半導(dǎo)體工藝設(shè)備基礎(chǔ)知識(shí)概況

半導(dǎo)體工藝設(shè)備半導(dǎo)體工藝設(shè)備

表一、半導(dǎo)體工藝重要設(shè)備大全

清洗機(jī)超音波清洗機(jī)是現(xiàn)代工廠工業(yè)零件表面清洗的新技術(shù),目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片的清洗。

超聲波清洗機(jī)“聲音也可以清洗污垢”——超聲波清洗機(jī)又名超聲波清洗器，以其潔凈的清洗效果給清洗界帶來(lái)了一股強(qiáng)勁的清洗風(fēng)暴。超聲波清洗機(jī)（超聲波清洗器）運(yùn)用空化效應(yīng)，短時(shí)間內(nèi)將傳統(tǒng)清洗方式難以洗到的狹縫、空隙、盲孔徹底清洗干凈，超聲波清洗機(jī)對(duì)清洗器件的養(yǎng)護(hù)，提高壽命起到了重要作用。CSQ系列超聲波清洗機(jī)采用內(nèi)置式加熱系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)，有效提高了清洗效率；設(shè)立時(shí)間控制裝置，清洗方便；具有頻率自動(dòng)跟蹤功能，清洗效果穩(wěn)定；多種機(jī)型、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適應(yīng)不同清洗規(guī)定。CSQ系列超聲波清洗機(jī)合用于珠寶首飾、眼鏡、鐘表零部件、汽車零部件，醫(yī)療設(shè)備、精密偶件、化纖行業(yè)（噴絲板過(guò)濾芯）等的清洗；對(duì)除油、除銹、除研磨膏、除焊渣、除蠟，涂裝前、電鍍前的清洗有傳統(tǒng)清洗方式難以達(dá)成的效果。恒威公司生產(chǎn)CSQ系列超聲波清洗機(jī)具有以下特點(diǎn)：不銹鋼加強(qiáng)結(jié)構(gòu)，耐酸耐堿；特種膠工藝連接，運(yùn)營(yíng)安全；使用IGBT模塊，性能穩(wěn)定；專業(yè)電源設(shè)計(jì)，性價(jià)比高。

反滲透純水機(jī)去離子水生產(chǎn)設(shè)備之一，通過(guò)反滲透原理來(lái)實(shí)現(xiàn)凈水。

純水機(jī)清洗半導(dǎo)體硅片用的去離子水生產(chǎn)設(shè)備，去離子水有毒，不可食用。

凈化設(shè)備

重要產(chǎn)品：水解決設(shè)備、灌裝設(shè)備、空氣凈化設(shè)備、凈化工程、反滲透、超濾、電滲析設(shè)備、EDI裝置、離子互換設(shè)備、機(jī)械過(guò)濾器、精密過(guò)濾器、UV紫外線殺菌器、臭氧發(fā)生器、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、傳遞窗、工作臺(tái)、高校送風(fēng)口、空氣自凈室、亞高、高效過(guò)濾器等及各種配件。

風(fēng)淋室：運(yùn)用國(guó)外先進(jìn)技術(shù)和進(jìn)口電器控制系統(tǒng),組裝成的一種使用新型的自動(dòng)吹淋室.它廣泛用于微電子醫(yī)院\制藥\生化制品\食品衛(wèi)生\精細(xì)化工\精密機(jī)械和航空航天等生產(chǎn)和科研單位,用于吹除進(jìn)入潔凈室的人體和攜帶物品的表面附著的塵埃,同時(shí)風(fēng)淋室也起氣的作用,防止未凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域,是進(jìn)行人體凈化和防止室外空氣污染潔凈的有效設(shè)備.

拋光機(jī)整個(gè)系統(tǒng)是由一個(gè)旋轉(zhuǎn)的硅片夾持器、承載拋光墊的工作臺(tái)和拋光漿料供應(yīng)裝置三大部分組成?；瘜W(xué)機(jī)械拋光時(shí)，旋轉(zhuǎn)的工件以一定的壓力壓在旋轉(zhuǎn)的拋光墊上，而由亞微米或納米磨粒和化學(xué)溶液組成的拋光液在工件與拋光墊之間流動(dòng)，并產(chǎn)生化學(xué)反映，工件表面形成的化學(xué)反映物由磨粒的機(jī)械作用去除，即在化學(xué)成膜和機(jī)械去膜的交替過(guò)程中實(shí)現(xiàn)超精密表面加工，人們稱這種CMP為游離磨料CMP。

電解拋光電化學(xué)拋光是運(yùn)用金屬電化學(xué)陽(yáng)極溶解原理進(jìn)行修磨拋光。將電化學(xué)預(yù)拋光和機(jī)械精拋光有機(jī)的結(jié)合在一起，發(fā)揮了電化學(xué)和機(jī)構(gòu)兩類拋光專長(zhǎng)。它不受材料硬度和韌性的限制，可拋光各種復(fù)雜形狀的工件。其方法與電解磨削類似。導(dǎo)電拋光工具使用金鋼石導(dǎo)電銼或石墨油石，接到電源的陰極，被拋光的工件（如模具）接到電源的陽(yáng)極。

光刻膠

又稱光致抗蝕劑，由感光樹(shù)脂、增感劑（見(jiàn)光譜增感染料）和溶劑三種重要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。感光樹(shù)脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能不久地發(fā)生光固化反映，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┙鉀Q，溶去可溶性部分，得到所需圖像（見(jiàn)圖光致抗蝕劑成像制版過(guò)程）。光刻膠廣泛用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過(guò)程。光刻膠的技術(shù)復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反映機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對(duì)某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。運(yùn)用這種性能，將光刻膠作涂層，就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形?；诟泄鈽?shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)，光刻膠可以分為三種類型。①光聚合型，采用烯類單體，在光作用下生成自由基，自由基再進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特點(diǎn)。②光分解型，采用品有疊氮醌類化合物的材料，經(jīng)光照后,會(huì)發(fā)生光分解反映,由油溶性變?yōu)樗苄?，可以制成正性膠。③光交聯(lián)型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開(kāi)，并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián)，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用，這是一種典型的負(fù)性光刻膠。柯達(dá)公司的產(chǎn)品KPR膠即屬此類。感光樹(shù)脂在用近紫外光輻照成像時(shí)，光的波長(zhǎng)會(huì)限制分辨率（見(jiàn)感光材料）的提高。為進(jìn)一步提高分辨率以滿足超大規(guī)模集成電路工藝的規(guī)定，必須采用波長(zhǎng)更短的輻射作為光源。由此產(chǎn)生電子束、X射線和深紫外(＜250nm)刻蝕技術(shù)和相應(yīng)的電子束刻蝕膠，X射線刻蝕膠和深紫外線刻蝕膠，所刻蝕的線條可細(xì)至1□m以下。

光刻機(jī)光刻機(jī)用于將晶圓表面薄膜的特定部分除去的工藝設(shè)備，可以在晶圓表面會(huì)留下帶有微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜。

刻蝕機(jī)電子回旋共振等離子體刻蝕機(jī)涉及的是一種集成電路制作工藝中的微電子芯片加工設(shè)備。結(jié)構(gòu)具有真空室、微波系統(tǒng)、磁場(chǎng)、真空抽放氣系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)，真空抽放氣系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和相應(yīng)管道、閥門組成，其特性是真空室由等離子體發(fā)生室，等離子體約束室，解決室組成，等離子體發(fā)生室外套有兩組串接的磁場(chǎng)線圈，在等離子體約束室周邊均布永久磁鋼，解決室內(nèi)裝有基片架。

去膠機(jī)用于半導(dǎo)體集成電路、太陽(yáng)能電池以及功率器件等刻蝕、去膠工藝，刻蝕方式為等離子體各向同性刻蝕。

擴(kuò)散爐半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中用于對(duì)晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。有臥式擴(kuò)散系統(tǒng)及立式擴(kuò)散系統(tǒng)兩種類型。按控制方式又分為微控和程控兩種。其組成有：電阻加熱爐、凈化工作臺(tái)、送片系統(tǒng)、氣源柜、控制柜等。

PECVD等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)原理是運(yùn)用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，運(yùn)用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反映氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反映和等離子體反映，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。

MOCVD

金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)重要應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體材料的研究和生產(chǎn)，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的重要手段，如激光器、發(fā)光二極管、高效太陽(yáng)能電池、光電陰極的制備，是光電子等產(chǎn)業(yè)不可缺少的設(shè)備。

LPCVD

LPCVD工藝在襯底表面淀積一層均勻的介質(zhì)薄膜，用作微機(jī)械結(jié)構(gòu)層材料、犧牲層、絕緣層、掩模材料，LPCVD工藝淀積的材料有多晶硅、氮化硅、磷硅玻璃。不同的材料淀積采用不同的氣體。

PVDPVD（物理氣相沉積）涂層也被證明有效加工高溫合金。TiN（氮化鈦）PVD涂層是最早使用的并仍然是最受歡迎的。最近，TiAlN（氮鋁化鈦）和TiCN（碳氮化鈦）涂層也能很好使用。過(guò)去TiAlN涂層應(yīng)用范圍和TiN相比限制更多。但是當(dāng)切削速度提高后它們是一個(gè)很好的選擇，在那些應(yīng)用提高生產(chǎn)率達(dá)40%。

濺射臺(tái)以離子束濺射為例，它由離子源、離子引出極和沉積室3大部分組成，在高真空或超高真空中濺射鍍膜法。運(yùn)用直流或高頻電場(chǎng)使惰性氣體（通常為氬）發(fā)生電離，產(chǎn)生輝光放電等離子體，電離產(chǎn)生的正離子和電子高速轟擊靶材，使靶材上的原子或分子濺射出來(lái)，然后沉積到基板上形成薄膜。

磁控濺射磁控濺射技術(shù)已經(jīng)成為沉積耐磨、耐蝕、裝飾、光學(xué)及其他各種功能薄膜的重要手段.探討了磁控濺射技術(shù)在非平衡磁場(chǎng)濺射、脈沖磁控濺射等方面的進(jìn)步,說(shuō)明運(yùn)用新型的磁控濺射技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)薄膜的高速沉積、高純薄膜制備、提高反映濺射沉積薄膜的質(zhì)量等,并進(jìn)一步取代電鍍等傳統(tǒng)表面解決技術(shù).最后呼吁石化行業(yè)應(yīng)大力發(fā)展和應(yīng)用磁控濺射技術(shù).

真空烘箱真空烘箱廣泛應(yīng)用于各實(shí)驗(yàn)室和各工業(yè)領(lǐng)域。真空烘箱可在低溫下對(duì)熱敏材料進(jìn)行干燥。

劃片機(jī)

為了適應(yīng)集成電路的發(fā)展，劃片設(shè)備技術(shù)和工藝也有了較快發(fā)展。國(guó)外已經(jīng)推出代表最高技術(shù)水平的雙軸對(duì)裝式Ф300mm(12英寸)全自動(dòng)劃片機(jī)，而國(guó)內(nèi)也克服技術(shù)難點(diǎn)，推出Ф200mm(8英寸)系列劃片設(shè)備，這些設(shè)備已陸續(xù)進(jìn)入實(shí)用化階段。

國(guó)內(nèi)外新劃片設(shè)備滿足市場(chǎng)高要

隨著集成電路由大規(guī)模向超大規(guī)模發(fā)展，集成度越來(lái)越高，到劃片工藝，晶圓片成本大幅增長(zhǎng)；晶片直徑越來(lái)越大，目前已達(dá)成Φ300mm，劃切槽越來(lái)越窄，一般在30μm-40μm，這對(duì)于以金剛石砂輪作為刃具的強(qiáng)力磨削加工工藝來(lái)說(shuō)，已進(jìn)入臨界尺寸；硅片由Ф150mm(6英寸)增大到Ф200mm，面積只增長(zhǎng)78%，但其中可供芯片運(yùn)用的面積增長(zhǎng)了90%，晶圓片的成本和價(jià)值大幅度增長(zhǎng)，這些給劃片機(jī)的加工精度、可靠性穩(wěn)定性提出越來(lái)越苛刻的規(guī)定，使劃片設(shè)備的設(shè)計(jì)技術(shù)更加復(fù)雜，加工制造更加困難。

為了適應(yīng)集成電路的發(fā)展，劃片設(shè)備技術(shù)和工藝也有了較快發(fā)展。

2023年，占有國(guó)際劃片機(jī)市場(chǎng)最大份額的日本DISCO公司推出了引領(lǐng)劃片機(jī)潮流，代表了劃片機(jī)最高技術(shù)水平的雙軸對(duì)裝式Ф300mm全自動(dòng)劃片機(jī)，它已逐漸進(jìn)入實(shí)用化階段。

國(guó)內(nèi)劃片機(jī)研制起步晚，但發(fā)展較快，特別是我們中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第45研究所推出的Ф150mm劃片機(jī)，已將控制平臺(tái)提高到了國(guó)際上普遍采用的通用計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng)，有效縮短了與國(guó)際水平的差距。我所研制的HP-602型精密自動(dòng)劃片機(jī)，其重要性能指標(biāo)已接近或達(dá)成國(guó)際同類機(jī)型先進(jìn)水平，在此基礎(chǔ)上研制的HP-801型精密自動(dòng)劃片機(jī)是國(guó)內(nèi)第一臺(tái)Ф200mm自動(dòng)劃片機(jī)，已于2023年達(dá)成實(shí)用化，新型的雙軸精密自動(dòng)劃片機(jī)HP-821，日前已發(fā)給用戶進(jìn)行工藝考核。

與Ф150mm劃片機(jī)相比，Ф200mm劃片機(jī)總體繼承了Ф150mm的機(jī)械機(jī)構(gòu)和成熟單元技術(shù)，控制系統(tǒng)平臺(tái)由DOS操作系統(tǒng)上升為WindowsNT操作系統(tǒng)，并在設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)尺寸變大的同時(shí)，精度進(jìn)一步提高，而控制功能也進(jìn)一步增強(qiáng)，自診斷系統(tǒng)更加完善，可靠性進(jìn)一步提高。

本土克服大尺寸劃片機(jī)技術(shù)難點(diǎn)

由于其技術(shù)復(fù)雜性問(wèn)題，大尺寸精密劃片機(jī)需要有效解決一系列技術(shù)問(wèn)題：

機(jī)械系統(tǒng)要高剛度、高穩(wěn)定性、低損耗

當(dāng)劃片機(jī)的工作臺(tái)處在高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)(400mm/s)之下時(shí)，產(chǎn)生加速度的驅(qū)動(dòng)力及相應(yīng)的反作用力極易使機(jī)械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生共振。在劃片獨(dú)特的高速運(yùn)營(yíng)條件下，許多高頻的共振狀態(tài)也受到激發(fā)，使得在低速條件下完全剛性的結(jié)構(gòu)顯示出顯著的柔性，極大地影響設(shè)備的性能。劃片設(shè)備典型的密集短促往復(fù)運(yùn)動(dòng)更加劇了這種情況。高精度的規(guī)定，需要設(shè)備具有高速運(yùn)動(dòng)下抗振動(dòng)的極大剛度，通常相應(yīng)著厚重的機(jī)械結(jié)構(gòu)；而極高的速度規(guī)定，又必須采用輕質(zhì)的結(jié)構(gòu)來(lái)盡量減輕負(fù)載。因此，對(duì)高精度和高速度的規(guī)定，促使機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)向兩個(gè)截然相反的方向發(fā)展，存在著本質(zhì)的矛盾。這也正是劃片設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的困難和挑戰(zhàn)所在。

空氣靜壓主軸設(shè)計(jì)制造技術(shù)

空氣靜壓主軸是劃片機(jī)的核心，在60000r/min的高轉(zhuǎn)速下實(shí)現(xiàn)振動(dòng)值小于0.5μm，消除它與不銹鋼冷卻防水罩、機(jī)械系統(tǒng)的共振或共鳴，以及它高速旋轉(zhuǎn)引起的部件材料變形等，是劃片機(jī)設(shè)計(jì)的最大挑戰(zhàn)。這具體體現(xiàn)在材料、設(shè)計(jì)和加工手段3個(gè)方面：一是國(guó)內(nèi)基礎(chǔ)工業(yè)滯后，材料性能滿足不了規(guī)定，需要進(jìn)行材料研究和分析替換；二是設(shè)計(jì)過(guò)程中大部分參數(shù)及其組合需要反復(fù)實(shí)驗(yàn)來(lái)摸索總結(jié)，工作量巨大。三是加工手段規(guī)定高，必須具有空氣車床、空氣磨床等高精度加工設(shè)備。

高速高精度運(yùn)動(dòng)定位及控制技術(shù)

從國(guó)際劃片機(jī)發(fā)展過(guò)程來(lái)看，從Ф150mm到Ф200mm，精度僅提高1μm，但這是在行程增大的條件下提高的，對(duì)導(dǎo)軌、絲杠等機(jī)械部件的精度及變形規(guī)定極嚴(yán)，要保證劃切精度和芯片安全，決不允許有誤差積累，因此，只能選擇閉環(huán)控制。要在不影響或盡量小地影響效率的前提下實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，必須采用高速高精度定位及其控制系統(tǒng)。高效能、快速響應(yīng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)Ф200mm硅片尺寸大、密度高、劃切刀痕小，因此，它對(duì)各方向動(dòng)態(tài)響應(yīng)和靜態(tài)穩(wěn)定性都有極高的規(guī)定，而各方向運(yùn)營(yíng)的速度曲線也比較特殊。在做圖像對(duì)準(zhǔn)時(shí)，各運(yùn)動(dòng)方向的動(dòng)態(tài)響應(yīng)、運(yùn)動(dòng)速度和精度都直接影響到自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的準(zhǔn)確性、對(duì)準(zhǔn)效率和硅片的對(duì)準(zhǔn)通過(guò)率。

全自動(dòng)劃片機(jī)一般由主機(jī)部分、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)上下片和自動(dòng)清洗4個(gè)單元組成，其核心部分是主機(jī)。HP-821精密自動(dòng)劃片機(jī)是作為全自動(dòng)劃片機(jī)的主機(jī)部分進(jìn)行研制的，已具有雙軸劃切和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能，并留有其他配套部分的軟硬件接口，具有良好的可擴(kuò)展性。該機(jī)的研制成功，在為生產(chǎn)線提供一種Ф200mm自動(dòng)劃片機(jī)的同時(shí)，為Ф200mm全自動(dòng)劃片機(jī)的整機(jī)研制奠定了基礎(chǔ)。

分子束外延分子束外延技術(shù)(L-MBE)是近年來(lái)發(fā)展的一種先進(jìn)的薄膜生長(zhǎng)技術(shù),在氧化鋅薄膜生長(zhǎng)的研究中因其獨(dú)特的優(yōu)越性顯示出越來(lái)越強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力.在討論ZnO薄膜基本特性的基礎(chǔ)上,較為具體地論述了激光分子束外延技術(shù)及其在氧化鋅薄膜制備中的應(yīng)用和取得的新進(jìn)展.

成像系統(tǒng)PHOTO-CHROM是全新的薄層成像系統(tǒng)，無(wú)需電腦即可打印輸出。圖象可以儲(chǔ)存在軟盤中（3張TIFF或BMP圖片，或30張JPEG圖片），再轉(zhuǎn)移到電腦中。系統(tǒng)帶PHOTO-CHIROMRF分析軟件，可以和PC機(jī)整合

氣體過(guò)濾器氣體過(guò)濾器系高壓級(jí),使用于空氣,氮?dú)獾冉橘|(zhì).用于濾去氣體中固體顆粒.具有重量輕,易于安裝,通氣流量大等特點(diǎn).

液體過(guò)濾器

一種液體過(guò)濾器裝置，涉及一具有入口、出口的筒體，于該出口處設(shè)有蓋體，該筒體中設(shè)有至少兩組磁鐵單元，該磁鐵單元由多個(gè)磁鐵組合而成，且相鄰之磁鐵單元相對(duì)面具有相同磁極性，于該筒體中磁鐵單元后裝置有過(guò)濾單元，該過(guò)濾單元由可透析液體之濾網(wǎng)片設(shè)成筒狀。本實(shí)用新型亦可過(guò)濾液體中之鐵質(zhì)異物并使液體中之水軟化。

油過(guò)濾器油液污染是系統(tǒng)故障的最重要因素，它會(huì)減少系統(tǒng)性能、縮短零部件壽命、增長(zhǎng)換油次數(shù)和延長(zhǎng)停機(jī)時(shí)間，給系統(tǒng)正常運(yùn)營(yíng)帶來(lái)極大的負(fù)面影響。油過(guò)濾器用來(lái)對(duì)油液進(jìn)行合理有效過(guò)濾與凈化來(lái)控制油液污染。

擴(kuò)散片

LCD光擴(kuò)散片

75PBA,100PBU,100S,

100SXE,100MXE,100LSE,

100GM2,100TL2,100TL4,

125TD3

LCD光反射片

RW125,RW188,

GR38W,RW75CB,RWX3T

LED光擴(kuò)散片

MTN-R1,MTN-G2

MTN-W1,MTN-W2

MTN-W4,MTN-W5

MTN-WX5,MTN-W7,

MTN-W8

D101,D105,D202

D204,D206,D207

顯影劑顯影劑涉及NPDNegativeResistDevelopers(負(fù)性光刻膠顯影劑)和PositiveResistRemovers(正性光刻膠去除劑)

曝光機(jī)微電腦電子曝光機(jī)由光源系統(tǒng),冷卻系統(tǒng),上/下框移動(dòng)及真空系統(tǒng),曝光控制系統(tǒng)四大系統(tǒng)構(gòu)成.光源系統(tǒng)由兩只7KW金屬鹵素?zé)?遮光罩等組成.冷卻系統(tǒng)由中間送冷氣冷卻燈管的兩層玻璃套管(PYREX管及石英玻璃管),冷卻塔,換熱器,冷氣機(jī)組成.上下框架移動(dòng)及真空系統(tǒng)由上/下框架,上/下框架驅(qū)動(dòng)部分,玻璃面,MYLAR(PE布),兩處真空吸氣口組成.曝光控制系統(tǒng)由紫外線強(qiáng)度計(jì)(將曝光光量對(duì)的地顯示出來(lái)),溫度傳感器,液面?zhèn)鞲衅?壓力傳感器,位置傳感器,PLC控制器組成.

勻膠機(jī)/甩膠機(jī)勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體,硅片,晶片,基片,導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性

烘膠臺(tái)烘膠臺(tái)產(chǎn)品用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜。本產(chǎn)品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，并可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作。

半導(dǎo)體封裝封裝(Package)對(duì)于芯片來(lái)說(shuō)是必須的，也是至關(guān)重要的。封裝也可以說(shuō)是指安裝半導(dǎo)體集成電路芯片用的外殼，它不僅起著保護(hù)芯片和增強(qiáng)導(dǎo)熱性能的作用，并且還是溝通芯片內(nèi)部世界與外部電路的橋梁和規(guī)格通用功能的作用。

封裝設(shè)備

封裝工程將是為未來(lái)高精密攜帶式電子機(jī)器的重要核心技術(shù)。這是認(rèn)為封裝工程技術(shù)能將各種微小半導(dǎo)體元件,密封于一小空間內(nèi),除體積小之外,功能更大。

引線引線封裝

市場(chǎng)上第一種獲得廣泛接納的封裝是雙列直插式（DIP，DualInLine），可用陶瓷和塑料封裝體。這種封裝于20世紀(jì)60年代未開(kāi)發(fā)出來(lái)，正如其名，引線從封裝兩邊引出，并與封裝垂直。這是低成本封裝，電氣性能相對(duì)較差，通過(guò)將引腳插到電路板的通孔中，便可將封裝安裝在PCB上，引線會(huì)在電路板的另一面夾斷，再運(yùn)用波峰焊接技術(shù)來(lái)焊接。該封裝可容納最多的引線數(shù)目為40，而電路板間距則為0.65mm。這種封裝形式至今仍在使用。

在20世紀(jì)70年代末80年代初，一種新的電路板裝配技術(shù)出現(xiàn)，名為表面安裝（surfacemount）。在這種方法中芯片上的引線（引腳）和元件都被焊接在電路板的某一表面，而不是穿過(guò)板體。這使得電路板兩面都可用于粘結(jié)芯片，安裝過(guò)程使用了焊料回流技術(shù)，今天，超過(guò)95％的封裝都采用了表面安裝技術(shù)，為了支持這項(xiàng)工藝，小外形的封裝應(yīng)運(yùn)而生，其引線也是從封裝的兩邊伸出，并做成海鷗翅膀的形狀以便板級(jí)安裝，這類型封裝一般比DIP更薄，能支持最大的引線數(shù)為80。

到20世紀(jì)80年代中期四邊都有引線的封裝出現(xiàn)，這類封裝稱為四方扁平封裝（QuadFlatPacks，QFP）（引線呈海鷗翅膀形狀）或引線芯片載體（LeadedChipCarriers）（引線呈彎曲的J字形狀）。最常用的典型四方扁平封裝間距為0.65mm或0.5mm，引線數(shù)高達(dá)208。這些封裝在20世紀(jì)90年代初期之硬盤驅(qū)動(dòng)器和圖形市場(chǎng)獲得廣泛應(yīng)用。在電氣方面它們大約與SO封裝相近，但能提供更多的引線，因此在相同的尺寸上具有更多功能，這種封裝備有多種不同的尺寸和厚度。

20世紀(jì)80年代末90年代初，客戶需求在相同的占位面積上享有更高的熱性能，于是，裸露焊盤引線封裝（Exposed－PadLeadedPackage）得以誕生。這種封裝就是把芯片粘接端暴露于底部的四方扁平或更小外形封裝。這些暴露的粘接端可以焊接在電路板上，以建立高效的途徑為芯片進(jìn)行散熱。在其他因素相同的情況下，該封裝的熱性能比較相同尺寸的標(biāo)準(zhǔn)四方扁平封裝提高50％。此外，它可以在更好的頻率下（2－2.5GHz）工作，這類封裝在便攜式應(yīng)用如尋呼機(jī)和PDA中得到廣泛使用。

隨著手持便攜式設(shè)備的尺寸不斷縮小，消費(fèi)者規(guī)定在更小的尺寸中享有相同或更多的功能，對(duì)于手機(jī)和PDA等應(yīng)用來(lái)說(shuō)，規(guī)定的封裝尺寸要小，質(zhì)量要輕，但卻不會(huì)影響性能。業(yè)界隧在20世紀(jì)90年代開(kāi)發(fā)出微引線框架（MLF）系列封裝，MLF接近于芯片級(jí)封裝（ChipScalePackage，CSP），用封裝的底部引線端提供到PCB板的電氣接觸，而不是到海鷗翅膀形狀引線的soic和qual封裝，因此，這種封裝有助于保證散熱和電氣性能。便攜式應(yīng)用是它的重要?jiǎng)恿?lái)源，2023年所付用的封裝量差不多達(dá)20億。

引線框架引線框架通常由銅制作，與基板材料同樣。20世紀(jì)90年代出現(xiàn)了一種新型封裝，采用分層板作為基板材料，名為球柵陣列封裝（BallGridArray，BGA）以引線框架為基礎(chǔ)的封裝只可以把引線引導(dǎo)到封裝體的周邊…球柵陣列封裝的引線則可引導(dǎo)到充滿封裝底部的焊球上，這樣，對(duì)于引線數(shù)量相同的封裝尺寸而言，較之于四方扁平封裝，BGA封裝自然更具優(yōu)勢(shì)，由于基板是分層的，因而具有電源和接地平面可進(jìn)一步提高電氣性能，起初，BGA封裝的典型焊球間距為1.27mm，與間距為0.5mm的四方扁平封裝相比，板級(jí)裝配更加輕而易舉。

球柵陣列封裝的自然發(fā)展使得相同芯片的焊球間距及其封裝尺寸減小，當(dāng)間距減少為0.4至0.8mm時(shí)，就發(fā)明了精細(xì)間距球柵陣列，該封裝是手持式產(chǎn)品的解決方案，雖然不是真正的芯片級(jí)封裝，但在業(yè)界常被稱為分層式芯片級(jí)封裝。

表二、半導(dǎo)體工藝輔助設(shè)備大全

打標(biāo)機(jī)在產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)其零部件進(jìn)行更有效的管理或在市場(chǎng)上需要辨認(rèn)自己的產(chǎn)品和對(duì)其進(jìn)行質(zhì)量跟蹤、分析。因此對(duì)產(chǎn)品的零部件，特別是重要零部件進(jìn)行標(biāo)記（商標(biāo)、規(guī)格型號(hào)、生產(chǎn)批號(hào)）非常重要。

為了適應(yīng)現(xiàn)代化的生產(chǎn)需要，研制開(kāi)發(fā)出了氣動(dòng)工業(yè)標(biāo)記打印系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用高頻微沖擊技術(shù)，運(yùn)用計(jì)算機(jī)控制對(duì)工件進(jìn)行標(biāo)記。

薄膜運(yùn)用化學(xué)氣相沉積法在襯底溫度400℃以下沉積的以Ⅳ族原子與氫原子為重要構(gòu)成元素的半導(dǎo)體薄膜。根據(jù)它從室溫開(kāi)始加熱時(shí)的薄膜中氫原子的放出量與升溫溫度的關(guān)系曲線可知，在370℃以上410℃以下具有放出氫氣量的峰值，并且所述峰值的半幅值為30℃以下。揭示了一種薄膜器件，它具有包含半導(dǎo)體薄膜的半導(dǎo)體單元部分以及包含導(dǎo)電性薄膜的電極部分，并且它們形成在同一基板上。

襯墊材料的附著物,CVD制作薄膜都在襯墊上完畢.

切割機(jī)

據(jù)線切割機(jī)的工作原理，切片過(guò)程中硅片因機(jī)械作用導(dǎo)致的刀痕、損傷、破損產(chǎn)生涉及機(jī)械應(yīng)力和熱經(jīng)理在內(nèi)的應(yīng)力，進(jìn)而產(chǎn)生滑移位錯(cuò)。當(dāng)機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力在高溫解決過(guò)程中的作用程超過(guò)晶體滑移臨界應(yīng)力時(shí)，會(huì)產(chǎn)生硅片的破碎。對(duì)于翹曲度、彎曲度、總厚度誤差、中心厚度誤差等方法的質(zhì)量控制，通過(guò)調(diào)整線張力、進(jìn)給速度、冷卻劑流量等一系列工藝措施可達(dá)成目的及規(guī)定，大大減少了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。實(shí)驗(yàn)證明，線切割機(jī)切出的硅片的厚度和質(zhì)量都很好的滿足了下一道工序的規(guī)定。

線切割系統(tǒng)的磨削原理是使用自由研磨劑而非固定的研磨劑，因此往復(fù)式切削系統(tǒng)比傳統(tǒng)的單向切削系統(tǒng)具有一定的優(yōu)勢(shì)。對(duì)于同種材料來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)可以有更大的行程和線的移動(dòng)速度，只有通過(guò)線的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，才干達(dá)成抱負(fù)的研磨效果。連續(xù)的供線系統(tǒng)和舊線回收系統(tǒng)，可以避免線的破損，還可促使線的張緊以保證切削線的剛性，這有助于保持切片精度，同時(shí)，最大限度的運(yùn)用切削線可以有效減少消耗。金屬線和工件間近似點(diǎn)接觸狀態(tài)，成圓弧狀進(jìn)行切割，由于拉力都集中加在接觸部，可以進(jìn)行高精度、高速度切割。金屬線從供線輪通過(guò)伺服馬達(dá)控制張力，通過(guò)多個(gè)導(dǎo)向輪轉(zhuǎn)到搖動(dòng)頭。在槽輪上卷上設(shè)定好圈數(shù)后，通過(guò)多個(gè)導(dǎo)向輪，再通過(guò)伺服馬達(dá)控制回收側(cè)張力，由回收拉桿將金屬線整齊排在回收輪上。實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，供線輪、槽輪、回收輪一起高速運(yùn)轉(zhuǎn)。在金屬線運(yùn)營(yíng)的同時(shí)，搖動(dòng)頭帶動(dòng)槽輪作周期性反復(fù)搖擺，進(jìn)行切割。此外加搖擺作用可使舊的砂漿也順切割線滑出，同時(shí)有新的砂漿進(jìn)入以及也起到了不斷研磨硅表面的效果。

氣體檢測(cè)系統(tǒng)可燃性氣體檢測(cè)系統(tǒng)可連續(xù)監(jiān)測(cè)空氣中的可燃性氣體及蒸氣的濃度，在控制室或值班室顯示報(bào)警，需要時(shí)可啟動(dòng)關(guān)聯(lián)設(shè)備。合用于半導(dǎo)體制造管路的氣體控制等。

洗滌塔

運(yùn)用渦流離心力使氣體與洗凈液產(chǎn)生攪拌、混合、附著、吸取之效果而除去廢氣中的污染物。

用途：有害氣體吸取、煙氣去除、廢氣冷卻洗凈。

特點(diǎn)：使用氣流離心力氣液接觸方式，設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)樸，平均效率約90%，壓力損失150mmAq(MAX)

本設(shè)備應(yīng)用于各種工業(yè)制造的廢氣解決，如金屬工業(yè)、金屬拋光及研磨，造紙工業(yè)、化學(xué)解決、肥料行業(yè)、食品加工、電子工業(yè)、半導(dǎo)體...等等，並且可用于工業(yè)上的冷卻塔。

過(guò)濾器為了防止氣動(dòng)元件出故障,在回路上使用干燥器和在線過(guò)濾器,在應(yīng)用回路上使用過(guò)濾器,調(diào)壓閥,油霧器等,使空氣清潔同時(shí)通過(guò)調(diào)壓進(jìn)行控制。

檢漏儀

檢漏儀器用于檢漏的儀器有氦質(zhì)譜檢漏儀、鹵素檢漏儀、高頻火花檢漏器、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀及用于質(zhì)譜分析的各種質(zhì)譜計(jì)。這里重要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀、鹵素檢漏儀、高頻火花檢漏器的工作原理、結(jié)構(gòu)及國(guó)產(chǎn)檢漏儀器的技術(shù)性能。1．氦質(zhì)譜檢漏儀氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲顯著減小．其靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3／s，合用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn)．合用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3／s。(1)工作原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。①單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀，其結(jié)構(gòu)如圖2所示。在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器；由克制柵、收集極及高阻組成收集器；第一級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。質(zhì)譜室的工作原理如圖3所示。在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度通過(guò)加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可按式（5）計(jì)算?？梢?jiàn)，當(dāng)B和U為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束[圖中(me-1)2]恰好通過(guò)出口縫隙S2，到達(dá)收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái)；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙S2，所以被分離出來(lái)。(me-1)2=4，即He+的質(zhì)荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略②雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀圖4示出了雙級(jí)900縮轉(zhuǎn)串聯(lián)式磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室。由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且，如在兩個(gè)分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)立加速電場(chǎng)，使離子在進(jìn)入第二個(gè)分析器前再次被加速。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子，雖然可以通過(guò)第一個(gè)分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個(gè)分析器后，由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來(lái)。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀逆流氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)如圖5所示。該類儀器是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102；對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時(shí)，通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

散熱片

電子散熱片規(guī)格43.5*10*43.5電子散熱片規(guī)格35*12.8*38電子散熱片規(guī)格45*10*45電子散熱片規(guī)格42.5*35*42.5電子散熱片規(guī)格37.5*24*37.5電子散熱片規(guī)格61*12.5*58.5電子散熱片規(guī)格53*42.5*98電子散熱片規(guī)格46*13.5

電鏡電子顯微鏡/電鏡(SEMTEM)等...離子束聚焦顯微鏡電子掃描顯微鏡TEM顯微鏡

掃描探針顯微鏡

掃描探針顯微鏡，一般只能應(yīng)用在無(wú)機(jī)材料的納米級(jí)成像，但是不久研究者們也許就可以把這種技術(shù)應(yīng)用在有生命的有機(jī)體生物機(jī)械結(jié)構(gòu)成像上——例如，被譽(yù)為大自然工程杰作的蝴蝶翅膀。

美國(guó)橡樹(shù)嶺國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的一位來(lái)自美國(guó)北卡萊羅納大學(xué)的研究專家卡林寧，已經(jīng)成功得到了弗吉尼亞州赤蛺蝶翅膀的結(jié)構(gòu)圖片，分辨率高達(dá)10毫微米。

“掃描探針顯微鏡為科學(xué)家們?nèi)娴胤治鑫矬w結(jié)構(gòu)，性質(zhì)及其功能性提供了無(wú)限的機(jī)會(huì)?！笨謱幷f(shuō)?！斑@為將來(lái)研制性能更高、成本更低的生物和醫(yī)學(xué)應(yīng)用材料打下良好的基礎(chǔ)。”

卡林寧在生物系統(tǒng)成像方面的研究最初源于上個(gè)世紀(jì)八十年代原子力顯微術(shù)的發(fā)展?，F(xiàn)在他們正在運(yùn)用一種被稱為原子力聲學(xué)顯微術(shù)（AFAM）的技術(shù)，這種技術(shù)運(yùn)用微小的聲波，不僅可以探測(cè)物體的表面，并且可以探測(cè)到精密生物材料表面下的結(jié)構(gòu)，并且分辨率大約在5毫微米左右。

“這種改善后的成像技術(shù)可以清楚的顯現(xiàn)出生物系統(tǒng)如何工作，分辨率可以達(dá)成5微毫米，相稱于一個(gè)DNA分子的體積——這也正是我們制造生物材料所需要的尺寸，”卡林寧說(shuō)?！吧锵到y(tǒng)的結(jié)構(gòu)并不是像——例如晶體材料——那樣有規(guī)律，所以需要使用現(xiàn)實(shí)空間成像的方法才干對(duì)局部組織彈性以及局部結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。掃描探針顯微鏡正是適合這種應(yīng)用的絕佳工具。”

“掃描探針顯微鏡是納米科技的一個(gè)巨大奔騰，”卡林寧說(shuō)?！斑@種新型科技正在飛速發(fā)展，所以每時(shí)每刻都有新的研究方法不斷涌現(xiàn)出來(lái)。然而，假如要看到掃描探針顯微鏡發(fā)揮真正潛力的一天，還是需要各學(xué)科間連續(xù)不斷的努力和發(fā)展?！?/p>

掃描隧道顯微鏡掃描隧道顯微鏡是80年代初期發(fā)展起來(lái)的新型顯微儀器，能達(dá)成原子級(jí)的超高分辨率。掃描隧道顯微鏡不僅作為觀測(cè)物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的重要手段，并且可以作為在極其細(xì)微的尺度——即納米尺度（1nm=10-9m）上實(shí)現(xiàn)對(duì)物質(zhì)表面精細(xì)加工的新奇工具。目前科學(xué)家已經(jīng)可以隨心所欲地操縱某些原子。一門新興的學(xué)科——納米科學(xué)技術(shù)已經(jīng)應(yīng)運(yùn)而生。

中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所隧道顯微學(xué)研究室的科學(xué)家正奮力投入納米科學(xué)技術(shù)的研究，運(yùn)用掃描隧道顯微學(xué)方法，已于1992年成功地在石墨表面刻寫出納米級(jí)的漢字和圖案。

用掃描隧道顯微鏡在高定向裂解石墨表面上刻寫的漢字“中國(guó)”，其中筆畫的線條寬度為10nm。假如用這樣大小的漢字來(lái)書(shū)寫《紅樓夢(mèng)》一書(shū)，只需大頭針針頭那樣小的面積，就可寫進(jìn)全書(shū)的內(nèi)容。

磁力顯微鏡

磁力顯微鏡(MagneticForceMicroscope，MFM)與LFM相似，不同的是這種探針為沿著其長(zhǎng)度方向磁化了的鎳探針或鐵探針．當(dāng)探針接近一塊磁性樣品時(shí)，探針尖端會(huì)像一個(gè)條狀磁鐵的北極或南極那樣，與樣品中磁疇互相作用而感受到磁力，并使其共振頻率發(fā)生變化，從而改變其振幅．用來(lái)觀測(cè)樣品磁場(chǎng)邊界的清楚度、均勻度和強(qiáng)度等，分辨率優(yōu)于25nm．

磁力顯微鏡（Hr-MFM）產(chǎn)品由QuantumDesign與瑞士SwissProbe公司合作與銷售,目前,該產(chǎn)品已迅速推向全球市場(chǎng),高分辨率磁力顯微鏡（Hr-MFM）是在材料表面納米尺度檢測(cè)技術(shù)上的巨大奔騰：Hr-MFM的超細(xì)探針使得其分辨精度比傳統(tǒng)的MFM提高近10倍，用Hr-MFM獲得的磁分辨精度（10納米）甚至可以和用極化分辨掃描電子顯微鏡（SEMPA）所得到的數(shù)據(jù)相媲美；該產(chǎn)品剛一出現(xiàn)立即受到了全球科學(xué)家的廣泛關(guān)注：2023年產(chǎn)品獲評(píng)瑞士技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)；Hr-MFM產(chǎn)品樣機(jī)被全球知名硬盤制造商美國(guó)希捷公司購(gòu)得；瑞士創(chuàng)新獎(jiǎng)專題文章評(píng)論該SwissProbe公司Hr-MFM“對(duì)于更大容量的硬盤存儲(chǔ)器的研究將帶來(lái)一次強(qiáng)烈沖擊”。實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)家可以借助其進(jìn)行材料的表面分析、磁性材料和薄膜技術(shù)等相關(guān)的研究，諸如磁性量子點(diǎn)以及用于磁性隨機(jī)存儲(chǔ)器和鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器應(yīng)用的層狀納米機(jī)構(gòu)等方面。

靜電力顯微鏡靜電力顯微鏡(ElectrostaticForceMicroscope，EFM)是LFM的擴(kuò)展，不同的是EFM使用帶有電荷的探針，在共振頻率附近受迫振動(dòng)，針尖和樣品起到平行板電容器中兩塊板極的作用，因而在樣品表面掃描時(shí)，振動(dòng)振幅受樣品中電荷產(chǎn)生的靜電力的影響．可以測(cè)量出10－10N的靜電力．相應(yīng)于10－19F的電容，這種顯微鏡可通過(guò)非接觸方式研究微電子電路在極小尺度上的電特性．

橫向力顯微鏡橫向力顯微鏡（LFM）是在原子力顯微鏡（AFM）表面形貌成像基礎(chǔ)上發(fā)展的新技術(shù)之一。工作原理與接觸模式的原子力顯微鏡相似。

原子力顯微鏡原子力顯微鏡，簡(jiǎn)稱AFM，是運(yùn)用原子、分子間的互相作用力（重要范德瓦爾斯力，價(jià)鍵力，表面張力，萬(wàn)有引力，以及靜電力和磁力等）來(lái)觀測(cè)物體表面微觀形貌的新型實(shí)驗(yàn)技術(shù)。

AFM簡(jiǎn)樸原理：運(yùn)用納米級(jí)的探針固定在可靈敏操控的微米級(jí)尺度的彈性懸臂上，當(dāng)針尖很靠近樣品時(shí)，其頂端的原子與樣品表面原子間的作用力會(huì)使懸臂彎曲，偏離本來(lái)的位置。根據(jù)掃描樣品時(shí)探針偏離量或其它反饋量重建三維圖像，就能間接獲得樣品表面的形貌圖。

AFM突破了STM只可以用于掃描不容易氧化的良導(dǎo)體樣品的限制，可以掃描導(dǎo)體和絕緣體。AFM具有多種掃描模式：接觸掃描模式是原子力顯微鏡的基本工作模式，輕敲掃描模式(TappingMode)特別合用于檢測(cè)生物樣品及其它柔軟、易碎、粘附性較強(qiáng)的樣品。

MicroNanoAFM-III的重要技術(shù)參數(shù)：

掃描模式：AFM接觸/非接觸模式形貌檢測(cè)功能，劃移掃描，F(xiàn)-Z曲線測(cè)量，刻蝕功能；

側(cè)向力/輕敲掃描模式形貌檢測(cè)功能；

樣品尺寸：≤Φ10mm，樣品厚度：≤5mm掃描范圍：標(biāo)準(zhǔn)配置6μm×6μm接觸模式AFM（X-Y向0.2nm；Z向0.03nm）

錫膏

無(wú)鉛焊錫膏是設(shè)計(jì)用于當(dāng)今SMT生產(chǎn)工藝的一種免清洗型焊錫膏。采用氧化量很少的無(wú)鉛合金與無(wú)活性較好的助焊膏配制而成,粘度可滿足印刷與點(diǎn)涂工藝,應(yīng)用范圍十分廣泛。

錫球無(wú)鉛錫球用于IC封裝焊接點(diǎn)上,如BGA、CSP等輕、薄、小、高性能、多功能焊接。錫球具有自動(dòng)校正能力和允許相對(duì)比較大的置放誤差,無(wú)端面平整度問(wèn)題,電鍍用錫球,其制程中每一環(huán)節(jié)均受嚴(yán)格控制并精選高純度合金。

燒結(jié)爐

高溫電爐,實(shí)驗(yàn)電爐,實(shí)驗(yàn)電爐,氣氛爐,箱式電爐,管式電爐,燒結(jié)爐,熔塊爐,立式電爐,臥式電爐,真空爐,節(jié)能電爐,升降爐,梭式爐,熔塊爐等.

電鍍（1）、電鍍的涵義

電鍍是應(yīng)用電解原理在某些金屬表面鍍上一薄層其他金屬或合金的過(guò)程。

（2）、電鍍的目的

電鍍的目的重要是使金屬增強(qiáng)抗腐蝕能力、增長(zhǎng)美觀和表面硬度。

（3）、電鍍的原理

電鍍的原理與電解精煉銅的原理是一致的。電鍍時(shí)，一般都是用品有鍍層金屬離子的電解質(zhì)配成電鍍液；把待鍍金屬制品浸入電鍍液中與直流電源的負(fù)極相連，作為陰極；用鍍層金屬作為陽(yáng)極，與直流電源正極相連。通入低壓直流電，陽(yáng)極金屬溶解在溶液中成為陽(yáng)離子，移向陰極，這些離子在陰極獲得電子被還原成金屬，覆蓋在需要電鍍的金屬制品上。

傳感器力學(xué)傳感器、光學(xué)傳感器、熱學(xué)傳感器、聲學(xué)傳感器、磁學(xué)傳感器，氣敏傳感器、離子傳感器，酶?jìng)鞲衅鳌⒚庖邆鞲衅?、微生物傳感器、?xì)胞傳感器、組織傳感器、DNA傳感器等

真空泵真空泵、無(wú)油真空泵、往復(fù)式真空泵、水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、真空機(jī)組、旋片式真空泵等。

橢偏儀

當(dāng)一未線偏振光入射到薄膜表面時(shí),入射光波中的電場(chǎng)強(qiáng)度P分量和電場(chǎng)強(qiáng)度S分量在兩種媒質(zhì)的交界面上的行為是不同的,即通常P分量和S分量的反射率和反射相移各不相同,于是在反射光的P分量和S分量之間產(chǎn)生了附加的振幅差和位相差,反射光一般會(huì)成為橢圓偏振光。在入射介質(zhì)及基片的光學(xué)常數(shù)和入射角已知的情況下,這個(gè)反射的橢圓偏振光的參數(shù)僅由薄膜的光學(xué)常數(shù)決定。這就是橢偏法測(cè)量薄膜光學(xué)常數(shù)的根據(jù)。

老化箱

高低溫濕熱箱,低溫恒溫恒濕箱,恒溫恒濕箱,恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)箱,氙燈耐氣候箱,氙燈實(shí)驗(yàn)機(jī),氙燈老化箱,紫外老化機(jī),紫外老化箱,紫外實(shí)驗(yàn)機(jī),老化箱,溫度沖擊箱,溫度沖擊實(shí)驗(yàn)機(jī),溫度沖擊實(shí)驗(yàn)箱,臭氧老化實(shí)驗(yàn)箱,臭氧老化箱,鹽霧實(shí)驗(yàn)...

水份分析儀WA-1B型水份分析儀是集我廠數(shù)年來(lái)生產(chǎn)分析儀器之經(jīng)驗(yàn),綜合國(guó)內(nèi)外測(cè)水儀之優(yōu)點(diǎn),結(jié)合卡爾·費(fèi)休法進(jìn)行微量水份測(cè)定之經(jīng)典研制而成的自動(dòng)化微量水份測(cè)定儀。

氣體分析儀氣體分析儀，重要用于快速測(cè)量空氣中的氣體，它采用專利的氣敏半導(dǎo)體傳感器原理，可以精確探測(cè)氣體濃度達(dá)成ppb級(jí)，所配備各種量程感器之間可以互相更換，而不需要重新標(biāo)定，減少用戶使用成本，采用類似于手機(jī)菜單的形式，使用簡(jiǎn)樸，可在任何需要測(cè)量各種臭氧濃度的場(chǎng)合下使用。500系列多了數(shù)據(jù)記錄和下載功能。

回流焊回流焊爐：又稱“再流焊”（ReflowMachine）,它是通過(guò)提供一種加熱環(huán)境，使焊錫膏受熱融化從而讓表面貼裝元器件和PCB焊盤通過(guò)焊錫膏合金可靠地結(jié)合在一起的設(shè)備。

再流焊再流焊爐重要有熱板式、紅外、熱風(fēng)、紅外＋熱風(fēng)和氣相焊等形式。

再流焊熱傳導(dǎo)方式重要有輻射和對(duì)流兩種方式。

輻射傳導(dǎo)――重要有紅外爐。其優(yōu)點(diǎn)是熱效率高，溫度陡度大，易控制溫度曲線，雙面焊接時(shí)PCB上、下溫度易控制。其缺陷是溫度不均勻；在同一塊PCB上由于器件的顏色和大小不同、其溫度就不同。為了使深顏色和大體積的元器件達(dá)成焊接溫度、必須提高焊接溫度，容易導(dǎo)致焊接不良和損壞元器件等缺陷。

對(duì)流傳導(dǎo)――重要有熱風(fēng)爐。其優(yōu)點(diǎn)是溫度均勻、焊接質(zhì)量好。缺陷是PCB上、上溫差以及沿焊接長(zhǎng)度方向的溫度梯度不易控制。

（1）目前再流焊傾向采用熱風(fēng)小對(duì)流方式，在爐子下面采用制冷手段，以保護(hù)爐子上、下和長(zhǎng)度方向的溫度梯度，從而達(dá)成工藝曲線的規(guī)定。

（2）是否需要充N2選擇（基于免清洗規(guī)定提出的）

充N2的重要作用是防止高溫下二次氧化，達(dá)成提高可焊性的目的。對(duì)于什么樣的產(chǎn)品需要充N2，目前尚有爭(zhēng)議?？偟目雌饋?lái)，元鉛焊接，以及高密度，特別是引腳中心距為0.5mm以下的焊接過(guò)程有必要用N2，否則沒(méi)有太大必要。此外，假如N2純度低（如普通20PPN）效果不明顯，因此規(guī)定N2純度為100PPN。

蒸汽焊爐有再次興起的趨勢(shì)。特別是對(duì)電性能規(guī)定極高的軍品。

烘干爐重要用于電子元件和半導(dǎo)體器件排膠、干燥、燒結(jié)及玻璃退火等熱解決工藝，也可對(duì)其它材料進(jìn)行同類溫度下的特殊解決，已廣泛使用在半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、納米材料、磁性材料、光電子等行業(yè)?？筛鶕?jù)用戶的規(guī)定配置氣氛保護(hù)裝置。

激光切割激光切割的特點(diǎn)：

1．切割縫細(xì)：激光切割的割縫一般在0.10～0.20mm。

2．切割面光滑：激光切割的切割面無(wú)毛刺，表面粗糙度一般控制在Ra：12.5以上。

3．速度快：激光切割的速度與線切割的速度相比要快很多。

4．熱變形?。杭す饧庸さ募す飧羁p細(xì)、速度快、能量集中，因此傳到被切割材料上的熱量小，引起材料的變形也非常小。

5．激光切割不會(huì)與材料表面相接觸，保證產(chǎn)品不劃傷。

6．適合大件產(chǎn)品的加工：大件產(chǎn)品的模具制造費(fèi)用很高，激光加工不需任何模具制造，并且激光加工完全避免材料沖剪時(shí)形成的塌邊，可以大幅度地減少公司的生產(chǎn)成本提高產(chǎn)品的檔次。

7．非常適合新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)：一旦產(chǎn)品圖紙形成后，立即可以進(jìn)行激光加工，你可以在最短的時(shí)間內(nèi)得到新產(chǎn)品的實(shí)物。

8．節(jié)省材料：激光加工采用電腦編程，可以把不同形狀的產(chǎn)品進(jìn)行材料的套裁，最大限度地提高材料的運(yùn)用率。

9．適合激光加工的材料：激光可以對(duì)鋼板、不銹鋼、鋁合金板、硬質(zhì)合金等進(jìn)行加工。

10．激光加工應(yīng)用行業(yè)：

（1）目前開(kāi)展激光加工的方面重要是電梯、自動(dòng)扶梯、紡織機(jī)械、食品機(jī)械、輕工機(jī)械、冷凍機(jī)械、印刷機(jī)械、復(fù)印機(jī)械、交通機(jī)械、港口機(jī)械、運(yùn)送機(jī)械、船舶機(jī)械、農(nóng)用機(jī)械、筑路機(jī)械、搬運(yùn)機(jī)械、環(huán)保機(jī)械及礦山、冶金機(jī)械等等的板金加工。

（2）另一方面是電子、電器業(yè)涉及醫(yī)療儀表、器械以及控制柜箱等板金加工。

（3）電機(jī)制造業(yè)中各類轉(zhuǎn)子、定子、葉片的切割成型。

（4）量具、刃具業(yè)中各類鋸條鋸片等切割成型。

（5）汽車制造業(yè)涉及零件、總裝合成和流水線中部件的制造，

（6）廣告、裝潢及工藝品制造業(yè)。

涂布機(jī)光材料涂布機(jī)（反光膜涂布機(jī)、反光布涂布機(jī)）、金銀卡紙涂布復(fù)合機(jī)、不干膠紙涂布機(jī)、雙面膠帶涂布機(jī)、電化鋁涂布機(jī)、PTP鋁箔印刷涂布機(jī)、布基藥膏涂布機(jī)。

管道泵管道泵是單吸單級(jí)離心泵的一種，屬立式結(jié)構(gòu)，因其進(jìn)出口在同一直線上，且進(jìn)出口口徑相同，仿似一段管道，可安裝在管道的任何位置故取名為管道泵。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：為單吸單級(jí)離心泵，進(jìn)出口相同并在同一直線上，和軸中心線成直交，為立式泵。

排污泵排污泵有：不銹鋼排污泵,潛水排污泵,自吸排污泵,液下排污泵,無(wú)堵塞排污泵,化工排污泵QW型移動(dòng)式潛水排污泵,,WQ型自動(dòng)耦合裝置潛水排污泵,WL型干式便拆立式排污泵,LW型直立式排污泵,GW型管道式排污泵,QWP型不銹鋼潛水排污泵,AS、AV型撕裂式排污泵,JYWQ型自動(dòng)攪勻潛水排污泵,WQZ型自動(dòng)保護(hù)潛水排污泵,ZW型自吸無(wú)堵塞排污泵......

自吸泵

普通離心泵，若吸入液面在葉輪之下，啟動(dòng)時(shí)應(yīng)預(yù)先灌水，很不方便。為了在泵內(nèi)存水，吸入管進(jìn)口需要裝底閥，泵工作時(shí)，底閥導(dǎo)致很大的水力損失。

所謂自吸泵，就是在啟動(dòng)前不需灌水（安裝后第一次啟動(dòng)仍然需灌水），通過(guò)短時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，靠泵自身的作用，即可以把水吸上來(lái)，投入正常工作。

自吸泵按作用原理分為以下幾類：

1.氣液混合式（涉及內(nèi)混式和外混式）；

2.水環(huán)輪式；

3.射流式（涉及液體射流和氣體射流）。

氣液混合式自吸泵的工作過(guò)程：由于自吸泵泵體的特殊結(jié)構(gòu)，水泵停轉(zhuǎn)后，泵體內(nèi)存

有一定量的水，泵再次啟動(dòng)后由于葉輪旋轉(zhuǎn)作用，吸入管路的空氣和水充足混合，并被排到氣水分離室，氣水分離室上部的氣體溢出，下部的水返回葉輪，重新和吸入管路的剩余空氣混合，直到把泵及吸入管內(nèi)的氣體所有排出，完畢自吸，并正常抽水。

水環(huán)輪式自吸泵是將水環(huán)輪和水泵葉輪組合在一個(gè)殼體內(nèi)，借助水環(huán)輪將氣體排出，實(shí)現(xiàn)自吸。當(dāng)泵正常工作后，可通過(guò)閥截?cái)嗨h(huán)輪和水泵葉輪的通道，并且放掉水環(huán)輪內(nèi)的液體。

射流式自吸泵，由離心泵和射流泵（或噴射器）組合而成，依靠噴射裝置，在噴嘴處導(dǎo)致真空實(shí)現(xiàn)抽吸。

液下泵液下泵具有易啟動(dòng)、無(wú)泄露、占地少、安裝方便等特點(diǎn)，因而適合輸送不得泄露的強(qiáng)腐蝕性、高危險(xiǎn)性或極為貴重的液體，也特別適合規(guī)定安裝容器或基坑的場(chǎng)合。

磁力泵

其電動(dòng)機(jī)通過(guò)磁性聯(lián)軸器和外磁鋼連在一起，葉輪和內(nèi)磁鋼連在一起。在外磁鋼和內(nèi)磁鋼之間設(shè)有全密封的隔離套，將內(nèi)、外磁鋼完全隔開(kāi)，使內(nèi)磁鋼處在介質(zhì)之中，電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸通過(guò)磁鋼間磁極的吸力直接帶動(dòng)葉輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

高溫往復(fù)泵高溫往復(fù)泵是本單缸專為煉油、造紙、油氈,石化等行監(jiān)設(shè)計(jì)生產(chǎn)的一秤新奇泵,該泵設(shè)計(jì)合理,結(jié)構(gòu)緊湊,參照國(guó)外產(chǎn)品消化吸取。是一種很有使用前程的輸送設(shè)備,該泵對(duì)于一些用戶仍在使用的蒸氣往復(fù)泵,是一種節(jié)能,環(huán)保代替產(chǎn)品。本泵合用于溫度在150-400℃之間的熱水、熱油或其它物化性能類似于油水的高溫介質(zhì)。

本泵機(jī)體部份由齒花箱,電機(jī)、飛輪十字頭等構(gòu)成,齒輪箱采用飛濺方式潤(rùn)滑。

泵體由鑄鋼組成雙層夾套結(jié)構(gòu),夾室內(nèi)可通蒸氣,以往進(jìn)行保溫(如重油類),泵閥結(jié)何采用球閥方式,密封可靠、動(dòng)作靈敏。泵頭和箱體之間有冷卻套隔開(kāi),冷卻套用自來(lái)水循環(huán)萬(wàn)式,有效地阻止泵頭熱量向箱體部擴(kuò)散。本泵密封填料采用國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的石墨纖維高溫填料,其它零部件均采用耐熱鋼及時(shí)效解決,保證了該泵的使用壽命。

玻璃鋼泵

玻璃鋼泵涉及玻璃鋼離心泵、玻璃鋼液下泵、耐腐蝕性強(qiáng)，注意環(huán)保和服務(wù)的提高，是化工工業(yè)用泵的抱負(fù)選擇。

隔閡泵

氣動(dòng)隔閡泵是一種新型輸送機(jī)械，是目前國(guó)內(nèi)最新奇的一種泵類。采用壓縮空氣為動(dòng)力源，對(duì)于各種腐蝕性液體，帶顆粒的液體，高粘度、易揮發(fā)、易燃、劇毒的液體，均能予以抽光吸盡。氣動(dòng)隔閡泵其有四種材質(zhì)：塑料、鋁合金、鑄鐵、不銹鋼。隔閡泵根據(jù)不同液體介質(zhì)分別采用丁晴橡膠、氯丁橡膠、氟橡膠、聚四氟乙烯、聚四六乙烯。以滿足不同用戶的需要。安頓在各種特殊場(chǎng)合，用來(lái)抽送種常規(guī)泵不能抽吸的介質(zhì)，均取得了滿意的效果。

一、氣動(dòng)隔閡泵合用場(chǎng)合

由于氣動(dòng)隔閡泵具有以上特點(diǎn)，所以在世界上隔閡泵自從誕生以來(lái)正逐步侵入其他泵的市場(chǎng)，并占有其中的一部分。如：噴漆、陶瓷業(yè)中隔閡泵已占有絕對(duì)的主導(dǎo)地位，而在其他的一些行業(yè)中，像環(huán)保、廢水解決、建筑、排污、精細(xì)化工中正在擴(kuò)大它的市場(chǎng)份額，并具有其他泵不可替代的地位。氣動(dòng)隔閡泵的優(yōu)勢(shì)在于：

1、由于用空氣作動(dòng)力，所以流量隨背壓（出口阻力）的變化而自動(dòng)調(diào)整，適合用于中高粘度的流體。而離心泵的工作點(diǎn)是以水為基準(zhǔn)設(shè)定好的，假如用于粘度稍高的流體，則需要配套減速機(jī)或變頻調(diào)速器，成本就大大的提高了，對(duì)于齒輪泵也是同樣如此。

2、在易燃易爆的環(huán)境中用氣動(dòng)泵可靠且成本低，如燃料、火藥、炸藥的輸送，由于：第一、接地后不也許產(chǎn)生火花；第二、工作中無(wú)熱量產(chǎn)生，機(jī)器不會(huì)過(guò)熱；第三、流體不會(huì)過(guò)熱由于隔閡泵對(duì)流體的攪動(dòng)最小。

3、在工地惡劣的地方，如建筑工地、工礦的廢水排放、由于污水中的雜質(zhì)多且成分復(fù)雜，管路易于堵塞，這樣對(duì)電泵就形成負(fù)荷過(guò)高的情況，電機(jī)發(fā)熱易損。氣動(dòng)隔閡泵可通過(guò)顆粒且流量可調(diào)，管道堵塞時(shí)自動(dòng)停止至通暢。

4、此外隔閡泵體積小易于移動(dòng)，不需要地基，占地面極小，安裝簡(jiǎn)便經(jīng)濟(jì)。可作為移動(dòng)式物料輸送泵。

5、在有危害性、腐蝕性的物料解決中，隔閡泵可將物料與外界完全隔開(kāi)。

6、或是一些實(shí)驗(yàn)中保證沒(méi)有雜質(zhì)污染原料。

7、可用于輸送化學(xué)性質(zhì)比較不穩(wěn)定的流體，如：感光材料、絮凝液等。這是由于隔閡泵的剪切力低，對(duì)材料的物理影響小。

二、氣動(dòng)隔閡泵原理及特點(diǎn)

1、壓縮空氣為動(dòng)力。

2、是一種由膜片往復(fù)變形導(dǎo)致容積變化的容積泵，其工作原理近似于柱塞泵，由于隔閡泵工作原理的特點(diǎn)，因此隔閡泵具有以下特點(diǎn):

泵不會(huì)過(guò)熱：壓縮空氣作動(dòng)力，在排氣時(shí)是一個(gè)膨脹吸熱的過(guò)程，氣動(dòng)泵工作時(shí)溫度是減少的，無(wú)有害氣體排出。

不會(huì)產(chǎn)生電火花：氣動(dòng)隔閡泵不用電力作動(dòng)力，接地后又防止了靜電火花

可以通過(guò)含顆粒液體：由于容積式工作且進(jìn)口為球閥，所以不容易被堵。

對(duì)物料的剪切力極低：工作時(shí)是怎么吸進(jìn)怎么吐出，所以對(duì)物料的攪動(dòng)最小，合用于不穩(wěn)定物質(zhì)的輸送

流量可調(diào)節(jié)，可以在物料出口處加裝節(jié)流閥來(lái)調(diào)節(jié)流量。

具有自吸的功能。

可以空運(yùn)營(yíng)，而不會(huì)有危險(xiǎn)。

可以潛水工作。

可以輸送的流體極為廣泛，從低粘度的到高粘度的，從腐蝕性得到粘稠的。

沒(méi)有復(fù)雜的控制系統(tǒng)，沒(méi)有電纜、保險(xiǎn)絲等。

體積小、重量輕，便于移動(dòng)。

無(wú)需潤(rùn)滑所以維修簡(jiǎn)便，不會(huì)由于滴漏污染工作環(huán)境。

泵始終能保持高效，不會(huì)由于磨損而減少。

百分之百的能量運(yùn)用，當(dāng)關(guān)閉出口，泵自動(dòng)停機(jī)，設(shè)備移動(dòng)、磨損、過(guò)載、發(fā)熱

沒(méi)有動(dòng)密封，維修簡(jiǎn)便避免了泄漏。工作時(shí)無(wú)死點(diǎn)。

高壓清洗機(jī)

高壓清洗機(jī)可行性分析報(bào)告

高壓清洗機(jī)原理

通過(guò)動(dòng)力裝置使高壓柱塞泵產(chǎn)生高壓水來(lái)沖洗物體表面，水的沖擊力大于污垢與物體表面附著力，高壓水就會(huì)將污垢剝離，沖走，從而達(dá)成清洗物體表面的目的。

高壓清洗機(jī)的用途

用于沖洗各種機(jī)動(dòng)車輛，設(shè)備，建筑物外墻、地坪、浴池、游泳池等。

高壓清洗機(jī)的發(fā)展動(dòng)態(tài)和市場(chǎng)分析

目前高壓清洗機(jī)有著廣闊的市場(chǎng)，每年國(guó)際市場(chǎng)的需求量在四千萬(wàn)臺(tái)，且市場(chǎng)需求量在不斷增大。在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)目前高壓清洗機(jī)市場(chǎng)還處在市場(chǎng)發(fā)育的初期，對(duì)高壓清洗機(jī)的使用并不普遍，但隨著人民生活水平的提高，特別是汽車的逐步普及和人民居住生活環(huán)境的逐步改善，以及我們同發(fā)達(dá)國(guó)家人員交往的增長(zhǎng)，國(guó)外生活方式對(duì)我們的影響也在增長(zhǎng)，國(guó)內(nèi)高壓清洗機(jī)市場(chǎng)也在迅速擴(kuò)大，市場(chǎng)需求迅速增長(zhǎng)。

目前高壓清洗機(jī)的壓力在15Mpa以上的高端市場(chǎng)重要控制在德國(guó)K?rcher這樣的國(guó)外公司手中，在10Mpa～15Mpa的中端市場(chǎng)也重要控制在國(guó)外公司手中，在10Mpa以下的低端市場(chǎng)我國(guó)產(chǎn)品的市場(chǎng)份額在迅速擴(kuò)大，重要是低端產(chǎn)品技術(shù)含量的較低，工藝規(guī)定不高，對(duì)整個(gè)生產(chǎn)管理規(guī)定也不高，較容易制作，我國(guó)的產(chǎn)品在性能和質(zhì)量上沒(méi)有大的差別，且我國(guó)在勞動(dòng)力成本上有著巨大優(yōu)勢(shì)，我國(guó)勞動(dòng)力成本不到西方發(fā)達(dá)國(guó)家的1/10，這同時(shí)也決定了我國(guó)在基礎(chǔ)原材料，能源價(jià)格上較西方發(fā)達(dá)國(guó)家低，從而決定了我國(guó)產(chǎn)品在價(jià)格上的優(yōu)勢(shì)。我國(guó)生產(chǎn)清洗機(jī)公司的最近三年得到了飛速的發(fā)展，例如浙江安露清洗機(jī)有限公司的產(chǎn)值2023年不到3000萬(wàn)，2023年是8000萬(wàn)，2023年是1.2億，2023年是1.8億，預(yù)計(jì)2023年將超過(guò)2.5億，年產(chǎn)各種清洗機(jī)100萬(wàn)臺(tái)以上，產(chǎn)品所有出口。上海美浩電器有限公司目前高壓清洗出口量也在100萬(wàn)臺(tái)/年以上，年銷售額2.5億以上。其他一些公司也在迅速發(fā)展，如寧波巨港機(jī)械有限公司，上海的億力公司，蘇州的熊貓公司。尚有其他一些公司不斷加入到清洗機(jī)這個(gè)行業(yè)中來(lái)。目前國(guó)高壓清洗機(jī)公司生產(chǎn)的產(chǎn)品重要集中在10Mpa以下的低檔產(chǎn)品，其產(chǎn)品在技術(shù)和性能上差別不大，所以只能在價(jià)格上競(jìng)爭(zhēng)，競(jìng)爭(zhēng)的結(jié)果是使產(chǎn)品的利潤(rùn)空間不斷縮小，目前低檔產(chǎn)品的利潤(rùn)率在10%左右，其中處在優(yōu)勢(shì)的公司重要依賴起規(guī)模效益和對(duì)客戶資源的占有率。其賺錢是通過(guò)銷售量的不斷增長(zhǎng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。目前國(guó)外的大公司已將重點(diǎn)轉(zhuǎn)移到10Mpa以上的中、高檔產(chǎn)品上來(lái)，低檔產(chǎn)品在國(guó)外貼牌生產(chǎn)，他們有著銷售網(wǎng)絡(luò)，品牌，技術(shù)，生產(chǎn)管理方面的優(yōu)勢(shì)，而我們國(guó)家的產(chǎn)品一般是通過(guò)貼牌生產(chǎn)銷往國(guó)外的，我們一般沒(méi)有自己的品牌，在國(guó)外也沒(méi)有自己的銷售網(wǎng)絡(luò)。

我們進(jìn)入高壓清洗機(jī)市場(chǎng)時(shí)機(jī)和如何介入這個(gè)市場(chǎng)

隨著世界經(jīng)貿(mào)一體化步伐的加快，由于中國(guó)在勞動(dòng)力成本上同發(fā)達(dá)國(guó)家相比有著很大的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)也決定了我國(guó)在基礎(chǔ)原材料，能源價(jià)格上較西方發(fā)達(dá)國(guó)家低，世界的制造業(yè)將進(jìn)一步向中國(guó)轉(zhuǎn)移，由于我們的產(chǎn)品物美價(jià)廉，我們正在成為世界的工廠，有很多國(guó)外公司到我國(guó)來(lái)采購(gòu)或貼牌生產(chǎn)產(chǎn)品，我們運(yùn)用國(guó)外公司的銷售網(wǎng)絡(luò)使我們產(chǎn)品大量的走向世界，從而給我們的公司提供了巨大的市場(chǎng)機(jī)會(huì)，我們一定要抓住這一歷史的機(jī)遇。我們不能做目前做得比較成功的公司已經(jīng)做成熟的產(chǎn)品，那樣我們?cè)诩夹g(shù)，成本和戶資戶源的占有率都沒(méi)有優(yōu)勢(shì)，我們要做有我們特色的產(chǎn)品，做他們沒(méi)有做的新產(chǎn)品，或做不好的產(chǎn)品。我們介入市場(chǎng)的切入點(diǎn)應(yīng)選在中高檔產(chǎn)品上，應(yīng)當(dāng)把目光盯在高壓清洗機(jī)領(lǐng)域的先進(jìn)技術(shù)上，使我們?cè)诩夹g(shù)上與世界先進(jìn)公司同步，即使先進(jìn)技術(shù)與我們?cè)趧趧?dòng)力成本、原材料能源價(jià)格上的優(yōu)勢(shì)相結(jié)合，制造出具有高性價(jià)比的產(chǎn)品。

我們要生產(chǎn)的產(chǎn)品

1.壓力在6Mpa，流量6L/min,電機(jī)采用竄激電機(jī)，油缸與竄激電機(jī)直接連接，省去竄激電機(jī)與油缸連接用的方板，該產(chǎn)品泵的開(kāi)發(fā)吸取了當(dāng)今世界上最大的高壓清洗機(jī)生產(chǎn)廠德國(guó)K?rcher公司的先進(jìn)技術(shù)，泵頭采用了塑料材料，該材料是一種新材料，尺寸穩(wěn)定性好，強(qiáng)度高，原材料成本較金屬材料低。泵頭結(jié)構(gòu)形式與以往的泵頭結(jié)構(gòu)形有很大改變，設(shè)計(jì)精致，更加緊湊，制作的工藝性更好，更容易制造和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行控制，生產(chǎn)效率更高，特別適合大批量生產(chǎn)。該泵總成成本要比以往用金屬材料制造的泵頭總成成本低25元以上采用該泵的效率也有所提高。該產(chǎn)品的制導(dǎo)致本在190元/臺(tái)，銷售價(jià)在23美元（約合212元人民幣）。目前采用竄激電機(jī)的清洗機(jī)出貨量最大的廠家使上海美浩電器有限公司，每年出貨量100萬(wàn)臺(tái)以上，其銷售價(jià)格在25美元以上，我們的售價(jià)要比其低2美元以上。安露的同性能的感應(yīng)電機(jī)清洗機(jī)售價(jià)30美元。項(xiàng)目投資：模具費(fèi)27萬(wàn)元，產(chǎn)品認(rèn)證費(fèi)6萬(wàn)（GS認(rèn)證,3C認(rèn)證），場(chǎng)地費(fèi)15萬(wàn)/年，流水線，檢測(cè)設(shè)備費(fèi)用15萬(wàn)，辦公用品費(fèi)用2萬(wàn)（購(gòu)買電腦等），流動(dòng)資金70萬(wàn)。

財(cái)務(wù)分析評(píng)價(jià)

1.由于世界制造業(yè)向中國(guó)的轉(zhuǎn)移，以及國(guó)內(nèi)對(duì)高壓清洗機(jī)需求的逐年增長(zhǎng)，高壓清洗機(jī)項(xiàng)目成長(zhǎng)性較好。

2.量本利分析：經(jīng)預(yù)測(cè)，單位售價(jià)212元，單位變動(dòng)成本190元，固定投資65萬(wàn)元。保本量=固定投資/(單價(jià)—單位變動(dòng)成本)=29545(臺(tái))

3..該保本銷量與市場(chǎng)的巨大需求相比是很小的,因此該項(xiàng)目贏利性較好,保本安全系數(shù)大。一年內(nèi)即可收回所有投資，投資回收期短，投資風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)小。

2.高壓柱塞曲軸泵

該泵采用的結(jié)構(gòu)形式與中低檔高壓清洗機(jī)采用的斜盤式軸向柱塞泵不同，采用的是曲軸式徑向柱塞的結(jié)構(gòu)式，該泵的開(kāi)發(fā)吸取收當(dāng)今世界上最大的高壓柱塞泵生產(chǎn)廠Interpump公司的先進(jìn)技術(shù)，采用潤(rùn)滑式曲軸傳動(dòng)、耐磨損陶瓷柱塞、鍛制黃銅或不銹鋼缸體,不銹鋼單向閥閥片和閥座，保證了連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間不間斷工作,且維護(hù)簡(jiǎn)樸方便。產(chǎn)品壓力從10bar－400bar、流量從6L－125L/min。該泵的特點(diǎn)是效率高，壓力流量大，耐用，缺陷是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造工藝規(guī)定高，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)和制造有一定的難度，目前國(guó)內(nèi)還沒(méi)有一家公司批量生產(chǎn)這種泵，但已有一些廠家在進(jìn)行開(kāi)發(fā)。該泵重要用來(lái)與電機(jī)和汽油機(jī)、柴油機(jī)相配，制造超高壓清洗機(jī)，超高壓清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于洗車行，醫(yī)藥、食品、化工、機(jī)械、紡織、冶金、陶瓷、石油、賓館、酒店、物業(yè)，市政等行業(yè),可對(duì)地面、設(shè)備、管道、建筑,、沖洗去除油污和污垢。配管道疏通裝置可進(jìn)行疏通管道里的污垢或配噴沙裝置可對(duì)金屬、建筑表面進(jìn)行噴沙除銹除垢等。高壓柱塞曲軸泵和配高壓柱塞曲軸泵的超高壓清洗機(jī)在國(guó)際市場(chǎng)的銷路很好，市場(chǎng)利潤(rùn)空間也較大。我國(guó)的市場(chǎng)目前也被國(guó)外大公司的產(chǎn)品占領(lǐng)。我們目前準(zhǔn)備生產(chǎn)壓力17Mpa，流量500L/h,功率5.5Hp(汽油機(jī)動(dòng)力)的超高壓清洗機(jī)，制導(dǎo)致本在1200元/臺(tái)，銷售價(jià)在200美元/臺(tái)（約合1869元人民幣），而國(guó)外市場(chǎng)的零售價(jià)是400美元/臺(tái)。項(xiàng)目投資：模具費(fèi)1