蝕刻線崗位操作指引規(guī)范

XXXXXX電子科技有限公司文件編號(hào)：版本A：版次：生效日期：制定審核批準(zhǔn)日期日期日期文件更改履歷表修訂版次更改性質(zhì)、內(nèi)容、摘要修訂頁(yè)次修訂日期文件會(huì)簽：擬案單位于□內(nèi)“√”以示回簽部門總經(jīng)理管理者代表市場(chǎng)部工程部制造部品保部物控部設(shè)備部管理部財(cái)務(wù)部采購(gòu)部研發(fā)部此文件為江西華浩源電子科技有限公司之機(jī)密文件，未經(jīng)許可，不得復(fù)印。發(fā)行管制章發(fā)行管制章XXXXXX電子科技有限公司 蝕刻線崗位操作規(guī)范制作單位：文件編號(hào)：生效日期：版本號(hào)：總頁(yè)數(shù)：第1頁(yè)共6頁(yè)1.0目的：規(guī)范員工操作,提高員工的操作技能。2.0適用范圍：本規(guī)程只適用本公司蝕刻工序的D.E.S線。3.0工藝流程3.1顯影段：撕聚酯膜→入板顯影1#/2#→高壓水洗1#2#3#4#→市水洗1#→冷風(fēng)干→熱風(fēng)干→收板→自檢3.2蝕刻段：入板→蝕刻1#2#3#→高壓水洗5#6#7#→市水洗2#→檢查3.3去膜段：入板→去膜1#2#→高壓水洗8#9#10#→市水洗3#→鈍化1#2#3#→高壓水洗11#12#→市水洗4#→冷風(fēng)干→熱風(fēng)干→出板4.0工藝參數(shù)曝光能量與顯影參數(shù)對(duì)照表類別曝光能量顯影溫度顯影速度藥水濃度備注線路5級(jí)28℃1.2-1.5m/minPH值10.4-1130℃1.3-1.6m/minCO32-8-15g/L32℃1.5-1.8m/min線路6級(jí)28℃1.3-1.5m/minPH值10.4-1130℃1.4-1.6m/minCO32-8-15g/L32℃1.6-1.8m/min線路7級(jí)28℃1.3-1.5m/minPH值10.4-1130℃1.5-1.7m/minCO32-8-15g/L32℃1.6-1.8m/min油墨7級(jí)28℃**m/minPH值10.4-11不準(zhǔn)生產(chǎn)30℃0.9-1.1m/minCO32-8-15g/L只限于BGA產(chǎn)品32℃1.0-1.2m/min油墨8級(jí)28℃0.8-1.0m/minPH值10.4-11只限于BGA產(chǎn)品30℃0.8-1.0m/minCO32-8-15g/L只限于BGA產(chǎn)品32℃1.0-1.2m/min油墨9級(jí)28℃**m/minPH值10.4-11不準(zhǔn)生產(chǎn)30℃0.7-0.9m/minCO32-8-15g/L只限于BGA產(chǎn)品32℃0.8-1.0m/min油墨10級(jí)28℃**m/minPH值10.4-11不準(zhǔn)生產(chǎn)30℃0.7-0.9m/minCO32-8-15g/L32℃0.8-1.0m/min油墨11級(jí)28℃**m/minPH值10.4-11不準(zhǔn)生產(chǎn)30℃0.6-0.8m/minCO32-8-15g/L32℃0.8-1.0m/min油墨12級(jí)30℃0.8-1.0m/minPH值10.4-11帶阻焊橋的產(chǎn)品32℃0.9-1.1m/minCO32-8-15g/L蝕刻線崗位操作規(guī)范制作單位：文件編號(hào)：生效日期：版本號(hào)：總頁(yè)數(shù)：第4頁(yè)共6頁(yè)5.4接板5.4.1戴棉手套或指套雙手對(duì)角拿板,將板平整的放綠板上，注意拿板位置盡量拿板邊緣。5.4.2將生產(chǎn)板與綠膠片擺放整齊。5.4.3連續(xù)生產(chǎn)時(shí)，一旦發(fā)現(xiàn)出板不連續(xù)必須立即查看蝕刻機(jī)是否在卡板。如果出現(xiàn)卡板，立即按下紅色的急停按扭，由領(lǐng)班或儲(chǔ)干輕輕取出所卡之板，如取出所卡之板需拿出輸送輪、軸時(shí)，要由領(lǐng)班或儲(chǔ)干拿出，并做好記號(hào)，按原位裝回，不得調(diào)亂位置。5.5關(guān)機(jī)5.5.1將各水洗槽的進(jìn)水閥門關(guān)閉，最后關(guān)閉總水閥。5.5.2按開(kāi)機(jī)相反順序關(guān)機(jī)。6.0注意事項(xiàng)6.1添加物料時(shí)必須戴膠手套及防護(hù)眼罩、防酸圍裙和水鞋(如圖1)。6.2機(jī)器卡板時(shí)必須立即按下紅色的急停按扭使機(jī)器停下后再開(kāi)蓋取板(如在藥水缸處卡必須戴好防護(hù)用具再開(kāi)蓋取板，取出后即刻將板清洗干凈)。6.3入料時(shí)應(yīng)盡量使板位于機(jī)器中間位置,以保證受噴灑位置最好。6.4入料時(shí)板與板間距應(yīng)在10cm以上,寬度應(yīng)在530mm以內(nèi)，防止出現(xiàn)卡板（特別是單面板）。6.5銅厚0.5OZ以下的單面板必須帶回形框或載板過(guò)機(jī)。6.6蝕刻鋼片時(shí)必須在顯影后轉(zhuǎn)絲印用110℃烘烤12min,然后再蝕刻。6.7接板人員必須戴綿手套或指套作業(yè),并將板放整齊。6.8每批板批量生產(chǎn)前必須先做首板,首板張數(shù)等于菲林?jǐn)?shù)(曝光、顯影、蝕刻時(shí)每批每次只蝕刻2PNL)，待首板OK后，再量產(chǎn)。6.9在每班生產(chǎn)前必須通知化驗(yàn)室分析藥水及測(cè)量各藥水缸溫度。6.10蝕刻線生產(chǎn)時(shí)顯影必須自檢，蝕刻后必須抽檢。6.11生產(chǎn)線藥水添加時(shí)必須有領(lǐng)代班、主管或工程師在場(chǎng)確認(rèn)，避免意外事件發(fā)生。6.12如發(fā)生藥水泄漏、火災(zāi)等異常時(shí),請(qǐng)按《緊急應(yīng)變措施辦法(QCW091)》處理。6.13顯影換缸時(shí)，先加水到液位再加碳酸鉀，保養(yǎng)時(shí)先加水開(kāi)啟循環(huán)后再加氫氧化鈉并手動(dòng)攪拌，以免氫氧化鈉結(jié)成塊。7.0維護(hù)保養(yǎng)7.1.1每班對(duì)機(jī)身及機(jī)臺(tái)清潔一次。7.1.2每2小時(shí)檢查各壓力,溫度液及噴嘴是否正常,并使之正常。7.1.3每2小時(shí)檢查顯影,去膜段消泡是正常，每次補(bǔ)加消泡劑300ml稀釋成1000ml后加入。7.1.4每2小時(shí)用清水（DI水）清洗吸水棉轆一次。7.1.5每班檢查傳送鏈條及輸送輪轉(zhuǎn)動(dòng),儀表是否正常,是否需加潤(rùn)滑油。7.1.6每班清潔蝕刻藥水箱過(guò)濾袋一次。7.1.7每班清潔去膜的干膜渣一次。7.1.8每三天更換顯影段的水洗缸一次，換水時(shí)用碎布擦洗缸壁。7.1.9每三天對(duì)蝕刻、去膜、鈍化的水缸更換水洗一次。7.1.10每三天對(duì)全線的棉芯及水泵過(guò)濾網(wǎng)清潔一次。7.1.11每周全線的棉過(guò)濾芯更換一次。7.1.12每周烘干段風(fēng)機(jī)空氣濾棉反吹清潔一次(需設(shè)備組配合,如太臟需更換）蝕刻線崗位操作規(guī)范制作單位：文件編號(hào)：生效日期：版本號(hào)：總頁(yè)數(shù)：第5頁(yè)共6頁(yè)7.2設(shè)備的保養(yǎng)7.2.1顯影段保養(yǎng)（半個(gè)月一次）7.2.1.1排掉缸內(nèi)的藥水和水。7.2.1.2用清水清洗缸壁，必須清除污物、沉淀及結(jié)晶體，清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.1.3加水至液位，加1桶（25kg）氫氧化鈉（NaOH），噴淋循環(huán)1-2小時(shí)后排掉。7.2.1.4加清水，開(kāi)啟噴淋30分鐘后排掉。7.2.1.5加水至液位，加2桶硫酸，噴淋循環(huán)1-2小時(shí)后排掉。7.2.1.6加水噴淋30min排掉，拆下噴嘴清洗，安裝（保證噴嘴成“一”型）調(diào)整擺架7.2.1.7所有廢液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理7.2.1.8加水至液位，加8kgK2CO3，循環(huán)升溫。7.2.1.9各水洗缸排掉原水后按7.2.1.2—7.2.1.6流程保養(yǎng)，但是氫氧化鈉及硫酸都是用5%，具體添加量由各缸的體積來(lái)決定，而無(wú)噴嘴段的滾輪要用高壓水槍沖洗。7.2.1.10風(fēng)干段的滾輪要取出清洗（需設(shè)備組協(xié)助，取出時(shí)做好順序標(biāo)記，按原位裝回）。風(fēng)刀用壓縮空氣進(jìn)行清潔。7.2.1.11保養(yǎng)好后，要檢查各滾輪運(yùn)行是否正常，確保無(wú)誤后方可進(jìn)行生產(chǎn)。（顯影缸體上的油墨殘?jiān)?，在用堿進(jìn)行循環(huán)前先用洗網(wǎng)水擦干凈）。7.2.2蝕刻段保養(yǎng)（每2個(gè)月一次）7.2.2.1將蝕刻液用桶裝起來(lái)。7.2.2.2用水清洗缸體內(nèi)的雜質(zhì)及沉淀后排掉，清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.2.3用5%的氫氧化鈉（NaOH）循環(huán)1-2小時(shí)后排掉，再加清水循環(huán)15分鐘后排掉，氫氧化鈉清洗液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.2.4用5%的鹽酸循環(huán)30分鐘后排掉，再加清水循環(huán)15分鐘后排掉，鹽酸清洗液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.2.5拆下噴嘴清洗疏通，安裝噴嘴調(diào)整為“一”字型。7.2.2.6將藥水抽回缸里循環(huán)升溫。7.2.2.7對(duì)于水洗缸排掉原水后按7.2.2.2-7.2.2.5進(jìn)行保養(yǎng)，而噴灑不到的滾輪要用高壓水槍沖洗干凈。7.2.2.8保養(yǎng)好后，要檢查各滾輪運(yùn)行是否正常，確保無(wú)誤后方可進(jìn)行生產(chǎn)。7.2.3去膜段保養(yǎng)（1個(gè)月一次）7.2.3.1排掉原液，加清水循環(huán)20分鐘排掉，。7.2.3.2去膜缸及其水洗缸：用5%的硫酸循環(huán)1-2小時(shí)后排掉，再加清水循環(huán)半小時(shí)后排掉。7.2.3.3鈍化缸及其水洗缸：用5%的氫氧化鈉（NaOH）循環(huán)1-2小時(shí)后排掉，再用5%的硫酸循環(huán)半小時(shí)后排掉。7.2.3.4所有廢液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理7.2.3.5風(fēng)干段的滾輪要取出清洗（需設(shè)備組協(xié)助，取出時(shí)做好順序標(biāo)記，按原位裝回）7.2.3.6保養(yǎng)好后，要檢查各傳送輪運(yùn)行是否正常，有無(wú)不轉(zhuǎn)或跳動(dòng)，確保無(wú)誤后方可進(jìn)行生產(chǎn)。蝕刻線崗位操作規(guī)范制作單位：工藝部文件編號(hào)：生效日期：版本號(hào)：總頁(yè)數(shù)：第6頁(yè)共6頁(yè)8.0異常問(wèn)題與對(duì)策顯影不凈1.溫度過(guò)低。2.速度過(guò)快。3.噴嘴堵塞。4.預(yù)烘時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。5.藥液濃度過(guò)低。6.曝光能量過(guò)高。7.壓力過(guò)低。8.油墨過(guò)厚。9.菲林擦花或粘有油墨。1.檢查加熱管是否正常，提高溫度。2.調(diào)慢速度。3.清洗噴嘴。4.減少預(yù)烘時(shí)間。5.分析調(diào)整或換缸。6.降低曝光能量。7.調(diào)整壓力。8.減慢顯影速度。9.檢查菲林。顯影過(guò)度1.溫度過(guò)高。2.速度太慢。3.藥水濃度偏高。4.壓力過(guò)大。5.預(yù)烘時(shí)間短。6.曝光能量低。7.油墨太薄。1.調(diào)整溫度。2.調(diào)快速度。3.加水調(diào)整濃度。4.減小壓力。5.加長(zhǎng)預(yù)烘時(shí)間。6.增加曝光能量。7.加快顯影速度。欠蝕刻1.溫度過(guò)低。2.蝕刻速度過(guò)快。3.藥液濃度過(guò)低。4.噴嘴堵塞。5.壓力過(guò)低。6.板面有銅粒/膠。7.顯影不凈。8.銅后度不均。1.調(diào)整溫度。2.調(diào)慢速度。3.按藥水最佳值添加。4.清洗疏通噴嘴。5.調(diào)整壓力。6.貼膜前處理銅面。7.調(diào)整顯影參數(shù)。8.鍍銅控制其厚度。過(guò)蝕刻1.溫度過(guò)高。2.蝕刻速度過(guò)慢。3.藥水濃度偏高。4.壓力過(guò)大。1.調(diào)