半導體設(shè)備／零部件行業(yè)2023年%262024一季報總結(jié)：訂單確認節(jié)奏致業(yè)績分化出貨%2b訂單持續(xù)高增

訂單確認節(jié)奏致業(yè)績分化，出貨+訂單持續(xù)高增。半導體前道設(shè)備選取12家公司【北方華創(chuàng)】【中微公司】【拓荊科技】

【華海清科】【盛美上?！俊局锌骑w測】【精測電子】【芯源微】【萬業(yè)企業(yè)】【微導納米】【京儀裝備】【至純科技】；后道測試設(shè)備選取4家公司【長川科技】【華峰測控】【金海通】【精智達】；零部件選取7家公司【正帆科技】【新萊應(yīng)材】【富創(chuàng)精密】【英杰電氣】【華亞智能】【漢鐘精機】【江豐電子】。

1）收入端，23&24Q1前道設(shè)備板塊營收490.19、117.36億元，分別同比+36.79%、31.19%；后道測試設(shè)備板塊營收34.62、8.68億元，分別同比-24.38%、+28.99%；零部件板塊營收172.97、39.90億元，分別同比+20.44%、+33.18%，受訂單確認節(jié)奏影響，前道設(shè)備板塊營收出現(xiàn)一定降速，零部件和后道封測設(shè)備板塊營收端出現(xiàn)環(huán)比改善。2）利潤端，

23&24Q1前道設(shè)備板塊歸母凈利潤94.41、18.03億元，分別同比+47.60%、18.53%；后道測試設(shè)備板塊歸母凈利潤4.97、0.28億元，分別同比-58.82%、-39.12%；零部件板塊歸母凈利潤24.46、4.63億元，分別同比+8.81%、30.58%。24Q1前道設(shè)備板塊歸母凈利潤降速明顯，盈利水平有所下降，后道測試設(shè)備板塊持續(xù)承壓，歸母凈利潤持續(xù)大幅下滑，零部件整體利潤端改善明顯，盈利水平有所修復

。3）存貨&訂單方面，

23&24Q1前道設(shè)備板塊存貨為443.15、501.63億元，分別同比+40.69%、+42.31%；后道測試設(shè)備板塊存貨為28.73、29.13億元，分別同比+22.35%、+16.01%；零部件板塊存貨為100.81、106.56億元，分別同比+34.17%、+25.26%。2024Q1前道設(shè)備、后道測試設(shè)備、零部件存貨均創(chuàng)歷史新高，尤其前道設(shè)備板塊同比有所加速，主要系訂單交付同比實現(xiàn)高速增長所致。

23&24Q1前道設(shè)備板塊合同負債167.83、187.56億元，分別同比+7.66%、+11.69%；零部件板塊合同負債為39.61、42.24億元，分別同比+73.89%、+50.56%。前道設(shè)備板塊合同負債同比增速相較2021-2022年有所下降，我們推測主要系戶付款方式變化，部分客戶設(shè)備發(fā)貨才收到預付款，24Q1新接訂單仍延續(xù)高速增長勢頭，零部件經(jīng)過行業(yè)去庫存+下游訂單需求旺盛，合同負債延續(xù)高速增長勢頭。大陸晶圓廠擴產(chǎn)景氣度向上，國產(chǎn)替代利好本土設(shè)備供應(yīng)商。1）邏輯端，

2023年中芯國際資本開支達到75億美元，同比+18%，并預計2024年資本開支同比基本持平；2024年4月，上海華力康橋二期產(chǎn)線廠房及配套設(shè)施建設(shè)項目，招標金額為98.81億元，擴產(chǎn)規(guī)模龐大。存儲端，2023年一線存儲大廠擴產(chǎn)力度受到明顯影響，長存、長鑫陸續(xù)增資背景下，疊加設(shè)備與工藝技術(shù)端進步，我們預計2024年存儲端擴產(chǎn)需求有望快速起量。

2）2023年中國大陸累計進口荷蘭光刻機金額72.30億美元，同比+184%，2024年1-3月進口金額分別為7.06、4.35、11.50億美元，分別同比+559%、+129%、+345%，延續(xù)高速增長勢頭，且光刻機單價同比大幅提升，對后續(xù)擴產(chǎn)有較強指引。3）SEMI預計2025年全球12

英寸晶圓廠設(shè)備投資增長至1165億美元，同比+20%，2026年達1305億美元，同比+12%，到2027年將達到1370億美元的歷史新高。自主可控推動下，中國大陸未來四年將保持每年300億美元以上的投資規(guī)模，繼續(xù)引領(lǐng)全球晶圓廠設(shè)備支出。4）整體來看，半導體設(shè)備國產(chǎn)化率不足20%，仍處于相對低位，對于光刻、量/檢測、涂膠顯影、離子注入設(shè)備等領(lǐng)域，我們預估國產(chǎn)化率仍低于10%，國產(chǎn)替代背景下，看好本土設(shè)備國產(chǎn)化率快速提升。投資建議：前道設(shè)備受益標的北方華創(chuàng)、拓荊科技、華海清科、中微公司、中科飛測、精測電子、芯源微、萬業(yè)企業(yè)、京儀裝備、盛美上海、微導納米、至純科技；后道測試設(shè)備受益標的長川科技、華峰測控、金海通、精智達；零部件受益標的正帆科技、富創(chuàng)精密、英杰電氣、新萊應(yīng)材、江豐電子、漢鐘精機、華亞智能。風險提示：海外制裁、半導體行業(yè)景氣度下滑、晶圓廠資本開支不及預期等。12圖表：半導體設(shè)備、零部件行業(yè)重點公司2023&2024Q1主要業(yè)績情況資料來源：wind，華西證券研究所2023年營收（億元）同比增長2024Q1營收（億元）同比增長2023年歸母凈利潤（億元）同比增長2024年Q1歸母凈利潤（億元）同比增長2023歸母凈利率2024Q1歸母凈利率2023毛利率利率2024Q1毛利率前道設(shè)備北方華創(chuàng)220.7950.32%58.5951.36%38.9965.73%11.2790.40%17.66%19.23%41.10%43.40%中微公司62.6432.15%16.0531.23%17.8652.67%2.49-9.53%28.51%15.52%45.83%44.94%拓荊科技27.0558.60%4.7217.25%6.6379.80%0.10-80.51%24.50%2.22%51.01%47.31%華海清科25.0852.11%6.8010.40%7.2444.29%2.024.27%28.86%29.72%46.02%47.92%盛美上海38.8835.34%9.2149.63%9.1136.21%0.80-38.76%23.42%8.70%51.99%46.32%中科飛測8.9174.95%2.3645.60%1.401095.09%0.349.16%15.75%14.54%52.62%54.34%精測電子24.29-11.03%4.18-30.50%1.50-44.78%-0.16-234.11%6.18%-3.81%48.95%47.01%微導納米16.80145.39%1.71125.27%2.70399.33%0.04428.12%16.10%2.09%43.64%42.90%芯源微17.1723.98%2.44-15.27%2.5125.21%0.16-75.73%14.60%6.56%42.53%40.30%京儀裝備7.4211.84%2.1920.98%1.1930.75%0.2816.02%16.05%12.80%38.35%35.03%至純科技31.513.33%8.113.48%3.7733.58%0.641.45%11.97%7.84%33.81%33.82%萬業(yè)企業(yè)9.65-16.67%0.99-20.24%1.51-64.32%0.05-94.10%15.67%4.78%46.96%77.27%后道測試設(shè)備長川科技17.75-31.11%5.5974.81%0.45-90.21%0.04107.12%2.54%0.73%57.06%54.60%華峰測控6.91-35.47%1.37-31.61%2.52-52.18%0.23-68.62%36.43%17.13%72.47%75.09%金海通3.47-18.49%0.89-12.79%0.85-44.91%0.15-53.31%24.42%16.82%49.21%48.89%精智達6.4928.53%0.8362.25%1.1674.79%-0.14-322.11%17.84%-17.39%40.37%33.44%半導體設(shè)備零部件正帆科技38.3541.78%5.8943.31%4.0155.15%0.25123.36%10.47%4.23%27.11%27.41%新萊應(yīng)材27.113.49%6.897.84%2.36-31.58%0.6827.36%8.70%9.94%25.58%25.32%富創(chuàng)精密20.6633.75%7.01105.47%1.69-31.33%0.6053.42%8.17%8.61%25.20%25.39%英杰電氣17.7037.99%3.7561.02%4.3127.23%0.8044.73%24.38%21.35%37.22%41.96%華亞智能4.61-25.57%1.14-2.55%0.88-41.35%0.243.28%19.11%20.65%32.88%34.12%漢鐘精機38.5217.96%7.498.61%8.6534.24%1.4625.64%22.45%19.53%40.32%37.08%江豐電子26.0211.95%7.7236.73%2.55-3.67%0.606.56%9.82%7.72%29.20%31.97%圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備營收同比+36.79%、31.19%2023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司合計營收490.19、117.36億元，分別同比+36.79%、31.19%；四家半導體后道測試設(shè)備公司合計營收34.62、8.68億元，分別同比-24.38%、+28.99%；七家半導體設(shè)備零部件公司合計營收172.97、39.90億元，分別同比+20.44%、+33.18%。不難發(fā)現(xiàn)，

2024Q1前道設(shè)備板塊營收出現(xiàn)一定降速，零部件和后道封測設(shè)備板塊營收端出現(xiàn)明顯改善。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1

北方華創(chuàng)、盛美上海、京儀裝備營收同比有一定提速，同比增速超過45%，其他均出現(xiàn)不同程度降速，拓荊科技、華海清科、芯源微等尤為明顯，主要系訂單確認節(jié)奏所致；②后道測試設(shè)備，

2024Q1長川科技、精智達營收改善明顯，分別同比74.81%、+62.25%，華峰測控、金海通依然承壓，隨著行業(yè)回暖，新接訂單已經(jīng)有所改善。

③零部件，2024Q1

富創(chuàng)精密、英杰電氣、正帆科技同比增幅超過40%，表現(xiàn)出色，主要系國內(nèi)半導體相關(guān)訂單需求旺盛。157.91234.67358.35117.3623.89%48.61%52.71%

490.1936.79%31.19%-20%10%40%70%100200300400500600營業(yè)收入（億元）同比增長-50%0%50%100%150%200%2023營收同比2024Q1營收同比0-50%20202021202220232024Q1資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所3圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備公司營收出現(xiàn)分化圖表：2023&2024Q1半導體設(shè)備零部件營收同比+20.44%、+33.18%圖表：2023&2024Q1后道測試設(shè)備營收同比-24.38%、+28.99%圖表：2024Q1長川科技、精智達營收同比大幅增長16.7134.628.6889.43%95.55%32.6840.08%-24.38%28.99%-50%-20%10%40%70%100%130%504540353025201510502020 2021 2022 2023 2024Q1營業(yè)收入（億元） 同比增長45.78100%80%60%40%20%0%-20%-40%-60%2023營收同比2024Q1營收同比104.99172.9739.9014.96%71.4147.03%

143.6136.78%20.44%33.18%-20%10%40%70%20018016014012010080604020營業(yè)收入（億元） 同比增長120%100%80%60%40%20%0%-20%-40%圖表：2024Q1富創(chuàng)精密、英杰電氣、正帆科技營收同比增速超40%2023營收同比 2024Q1營收同比0-50%20202021202220232024Q1資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所42023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司合計歸母凈利潤94.41、18.03億元，分別同比+47.60%、18.53%；四家半導體后道測試設(shè)備公司合計歸母凈利潤4.97、0.28億元，分別同比-58.82%、-39.12%；七家半導體設(shè)備零部件公司合計歸母凈利潤24.46、4.63億元，分別同比+8.81%、30.58%。由上可見，

2024Q1前道設(shè)備板塊歸母凈利潤降速明顯，盈利水平有所下降，后道測試設(shè)備行業(yè)持續(xù)承壓，歸母凈利潤持續(xù)大幅下滑，零部件整體利潤端改善明顯，盈利水平有所修復

。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1北方華創(chuàng)歸母凈利潤同比+90.40%，領(lǐng)跑板塊，微導納米實現(xiàn)扭虧，拓荊科技、盛美上海、芯源微則出現(xiàn)了較大幅度下滑，分別同比-80.51%、-38.76%、-75.73%；②后道測試設(shè)備，

2024Q1長川科技利潤端實現(xiàn)扭虧，華峰測控、金海通、精智達依然承壓，歸母凈利潤出現(xiàn)較大幅度下滑。

③零部件，

2024Q1正帆科技、富創(chuàng)精密、英杰電氣歸母凈利潤分別同比+123.36%、+53.42%、+44.73%，領(lǐng)跑板塊。圖表：2024Q1北方華創(chuàng)、微導納米歸母凈利潤同比大幅提升22.8337.0894.4118.0366.81%72.49%62.42%

63.9647.60%18.53%-20%10%40%70%100%1009080706050403020圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備歸母凈利潤同比+47.60%、+18.53%歸母凈利潤（億元） 同比增長1200%1000%800%600%400%200%0%-200%2023歸母凈利潤同比2024Q1歸母凈利潤同比-400%100-50%20202021202220232024Q1資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所5圖表：2023&2024Q1零部件歸母凈利潤同比+8.81%、30.58%圖表：2023&2024Q1后道測試設(shè)備歸母凈利潤同比-58.82%、-39.12%圖表：2024Q1富創(chuàng)精密、英杰電氣、正帆科技歸母凈利潤同比高增3.6812.07202.57%8.79

138.81%4.9737.43%-100%-39.12%-40%-58.82%

0.28140%80%20%200%260%141210864202020 2021 2022 2023 2024Q1歸母凈利潤（億元）同比增長200%100%0%-100%-200%-300%-400%圖表：2024Q1長川科技歸母凈利潤出現(xiàn)明顯改善，扭虧2023歸母凈利潤同比 2024Q1歸母凈利潤同比-50%0%50%100%150%2023歸母凈利潤同比2024Q1歸母凈利潤同比9.8713.2722.4824.464.6367.62%34.43%69.44%8.81%30.58%-20%10%40%70%100%30252015105歸母凈利潤（億元）同比增長0-50%20202021202220232024Q1資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所6圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備歸母凈利率為19.26%、15.36%。2023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司歸母凈利率為19.26%、15.36%，分別同比+1.41pct、-1.64pct；四家半導體后道測試設(shè)備公司歸母凈利率為14.37%、3.2%，分別同比-12.01pct、-3.60pct；七家半導體設(shè)備零部件公司歸母凈利率為14.14%、11.62%，分別同比-1.51pct、-0.23pct。2024Q1前道設(shè)備、零部件板塊整體歸母凈利率盈利水平略有下降，整體維持在較高水平，其中后道測試設(shè)備下滑較為明顯，持續(xù)承壓。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1北方華創(chuàng)、微導納米歸母凈利率同比+3.94pct、+3.53pct，領(lǐng)跑板塊，拓荊科技、盛美上海、芯源微等則出現(xiàn)了較大幅度下滑，華海清科歸母凈利率達到29.72%，表現(xiàn)極為出色；②后道測試設(shè)備，

2024Q1長川科技歸母凈利率同比+18.61pct，實現(xiàn)扭虧，華峰測控、金海通、精智達歸母凈利率同比下滑超過10pct。

③零部件，

2024Q1正帆科技、新萊應(yīng)材、華亞智能、漢鐘精機歸母凈利率出現(xiàn)了一定改善，其中英杰電氣、華亞智能歸母凈利率分別為21.35%、20.65%，領(lǐng)跑板塊。20100(10)(20)(30)(40)(50)(60)(70)圖表：2024Q1僅北方華創(chuàng)、微導納米歸母凈利率同比出現(xiàn)改善2023歸母凈利率同比變動（pct） 2024Q1歸母凈利率同比變動（pct）14.46%15.80%17.85%19.26%15.36%5.00%10.00%15.00%20.00%25.00%歸母凈利率歸母凈利率0.00%20202021202220232024Q1資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所7圖表：2023&2024Q1零部件歸母凈利率為14.14%、11.62%圖表：2023&2024Q1后道測試設(shè)備歸母凈利率為14.37%、3.22%22.02%26.89%26.38%14.37%3.22%5.00%10.00%15.00%20.00%25.00%30.00%0.00%2020 2021 2022 2023 2024Q1歸母凈利率2520151050(5)(10)(15)(20)(25)圖表：2024Q1長川科技歸母凈利率大幅提升2023歸母凈利率同比變動（pct） 2024Q1歸母凈利率同比變動（pct）13.82%12.64%15.65%14.14%11.62%4.00%8.00%12.00%16.00%20.00%歸母凈利率0(2)(4)(6)(8)24圖表：2024Q1正帆科技、新萊應(yīng)材、華亞智能歸母凈利率改善明顯2023歸母凈利率同比變動（pct） 2024Q1歸母凈利率同比變動（pct）(10)0.00%20202021202220232024Q1資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所8圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備毛利率為43.71%、44.00%2023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司毛利率為43.71%、44.00%，分別同比-0.64pct、+0.26pct；四家半導體后道測試設(shè)備公司毛利率為56.22%、55.22%，分別同比-3.09pct、-3.00pct；七家半導體設(shè)備零部件公司毛利率為31.09%、30.95%，分別同比-1.10pct、-0.91pct。整體上看，后道測試設(shè)備毛利率水平更加出色，但受行業(yè)景氣度拖累出現(xiàn)明顯下滑，前道設(shè)備毛利率穩(wěn)步提升，零部件毛利率趨于穩(wěn)定。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1北方華創(chuàng)、萬業(yè)企業(yè)、精測電子、華海清科毛利率出現(xiàn)一定提升，主要受益產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化、規(guī)模效應(yīng)，中微公司、拓荊科技、盛美上海、芯源微則出現(xiàn)一定下滑；②后道測試設(shè)備，

2024Q1華峰測控毛利率同比+5.41pct，長川科技、金海通、精智達毛利率則出現(xiàn)一定下滑。

③零部件，

2024Q1新萊應(yīng)材、英杰電氣、華亞智能、漢鐘精機毛利率出現(xiàn)一定改善。39.50%41.41%44.34%43.71%44.00%36.00%38.00%40.00%42.00%44.00%46.00%20202021202220232024Q1毛利率毛利率302520151050(5)(10)圖表：2024Q1北方華創(chuàng)、萬業(yè)企業(yè)毛利率改善明顯2023毛利率同比變動（pct） 2024Q1毛利率同比變動（pct）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所9圖表：2023&2024Q1零部件毛利率為31.09%、30.95%圖表：2023&2024Q1后道測試設(shè)備毛利率為56.22%、55.22%圖表：2024Q1華峰測控毛利率同比+5.41pct56.11%58.35%59.31%56.22%55.22%60.00%59.00%58.00%57.00%56.00%55.00%54.00%53.00%2020 2021 2022 2023 2024Q1毛利率毛利率86420(2)(4)(6)(8)(10)2023毛利率同比變動（pct）2024Q1毛利率同比變動（pct）31.88%30.40%32.19%31.09%30.95%29.00%30.00%31.00%32.00%33.00%20202021202220232024Q1毛利率6420(2)(4)(6)(8)(10)圖表：2024Q1新萊應(yīng)材、英杰電氣、華亞智能等毛利率同比改善2023毛利率同比變動（pct） 2024Q1毛利率同比變動（pct）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所10圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備期間費用率同比+0.01pct、-0.29pct2023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司期間費用率為27.64%、29.75%，分別同比+0.01pct、-0.29pct；四家半導體后道測試設(shè)備公司期間費用率為46.38%、47.37%，分別同比+14.98pct、-11.07pct；七家半導體設(shè)備零部件公司期間費用率為23.40%、24.98%，分別同比+1.55pct、-3.75pct。2024Q1后道測試設(shè)備和零部件期間費用率下降明顯，前道設(shè)備期間費用率穩(wěn)中有降，表現(xiàn)較為平穩(wěn)。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1拓荊科技、精測電子、心源微、萬業(yè)企業(yè)期間費用率同比提升超過10pct，主要系報告期內(nèi)費用投入較大，收入規(guī)模未呈現(xiàn)快速增長，中科飛測、微導納米費用率出現(xiàn)下滑，規(guī)模效應(yīng)顯現(xiàn)；②后道測試設(shè)備，

2024Q1長川科技期間費用率同比-36.82pct，主要系規(guī)模效應(yīng)，華峰測控、金海通依然承壓，費用率出現(xiàn)明顯上升，分別同比+16.02pct、+5.98pct。

③零部件，2024Q1富創(chuàng)精密、江豐電子、正帆科技、漢鐘精機期間費用率下滑超過3pct，主要系規(guī)模效應(yīng)。12.35%14.10%13.52%13.22%14.69%30.71%30.72%27.63%27.64%29.75%35%30%25%20%15%10%5%0%-5%20202021202220232024Q1銷售費用率管理費用率研發(fā)費用率財務(wù)費用率期間費用率0(10)(20)30201040圖表：2024Q1中科飛測、微導納米期間費用率出現(xiàn)下滑2023期間費用率同比變動（pct） 2024Q1期間費用率同比變動（pct）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所11圖表：2023&2024Q1零部件期間費用率同比+1.55pct、-3.75pct圖表：2023&2024Q1后道測試設(shè)備期間費用率同比+14.98pct、-11.07pct3020100(10)(20)(30)(40)圖表：2024Q1長川科技期間費用率同比-36.82pct2023期間費用率同比變動（pct） 2024Q1期間費用率同比變動（pct）9.75%8.87%9.11%8.94%9.70%27.53%24.32%21.85%23.40%24.98%30%25%20%15%10%5%0%-5%20202021202220232024Q1銷售費用率財務(wù)費用率管理費用率 研發(fā)費用率期間費用率6420(2)(4)(6)(8)圖表：2024Q1富創(chuàng)精密、江豐電子、正帆科技、漢鐘精機期間費用率下降明顯2023期間費用率同比變動（pct） 2024Q1期間費用率同比變動（pct）16.99%14.70%18.35%27.67%28.42%37.77%29.58%31.41%46.38%47.37%50%40%30%20%10%0%-10%20202021202220232024Q1銷售費用率管理費用率研發(fā)費用率財務(wù)費用率期間費用率資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所122023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司存貨為443.15、501.63億元，分別同比+40.69%、+42.31%；四家半導體后道測試設(shè)備公司存貨為28.73、29.13億元，分別同比+22.35%、+16.01%；七家半導體設(shè)備零部件公司存貨為100.81、106.56億元，分別同比+34.17%、+25.26%。2024Q1前道設(shè)備、后道測試設(shè)備、零部件存貨均創(chuàng)歷史新高，尤其前道設(shè)備板塊2024Q1同比有所加速，主要系訂單交付同比實現(xiàn)高速增長所致。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1訂單交付大幅提升，中微公司發(fā)出商品余額達到19.23億元，環(huán)比+122%，拓荊科技出貨金額同比+130%，我們注意到拓荊科技、微導納米存貨同比+106.59%、+180.95%，領(lǐng)跑板塊；②后道測試設(shè)備，

2024Q1華峰測控和精智達存貨環(huán)比出現(xiàn)提升，我們注意到長川科技存貨達到21.59億元，顯著高于同行，推測主要系大客戶訂單充足，原材料備貨以及庫存商品大幅提升所致。

③零部件，

2024Q1正帆科技存貨同比+56.29%，領(lǐng)跑同行，主要系半導體相關(guān)訂單高速增長所致。111.56187.39314.99501.6331.68%67.97%68.09%

443.1540.69%-50%-20%10%42.31%40%70%010020030040050020202021202220232024Q1圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備存貨同比+40.69%、+42.31%存貨（億元） 同比增長600 100%200180160140120100806040200圖表：2024Q1拓荊科技、微導納米存貨同比+106.59%、+180.95%2024Q1存貨（億元） 2024Q1存貨（億元）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所13圖表：2023&2024Q1后道測試設(shè)備存貨同比+22.35%、+16.01%8.1915.0523.4828.7329.1355.96%83.70%56.01%22.35%-50%-20%16.01%10%40%70%100%353025201510502020 2021 2022 2023 2024Q1存貨（億元）同比增長0510152025圖表：2024Q1長川科技存貨達到21.59億元，顯著高于同行2023存貨（億元） 2024Q1存貨（億元）29.4546.2575.13106.5625.43%57.06%62.43%

100.8134.17%25.26%-50%-20%10%40%70%02040608010012020202021202220232024Q1圖表：2023&2024Q1零部件存貨同比+34.17%、+25.26%存貨（億元） 同比增長454035302520151050圖表：2024Q1正帆科技存貨同比+56.29%，領(lǐng)跑同行2023存貨（億元） 2024Q1存貨（億元）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所14后道測試設(shè)備交期短、預付款較少，合同負債不具有指引意義，我們僅分析前道設(shè)備和零部件。2023&2024Q1十二家半導體前道設(shè)備公司合同負債167.83、187.56億元，分別同比+7.66%、+11.69%；七家半導體設(shè)備零部件公司合同負債為39.61、42.24億元，分別同比+73.89%、+50.56%。前道設(shè)備合同負債同比增速相較2021-2022年有所下降，我們推測主要系戶付款方式變化，部分客戶設(shè)備發(fā)貨才收到預付款，新接訂單仍延續(xù)高速增長勢頭，零部件經(jīng)過行業(yè)去庫存+下游訂單需求旺盛，合同負債延續(xù)高速增長勢頭。進一步分析：①前道設(shè)備，

2024Q1精測電子、微導納米、至純科技合同負債同比+91.71%、+145.13%、+78.77%，領(lǐng)跑板塊，中微公司、拓荊科技、華海清科則出現(xiàn)了一定下滑，合同負債超過11億元，在手訂單充足；②零部件，

2024Q1正帆科技、英杰電氣合同負債分別為25.37億元、11.88億元，顯著高于其他對手，在手訂單充足，我們注意到正帆科技、華亞智能、江豐電子合同負債同比+78.09%、+177.79%、168.19%，表現(xiàn)出色。50.6496.99155.90167.83187.5663.19%91.53%60.73%7.66%-50%-20%11.69%10%40%70%100%20018016014012010080604020020202021202220232024Q1圖表：2023&2024Q1半導體前道設(shè)備合同負債同比+7.66%、+11.69%合同負債（億元） 同比增長1009080706050403020100圖表：2024Q1精測電子、微導納米、至純科技合同負債同比高增2023合同負債（億元） 2024Q1合同負債（億元）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所15圖表：2023&2024Q1零部件合同負債同比+73.89%、50.56%圖表：2024Q1正帆科技、英杰電氣合同負債領(lǐng)跑板塊9.2314.9039.6142.2425.06%61.47%52.89%22.7873.89%50.56%-50%-20%10%40%70%100%45403530252015105020202021202220232024Q1合同負債（億元）同比增長0510152025302023合同負債（億元）2024Q1合同負債（億元）資料來源：wind，華西證券研究所資料來源：wind，華西證券研究所1617資料來源：中芯國際演示材料，中芯國際公告，華西證券研究所相較IC設(shè)計、封測環(huán)節(jié)，晶圓制造是中國大陸當前半導體行業(yè)短板，自主可控驅(qū)動本土晶圓廠大規(guī)模擴產(chǎn)。受海外制裁等影響，2023年國內(nèi)一線Fab廠暫未看到大規(guī)模招標啟動，往后來看，看好2024年招標大年出現(xiàn)。1）邏輯端：中芯國際仍為擴產(chǎn)主力，2023年中芯國際資本開支達到75億美元，同比+18%，并預計2024年資本開支同比基本持平，維持高位。2024年4月，上海華力康橋二期產(chǎn)線啟動，上海建工四建和信息產(chǎn)業(yè)第十一設(shè)計院共同參與廠房及配套設(shè)施建設(shè)項目，中標價為98.81億元，擴產(chǎn)規(guī)模龐大。2）存儲端：2023年一線存儲大廠擴產(chǎn)力度受到明顯影響，長存、長鑫陸續(xù)增資背景下，疊加設(shè)備與工藝技術(shù)端進步，我們預計2024年存儲端擴產(chǎn)需求有望快速起量。圖：2023年中芯國際資本開支同比+18%220%190%160%130%100%70%40%10%-20%-50%80706050403020100201820192020202120222023 2024E資本性支出（億美元）同比（%）18資料來源：中國海關(guān)總署，華西證券研究所特別地，荷蘭出口管制影響下，中國大陸對于高端光刻機進口加速，為其他前道設(shè)備招標奠定基礎(chǔ)。1）從進口金額看，2023年累計進口荷蘭光刻機金額72.30億美元，同比+184%，2024年1-3月進口金額分別為7.06、4.35、11.50億美元，分別同比+559%、+129%、+345%，延續(xù)高速增長勢頭。2）從設(shè)備數(shù)量和單價來看，2023年5月份以來我國對荷蘭光刻機進口量價齊升，2023年全年對荷蘭光刻機進口225臺，設(shè)備均價3213萬美元，分別同比+53%和+85%。2024年1-3月光刻機單價分別為3530、3625、5528萬美元，分別同比+197%、+206%、+203%，我國對荷蘭光刻機進口均價大幅增長，我們推測主要系部分高端浸沒式DUV光刻機占比提升明顯。往后來看，我們認為短期看隨著更高端光刻機加速進口，光刻機目前不是國內(nèi)晶圓廠較為先進制程擴產(chǎn)瓶頸。隨著更高端光刻機陸續(xù)到位，將支撐國內(nèi)晶圓廠后續(xù)大規(guī)模擴產(chǎn)，國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商有望深度受益。圖：2023年5月我國從荷蘭進口光刻機金額快速增長 圖：從荷蘭進口光刻機均價提升明顯1050%950%850%750%650%550%450%350%250%150%50%-50%0200400800600100012001400430%370%310%250%190%130%70%10%-50%0100020003000400050006000從荷蘭進口光刻機金額（百萬美元） 同比增長（%） 從荷蘭進口光刻機單價（萬美元） 同比增長（%）19資料來源：SIA，華西證券研究所全球半導體行業(yè)景氣拐點已經(jīng)出現(xiàn)，看好2024年進入新一輪上行期。1）全球范圍內(nèi)來看，2023年2月全球半導體單月銷售額觸底，為3970億美元，同比-21%，此后連續(xù)9個月出現(xiàn)環(huán)比改善，拐點信號明顯，全球半導體整體復蘇呈現(xiàn)加速態(tài)勢，后續(xù)伴隨下游需求市場回暖以及去庫存結(jié)束，全球半導體行業(yè)有望進入新一輪上升周期。2）對于中國大陸市場，半導體行業(yè)同樣出現(xiàn)復蘇跡象，2023年3月以來，同樣連續(xù)9個月環(huán)比為正，考慮到中國市場下游新能源等領(lǐng)域發(fā)展較快，看好中國半導體市場加速復蘇彈性。圖：2023年3月份以來全球半導體銷售額同比表現(xiàn)持續(xù)改善圖：2023年3月份以來中國大陸半導體銷售額同比表現(xiàn)持續(xù)改善-50%-20%10%40%01020304050602021-012021-052021-092022-012022-052022-092023-012023-05

2023-09全球半導體銷售額（十億美元）全球同比（%）-50%-20%10%40%201816141210864202021-01

2021-05

2021-09

2022-01

2022-05

2022-09

2023-01

2023-05

2023-09中國大陸半導體銷售額（十億美元） 中國大陸同比（%）20資料來源：SEMI，華西證券研究所全球半導體設(shè)備市場規(guī)模持續(xù)復蘇，中國大陸是最大的細分市場。1）

SEMI預測數(shù)據(jù)，由于內(nèi)存市場復蘇以及對高效能運算和汽車應(yīng)用的強勁需求，

2025年全球12

英寸晶圓廠設(shè)備投資將增長至1165億美元，同比+20%，2026年達1305億美元，同比+12%，到2027年將達到1370億美元的歷史新高。AI驅(qū)動下存儲擴產(chǎn)勢頭迅猛，DRAM設(shè)備支出預計將在2027年提高到252億美元，CAGR為17.4%；而3D

NAND的投資預計將在2027年達到168億美元，

CAGR為29%。2）2023年中國大陸半導體設(shè)備出貨金額366億美元，同比+29%，占比34.45%，是最大的細分市場，自主可控推動下，我們預計中國大陸未來四年將保持每年300億美元以上的投資規(guī)模，繼續(xù)引領(lǐng)全球晶圓廠設(shè)備支出。圖：2027年12

英寸晶圓廠設(shè)備支出可望達1370億圖：2023中國大陸半導體設(shè)備出貨占比達34.45%21資料來源：SEMI，wind，華西證券研究所測算圖：2023年3月份以來全球半導體銷售額同比表現(xiàn)持續(xù)改善圖：2023年3月份以來中國大陸半導體銷售額同比表現(xiàn)持續(xù)改善16.07%11.32%18.11%19.13%-50%-20%10%40%0100200300400500600202020212022202312家設(shè)備企業(yè)營業(yè)收入（億元）國產(chǎn)化率價值占比2023年國內(nèi)市場規(guī)模(億美元）國內(nèi)相關(guān)企業(yè)2023年上市公司收入量級（億元）國產(chǎn)化率刻蝕設(shè)備22%81北方華創(chuàng)、中微公司等~110>20%光刻設(shè)備22%81上海微電子等-<1%薄膜沉積22%81北方華創(chuàng)、拓荊科技、中微公司、微導納米~90<20%量檢測設(shè)備12%44中科飛測