(高清版)GBT 25915.14-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第14部分：按粒子濃度評估設(shè)備適用性

國家市場監(jiān)督管理總局國家標準化管理委員會I Ⅲ IV 1 1 1 2 3 3 88設(shè)備的潔凈室適用性的表述 Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導(dǎo)則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定本文件是GB/T25915《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》的第14部分。GB/T25915已經(jīng)發(fā)布了以下——第8部分：按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度(A—第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級；本文件等同采用ISO14644-14:2016《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第14部分：按粒子濃度評估設(shè)備適VGB/T25915采用ISO14644系列國際標準，各部分設(shè)置與國際標準保持一致，擬由15個部分 1下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級3術(shù)語和定義空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設(shè)計、建造到運行均使進入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子2空氣懸浮粒子計數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子a)進行評估前，用戶及測試方對GB/T25915.1中規(guī)定的空氣潔凈度等級及關(guān)注的粒徑范圍達c)目視檢查(見第5章)。d)應(yīng)采用第6章中的步驟進行測試，以便根據(jù)GB/T25915.1進行空氣潔凈度分級。e)進行測量(見6.2)。g)結(jié)論應(yīng)包括設(shè)備在潔凈室的適用性。應(yīng)按要求進行描述(見第8章)。B.4中描述的方法可用于確定設(shè)備總釋放速率。該方法提供的數(shù)據(jù)可用于確定潔凈室的粒子34因素875——懸浮粒子濃度：測試環(huán)境的空氣潔凈度等級至少優(yōu)于其應(yīng)用目標等級一個級別(由 初步識別HPC位置后，使用采樣流量至少為28.3L/min、采樣探頭開口面積為20cm2的6關(guān)注的、與產(chǎn)品處理有關(guān)的測點位置。按6.2.7規(guī)定的方法，使用LSAPC在所選擇的位置處測量粒子濃度。適用性測量應(yīng)記錄下列參數(shù)：——設(shè)備的運行模式；——被測設(shè)備的位置：——初步和精確定位的HPC位置；——關(guān)注的其他測點(如產(chǎn)品關(guān)鍵部位); LSAPC采樣探頭的位置；——需要評估的粒徑檔；——單個測點處連續(xù)采樣次數(shù)，應(yīng)不少于100個。應(yīng)使用下述步驟，對6.2.8獲得的粒子濃度數(shù)據(jù)進行處理。由6.2.8獲得的特定粒徑檔的粒子濃度數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。當單次測量的均值x>10.000時，應(yīng)使用步驟a)(見6.2.9.2)。當測量的均值r≤10.000時，應(yīng)使用步驟b)(見6.2.9.3)。使用公式(1)計算粒子數(shù)量的均值： (1)式中：n——采樣數(shù)；xi,——粒徑檔i的第n個單次測量讀數(shù)。使用公式(2)計算標準偏差： (2)式中：5——標準偏差；xi,n——粒徑檔i的第n個單次測量讀數(shù)；應(yīng)使用公式(3)來計算置信區(qū)間上限值： (3)式中：P.置信度(1-a)=95%時的置信上限；7——均值1.66——t分布系數(shù)。應(yīng)使用公式(4)計算z值：若z>1.645,則說明置信度為95%時懸浮粒子濃度未超過等級限值G?；贕B/T25915.1的潔凈度等級ISON的等級限值G(潔凈度等級ISON級中關(guān)注粒徑檔的最大允許粒子濃度),將用于6.2.10中的評估。若測試結(jié)果的均值x≤10,則使用表1泊松分布來確定置信上限。置信上限P.01234567898在進行潔凈室適用性評估(見第8章)時，應(yīng)選擇特定粒徑檔的最大等級數(shù)ISON(見91)對雙方達成一致的粒徑檔進行測試；2)對測試環(huán)境進行潔凈度分級；3)對采樣探頭及其朝向進行描述；4)采樣位置。2)靜電及離子發(fā)生測試的方法描述及結(jié)果；3)粒子沉降測試的方法描述及結(jié)果。2)相對濕度，3)平均風速，——測量6個粒徑檔；110000023311393:::000000000000對于ISO3級和粒徑≥0.1μm,每次采樣28.3L時的粒子數(shù)量限值G為28(見表A.3)。因為計算值z=0.05,這不滿足置信度水平的要求(z≥1.645),所以不適用于ISO3級(見因為計算值z=37.49[見公式(A.4)],這滿足置信度水平的要求(z≥1.645),所以適用于ISO4級根據(jù)之前的測試示例，粒徑≥0.2μm的粒子數(shù)量均值為7.39,該值小于10。根據(jù)泊松統(tǒng)計分布理論，應(yīng)根據(jù)表A.4計算不超過給定潔凈度等級限值G的概率。表A.4給出了置信上限為P.=12。不超過限值的概率≥95%。根據(jù)之前的測試示例，粒徑≥5.0μm的粒子均值為0.90,該值小于10。根據(jù)泊松統(tǒng)計分布理論，應(yīng)根據(jù)表A.4計算不超過給定潔凈度等級限值G的概率。表A.4給出了置信上限為P.=3。不超過限值的概率≥95%?；贕B/T25915.1—2021分級體系的評估為了基于GB/T25915.1—2021的分級體系進行評估，需考慮以下內(nèi)容：采樣量為28.3L,即0.0283m3,分別乘以GB/T25915.1—2021表1中的數(shù)字，可以得到表A.3中相應(yīng)的G值。表A.3計算得到的G值ISO級別N12表A.3計算得到的G值(續(xù))3456789注：根據(jù)GB/T25915.1,灰色區(qū)域表明粒徑范圍不適用于分級需要。置信上限P.0123456789(資料性)B.2在設(shè)備運行周期不同階段的評估粒子釋放隨時間的變化特性能描述成3個階段。a)磨合階段：當含有運行部件的設(shè)備開始啟動，粒子的釋放隨著時間而改變。通常釋放率會用一個或多個沉降皿進行粒子分布的沉降特性測試，并進行現(xiàn)場或線下前后的表面粒子潔凈度變化來表示結(jié)果(依據(jù)GB/T25915.9)。測試結(jié)果能用單位時間單位表面積上粒徑>Dμm的粒子數(shù)量表述。B.4.1一般要求總釋放速率測試方法適用于ISO6級～9級的非單向流潔凈室或潔凈區(qū)。總釋放速率測試方法不能識別包含HPC位置在內(nèi)的局部顆粒源，測試結(jié)果反映了一段時間內(nèi)粒被測設(shè)備及測試環(huán)境的目視檢查(見第5章)宜在測試之前進行。觀察時宜采取6.2.2規(guī)定的HPC位置識別類似要求。B.4.2測試環(huán)境測試環(huán)境宜提供潔凈的單向流(經(jīng)過HEPA或ULPA過濾器),或者背景濃度優(yōu)于設(shè)備目標應(yīng)用宜測試排風中粒子濃度。采集空氣量要盡可能保證測試結(jié)果具有B.4.3測試總釋放速率b)測試并記錄空態(tài)或靜態(tài)的背景濃度(記錄測點位置與濃度結(jié)果);c)測試非懸浮大粒子能采用沉降法(見B.3)。P=△C·QQ——空氣流量，單位為立方米每單位時間(m3/單位時間)。B.4.6粒子負荷的影響評估[1]GB/T25915.3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法[6]IEST-RP-CC002.3Unidirectional-flowc[7]IEST-RP-CC013.3Calibrationproceduresandgui[8]IEST-RP-CC026.2Clean[10]JISB9926Cleanroom—Testmethods[11]SEMIE49-1104(Reapproved1Performance,Subassemblies,andF[12]SEMIE137-0705(Reapproved1111)GuideforFinalAssetion,Unpacking,andRelocationofSemiconductorManufacturingEquipm