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文檔簡介

無損檢測泄漏檢測示蹤氣體方法國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)I Ⅲ 1 1 1 1 16檢測設(shè)備 27檢測準(zhǔn)備 28真空檢測(A組技術(shù)) 29正壓檢測(B組技術(shù)) 510檢測報(bào)告 附錄A(資料性)本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因 附錄B(資料性)累積檢測技術(shù)校準(zhǔn)漏孔與未知容積的密封罩連接 Ⅲ1GB/T12604.7無損檢測術(shù)語泄漏檢測(GB/T12604.7—2021,ISO20484:2017,MOD)第10章)。2 3——真空檢測技術(shù)(局部檢測)(A.2):對(duì)被檢件抽真空并連接至檢漏儀。采用充有示蹤氣體且氣密性良好的密封罩包裹待檢測區(qū)——真空檢測技術(shù)(單點(diǎn)檢測)(A.3):之間累積的氣體進(jìn)入系統(tǒng)。響應(yīng)時(shí)間是從隔離閥打開至檢漏系統(tǒng)信號(hào)增幅達(dá)到最大穩(wěn)定值90%之間準(zhǔn)漏孔,檢漏系統(tǒng)信號(hào)下降了穩(wěn)定信號(hào)與背景信號(hào)差值90%8.3.2被檢件置于密封罩(密封袋或密封容器)并抽真空。如果密封罩是柔性密封袋(通常為塑料袋),8.3.3密封罩預(yù)抽真空能有助于檢測。當(dāng)密封罩為柔性密封袋時(shí),密封袋宜抽真空至緊貼被檢件外48.3.5被檢件置于含規(guī)定濃度示蹤氣體的密封罩,維持時(shí)間應(yīng)至少為響應(yīng)時(shí)間的2倍。當(dāng)響應(yīng)時(shí)間超8.3.6任何信號(hào)出現(xiàn)后,應(yīng)等待直至出現(xiàn)以下情況:qcL.——校準(zhǔn)漏孔漏率(純示蹤氣體),單位為帕斯卡立方米每R——與SL相應(yīng)的背景信號(hào);p——密封罩內(nèi)總壓力,單位為帕斯卡(P8.4.3塑料袋或密封容器通過膠帶或密封墊貼合至被檢區(qū)域。該措施可防止檢測中出現(xiàn)較大示蹤氣8.5.2應(yīng)按照8.2.5規(guī)定的校準(zhǔn)漏孔位置放置通道型漏孔,以評(píng)估噴槍檢測被檢件表面時(shí)掃查速度對(duì)5 6對(duì)B.4)。7對(duì)于較大泄漏(大于1×10-?Pa·m3/s)且氨氣濃度小于15%,可采用無油干燥空氣對(duì)被檢件盡管幾百帕壓力能有效檢測,但為優(yōu)化最小可檢漏率和縮短檢測時(shí)間,推薦采用2×10?Pa~1)清除刷涂的試劑;2)重新刷涂試劑并干燥;1)更換浸染帶;89.4.2.2真空罩置于指定檢測區(qū)域并抽真空至規(guī)定壓力B.3技術(shù)適用于含示蹤氣體或能被示蹤氣體充壓至正壓的被檢件,且該被檢件能完全置于密封9.5.2.3經(jīng)過規(guī)定時(shí)間(取決于要求檢測極限),應(yīng)測量記錄t?時(shí)刻示蹤氣體濃度c?對(duì)應(yīng)的信號(hào)S?。9.5.2.4通過與已知參考混合氣體(示蹤氣體濃度Cre,對(duì)應(yīng)信號(hào)Se)對(duì)比,確定S。和S?對(duì)應(yīng)的濃度如檢測采用含示蹤氣體混合氣體執(zhí)行,參考漏孔氣體應(yīng)為同種混合氣體。如有可能,參照附錄B9 (3)to——檢測開始時(shí)刻,單位為秒(s);9.6吸槍檢測技術(shù)(B.4)9.7.1該技術(shù)適用于檢測前已密封且不含示蹤氣體的被檢件。該類被檢件通常尺寸較小(例如:半導(dǎo)a)去除加壓容器內(nèi)空氣(抽真空);9.7.2被檢件預(yù)先清潔干燥并置于真空容器內(nèi)。真空容器應(yīng)抽真空至確保被檢件完整性的最低壓力,9.7.4應(yīng)在遠(yuǎn)離檢漏儀處排放示蹤氣體(示蹤氣體可經(jīng)氣管排放至建筑外,或排放至收集器以避免檢當(dāng)脫附氣體流量與示蹤氣體預(yù)期流量水平相9.7.8真空容器應(yīng)與質(zhì)譜檢漏儀連接并開始抽真空,并在除氣情9.7.9如檢測能獲得穩(wěn)定狀態(tài)信號(hào),應(yīng)讀取參考漏孔穩(wěn)定信號(hào)進(jìn)行校準(zhǔn)。如平衡建立前讀取漏率信應(yīng)通過可接受漏率qL計(jì)算安全拒收點(diǎn)qk,見公式(5): (5)較大漏率僅能在加壓后至抽真空前(等待時(shí)間tw內(nèi))發(fā)現(xiàn)。推薦采用吸9.9.2被檢件由柔性或剛性密封罩包圍,密封罩內(nèi)載氣流壓閥和流量計(jì)的氣源(通常為氮?dú)饣蚋稍锟諝?。密封罩出氣口連接至檢漏儀的取樣探頭(典型布局見圖1)。QQ6459.9.3檢測裝置和檢漏儀均由連接至密封罩的參考漏孔(或校準(zhǔn)漏孔)校準(zhǔn),漏孔出口應(yīng)接入載氣當(dāng)采用檢漏儀測量示蹤氣體濃度時(shí)(如空氣中氦氣體積分?jǐn)?shù)為5×10-?),被檢件漏率按照公式(6) (6)(資料性)本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因表A.1給出本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因。表A.1本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因章條編號(hào)原因11適應(yīng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)要求,便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用22用修改采用國際標(biāo)準(zhǔn)的GB/T12604.7代替ISO20485:2017引用的ISO20484適應(yīng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)要求,便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用3增加了A.2技術(shù)關(guān)于泄漏定量和定位的適應(yīng)國內(nèi)使用習(xí)慣,便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用4適應(yīng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)要求,便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用5適應(yīng)國內(nèi)使用習(xí)慣,便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用6增加了關(guān)于維持時(shí)間與響應(yīng)時(shí)間倍數(shù)的適應(yīng)國內(nèi)使用習(xí)慣,便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用78據(jù)表述內(nèi)容引用條款8.2.19修改了氨檢測技術(shù)中關(guān)于被檢件準(zhǔn)備所引附錄B修改了圖B.2中關(guān)于坐標(biāo)軸X、Y的說明累積檢測技術(shù)校準(zhǔn)漏孔與未知容積的密封罩連接如t?時(shí)刻打開校準(zhǔn)漏孔,額外泄漏導(dǎo)致t?時(shí)刻獲得更高的示蹤氣體濃度c該濃度差表明t?~t?時(shí)間內(nèi)校準(zhǔn)漏孔的影響。2234圖B.2含/不含校準(zhǔn)漏孔的累積漏率信號(hào)變化情況[1]GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語[4]GB/T36176真空技術(shù)氦質(zhì)譜真空檢漏方法[8]ISO9712Non-destructivetesting—QualificationandcertificationofNDTpersonnel[9]ISO20486Non-destructivetestin

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