，

應(yīng)設(shè)置強排風。

7.19使用滴汞電極的極譜儀時，應(yīng)采用專用的極譜工作臺，工作間地坪應(yīng)為深色，工作臺

附近地面應(yīng)設(shè)收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡度。

7.20生產(chǎn)熒光燈、閘流管等產(chǎn)品所使用的充汞設(shè)備以及其他使用汞的工作間，其室內(nèi)環(huán)境

溫度應(yīng)盡可能低。并應(yīng)設(shè)置全面通風和局部排風。工作間內(nèi)應(yīng)設(shè)汞清洗收集槽。地坪、頂棚、

墻面材料應(yīng)便于沖洗。地坪應(yīng)有坡度，坡向汞清洗收集槽。

7.21微波功率器件的氧化鈹陶瓷配件、壓制、焙燒、研磨、金屬化等設(shè)備均應(yīng)設(shè)排風裝置。

使用粉狀氧化鈹?shù)墓ぷ鏖g，室內(nèi)管線應(yīng)暗敷，室內(nèi)裝修材料應(yīng)便于水沖洗。

7.22蓄電池生產(chǎn)的鉛、鎘、鎳等有毒粉塵工作區(qū)，應(yīng)有給排水設(shè)施，使地面經(jīng)常保持濕潤，

并能用水沖洗。其他粉塵工作區(qū)，在生產(chǎn)或?qū)嶒炘S可條件下，地面亦宜保持濕潤和能用水沖

洗。

7.23干電池生產(chǎn)中的熔化、和料，捏煉及磨切加工設(shè)備，均應(yīng)設(shè)置排風罩。含汞粉料加工、

成型設(shè)備應(yīng)設(shè)密閉罩排風。

7.24熒光粉生產(chǎn)中的硫化氫儲罐室，應(yīng)設(shè)置硫化氫氣體泄漏報警裝置，并與事故排風系統(tǒng)

連鎖。硫化氫控制室應(yīng)保持微正壓。

7.25當設(shè)置的密閉性能和局部排風措施不能確保工作區(qū)（間）空間的塵、毒含量達到要求

時，應(yīng)加設(shè)全室排風措施，且室內(nèi)空氣不能循環(huán)使用。

7.26生產(chǎn)過程中使用和產(chǎn)生易與空氣、水及相互間發(fā)生劇烈反應(yīng)的氣體時，在進行通風系

統(tǒng)設(shè)計時要防止相互抵觸氣體混合，易燃易爆氣體的排風系統(tǒng)不應(yīng)形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，應(yīng)設(shè)置阻

火和泄爆裝置，管道內(nèi)壁材料應(yīng)為符合安全要求的不發(fā)火材料，管道應(yīng)進行可靠的防靜電接

地，重要部位宜設(shè)置可燃氣體檢測報警裝置和惰性氣體抑爆裝置。

7.27有毒氣體排風系統(tǒng)應(yīng)采取下列措施，確保其工作的可靠性：

（1）排風系統(tǒng)應(yīng)有備用排風機。

（2）排風機應(yīng)設(shè)有備用電源。

（3）排風管道應(yīng)根據(jù)排放介質(zhì)的危害特征選用材質(zhì)；排放管道上應(yīng)設(shè)觀察口、檢修口、

清掃口并保持暢通；排風管道上不宜設(shè)防火閥。

（4）易燃易爆場所塵、毒排風系統(tǒng)應(yīng)采用防爆、隔爆設(shè)備。

5

AQ4201—2008

7.28排風總管應(yīng)設(shè)測試孔，高空測點應(yīng)有相應(yīng)的操作臺。

7.29上列各條所涉及的排風系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合GB50019的相關(guān)規(guī)定，排風罩應(yīng)符合

GB/T16758要求。

7.30上述條款中未包括的塵毒作業(yè)通風凈化系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)參照有關(guān)規(guī)范、條文執(zhí)行。

8個人防護

8.1涉及塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)按GB11651要求為接觸塵毒作業(yè)人員配備符合相關(guān)國

家標準、行業(yè)標準要求的勞動防護用品。

8.2使用、儲存劇毒化學品場所應(yīng)配備空氣呼吸器和化學防護服。

8.3接觸塵毒作業(yè)的作業(yè)人員應(yīng)具有正確使用個人防護用品的能力，上崗時應(yīng)穿戴好個人防

護用品。

8.4個人防護用品應(yīng)按要求進行維護、保養(yǎng)，由企業(yè)集中清洗。個人防護用品失效時應(yīng)及時

更換。

8.5不應(yīng)在塵毒作業(yè)區(qū)飲水、進食、休息，應(yīng)設(shè)置獨立的休息室。

8.6塵毒作業(yè)應(yīng)按照相關(guān)規(guī)范設(shè)更衣室和淋浴設(shè)施。

8.7接觸塵毒作業(yè)崗位應(yīng)在顯著位置設(shè)置警告標志、標識，并符合GBZ158要求。

8.8清洗、噴漆等易然危險品應(yīng)禁止煙火。

9管理

9.1機構(gòu)

9.1.1電子工業(yè)企業(yè)最高管理者應(yīng)做出遵守國家防塵防毒法律、法規(guī)和標準的承諾，并負責

組織制定和實施企業(yè)防塵防毒計劃。

9.1.2具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)嚴格防塵防毒工作的管理，應(yīng)設(shè)置專職的防塵毒工作

管理崗位。

9.1.3特殊氣體庫、有毒化學品倉庫、有塵毒作業(yè)車間應(yīng)配備專職或兼職的防塵毒工作管理

人員。

9.1.4具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)防塵毒工作管理人員總數(shù)應(yīng)不少于接觸塵毒人員總數(shù)的

1%。

9.2規(guī)程與制度

9.2.1具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)建立完善的防塵防毒規(guī)章制度。

9.2.2防塵防毒制度主要包括：崗位責任制、操作規(guī)程、職業(yè)衛(wèi)生管理制度、定期體檢制度、

運行記錄、個人防護用品發(fā)放使用記錄、防塵毒設(shè)施的維修保養(yǎng)和定期檢測檢驗制度、毒性

物質(zhì)存、取制度等。

9.2.3根據(jù)國家相關(guān)規(guī)定，建立塵毒崗位作業(yè)補貼制度。

9.3教育與培訓

9.3.1電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)經(jīng)常對全體職工進行防塵防毒針對性教育培訓。

9.3.2接觸塵毒作業(yè)的工作人員上崗、換崗以及長期停工后復(fù)崗前應(yīng)經(jīng)過“三級安全教育”

和防塵防毒知識技能培訓，經(jīng)考核合格后方可上崗。

9.3.3接觸塵毒作業(yè)的工作人員上崗前應(yīng)被明確告知所從事工作的職業(yè)危害性，并在勞動合

同、集體合同中體現(xiàn)告知內(nèi)容。

9.3.4具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)每年應(yīng)至少組織一次防塵防毒知識技能再教育和考核。

6

AQ4201—2008

10事故應(yīng)急處置措施

10.1接觸塵毒作業(yè)崗位應(yīng)在顯著位置設(shè)置說明有害物質(zhì)危害性預(yù)防措施和應(yīng)急處理措施的

指示牌。

10.2塵毒作業(yè)區(qū)域應(yīng)按照相關(guān)規(guī)范設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器、急救藥品和裝備。

10.3特氣庫、有毒化學品倉庫及劇毒作業(yè)區(qū)出入口外，應(yīng)在易取放處設(shè)置不少于3套有效

的應(yīng)急用空氣呼吸器和化學防護服，并配備快速檢測儀器。同時，應(yīng)配備防止有毒化學品擴

散的設(shè)備或措施。劇毒作業(yè)區(qū)配備的應(yīng)急防護設(shè)備數(shù)量應(yīng)不少于作業(yè)區(qū)內(nèi)人數(shù)。

10.4接觸粉塵、毒物的作業(yè)場所，應(yīng)具備現(xiàn)場快速、簡易的急救能力。

10.5產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、過程、設(shè)備，應(yīng)針對可能發(fā)生的中毒事故，按AQ/T9002

的要求制定專項應(yīng)急預(yù)案。

10.6電子工業(yè)企業(yè)制定的各種事故應(yīng)急預(yù)案中應(yīng)明確規(guī)定相應(yīng)的防塵防毒設(shè)備及措施，特

別是火災(zāi)、爆炸事故應(yīng)急預(yù)案和有毒物質(zhì)泄漏事故應(yīng)急預(yù)案中應(yīng)明確正確的防塵防毒方法。

10.7應(yīng)急預(yù)案應(yīng)定期演練、經(jīng)常維護、及時更新。

11績效監(jiān)測

11.1體檢

11.1.1作業(yè)人員調(diào)入接觸塵毒作業(yè)崗位前應(yīng)進行上崗前職業(yè)健康檢查并建立健康檔案，在崗

期間按規(guī)定定期進行職業(yè)健康檢查，離崗時進行離崗時的職業(yè)健康檢查。有職業(yè)禁忌癥者不

應(yīng)上崗作業(yè)。

11.1.2已被診斷為職業(yè)病的接觸塵毒作業(yè)人員應(yīng)及時進行治療和定期復(fù)查，并按有關(guān)規(guī)定妥

善處置。

11.2有害物質(zhì)檢測

11.2.1具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)對塵毒作業(yè)點按有關(guān)規(guī)定進行有害物質(zhì)檢測，檢測結(jié)

果報告應(yīng)整理歸檔保存。

11.2.2具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)可自行或委托專業(yè)檢測機構(gòu)開展有害物質(zhì)濃度檢測，并

建立塵毒危害檔案。

11.2.3有害物質(zhì)濃度檢測應(yīng)在正常工況下進行，檢測點的位置和數(shù)量等參數(shù)選擇應(yīng)符合相關(guān)

國家標準要求。

11.2.4具有塵毒作業(yè)的電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)按相關(guān)規(guī)定對防塵防毒設(shè)施的效率進行檢測，達不到

要求時應(yīng)及時檢修或更換。

11.3監(jiān)督檢查

11.3.1防塵防毒管理部門應(yīng)加強對電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒管理的監(jiān)督。電子工業(yè)企業(yè)每二年

至少一次對整個生產(chǎn)過程進行粉塵、毒物危害辨識和評估。在作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備發(fā)

生重大變化時，應(yīng)重新開展辨識評估工作。防塵防毒管理部門應(yīng)要求電子工業(yè)企業(yè)提供作業(yè)

場所塵毒濃度檢測報告、防塵防毒設(shè)施運轉(zhuǎn)效果檢測報告、職業(yè)病危害因素申報材料等相關(guān)

資料。

11.3.2防塵防毒管理部門應(yīng)加強防塵防毒設(shè)備設(shè)施的監(jiān)督管理。防塵防毒設(shè)備設(shè)施的運轉(zhuǎn)率

不應(yīng)低于90%。

11.3.3防塵防毒管理部門每年應(yīng)至少一次對接觸塵毒作業(yè)的防塵防毒技術(shù)措施和管理措施

進行檢查。督促不符合防塵防毒要求的企業(yè)及時整改。

7

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目次

目次...............................................................................................................................................................I

前言..............................................................................................................................................................II

1范圍..................................................................................................................................................................1

2規(guī)范性引用文件..............................................................................................................................................1

3總則...................................................................................................................................................................1

4生產(chǎn)工藝基本要求..........................................................................................................................................1

5生產(chǎn)廠房..........................................................................................................................................................2

6工程技術(shù)措施..................................................................................................................................................3

7通風凈化系統(tǒng)設(shè)置..........................................................................................................................................4

8個人防護..........................................................................................................................................................6

9管理..................................................................................................................................................................6

10事故應(yīng)急處置措施........................................................................................................................................7

11績效監(jiān)測.........................................................................................................................................................7

I

AQ4201—2008

電子工業(yè)防塵防毒技術(shù)規(guī)范

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒的技術(shù)要求、措施和管理。

本標準適用于電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的工程技術(shù)和管理防范，也適用

于安全生產(chǎn)和職業(yè)病危害監(jiān)督管理部門對電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的監(jiān)督。

2規(guī)范性引用文件

下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時，

所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應(yīng)探討使用下列標準最新版本

的可能性。

GB8958缺氧危險作業(yè)安全規(guī)程

GB11651勞動防護用品選用規(guī)則

GB11984氯氣安全規(guī)程

GB15603常用化學危險品貯存通則

GB/T16758排風罩的分類及技術(shù)條件

GB17916毒害性商品儲藏養(yǎng)護技術(shù)條件

GB50019采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范

GB50073潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GBZ1工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準

GBZ2.1工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值化學有害因素

GBZ158工作場所職業(yè)病危害警示標識

AQ/T9002生產(chǎn)經(jīng)營單位安全生產(chǎn)事故應(yīng)急預(yù)案編制導(dǎo)則

SJ30002電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定

3總則

3.1為了有效地控制電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的粉塵、毒物危害因素，改善作業(yè)場所環(huán)境

條件，保障職工身體健康，促進生產(chǎn)發(fā)展，特制定本標準。

3.2電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒應(yīng)堅持預(yù)防為主、防治結(jié)合、源頭控制、過程可控、綜合治

理的原則，優(yōu)先選擇塵毒危害小的工藝和設(shè)備，積極采用無毒或低毒原（輔）料，以無毒代

替有毒、以低毒代替高毒，并對塵毒危害進行綜合治理，使其危害控制符合GBZ2.1要求。

3.3電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒工作應(yīng)持續(xù)改進，不斷降低作業(yè)場所塵毒物質(zhì)濃度。

3.4電子工業(yè)企業(yè)建設(shè)項目中產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)過程和設(shè)備應(yīng)設(shè)置防塵防毒設(shè)備設(shè)施，且

與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時投入生產(chǎn)和使用。

4生產(chǎn)工藝基本要求

4.1電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)對整個生產(chǎn)過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評估，明確所有產(chǎn)生粉

塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備及原（輔）料、中間產(chǎn)品、副產(chǎn)品，并建立職業(yè)衛(wèi)生

檔案。

4.2產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備設(shè)施在設(shè)計時應(yīng)符合GBZ1中第5.1節(jié)以

及SJ30002的要求。

1

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4.3防塵防毒設(shè)備設(shè)施應(yīng)保證作業(yè)場所中有害物質(zhì)濃度符合GBZ2.1的要求。在廠房氣象條

件、潔凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應(yīng)采取其他措施，保證作業(yè)人員健康。

4.4下列工藝過程可能產(chǎn)生粉塵、毒物危害，應(yīng)采取綜合治理措施：

（1）半導(dǎo)體器件（或集成電路）生產(chǎn)中的外延、氧化擴散、化學氣相沉積、離子注入、

腐蝕、清洗、刻蝕、濺射、塑封等工序；

（2）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等；

（3）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工藝等；

（4）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學處理、電鍍、噴砂、油漆、涂裝工

藝等；

（5）鉛蓄電池等含鉛生產(chǎn)工藝；

（6）電阻、電容等元件生產(chǎn)及印刷電路板（PCB）生產(chǎn)；

（7）電子裝聯(lián)工藝中的焊接、三防、固封工序等。

4.5當作業(yè)場所空氣中的塵、毒在技術(shù)上較難控制時，宜采取以下措施：

（1）設(shè)置密閉操作室，保證新鮮空氣供應(yīng)量不少于每人30m3/h；

（2）采用送風面具或崗位送風；

（3）送入空氣應(yīng)符合相關(guān)標準的要求。

4.6在選擇生產(chǎn)工藝時，設(shè)計者和設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供粉塵、毒物產(chǎn)生情況說明及控制措施技

術(shù)文件，原（輔）料供應(yīng)者應(yīng)提供原（輔）料塵、毒危害技術(shù)說明文件、執(zhí)行標準文件等。

上述文件均應(yīng)存檔。

5生產(chǎn)廠房

5.1選址

生產(chǎn)廠房應(yīng)選擇在環(huán)境空氣質(zhì)量、氣象條件符合職業(yè)安全衛(wèi)生要求、環(huán)境較為清潔的地

區(qū)。

5.2布局

5.2.1廠區(qū)應(yīng)合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉(zhuǎn)次數(shù)，避免不合理的交叉和重復(fù)運

輸。

5.2.2產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)區(qū)宜集中布置在廠區(qū)夏季最小頻率風向的上風側(cè)，且地勢開闊、

通風條件良好的地段。

5.2.3生產(chǎn)區(qū)內(nèi)部布置應(yīng)避免塵毒的交叉污染。

5.2.4產(chǎn)生塵毒危害的工序或工作區(qū)（間）若在同一建筑物內(nèi)，宜集中在靠近夏季最大頻率

風向下風側(cè)的外墻布置，應(yīng)與其他工序或工作區(qū)（間）可靠地隔開。

5.2.5有毒物質(zhì)、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設(shè)置在人員集中區(qū)域周邊。

有毒物質(zhì)、粉料輸送管道不應(yīng)穿越辦公室、休息室、宿舍、人員密集廠房、餐廳、經(jīng)常有人

來往的通道（含地道、通廊）等建筑物。

5.2.6密閉廠房進氣口的位置不應(yīng)設(shè)置在有毒、粉塵物質(zhì)排放口污染影響區(qū)域內(nèi)，且應(yīng)保證

在最不利氣象條件下進氣口不受到排放口有毒、粉塵物質(zhì)的影響。

5.3建（構(gòu)）筑物

5.3.1廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)充分考慮防塵防毒的要求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠高度以布置管道，且有利于

清除積塵。粉塵污染嚴重的廠房，應(yīng)留有真空清掃機具行走的通道。

5.3.2使用、產(chǎn)生劇毒物質(zhì)的作業(yè)場所，其墻壁、頂棚和地面等內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面，應(yīng)采用不

吸收、不吸附毒物的材料，宜加設(shè)保護層以便清洗。車間地面應(yīng)平整、防滑、易于清掃。經(jīng)

2

AQ4201—2008

常有積液的地面應(yīng)做防水處理并設(shè)置坡向排水系統(tǒng)。

5.3.3對于多層廠房，產(chǎn)生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如必須布置在下層時，

應(yīng)采取安裝有效通風、防毒設(shè)備設(shè)施等措施，以防止對上層作業(yè)環(huán)境造成不良影響。

5.3.4潔凈廠房采用的室內(nèi)裝修材料，其有害物質(zhì)散發(fā)量應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定，不宜使用對

人身體有害的石棉類建筑材料。

6工程技術(shù)措施

6.1材料儲存與運輸

6.1.1采用自動化設(shè)備，實現(xiàn)物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制，以避免或減少有害物

質(zhì)的散發(fā)。

6.1.2采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送機、溜管、溜槽等。

6.1.3改進工藝，減少粉、粒料的中轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，縮短輸送距離。

6.1.4減少散裝粉、粒料轉(zhuǎn)運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負壓等措施。

6.1.5經(jīng)常有人來往的通道（含地道、通廊），應(yīng)有自然通風或機械通風，不應(yīng)敷設(shè)有毒液體

或有毒氣體管道。

6.1.6對塵、毒物品的運輸、儲存、分配應(yīng)采取下列防范措施：

（1）在工作區(qū)內(nèi)裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉、粒料，不宜使

用抓斗吊車、翻斗車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區(qū)域，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施，灑水設(shè)施應(yīng)保證

冬季的正常使用。

（2）有毒物品應(yīng)儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯存限量應(yīng)符

合GB15603、GB17916的規(guī)定。

（3）儲存氣態(tài)有毒物質(zhì)的場所應(yīng)設(shè)置有效的氣體排放應(yīng)急處理設(shè)施，以避免發(fā)生毒氣

泄漏事故時造成毒氣擴散。相互抵觸的氣態(tài)物質(zhì)儲存容器應(yīng)分室儲存，并有可靠措施避免泄

漏時發(fā)生反應(yīng)。

（4）儲存液態(tài)有毒物質(zhì)的場所應(yīng)設(shè)置圍堰或?qū)Я鞑郏希瑖叩娜莘e應(yīng)不小于最大

單罐地上部分儲量。從圍堰或?qū)Я鞑郏希┮龅呐潘ㄅ盼郏┕埽希?yīng)匯集到專用的污

水池。相互抵觸的液態(tài)物質(zhì)儲存容器應(yīng)分別設(shè)置圍堰或?qū)Я鞑郏希?、排水（排污）管（溝）?/p>

污水池，并有可靠措施避免同時發(fā)生泄漏時散發(fā)出的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。

（5）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應(yīng)具有良好密閉性和耐蝕性。

（6）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲存間和配送

管道廊內(nèi)應(yīng)設(shè)置在線氣體檢測報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖。氦氣、六氟化硫

等窒息性特種氣體儲存間和配送管道廊內(nèi)應(yīng)設(shè)置在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風

裝置連鎖。

（7）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、頂棚和地面應(yīng)

采用不吸附毒物的材料，并便于清洗和收集。室內(nèi)管線宜暗敷。分發(fā)毒物處應(yīng)設(shè)置洗滌池和

通風柜。

（8）液氯罐儲存間應(yīng)設(shè)置在線氯氣報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖，排放

系統(tǒng)吸氣口位置應(yīng)靠近地面。儲存間內(nèi)應(yīng)設(shè)置起重設(shè)備及稀堿液池，其深度應(yīng)能浸沒液氯罐，

或配備氯氣捕消器，并符合GB11984的要求。

（9）危險化學品在潔凈廠房內(nèi)的運輸、儲存、分配，應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定。

（10）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應(yīng)參照有關(guān)規(guī)范、條文

要求，采取相應(yīng)的防范措施。

6.2工藝與設(shè)備

3

AQ4201—2008

6.2.1生產(chǎn)工藝與設(shè)備宜采取密閉（整體密閉、局部密閉或小室密閉）或負壓方式工作。不

能密閉時，應(yīng)設(shè)置排風罩。

6.2.2在生產(chǎn)設(shè)備合理密閉和通風的基礎(chǔ)上宜采取隔離、遙控操作。

6.2.3生產(chǎn)線上的單臺通風系統(tǒng)工藝設(shè)備宜集合成密閉的工藝系統(tǒng)。

6.2.4對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應(yīng)通過采取全自動化生產(chǎn)或遙控操作等措

施，實現(xiàn)人與危害現(xiàn)場的隔離。

6.2.5生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的劇毒氣體應(yīng)進行機旁無害化處理后再排入公共排氣管道系統(tǒng)。

6.3操作

6.3.1密閉空間進行檢修時，應(yīng)為檢修人員配備符合要求的個人防護用品，并配備現(xiàn)場監(jiān)護

人員。檢修人員進入前應(yīng)進行塵毒吹掃、沖洗、收集、檢測合格后，方可進行檢修作業(yè)。檢

測氧氣濃度應(yīng)符合GB8958要求。

6.3.2熒光粉生產(chǎn)中的硫化鋅制備反應(yīng)釜的加料和放料操作，應(yīng)與反應(yīng)釜攪拌機連鎖，放料

前關(guān)閉，加料后啟動。

6.4有毒廢物處置

6.4.1散發(fā)有毒氣體的生產(chǎn)廢水，應(yīng)盡量縮短在室內(nèi)穿過的距離，不應(yīng)采用明溝排水。在外

排時應(yīng)進行無毒化處理。

6.4.2從工作間（區(qū)）排出的含有塵、毒的廢氣、廢水、廢渣應(yīng)進行相應(yīng)的無害化治理，使

其符合相關(guān)的環(huán)保排放標準。

6.4.3生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的相互抵觸物質(zhì)應(yīng)單獨無害化處理后再排入公共排放管道，不應(yīng)混合

直排。

6.4.4生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的危險固體廢物不應(yīng)隨意放置在車間或廠區(qū)內(nèi)，應(yīng)設(shè)置專用庫房，使

用專用密閉容器儲存，交專業(yè)機構(gòu)集中處置。

7通風凈化系統(tǒng)設(shè)置

7.1在生產(chǎn)過程中可能突然逸出大量有害氣體或易造成急性中毒氣體的作業(yè)場所，應(yīng)設(shè)置事

故通風裝置及與其連鎖的自動報警裝置。其通風換氣次數(shù)應(yīng)不小于每小時12次。

7.2有塵、揮發(fā)性溶劑逸出的設(shè)備等的開口部位應(yīng)設(shè)排風裝置。

7.3篩選設(shè)備應(yīng)根據(jù)具體情況在卸料點、篩上物落料處及其本體部分按設(shè)備類型設(shè)罩并排

風：

（1）振動篩宜在篩子上設(shè)密閉排風罩。

（2）滾筒篩應(yīng)設(shè)整體密閉排風罩。

（3）多段篩宜在篩箱側(cè)面設(shè)窄縫側(cè)吸罩。罩口風速控制在5m/s以內(nèi)。篩箱頂部應(yīng)設(shè)可

開啟蓋板。

7.4混料機應(yīng)采用密閉排風圍罩，或在進、出料口分別設(shè)置排風罩。

7.5袋裝粉料的拆包、倒包應(yīng)在有負壓的專門裝置中進行。

7.6印制線路板生產(chǎn)中的鋸床、數(shù)控鉆（銑）床、開槽機、倒角機、帖膜機、蝕刻機、角磨

機、顯影機、凹蝕設(shè)備、電鍍設(shè)備、曝光機、紫外光固化機等散發(fā)粉塵、酸堿蒸汽或臭氧等

的設(shè)備，均應(yīng)采取排風措施。

7.7電鍍槽、酸洗槽、除油槽、腐蝕槽及其他化學槽等應(yīng)設(shè)槽邊側(cè)吸罩或吹吸式罩。蓄電池

板板化成槽應(yīng)設(shè)上部排風罩或側(cè)吸罩。

7.8鍍鉻槽排風管路上應(yīng)設(shè)置鉻液回收裝置。風管連接應(yīng)嚴密。

7.9批量生產(chǎn)的噴漆或噴涂作業(yè)，應(yīng)在有排風的噴漆室、噴涂室或噴漆柜、噴涂柜內(nèi)進行。

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AQ4201—2008

大件生產(chǎn)的就地噴漆工作區(qū)應(yīng)有良好通風。烘干箱（室）應(yīng)設(shè)置上送下排式排風系統(tǒng)。

7.10產(chǎn)生磨削粉塵的設(shè)備，如工具磨床、砂輪機等應(yīng)設(shè)局部排風除塵裝置。

7.11使用磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒氣體進行化學氣相淀積、

外延、摻雜、擴散、離子注入、刻蝕等工藝的作業(yè)場所，應(yīng)設(shè)機械排風系統(tǒng)、事故排風系統(tǒng)

和泄漏報警裝置。泄漏報警裝置應(yīng)與事故排風系統(tǒng)、工藝設(shè)備、操作閥等連鎖。工藝設(shè)備的

尾氣排放口應(yīng)設(shè)置可靠的現(xiàn)場無害化處理裝置和局部排風裝置。

7.12半導(dǎo)體圓片粘片、硅片處理、熔蠟、熒光粉的配置和涂復(fù)、氣相清洗、紅外熱熔、熱

風平整等產(chǎn)生有機溶劑蒸汽的作業(yè)點，均應(yīng)設(shè)排風裝置。

7.13濺射工藝過程和墊料散布過程中產(chǎn)生的爆炸性粉塵廢氣應(yīng)進行單獨排風，在排氣管道

前端設(shè)置集塵裝置并使用惰性氣體保護，集塵裝置宜配備惰性氣體抑爆裝置。

7.14刻蝕工藝過程操作現(xiàn)場應(yīng)單獨設(shè)置局部排氣裝置。

7.15在光刻過程中產(chǎn)生的有機廢氣、堿性廢氣宜分別使用不同的排氣系統(tǒng)，如不可行，其

排氣系統(tǒng)不應(yīng)與其他排氣系統(tǒng)連接，以避免發(fā)生連鎖反應(yīng)事故。

7.16裝聯(lián)工藝中的再流焊、波峰焊、浸錫焊以及手工焊接等作業(yè)點，應(yīng)設(shè)排風裝置或煙霧

凈化裝置。

7.17電焊、氣焊等離子切割，熔鉛鍋等產(chǎn)生金屬蒸汽的工作點，應(yīng)設(shè)下排風裝置。

7.18玻璃熱加工、芯柱壓制、高鉛玻璃電真空器件的熱加工、溶制鉛玻璃池爐觀察孔等處，

應(yīng)設(shè)置強排風。

7.19使用滴汞電極的極譜儀時，應(yīng)采用專用的極譜工作臺，工作間地坪應(yīng)為深色，工作臺

附近地面應(yīng)設(shè)收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡