氦氖激光器技術條件

.ICS31.260

CCSL51

中華人民共和國國家標準

GB/T14078—202X

代替GB/T14078—2010

氦氖激光器技術條件

He-Nelaserspecifications

（征求意見稿）

（本稿完成日期：2023.05.24）

在提交反饋意見時，請將您知道的相關專利連同支持性文件一并附上

20XX-XX-XX發(fā)布20XX-XX-XX實施

GB/T14078—202×

目次

目次.............................................................................I

前言............................................................................II

氦氖激光器技術條件...................................................................1

1范圍...............................................................................1

2規(guī)范性引用文件.....................................................................1

3術語和定義.........................................................................1

4激光器的分類和組成.................................................................2

4.1激光器的分類...................................................................2

激光器按結構分為內腔式、外腔式和半內腔（或半外腔式）三種。...........................2

4.2激光器的組成...................................................................3

5要求...............................................................................3

5.1正常工作條件...................................................................3

5.2激光器的主要技術指標...........................................................3

5.3外觀...........................................................................4

5.4安全與防護.....................................................................4

5.5環(huán)境適應性.....................................................................4

6試驗方法...........................................................................4

6.1外觀檢驗.......................................................................4

6.2激光器主要技術指標的檢驗.......................................................4

6.3安全與防護的檢驗...............................................................5

7驗收規(guī)則...........................................................................5

7.1總則...........................................................................5

7.2檢驗形式.......................................................................5

7.3出廠檢驗.......................................................................5

7.4型式檢驗.......................................................................5

8標志、包裝、運輸、貯存.............................................................6

8.1標志...........................................................................6

8.2包裝...........................................................................6

8.3運輸...........................................................................6

8.4貯存...........................................................................7

參考文獻.......................................................................8

圖1縱模檢驗裝置框圖...................................................................................................................................8

表1氦氖激光器主要技術參數表...................................................................................................................4

I

GB/T14078—202×

氦氖激光器技術條件

1范圍

本標準規(guī)定了氦氖激光器（以下簡稱激光器）的激光器分類、技術要求、試驗方法、驗收規(guī)則、標

志、包裝、運輸、貯存等。

本標準適用于波長543nm、633nm、1.15μm、3.39μm等TEMmn模連續(xù)波常用氦氖激光器。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T2423.1電工電子產品環(huán)境試驗第2部分:試驗方法試驗A：低溫

GB/T2423.2電工電子產品環(huán)境試驗第2部分:試驗方法試驗B：高溫

GB/T2423.5環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Ea和導則：沖擊

GB/T2423.10環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Fc：振動（正弦）

GB/T2828.1計數抽樣檢驗程序第1部分:按接收質量限（AQL）檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2829周期檢驗計數抽樣程序及表（適用于對過程穩(wěn)定性的檢驗）

GB4793.1測量、控制和實驗室用電氣設備的安全要求第1部分：通用要求

GB/T7247.1—2023激光產品的安全第1部分:設備分類和要求

GB/T7257—2013氦氖激光器參數測量方法

GB/T13739—2011激光光束寬度、發(fā)散角的測試方法以及橫模的鑒別方法

GB/T15313—2008激光術語

3術語和定義

以下術語和定義適用本文件。

3.1

激光器laser

能產生受激輻射波長直到1mm的相干輻射的器件。

[來源：GB/T15313—2008中的2.1.98]

3.2

氦氖激光器Helium-neonlaser

以氖為工作物質、氦為輔助氣體的激光器。

1

GB/T14078—202×

3.3

起輝[著火]電壓dischargevoltage

使激光器的增益管（也稱放電管）著火時，兩電極之間所需的最小電壓。

[來源：GB/T7257—2013，3.2，有修改]

3.4

管壓降voltagedrop

激光器在給定的工作電流下，放電管兩電極之間的電壓。

[來源：GB/T7257—2013，3.4]

3.5

額定工作電流ratedcurrent

激光器輸出功率為額定功率時的電流值。

[來源：GB/T7257—2013，3.3]

3.6

可達發(fā)射極限accessibleemissionlimit;AEL

所定類別內允許的最大可達發(fā)射。

[來源：GB7247.1—2012，3.3]

4激光器的分類和組成

4.1激光器的分類

4.1.1按結構分類

激光器按結構分為內腔式、外腔式和半內腔（或半外腔式）三種。

a）內腔式的放電管與諧振腔固定在一起；

b）外腔式的放電管與諧振腔完全分開；

c）半內腔（或半外腔）式的諧振腔中一塊反射鏡與放電管固定在一起，另一塊則與放電管分開。

4.1.2按光輻射安全分類

依照GB/T7247.1—2023的規(guī)定，按發(fā)射持續(xù)時間內，人員接觸的激光輻射可達發(fā)射極限，激光器

可分為四類：

a）1類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射不允許超過1類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器；

b）2類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射不允許超過2類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器；

c）3R類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射允許超過1類和2類可達發(fā)射極限（AEL），但在任

何發(fā)射持續(xù)時間，人員接觸激光輻射不允許超過3R類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器；

d）3B類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射允許超過1類和2類可達發(fā)射極限（AEL），但在任

何發(fā)射持續(xù)時間，人員接觸不允許超過3B類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器。

2

GB/T14078—202×

依照GB7247.13-2018中第6章和第7章的規(guī)定，對氦氖激光器進行分類。

注：對于632.8nm波長、發(fā)射持續(xù)時間t為102s～3×104s的氦氖激光器，1類可達發(fā)射極限（AEL）為

0.39mW，2類可達發(fā)射極限（AEL）為1mW，3R類可達發(fā)射極限（AEL）為5mW，3B類可達發(fā)射極限（AEL）

為500mW。

4.1.3按功能用途分類

激光器按功能用途分為穩(wěn)定功率型和穩(wěn)定頻率型兩種。

a）穩(wěn)定功率型激光器一般要求具有一定的功率輸出且具有較小的輸出功率峰值不穩(wěn)定度。

b）穩(wěn)定頻率型激光器一般要求具有很高的頻率穩(wěn)定度，但輸出功率較低且輸出功率峰值不穩(wěn)定度

較大。

4.2激光器的組成

激光器的組成主要包括增益管（放電管）、諧振腔、電源、控制器等。

5要求

5.1正常工作條件

a）溫度：0℃~40℃；

b）濕度：≤85%RH；

c）氣壓：70kPa~106kPa；

d）周圍無明顯的振動及氣流。

5.2激光器的主要技術指標

激光器的主要技術指標應符合表1的規(guī)定。

表1激光器主要技術指標要求表

參數要求

543nm；594nm；

605nm；612nm；

激光波長λ633nm

640nm；730nm；

1.15μm；3.39μm

腔長L/mm＜250250~500500~10001000~2000/

輸出功率Pout≥250μW≥2mW≥10mW≥50mW≥50μW

輸出功率的峰值

±15.0%

不穩(wěn)定度ΔP

橫模TEMmnTEM00或TEMmn（m＋n≥1）

光束直徑D0.5mm~1.5mm1mm~2.5mm0.5mm~2.5mm

＜2mrad(TEM00)＜1mrad(TEM00)

發(fā)散角θ

＜4mrad(TEMmn)＜2mrad(TEMmn)

消光比（偏振）隨機或≤500:1

預熱時間T1min~60min

起輝電壓Ux＜8kV＜15kV＜15kV

3

GB/T14078—202×

管壓降Uop＜4kV＜8kV＜8kV

額定工作電流Iop＜10mA＜25mA＜25mA

平均壽命MTTF>4000h

5.3外觀

5.3.1激光器外觀整潔、色澤均勻，無劃痕、剝落等機械損傷。

5.3.2文字及標志符號清晰。

5.3.3激光器的外形尺寸、電極引線的位置和尺寸應符合激光器外形圖的規(guī)定。

5.3.4激光器的玻璃與玻璃、玻璃與金屬、玻璃與陶瓷密封處應可靠牢固。

5.3.5激光器的機械結構應牢固，各調節(jié)及控制組件靈活可靠，緊固件無松動。

5.4安全與防護

5.4.1如適用，應符合GB/T7247.1—2023中第4章、第5章、第6章的適用要求。

5.4.2如果激光器中含有電氣元件部分，應參考GB4793.1—2007，并符合其適用要求。

5.5環(huán)境適應性

適用時，應符合GB/T2423.1、GB/T2423.2、GB/T2423.5、GB/T2423.10的適用要求。

6試驗方法

為了保障工作人員的安全，對高壓、激光輻射等應有保護措施，應遵守有關安全防護標準。

6.1外觀檢驗

直觀法的檢驗：適用于5.3.1、5.3.2、5.3.4、5.3.5的檢驗；5.3.3的尺寸要求用直尺或卡尺進行檢驗。

6.2激光器主要技術指標的檢驗

6.2.1波長的檢驗

按照GB/T7257—2013的5.7進行波長檢驗。

6.2.2輸出功率的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.5進行輸出功率的檢驗。

6.2.3輸出功率的峰值不穩(wěn)定度的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.6進行輸出功率不穩(wěn)定度的檢驗。

6.2.4橫模的檢驗

按照GB/T13739—2011的第7章進行氦氖激光器的橫模檢驗。

6.2.5光束直徑的檢驗

按照GB/T13739—2011的第5章進行光束直徑的檢驗。

4

GB/T14078—202×

6.2.6發(fā)散角的檢驗

按照GB/T13739—2011的第6章進行發(fā)散角的檢驗。

6.2.7消光比（偏振）的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.13進行偏振度的檢驗。

6.2.8腔長的檢驗

用皮尺或直尺測量前、后端鏡之間光程的幾何長度即為腔長。

6.2.9預熱時間的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.1進行預熱時間的檢驗。

6.2.10起輝電壓的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.2進行起輝電壓的檢驗。

6.2.11管壓降的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.4進行管壓降檢驗。

6.2.12額定工作電流的檢驗

按照GB/T7257-2013的5.3進行額定工作電流檢驗。

6.3安全與防護的檢驗

按GB7247.1—2012的相關條款進行。

7驗收規(guī)則

7.1總則

激光器應由制造企業(yè)檢驗部門進行檢驗，合格后方可提交驗收。

7.2檢驗形式

激光器檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。

7.3出廠檢驗

7.3.1出廠檢驗采用逐臺檢驗方式。必驗項目為表1中的輸出功率和激光波長，其他檢驗項目可為出

廠抽檢項目。

7.3.2檢驗項目及抽樣方法由激光器實際應用中的要求和（或）供貨方和收貨方協商規(guī)定。

7.3.3當檢驗項目為抽樣檢驗項目時，可采用GB/T2828.1的規(guī)定。

7.3.4每個檢驗項目均需合格，如有不合格項目，經返工后重新進行該項目及相關項目的檢查，合格

后方可提交用戶。

7.4型式檢驗

5

GB/T14078—202×

7.4.1在下列情況下進行型式檢驗：

a）新產品投產或老產品轉廠生產時；

b）激光器設計、工藝、材料有較大改變，可能影響激光器性能時；

c）激光器停產超過半年，又恢復生產時；

d）國家質量監(jiān)督機構提出進行型式檢驗要求時。

7.4.2型式檢驗采用抽樣檢驗方式，檢查項目應為全性能檢驗。

7.4.3抽樣方法按GB/T2829進行。

8標志、包裝、運輸、貯存

8.1標志

8.1.1每臺激光器在適當的，明顯位置應有下列標志。當激光器只作為產品零部件時，至少需要下列

標志中的a）、b）、c）、f）四項。

a）制造企業(yè)名稱；

b）激光器的名稱和型號；

c）激光器輸出最大功率；

d）使用電源、電壓、頻率、額定功率；

e）激光器出廠編號和出廠日期；

f）安全標志，按GB/T7247.1標準要求。

8.1.2包裝箱上應有下列標志。當激光器只作為產品零部件時，至少需要下列標志中的a）、b）、

c）三項。

a）制造企業(yè)名稱及地址；

b）激光器名稱；

c）毛重、凈重；

d）體積（長×寬×高）；

e）符合GB/T191要求的標記。

8.2包裝

8.2.1每臺激光器至少附有下列產品隨行文件：

a）激光器使用說明書；

b）產品合格證；

c）裝箱單。

產品合格證應含有制造企業(yè)名稱、激光器名稱或型號、檢驗員代號及檢驗日期的內容。

8.2.2激光器應符合下列包裝要求。當激光器只作為產品零部件時，可按訂貨合同規(guī)定。

a）外包裝箱內應有防雨、防濕裝置，軟性襯墊等防震材料，應能保證激光器在正常儲、運狀態(tài)下

的安全，不受自然損壞；

b）激光器隨行文件、附件等，應有中性材料的單獨包裝，并置于包裝箱內的明顯位置。

8.3運輸

6

GB/T14078—202×

經包裝的激光器應適合汽車、火車、飛機、輪船等運輸工具的正常運輸。

8.4貯存

包裝后的激光器應貯存在-10℃~40℃、濕度不超過80%RH，無腐蝕性氣體和通風良好的室內。

7

GB/T14078—202×

參考文獻

[1]GB/T4799—2011激光器型號命名方法

[2]GB/T4931—2000氦氖激光器系列型譜

[3]GB/T7247.13—2018激光產品的安全第13部分：激光產品的分類測量

[4]GB/T12082—1989氣體激光器文字符號

[5]GB/T13863—2011激光輻射功率和功率不穩(wěn)定度測試方法

[6]GB/T15175—2012固體激光器主要參數測量方法

[7]GB/T15301—1994氣體激光器總規(guī)范

_________________________________

8

GB/T14078—202×

前言

本標準按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

本標準代替GB/T14078—2010《氦氖激光器技術條件》。

本標準與GB/T14078—2010相比，主要技術內容變化如下：

——修改了波長適用范圍；

——修改了激光器分類；

——修改了主要技術參數；

——修改了主要技術參數檢驗方法。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任。

本標準由中國機械工業(yè)聯合會提出。

本標準由全國光輻射安全和激光設備標準化技術委員會（SAC/TC284）歸口。

本標準起草單位：。

本標準主要起草人：。

本標準所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：

——GB/T14078—2010；

——GB/T14078—1993。

II

GB/T14078—202×

氦氖激光器技術條件

1范圍

本標準規(guī)定了氦氖激光器（以下簡稱激光器）的激光器分類、技術要求、試驗方法、驗收規(guī)則、標

志、包裝、運輸、貯存等。

本標準適用于波長543nm、633nm、1.15μm、3.39μm等TEMmn模連續(xù)波常用氦氖激光器。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T2423.1電工電子產品環(huán)境試驗第2部分:試驗方法試驗A：低溫

GB/T2423.2電工電子產品環(huán)境試驗第2部分:試驗方法試驗B：高溫

GB/T2423.5環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Ea和導則：沖擊

GB/T2423.10環(huán)境試驗第2部分：試驗方法試驗Fc：振動（正弦）

GB/T2828.1計數抽樣檢驗程序第1部分:按接收質量限（AQL）檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2829周期檢驗計數抽樣程序及表（適用于對過程穩(wěn)定性的檢驗）

GB4793.1測量、控制和實驗室用電氣設備的安全要求第1部分：通用要求

GB/T7247.1—2023激光產品的安全第1部分:設備分類和要求

GB/T7257—2013氦氖激光器參數測量方法

GB/T13739—2011激光光束寬度、發(fā)散角的測試方法以及橫模的鑒別方法

GB/T15313—2008激光術語

3術語和定義

以下術語和定義適用本文件。

3.1

激光器laser

能產生受激輻射波長直到1mm的相干輻射的器件。

[來源：GB/T15313—2008中的2.1.98]

3.2

氦氖激光器Helium-neonlaser

以氖為工作物質、氦為輔助氣體的激光器。

1

GB/T14078—202×

3.3

起輝[著火]電壓dischargevoltage

使激光器的增益管（也稱放電管）著火時，兩電極之間所需的最小電壓。

[來源：GB/T7257—2013，3.2，有修改]

3.4

管壓降voltagedrop

激光器在給定的工作電流下，放電管兩電極之間的電壓。

[來源：GB/T7257—2013，3.4]

3.5

額定工作電流ratedcurrent

激光器輸出功率為額定功率時的電流值。

[來源：GB/T7257—2013，3.3]

3.6

可達發(fā)射極限accessibleemissionlimit;AEL

所定類別內允許的最大可達發(fā)射。

[來源：GB7247.1—2012，3.3]

4激光器的分類和組成

4.1激光器的分類

4.1.1按結構分類

激光器按結構分為內腔式、外腔式和半內腔（或半外腔式）三種。

a）內腔式的放電管與諧振腔固定在一起；

b）外腔式的放電管與諧振腔完全分開；

c）半內腔（或半外腔）式的諧振腔中一塊反射鏡與放電管固定在一起，另一塊則與放電管分開。

4.1.2按光輻射安全分類

依照GB/T7247.1—2023的規(guī)定，按發(fā)射持續(xù)時間內，人員接觸的激光輻射可達發(fā)射極限，激光器

可分為四類：

a）1類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射不允許超過1類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器；

b）2類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射不允許超過2類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器；

c）3R類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射允許超過1類和2類可達發(fā)射極限（AEL），但在任

何發(fā)射持續(xù)時間，人員接觸激光輻射不允許超過3R類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器；

d）3B類激光器：工作期間，人員接觸激光輻射允許超過1類和2類可達發(fā)射極限（AEL），但在任

何發(fā)射持續(xù)時間，人員接觸不允許超過3B類可達發(fā)射極限（AEL）的激光器。

2

GB/T14078—202×

依照GB7247.13-2018中第6章和第7章的規(guī)定，對氦氖激光器進行分類。

注：對于632.8nm波長、發(fā)射持續(xù)時間t為102s～3×104s的氦氖激光器，1類可達發(fā)射極限（AEL）為

0.39mW，2類可達發(fā)射極限（AEL）為1mW，3R類可達發(fā)射極限（AEL）為5mW，3B類可達發(fā)射極限（AEL）

為500mW。

4.1.3按功能用途分類

激光器按功能用途分為穩(wěn)定功率型和穩(wěn)定頻率型兩種。

a）穩(wěn)定功率型激光器一般要求具有一定的功率輸出且具有較小的輸出功率峰值不穩(wěn)定度。

b）穩(wěn)定頻率型激光器一般要求具有很高的頻率穩(wěn)定度，但輸出功率較低且輸出功率峰值不穩(wěn)定度

較大。

4.2激光器的組成

激光器的組成主要包括增益管（放電管）、諧振腔、電源、控制器等。

5要求

5.1正常工作條件

a）溫度：0℃~40℃；

b）濕度：≤85%RH；

c）氣壓：70kPa~106kPa；

d）周圍無明顯的振動及氣流。

5.2激光器的主要技術指標

激光器的主要技術指標應符合表1的規(guī)定。

表1激光器主要技術指標要求表

參數要求

543nm；594nm；

605nm；612nm；

激光波長λ633nm

640nm；730nm；

1.15μm；3.39μm

腔長L/mm＜250250~500500~10001000~2000/

輸出功率Pout≥250μW≥2mW≥10mW≥50mW≥50μW

輸出功率的峰值

±15.0%

不穩(wěn)定度ΔP

橫模TEMmnTEM00或TEMmn（m＋n≥1）

光束直徑D0.5mm~1.5mm1mm~2.5mm0.5mm~2.5mm

＜2mrad(TEM00)＜1mrad(TEM00)

發(fā)散角θ

＜4mrad(TEMmn)＜2mrad(TEMmn)

消光比（偏振）隨機或≤500:1

預熱時間T1min~60min

起輝電壓Ux＜8kV＜15kV＜15kV

3

GB/T14078—202×

管壓降Uop＜4kV＜8kV＜8kV

額定工作電流Iop＜10mA