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第4.2節(jié)磁電式傳感器霍爾式傳感器三概述一磁電感應(yīng)式傳感器二概述一磁電式傳感器被測量電信號振動、位移、轉(zhuǎn)速磁電作用磁電式傳感器磁電感應(yīng)式傳感器霍爾式傳感器利用導(dǎo)體和磁場發(fā)生相對運動產(chǎn)生感應(yīng)電動勢的;載流半導(dǎo)體在磁場中有電磁效應(yīng)(霍爾效應(yīng))而輸出電動勢的。有源傳感器具有較大的輸出功率具有雙向轉(zhuǎn)換特性只應(yīng)用于動態(tài)測量認(rèn)識磁電感應(yīng)式傳感器工作原理和結(jié)構(gòu)類型測量電路磁電感應(yīng)式傳感器應(yīng)用舉例磁電感應(yīng)式傳感器二它是一種機(jī)-電能量變換型傳感器,不需要供電電源,電路簡單,性能穩(wěn)定,輸出阻抗小,又具有一定的頻率響應(yīng)范圍(一般為10~1000
Hz),所以得到普遍應(yīng)用。電動勢式傳感器工作原理:W匝線圈在磁場中切割磁力線或線圈所在磁場的磁通變化時,線圈中產(chǎn)生的感應(yīng)電動勢e取決于穿過線圈磁通中的變化率。磁電感應(yīng)式傳感器二1、概述根據(jù)電磁感應(yīng)定律,當(dāng)W匝線圈在均恒磁場中運動時,設(shè)穿過線圈的磁通為φ,則線圈的感應(yīng)電勢e為:法拉第電磁感應(yīng)定律數(shù)學(xué)表達(dá)式:2、工作原理磁電感應(yīng)式傳感器二線圈在恒定磁場中作直線運動,并切割磁力線,感應(yīng)電動勢為:B:磁場磁感應(yīng)強度;l:每匝線圈的長度θ:運動方向與磁場方向之間的夾角;v:線圈與磁場之間的相對運動速度2、工作原理磁電感應(yīng)式傳感器二線圈相對磁場作旋轉(zhuǎn)運動并切割磁力線,感應(yīng)電動勢為:S:每匝線圈的截面積θ:線圈平面法線方向與磁場方向之間的夾角;ω:線圈與磁場之間的相對運動角速度2、工作原理磁電感應(yīng)式傳感器二磁電感應(yīng)式恒磁通變磁通線圈與磁鐵之間沒有相對運動,由運動著的被測物體(導(dǎo)磁材料)改變磁路的磁阻,引起磁通量變化從而在線圈中產(chǎn)生感應(yīng)電勢。恒定的直流磁場,磁場中的工作氣隙固定不變,因而氣隙中的磁通也是恒定不變的。線圈與磁鐵間存在相對運動,線圈切割磁力線產(chǎn)生與相對速度v成比例的感應(yīng)電勢e?;绢愋痛烹姼袘?yīng)式動圈式開磁路線速度型角速度型動鐵式恒磁通變磁通閉磁路磁電感應(yīng)式傳感器二基本類型(1)變磁通式磁電傳感器結(jié)構(gòu)與工作原理變磁通式磁電感應(yīng)傳感器一般做成轉(zhuǎn)速傳感器,產(chǎn)生感應(yīng)電動勢的頻率作為輸出,而電動勢的頻率取決于磁通變化的頻率。變磁通式轉(zhuǎn)速傳感器的結(jié)構(gòu)有開磁路和閉磁路兩種。a)開磁路b)閉磁路a)開磁路b)閉磁路a)開磁路:測量齒輪2安裝在被測轉(zhuǎn)軸上與其一起旋轉(zhuǎn)。當(dāng)齒輪旋轉(zhuǎn)時,齒的凹凸引起磁阻的變化,從而使磁通發(fā)生變化,因而在線圈3中感應(yīng)出交變的電勢,其頻率等于齒輪的齒數(shù)Z和轉(zhuǎn)速n的乘積,即式中:Z為齒輪齒數(shù);n為被測軸轉(zhuǎn)速(r/min);f為感應(yīng)電動勢頻率(Hz)。這樣當(dāng)已知Z,測得f就知道n了。開磁路式轉(zhuǎn)速傳感器結(jié)構(gòu)比較簡單,但輸出信號小,另外當(dāng)被測軸振動比較大時,傳感器輸出波形失真較大。在振動強的場合往往采用閉磁路式轉(zhuǎn)速傳感器。被測轉(zhuǎn)軸帶動橢圓形測量輪5在磁場氣隙中等速轉(zhuǎn)動,使氣隙平均長度周期性地變化,因而磁路磁阻和磁通也同樣周期性地變化,則在線圈3中產(chǎn)生感應(yīng)電動勢,其頻率f與測量輪5的轉(zhuǎn)速n(r/min)成正比,即f=n/30。在這種結(jié)構(gòu)中,也可以用齒輪代替橢圓形測量輪5,軟鐵制成內(nèi)齒輪形式,這時輸出信號頻率f
同前式。b)閉磁路特點對環(huán)境條件要求不高能在-150
+90℃的溫度下工作,不影響測量精度也能在油、水霧、灰塵等條件下工作但它的工作頻率下限較高,約為50Hz,上限可達(dá)100Hz。變磁通應(yīng)用實例:車速傳感器(2)恒定磁通式磁電傳感器結(jié)構(gòu)與工作原理
工作原理:當(dāng)殼體隨被測振動體一起振動時,使永久磁鐵與線圈產(chǎn)生相對運動,切割磁力線,相對運動速度接近于振動體振動速度。切割磁力線產(chǎn)生感應(yīng)電勢e相對運動速度的匝數(shù)線圈在工作氣隙磁場中每匝線圈的平均長度工作氣隙磁感應(yīng)強度其中:----μ-=vWlBveWvsinθlBe00結(jié)構(gòu)特點動鐵式:線圈組件與傳感器殼體固定,永久磁鐵用柔軟的彈簧支撐。動圈式:永久磁鐵與傳感器殼體固定,線圈組件用柔軟的彈簧支撐。動圈式NS永久磁鐵線圈彈簧動圈式
線速度型應(yīng)用實例工業(yè)測振動microphone測速電機(jī)角速度型應(yīng)用實例被測物SN殼體線圈永久磁鐵彈簧動鐵式恒定磁通式傳感器3、磁電感應(yīng)式傳感器的測量電路
磁電感應(yīng)式傳感器只適合于動態(tài)測量,可以直接測量物體的速度或角速度。加入積分或微分電路后,可以測量位移和加速度。
4、磁電感應(yīng)式傳感器應(yīng)用舉例
(1)振動測量(2)轉(zhuǎn)速測量(3)扭矩測量(1)振動測量工作頻率10~500
Hz最大可測加速度5g精度≤10%固有頻率12
Hz可測振幅范圍0.1~1000
外形尺寸45mm×160
mm靈敏度604
mV·s·cm-1工作線圈內(nèi)阻1.9質(zhì)量0.7
kg1、8—圓形彈簧片;2—圓環(huán)形阻尼器;3—永久磁鐵;4—鋁架;5—心軸;6—工作線圈;7—殼體;9—引線在測振時,傳感器固定或緊壓于被測系統(tǒng),磁鋼4與殼體2一起隨被測系統(tǒng)的振動而振動。裝在芯軸6上的線圈5和阻尼環(huán)3組成慣性系統(tǒng)的質(zhì)量塊并在磁場中運動。動圈式振動傳感器1—圓形彈簧片;2—殼體;3—圓環(huán)形阻尼器;4—永久磁鐵;5—工作線圈;6—心軸;9—引線由于感應(yīng)電壓與磁通φ的變化率成比例,即
(W是線圈匝數(shù))故隨著轉(zhuǎn)速下降輸出電壓幅值減小,當(dāng)轉(zhuǎn)速低到一定程度時,電壓幅值會減小到無法檢測出來的程度。故這種傳感器不適合于低速測量。為提高低轉(zhuǎn)速的測量效果,可采用電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器。磁電感應(yīng)式轉(zhuǎn)速傳感器的結(jié)構(gòu)原理如圖所示。當(dāng)安裝在被測轉(zhuǎn)軸上的齒輪(導(dǎo)磁體)旋轉(zhuǎn)時,其齒依次通過永久磁鐵兩磁極間的間隙,從而在線圈上輸出頻率和幅值均與軸轉(zhuǎn)速成比例的交流電壓信號u0。(2)轉(zhuǎn)速測量磁電感應(yīng)式扭矩傳感器如圖所示,在轉(zhuǎn)軸上固定兩個齒輪1和2,它們的材質(zhì)、尺寸、齒形和齒數(shù)均相同。永久磁鐵和線圈組成的磁電式檢測頭3和4對著齒頂安裝。當(dāng)轉(zhuǎn)軸不受扭矩時,兩線圈輸出信號相同,相位差為零。轉(zhuǎn)軸承受扭矩后,相位差不為零,且隨兩齒輪所在橫截面之間相對扭轉(zhuǎn)角的增加而加大,其大小與相對扭轉(zhuǎn)角、扭矩成正比。(3)扭矩測量z為傳感器定子、轉(zhuǎn)子的齒數(shù)。相位差扭轉(zhuǎn)角
12測量儀表uwt霍爾式傳感器的工作原理霍爾元件構(gòu)造及測量電路霍爾元件的主要技術(shù)指標(biāo)和補償電路霍爾式傳感器的應(yīng)用舉例
霍爾式傳感器三
首先來看一個利用霍爾式傳感器將非電量轉(zhuǎn)化為磁場變化,從而進(jìn)行測量的例子。
與電感式微壓力傳感器具有類似結(jié)構(gòu)。霍爾式傳感器:是利用半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)進(jìn)行測量的一種傳感器。霍爾式傳感器的核心是霍爾元件,霍爾式傳感器是由霍爾元件及相關(guān)的測量電路共同構(gòu)成的一種測量裝置。應(yīng)用:電磁、壓力、加速度、振動等方面的測量。
特點:體積小,外圍電路簡單,頻帶寬,動態(tài)特性好,壽命長,可實現(xiàn)非接觸測量。1、霍爾式傳感器的工作原理(1)霍爾效應(yīng)
導(dǎo)體或半導(dǎo)體薄片置于磁場B中,在相對兩側(cè)通以電流I,在垂直于電流和磁場的方向上將產(chǎn)生一個大小與電流I和磁感應(yīng)強度B的乘積成正比的電動勢。這一現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。該電勢稱為霍爾電勢,該薄片稱為霍爾元件?;魻栃?yīng)的實質(zhì):是電磁學(xué)一種重要的電磁感應(yīng)現(xiàn)象。產(chǎn)生霍爾效應(yīng)的微觀原因是洛侖茲力的作用,載流子(電子)在磁場中作定向運動,將受到洛侖茲力的作用,分布產(chǎn)生一定的偏離,其結(jié)果是宏觀上感應(yīng)電動勢?;魻栃?yīng)演示cdab(2)霍爾效應(yīng)原理分析霍爾效應(yīng)原理圖一塊長為l、寬為b、厚為d的N型半導(dǎo)體薄片置于磁感應(yīng)強度為B的磁場(磁場方向垂直于薄片)中。當(dāng)有電流I流過時,在垂直于電流和磁場的方向上將產(chǎn)生電動勢UH。(2)霍爾效應(yīng)原理分析電子以均勻的速度v運動,則在垂直方向施加的磁感應(yīng)強度B的作用下,每個電子受到洛侖茲力N型半導(dǎo)體:FL
=evBe—電子電量(1.602×10-19C)根據(jù)右手螺旋定則,電子運動方向向上偏移,則在上端產(chǎn)生電子積聚,下端失去電子產(chǎn)生正電荷積聚。從而形成電場EH。EH電場強度霍爾效應(yīng)原理圖(2)霍爾效應(yīng)原理分析bUEHH=電場強度同時,每個電子所受電場力為==bU-e-eEFHHE霍爾效應(yīng)原理圖當(dāng)電子所受洛倫茲力與霍爾電場作用力大小相等方向相反,即
(2)霍爾效應(yīng)原理分析=eBv
FL=evBbUeFHE=霍爾電動勢UH=vBb此時電荷不再向兩側(cè)面積累,達(dá)到平衡狀態(tài)。霍爾效應(yīng)原理圖霍爾電勢UH與I、B的乘積成正比,而與d成反比??筛膶懗桑?/p>
—霍爾常數(shù),由材料物理性質(zhì)決定。ρ—材料電阻率μ—載流子遷移率n—N型半導(dǎo)體中的電子濃度電流密度j=-nevKH—霍爾系數(shù),也稱霍爾元件的靈敏度系數(shù)金屬材料電子μ很高但ρ很小,絕緣材料ρ很高但μ很小。故為獲得較強霍耳效應(yīng),霍耳片全部采用半導(dǎo)體材料制成。而電子的遷移率比空穴大,所以以N型半導(dǎo)體居多。(2)霍爾效應(yīng)原理分析P型半導(dǎo)體p—P型半導(dǎo)體中的空穴濃度結(jié)論:注意:(1)當(dāng)控制電流(或磁場)方向改變時,霍爾電動勢的方向也將改變,但電流與磁場方向同時改變時,霍爾電動勢方向不變;(2)當(dāng)載流材料和幾何尺寸確定后,霍爾電動勢的大小正比于控制電流I和磁感應(yīng)強度B。(3)如果所加磁場方向與半導(dǎo)體薄皮的表面垂直方向的夾角為θ,則霍爾式傳感器可以檢測什么量?檢測電流,或者檢測能夠引起磁場變化的物理量(位移、壓力、振動)如何提高傳感器的靈敏度?減小元件厚度,采用薄的霍爾元件可以獲得更大的電勢輸出?;魻栃?yīng)演示當(dāng)磁場垂直于薄片時,電子受到洛侖茲力的作用,向內(nèi)側(cè)偏移,在半導(dǎo)體薄片c、d方向的端面之間建立起霍爾電勢。cdab2、霍爾元件構(gòu)造及測量電路(1)構(gòu)造霍爾元件是一種四端元件外形一種封裝的貼片式霍爾元件(1)構(gòu)造由霍爾片、四根引線和殼體組成?;魻柶壕匦伟雽?dǎo)體薄片;四極引線:長度方向兩端面(控制電流端引線)和側(cè)邊兩端面中點(霍爾電勢輸出引線)殼體:非導(dǎo)磁金屬、陶瓷或環(huán)氧樹脂封裝。
組成控制電極霍爾電極(1)構(gòu)造電路符號H霍爾元件的符號AAABBBCCCDDD關(guān)于霍耳器件符號,名稱及型號,國內(nèi)外尚無統(tǒng)一規(guī)定,為敘述方便起見,暫規(guī)定下列名稱的符號。
國產(chǎn)霍爾元件的命名方法(補充)
目前常用的霍爾元件材料有:鍺、硅、砷化銦、銻化銦等半導(dǎo)體材料。其中N型鍺容易加工制造,其霍爾系數(shù)、溫度性能和線性度都較好。N型硅的線性度最好,其霍爾系數(shù)、溫度性能同N型鍺。銻化銦對溫度最敏感,尤其在低溫范圍內(nèi)溫度系數(shù)大,但在室溫時其霍爾系數(shù)較大。砷化銦的霍爾系數(shù)較小,溫度系數(shù)也較小,輸出特性線性度好?;魻栐S貌牧希ㄑa充)(2)測量電路RP:調(diào)整控制電流的大?。籖L:輸出端負(fù)載,可以是一般電阻,也可以是放大器輸入電阻或表頭內(nèi)阻?;魻栃?yīng)建立的時間極短(10-12~10-14S),I即可以是直流,也可以是交流。若被測物理量是I、B或者IB乘積的函數(shù),通過測量霍爾電勢UH就可知道被測量的大小。3、霍爾元件的主要技術(shù)指標(biāo)和補償電路(1)額定激勵電流IH——霍爾元件溫升10℃時所加的電流通過電流IH的載流體產(chǎn)生焦?fàn)枱醀1H霍爾元件的散熱W2H(主要由沒有電極的兩個側(cè)面承擔(dān))熱平衡時△T:限定的溫升;K:散熱系數(shù)以元件允許最大溫升為限制所對應(yīng)的激勵電流稱為最大允許激勵電流。因霍爾電勢隨激勵電流增加而增加,所以,使用中希望選用盡可能大的激勵電流,因而需要知道元件的最大允許激勵電流。最大允許激勵電流(補充)(2)輸入電阻Ri和輸出電阻Rs
以上電阻值是在磁感應(yīng)強度為零且環(huán)境溫度在20℃±5℃時確定的。
Ri——控制電流電極間的電阻R0——輸出霍爾電勢電極間的電阻(3)不等位電動勢不等位電勢(零位電勢)——IH、B=0、空載霍爾電勢。不等位電阻:r0=U0/IH產(chǎn)生原因:①霍爾電極安裝位置不對稱或不在同一等電位面上;②半導(dǎo)體材料不均勻造成了電阻率不均勻或是幾何尺寸不均勻;
③激勵電極接觸不良造成激勵電流不均勻分布等(工藝決定的)。
后果:零位誤差。補償方法直流下測得不等位電勢補償?shù)姆椒ɡ硐肭闆r下,R1=R2=R3=R4,U0=0由于不等位電阻的存在,說明此四個電阻值不相等,則電橋不平衡。為使其達(dá)到平衡,可在阻值較大的橋臂上并聯(lián)電阻,或在兩個橋臂上同時并聯(lián)電阻。(4)寄生直流電勢
在外加磁場為零,霍爾元件用交流激勵時,霍爾電極輸出除了交流不等位電勢外,還有一直流電勢,稱寄生直流電勢。其產(chǎn)生的原因有:①激勵電極與霍爾電極接觸不良,形成非歐姆接觸,造成整流效果;②兩個霍爾電極大小不對稱,則兩個電極點的熱容量不同,散熱狀態(tài)不同形成極向溫差電勢。寄生直流電勢一般在1mV以下,它是影響霍爾片溫漂的原因之一。
(5)霍爾電勢溫度系數(shù)
在一定磁感應(yīng)強度和激勵電流下,溫度每變化1℃時,
霍爾電勢變化的百分率稱霍爾電勢溫度系數(shù)。它同時也是霍爾系數(shù)的溫度系數(shù)。
后果:當(dāng)溫度變化時,霍爾元件的載流子濃度、遷移率、電阻率及霍爾靈敏度、輸入、輸出電阻都將發(fā)生變化,從而使霍爾元件產(chǎn)生溫度誤差。解決方法:溫度誤差補償溫度誤差補償常用方法:*選用溫度系數(shù)小的元件;*采用恒溫措施;*由UH=KHIB可看出:采用恒流源供電是個有效措施,可以使霍爾電勢穩(wěn)定;*采用補償電路——電橋補償法。輸出電極串連溫度補償電橋溫度變化引起并聯(lián)的熱敏電阻變化,從而調(diào)節(jié)輸出電勢。熱敏電阻常用國產(chǎn)霍爾元件的技術(shù)參數(shù)四、霍爾傳感器的應(yīng)用
霍爾電勢是關(guān)于I、B、
三個變量的函數(shù),即UH=KHIBcos
。利用這個關(guān)系可以使其中兩個量不變,將第三個量作為變量,或者固定其中一個量,其余兩個量都作為變量。這使得霍爾傳感器有許多用途。
(1)霍爾式微位移傳感器(2)霍爾式轉(zhuǎn)速傳感器
(3)霍爾式電流傳感器
(4)霍爾式微壓力傳感器(5)霍爾式無刷電動機(jī)(6)其他方面的應(yīng)用
(1)霍爾式微位移傳感器
①線位移測量霍爾元件具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、動態(tài)特性好和壽命長的優(yōu)點,它不僅用于磁感應(yīng)強度,有功功率及電能參數(shù)的測量,也在位移測量中得到廣泛應(yīng)用。圖示為一些霍爾式位移傳感器的工作原理圖。圖(a)是磁場強度相同的兩塊永久磁鐵,同極性相對地放置,
霍爾元件處在兩塊磁鐵的中間。由于磁鐵中間的磁感應(yīng)強度B=0,因此霍爾元件輸出的霍爾電勢UH也等于零,此時位移Δx=0。若霍爾元件在兩磁鐵中產(chǎn)生相對位移,霍爾元件感受到的磁感應(yīng)強度也隨之改變,這時UH不為零,其量值大小反映出霍爾元件與磁鐵之間相對位置的變化量,這種結(jié)構(gòu)的傳感器,其動態(tài)范圍可達(dá)5mm,分辨率為0.001mm。
圖(b)所示是一種結(jié)構(gòu)簡單的霍爾位移傳感器,由一塊永久磁鐵組成磁路的傳感器,在Δx=0時,霍爾電壓等于零。圖(c)是一個由兩個結(jié)構(gòu)相同的磁路組成的霍爾式位移傳感器,為了獲得較好的線性分布,在磁極端面裝有極靴(磁極頭),霍爾元件調(diào)整好初始位置時,可以使霍爾電壓UH=0。這種傳感器靈敏度很高,但它所能檢測的位移量較小,適合于微位移量及振動的測量。
②角位移測量(2)霍爾式轉(zhuǎn)速傳感器
在被測轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)軸上安裝一個齒盤,也可選取機(jī)械系統(tǒng)中的一個齒輪,將線性型霍爾器件及磁路系統(tǒng)靠近齒盤。齒盤的轉(zhuǎn)動使磁路的磁阻隨氣隙的改變而周期性地變化,霍爾器件輸出的微小脈沖信號經(jīng)隔直、放大、整形后可以確定被測物的轉(zhuǎn)速。SN線性霍爾磁鐵N峰值個數(shù)霍爾轉(zhuǎn)速表原理
當(dāng)齒對準(zhǔn)霍爾元件時,磁力線集中穿過霍爾元件,可產(chǎn)生較大的霍爾電動勢,放大、整形后輸出高電平;反之,當(dāng)齒輪的空擋對準(zhǔn)霍爾元件時,輸出為低電平?;魻栟D(zhuǎn)速傳感器在汽車防抱死裝置(ABS)中的應(yīng)用
若汽車在剎車時車輪被抱死,將產(chǎn)生危險。用霍爾轉(zhuǎn)速傳感器來檢測車輪的轉(zhuǎn)動狀態(tài)有助于控制剎車力的大小。帶有微型磁鐵的霍爾傳感器鋼質(zhì)霍爾另一種轉(zhuǎn)速測量安裝方法磁性轉(zhuǎn)盤的輸入軸與被測轉(zhuǎn)軸相連,當(dāng)被測轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時,磁性轉(zhuǎn)盤隨之轉(zhuǎn)動,固定在磁性轉(zhuǎn)盤附近的霍爾傳感器便可在每一個小磁鐵通過時產(chǎn)生一個相應(yīng)的脈沖,檢測出單位時間的脈沖數(shù),便可知被測轉(zhuǎn)速。磁性轉(zhuǎn)盤上小磁鐵數(shù)目的多少決定了傳感器測量轉(zhuǎn)速的分辨率。(3)霍爾電流傳感器
將被測電流的導(dǎo)線穿過霍爾電流傳感器的檢測孔。當(dāng)有電流通過導(dǎo)線時,在導(dǎo)線周圍將產(chǎn)生磁場,磁力線集中在鐵心內(nèi),并在鐵心的缺口處穿過霍爾元件,從而產(chǎn)生與電流成正比的霍爾電壓?;魻栯娏鱾鞲衅餮菔捐F心
線性霍爾IC
UH=KHIB
II其他霍爾電流傳感器其他霍爾電流傳感器(續(xù))霍爾鉗形電流表(交直流兩用)壓舌豁口霍爾鉗形電流表演示直流200A量程被測電流的導(dǎo)線未放入鐵心時示值為零70.9A鉗形表的環(huán)形鐵心可以張開,導(dǎo)線由此穿過霍爾鉗形電流表演示70.9A霍爾鉗形電流表的使用被測電流的導(dǎo)線從此處穿入鉗形表的環(huán)形鐵心手指按下此處,將鉗形表的鐵心張開將被測電流導(dǎo)線逐根夾到鉗形表的環(huán)形鐵
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