產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMS)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè) 第13部分:光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng) 征求意見稿_第1頁(yè)
產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMS)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè) 第13部分:光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng) 征求意見稿_第2頁(yè)
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6產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)(CMS)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)第13部分:光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)本文件規(guī)定了在測(cè)量制造商規(guī)定的長(zhǎng)度時(shí)驗(yàn)證光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)性能的驗(yàn)收檢測(cè),還規(guī)定了表面特性的測(cè)量?jī)x器(見GB/T33523所有部GB/T16857.1產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)或不一致性的判定規(guī)則(GB/T18779.1-2022,ISO14253-1metrology—BasicandgeneralconceptsandassociateGB/T16857.1、GB/T18779.1和ISO/IECGuide99界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)optical傳感器相對(duì)于工件不發(fā)生移動(dòng)時(shí)可達(dá)到的、符合制造商規(guī)定的空間測(cè)量范圍。7空間拼接測(cè)量范圍concatenate傳感器相對(duì)于工件移動(dòng)和配準(zhǔn)得到的、符合制造商規(guī)定的空間測(cè)量范圍。注2:?jiǎn)我晥D測(cè)量能包括重復(fù)測(cè)量,例如多次曝光,前提是從第一次曝光到最后一次曝光沒有光學(xué)傳感器相對(duì)于工探測(cè)形狀離散誤差probingformdispersionPForm.Sph.i:j:O3D注1:PForm.Sph.i:j:O3D中的符號(hào)“P”表示該誤差與探測(cè)系散誤差有關(guān);標(biāo)識(shí)“O3D”表示與光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)相關(guān)。標(biāo)識(shí)“i”表示用于評(píng)估的探測(cè)點(diǎn)的百分比:內(nèi)進(jìn)行的。此類符號(hào)的示例包括PForm.Sph.D95%:SMV.SV:O3D和PForm.Sph.ALL:SMV.MV:O3D。注3:剔除“All”數(shù)據(jù)集中5%的測(cè)量點(diǎn)以確定PForm.Sph.D95%:j:O3D。通過該操作能夠剔除異常值。8pSize.Sph.i:j:O3D對(duì)于所有測(cè)量數(shù)據(jù)的一定百分比,由未加權(quán)和無(wú)約束最小二乘法得到的擬合球與已校準(zhǔn)檢測(cè)球直注1:pSize.Sph.i:j:O3D中的符號(hào)“P”表示該誤差與探測(cè)系統(tǒng)性能有關(guān);標(biāo)識(shí)“Size.Sph”表示與球體的探測(cè)尺寸誤內(nèi)進(jìn)行的。此類符號(hào)的示例包括pSize.Sph.D95%:SMV.SV:O3D和pSize.Sph.ALL:SMV.MV:O3D。注2:95%和All這兩個(gè)百分比,都是根據(jù)額定工作條件所測(cè)得的點(diǎn)。當(dāng)這些條件包括預(yù)濾波或網(wǎng)格化等預(yù)處理時(shí),注3:探測(cè)尺寸誤差由傳感器的誤差(由噪聲、數(shù)字化、圖像失真、實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器表面的光照影響、校準(zhǔn)、不完善算DCC:j:O3D通過單視圖測(cè)量操作或多視圖測(cè)量操作,在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量已校準(zhǔn)的中心距的示值誤視圖測(cè)量;“SMV.MV”表示多視圖測(cè)量。在任何一種情況下,測(cè)量都是在傳感器空間測(cè)量范圍(“SMV”)內(nèi)進(jìn)行的。此類符號(hào)的示例包括DCC:SMV.SV:O3D和DCC:SMV.MV:O3D。平面形狀畸變誤差flat-formdistoDForm.Pla.i:j:O3D包含檢測(cè)平面上測(cè)量的所有數(shù)據(jù)一定百分比的兩個(gè)平行平面之間的最小表示與光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)相關(guān)。標(biāo)識(shí)“i”表示用于評(píng)估的探測(cè)點(diǎn)的百分比:“D95%”表示總體的95%;表示多視圖測(cè)量。在任何一種情況下,測(cè)量都是在傳感器空間測(cè)量范圍(“SMV”)示例包括DForm.Pla.D95%:SMV.SV:O3D和DForm.Pla.ALL:SMV.MV:O3D。注2:95%和All這兩個(gè)百分比,都是根據(jù)額定工作條件所測(cè)得的點(diǎn)。當(dāng)這些條件包括預(yù)濾波或網(wǎng)格化等預(yù)處理時(shí),空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的空間長(zhǎng)度測(cè)量誤差voconcatenatedmeasurementEVol:CMV.MV:O3D9標(biāo)識(shí)“CMV.MV”表示空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的多視圖測(cè)量;標(biāo)識(shí)“O3D”表示與光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)相關(guān)。探測(cè)形狀離散最大允許誤差maximumpermissibleprobingformdispersionePForm.Sph.i:j:O3D,MPE技術(shù)規(guī)范允許的PForm.Sph.i:j:O3D的極限值作為最大允許誤差。注:標(biāo)識(shí)“i”表示用于評(píng)估的探測(cè)點(diǎn)的百分探測(cè)尺寸最大允許誤差maximumpermissibleprobingsizePSize.Sph.i:j:O3D,MPE技術(shù)規(guī)范允許的PSize.Sph.i:j:O3D的極限值作為最大允許誤差。注:標(biāo)識(shí)“i”表示用于評(píng)估的探測(cè)點(diǎn)的百分畸變最大允許誤差maximumpermissibledisDCC:j:O3D,MPE技術(shù)規(guī)范允許的DCC:j:O3D的極限值作為最大允許誤差。平面形狀畸變最大允許誤差maximumpermissibleflat-formdistoDForm.Pla.i:j:O3D,MPE技術(shù)規(guī)范允許的DForm.Pla.i:j:O3D的極限值作為最大允許誤差。EVol:CMV.MV:O3D,MPE技術(shù)規(guī)范允許的EVol.CMV.MV:O3D的極限值作為最大允許誤差。concatenatedmeasurementEBi:CMV.MV:O3D注2:符號(hào)“E”表示誤差為空間長(zhǎng)度;標(biāo)識(shí)“Bi”表示包含了局部探測(cè)誤差(雙向探測(cè));標(biāo)識(shí)“CMV.MV”表雙向長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差maximumEBi:CMV.MV:O3D,MPE技術(shù)規(guī)范允許的EBi:CMV.MV:O3D的極限值作為最大允許誤差。PForm.Sph.i:j:O3DPSize.Sph.i:j:O3DDCC:j:O3DDForm.Pla.i:j:O3DEVol:CMV.MV:O3DEBi:CMV.MV:O3DPForm.Sph.i:j:O3D,MPEPSize.Sph.i:j:O3D,MPEDCC:j:O3D,MPEDForm.Pla.i:j:O3D,MPEEVol:CMV.MV:O3D,MPEEBi:CMV.MV:O3D,MPE5.1環(huán)境條件應(yīng)按如下規(guī)定:在這兩種情況下,用戶可以在允許極限值(坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)技術(shù)文件中提供)的范圍內(nèi)任用戶有責(zé)任為坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)提供制造商在技術(shù)5.2.1通則對(duì)于本文件中描述的所有檢測(cè),光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)制造商規(guī)定的額定操作條件和默認(rèn)注:坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定能包括一系列的調(diào)整和參數(shù)設(shè)置,例如與子系統(tǒng)組件中的幾何形5.2.2實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的材料和表面特性用于實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的材料應(yīng)由制造商說明。不同的材料具有不同的光學(xué)特性,如反射系數(shù)、透深度(體積散射)、顏色或散射特性,這些都能影響檢測(cè)值。相較于最大允許誤差,實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的材料、表面特性和顏色應(yīng)在向(潛在)用戶提供的儀器技術(shù)文件中予以物標(biāo)準(zhǔn)器的材料和/或表面特性沒有規(guī)定,則用戶可以如果技術(shù)文件中明確規(guī)定了特定的表面處理方法,例如使用粉末噴涂或類似方法,則在使用驗(yàn)收檢測(cè)或復(fù)檢檢測(cè)進(jìn)行合格判定前,每個(gè)實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的長(zhǎng)度都應(yīng)校準(zhǔn),并應(yīng)根據(jù)GB/T原始測(cè)量數(shù)據(jù)的預(yù)處理作為額定工作條件的一部分,應(yīng)在(潛在)用戶可用的儀器技術(shù)文件中予以預(yù)處理的影響能夠通過附錄F中描述的分辨力檢測(cè)來(lái)觀察。如果執(zhí)行分辨力檢測(cè),則應(yīng)使用相同的注1:由于用戶的關(guān)注或要求,用戶的規(guī)范能與制造商的規(guī)范相同或不同。例如,要驗(yàn)證的MP多視圖測(cè)量在進(jìn)行多視圖配準(zhǔn)時(shí),檢測(cè)人員應(yīng)按制造商操作手冊(cè)要求,物標(biāo)準(zhǔn)器上的參考特征和/或?qū)儆趯?shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的表面特征,這些特征被視為額定工作條件的一以驗(yàn)證探測(cè)性能、長(zhǎng)度測(cè)量性能和平面形狀測(cè)量性能。但在空光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的性能容易受到傳感器光學(xué)系統(tǒng)畸此類誤差在探測(cè)檢測(cè)或長(zhǎng)度測(cè)量誤差檢測(cè)中不太可能被檢測(cè)到,但在實(shí)際測(cè)量中能對(duì)形狀的測(cè)量該檢測(cè)的原理是在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi),確定光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)是否能在規(guī)定的畸變最大允許誤差范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。兩種評(píng)價(jià)特性:DCC:SMV.SV:O3D和DCC:SMV.MV:O3D。應(yīng)使用由兩個(gè)球體(例如球棒或球板)組成的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器,對(duì)實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的球心到球心距離進(jìn)行測(cè)Lp≥0.3×L00.02×L0≤?p≤0.2×L0L注1:為滿足6.2.2.3.1第一段中所述要求,對(duì)于某些位置如果在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)沿被測(cè)方向的最長(zhǎng)距離與最短距離之比大于3,則傳感器空間測(cè)量范圍包括8個(gè)相鄰且大小相似的子空間(體素)。圖1表示了傳感器空間測(cè)量范圍為的定位方式應(yīng)使兩個(gè)球體的每個(gè)可測(cè)量區(qū)域完全在一個(gè)體素——球體上至少25%的探測(cè)點(diǎn),到傳感器空間測(cè)量范圍邊緣的距離,不應(yīng)超過傳感器空間測(cè)量范圍為實(shí)現(xiàn)12種相對(duì)組合,可重新定位坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)與實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器之間的相對(duì)位置需輕微變化。每個(gè)球體位置變化的幅度應(yīng)大于2mm和傳感器117246353482524631734868975654536位置-1位置-2位置-3位置-5位置-6位置-7位置-9位置-10位置-11單視圖畸變測(cè)量應(yīng)按照制造商規(guī)定的操作程序進(jìn)行單次測(cè)量。單視圖畸變測(cè)量應(yīng)在坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量生成三個(gè)畸變誤差值DCC:SMV.MV:O3D。通過12個(gè)單視圖測(cè)量的組合每個(gè)球體至少一半應(yīng)被采集。下,可以使用附著在實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器上的參考特征和/或?qū)儆趯?shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的表面特征,進(jìn)行多視圖配準(zhǔn)和融制造商應(yīng)向用戶說明多視圖配準(zhǔn)和融合的操作細(xì)節(jié)并提供最佳實(shí)DCC:j:O3D是由球中心距的實(shí)測(cè)值和校準(zhǔn)值之間的差值得到,如附錄B所示。DCC:SMV.SV:O3D為36次單視圖測(cè)量中最大的畸變誤差。DCC:SMV.MV:O3D為3次多視圖測(cè)量中最大的畸變誤差。該誤差評(píng)估方法的原理是在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi),確定光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)是否能夠在規(guī)定的探測(cè)最大允許誤差內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。四種評(píng)價(jià)特性,如PForm.Sph.D95%:j:O3D,PForm.Sph.All:j:O3D,PSize.Sph.D95%:j:O3D和PSize.Sph.All:j:O3D。采用用于評(píng)估畸變誤差相同的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器,對(duì)圖1中球體1的形狀及尺寸進(jìn)行校準(zhǔn)作檢測(cè)球的尺寸(直徑)應(yīng)在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)最長(zhǎng)距離的2%-20%之間。在最長(zhǎng)距離大于等于2.5所有被檢測(cè)的系統(tǒng)應(yīng)符合坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)制造商的操作用于評(píng)估6.2.2.3中所述畸變誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)與用于評(píng)估探測(cè)誤差的測(cè)量只有在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)通過使用圖1中球1的球體進(jìn)行36次單視圖測(cè)量所得到的數(shù)據(jù)才能評(píng)價(jià)PX:SMV.SV:O3D。在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)通過圖1中球1的多視圖測(cè)量采集的數(shù)據(jù)應(yīng)用來(lái)注:來(lái)自95%和100%的檢測(cè)結(jié)果之間的差異能夠表征預(yù)先安裝的平滑濾波確定球殼體的厚度,該球殼體包含傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)獲得的所有測(cè)量點(diǎn)的指定百分比(95%或PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3D。對(duì)應(yīng)于100%的探測(cè)形狀離散誤差,單視圖測(cè)量為PForm.Sph.All:SMV.SV:O3D,多視圖測(cè)量的為PForm.Sph.All:SMV.MV:O3D。檢測(cè)球直徑的測(cè)量值與校準(zhǔn)值之間的差值可得到95%的對(duì)應(yīng)誤差,多視圖測(cè)量PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D,單視圖測(cè)量PSize.Sph.D95%:SMV.SV:O3D(可選)。檢測(cè)球直徑的測(cè)量值與校準(zhǔn)值之間的差值可得到100%對(duì)應(yīng)的誤差,多視圖測(cè)量PSize.Sph.All:SMV.MV:O3D,單視圖測(cè)量PSize.Sph.All:SMV.SV:O3D(可選)。平面形狀畸變誤差檢測(cè)的原理是在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi),確定光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)是否能夠在規(guī)定的最大允許誤差內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。四個(gè)評(píng)價(jià)特性,如DForm.Pla.D95%:SMV.SV:O3D,DForm.Pla.D95%:SMV.MV:O3D,DForm.Pla.All:SMV.SV:O3D和DForm.Pla.All:SMV.MV:O3D。寸應(yīng)如下:——長(zhǎng)邊:至少是傳感器空間測(cè)量范圍中最長(zhǎng)距合處理,然后進(jìn)行評(píng)價(jià)。如果檢測(cè)的是單視圖測(cè)應(yīng)特別注意由于重力影響或支承設(shè)計(jì)限制可能引起的檢測(cè)平面撓曲,特別是在要求尺寸較大的檢光學(xué)傳感器的位置和方向能對(duì)檢測(cè)結(jié)果有很大影響。建議在檢測(cè)過程中將光學(xué)傳感器設(shè)置在多個(gè)點(diǎn)不應(yīng)剔除。自動(dòng)或手動(dòng)數(shù)據(jù)剔除不應(yīng)被誤用來(lái)抑制噪聲或異常值,并且在檢測(cè)MPE時(shí)不必使用全局濾制造商可以自行決定,為特殊操作條件(例如指定的濾波)指定額外的位置-1位置-2位置-3位置-5位圖2每個(gè)都顯示在兩個(gè)不同的視圖中傳感器空在六個(gè)位置得到的95%的對(duì)應(yīng)誤差為單視圖測(cè)量的平面形狀畸變誤差DForm.Pla.D95%:SMV.SV:O3D。通過六個(gè)位置的配準(zhǔn)和融合得到的所有測(cè)量點(diǎn)95%的對(duì)應(yīng)誤差是多視圖測(cè)量的平面形狀畸變誤差DForm.Pla.D95%:SMV.MV:O3D。DForm.Pla.All:SMV.SV:O3D。通過六個(gè)位置的配準(zhǔn)和融合得到的所有測(cè)量點(diǎn)計(jì)算出的100%的對(duì)應(yīng)誤差就是多視圖測(cè)量的平面形狀畸變誤差DForm.Pla.All:SMV.MV:O3D。該誤差評(píng)估方法的原理是通過比較已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度的校準(zhǔn)值和示值,確定光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)在空間拼接測(cè)量范圍內(nèi),是否能夠在規(guī)定的空間拼接測(cè)量范圍的空間長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差EVol:CMV.MV:O3D,MPE范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。默認(rèn)情況下,除非制造商另有說明,空間拼接測(cè)量范圍的大小被確定為完全封裝在空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的最長(zhǎng)直線距離大于完全封裝在傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)的最長(zhǎng)直線或者使用一個(gè)作為依次配準(zhǔn)傳感器空間測(cè)量范圍的一部分而構(gòu)建的公共坐標(biāo)系。制造商應(yīng)說明空間拼注:完全封裝在空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)或傳感器空間測(cè)量范圍內(nèi)的最長(zhǎng)在空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)沿著實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的測(cè)量線方向,每個(gè)位置的最長(zhǎng)檢測(cè)長(zhǎng)度應(yīng)至少為最大可制造商應(yīng)規(guī)定已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度的CTE的上限和下限(下限可選)。制造商可以校準(zhǔn)已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度如果已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度不是由常規(guī)的CTE材料制成的,則相應(yīng)的E值需用星號(hào)(*)標(biāo)明,并應(yīng)給出校準(zhǔn)例如:EVol:CMV.MV:O3D,MPE**殷鋼材料的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的CTE不大于0.5×10-6K-1,CTE的擴(kuò)展不確定度(k=2)不大于0.3×10-6K-1。如果制造商對(duì)EVol:CMV。MV:O3D,MPE規(guī)范要求的CTE不大于2×10-6K-1,則應(yīng)增加測(cè)量常規(guī)CTE材料制成的已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度。常規(guī)CTE材料檢測(cè)長(zhǎng)度應(yīng)大這種額外的檢測(cè)應(yīng)在空間測(cè)量范圍的中心進(jìn)行,并重復(fù)三次。制造商可以校準(zhǔn)這個(gè)檢測(cè)長(zhǎng)度的通過算術(shù)調(diào)整低CTE檢測(cè)長(zhǎng)度,從而能夠得出符合GB/T16857.2-2017中附錄D要求的常規(guī)CTE材料檢測(cè)長(zhǎng)度的行為。但認(rèn)為該已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度仍然被認(rèn)為具有較低的CTE,且符合此條款的按照制造商規(guī)定的操作程序設(shè)置和標(biāo)定光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)。這包括使用標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)器對(duì)光學(xué)三件功能,可以自動(dòng)剔除;如果這是額定工作條件中規(guī)定的操作程序,則可以手動(dòng)剔除。所有其他測(cè)量點(diǎn)注1:數(shù)據(jù)剔除可能需要特定的知識(shí),例如光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的特性制造商可自行決定,為特殊操作條件(例如指定的濾波)指定額外對(duì)于使用已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度執(zhí)行的每個(gè)測(cè)量,獲得3個(gè)測(cè)量結(jié)果。關(guān)于特定類型檢測(cè)長(zhǎng)度的組合程序空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的空間長(zhǎng)度測(cè)量應(yīng)由制造商配置的單視圖測(cè)量組合進(jìn)行,并在操作手冊(cè)或用能在檢測(cè)之前或與檢測(cè)時(shí)在空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行配準(zhǔn),配準(zhǔn)方式可能與6.2.2.3.3中使用的不同。允許使用1)或2)中描述的任何一種或兩種參考特征,但用戶復(fù)現(xiàn)檢測(cè)所需的信息需在操作手冊(cè)或同等可訪問的文檔中說明:1)制造商推薦的在實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器上或其附近粘貼具有特定形狀的標(biāo)記或2)制造商推薦的屬于實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器或位于實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)制造商應(yīng)向用戶披露拼接配準(zhǔn)的操作細(xì)節(jié)并提供最佳實(shí)如果檢測(cè)的是無(wú)全局坐標(biāo)系的光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng),能夠采用附錄C規(guī)定的繞行拼接路徑來(lái)評(píng)估圖3-實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器在評(píng)估中的位置示例:必需的4個(gè)對(duì)角線位置1234567注:對(duì)于本表中的規(guī)格,坐標(biāo)系(X,Y,Z)中空間測(cè)量范圍的對(duì)角假設(shè)為(0,0,0)和(1,1,1)。通過所有105次測(cè)量可獲得空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的空間長(zhǎng)度誤差EVol:CMV.MV:O3D。EVol:CMV.MV:O3D為中心到中心距離的測(cè)量值與校準(zhǔn)值之差,如B.2所述。如果坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)有附加裝置(包括第三方軟件),已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度的示值可使用系統(tǒng)或熱誤差),——100%總體(用“All”表示)的探測(cè)形狀離散誤差pForm.Sph.All:j:O3D不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差pForm.Sph.All:j:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度,其中“j”表示“SMV.SV”——95%總體的探測(cè)形狀離散誤差pForm.Sph.D95%:j:O3D不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差——如適用,100%總體(用“All”表示)的探測(cè)尺寸誤差pSize.Sph.All:SMV.SV:O3D的絕對(duì)值不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差pSize.Sph.All:SMV.SV:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度?!?00%總體(用“All”表示)的探測(cè)尺寸誤差pSize.Sph.All:SMV.MV:O3D的絕對(duì)值不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差pSize.Sph.All:SMV.MV:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度?!邕m用,95%總體的探測(cè)尺寸誤差pSize.Sph.D95%:SMV.SV:O3D的絕對(duì)值不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差pSize.Sph.D95%:SMV.SV:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度?!?5%總體的探測(cè)尺寸誤差pSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D的絕對(duì)值不大于由制造商規(guī)定并的最大允許誤差pSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度?!冋`差DCC:j:O3D的絕對(duì)值不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差DCC:j:O3D,MPE,按GB/T18779.1——100%總體(用“All”表示)的平面形狀畸變誤差DForm.P許誤差DForm.Pla.All:j:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度,其中“j”表示“SMV.SV”和“SMV.MV”?!?5%總體的平面形狀畸變誤差DForm.Pla.D95%:j:O3D不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差DForm.Pla.D95%:j:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度,其中“j”表示“SMV.SV”和“SMV.MV”?!臻g拼接測(cè)量范圍內(nèi)的空間長(zhǎng)度測(cè)量誤差EVol:CMV.MV:O3D不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差EVol:CMV.MV:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度?!邕m用,空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差EBi:CMV.MV:O3D不大于由制造商規(guī)定的最大允許誤差EBi:CMV.MV:O3D,MPE,按GB/T18779.1的規(guī)定考慮其測(cè)量不確定度。..................PForm.Sph.All:SMV.SV:O3DPFormSphAll:SMVMV:O3DPForm.Sph.D95%:SMV.SV:O3PFormSphD95%:SMVMV:OPSize.Sph.All:SMV.SV:O3DPSizeSphAll:SMVMV:O3DPSize.Sph.D95%:SMV.SV:O3DPSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3DForm.Pla.All:SMV.SV:O3DDForm.Pla.All:SMV.MV:O3DDForm.Pla.95%:SMV.SV:O3DDForm.Pla.95%:SMV.MV:O3DEVol:CMVSV:O3DEBi:CMV.MV:O3D7.1.1.5空間拼接測(cè)量范圍內(nèi)的空間長(zhǎng)按照6.4要求的35組長(zhǎng)度測(cè)量誤差中,最多5組,3次重復(fù)中可最多1次(且不超過1次)超出合格范圍。每個(gè)超出合格范圍的測(cè)量應(yīng)在相應(yīng)方位重14253-1的規(guī)定考慮測(cè)量不確定度,還不大于相應(yīng)的最大允許誤差,則認(rèn)為光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量測(cè),可用于驗(yàn)證光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的探測(cè)和長(zhǎng)度測(cè)量性能是否符合由制造商和用戶一致同意的最在組織內(nèi)部的質(zhì)量保證體系中,本文件所給出的復(fù)檢檢測(cè)能用于驗(yàn)證光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的探在組織內(nèi)部的質(zhì)量保證體系中,能定期使用簡(jiǎn)化的復(fù)檢檢測(cè)來(lái)驗(yàn)證坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)是否滿足最大允許誤差的要求。根據(jù)評(píng)估中的實(shí)際測(cè)量的數(shù)據(jù),本文件所規(guī)定的光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的期間核范圍可以減少。建議對(duì)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè),以及在發(fā)生本文件中使用的符號(hào)不適合用于產(chǎn)品文件、圖紙、數(shù)據(jù)頁(yè)等。表3給出了對(duì)應(yīng)...,.,...,.,PForm.Sph.i:j:O3DPSize.Sph.i:j:O3DDCC:j:O3DPForm.Pla.i:j:O3DEVol:CMV.MV:O3DEBi:CMVMV:O3DPFormSphi:j:O3DMPEPSize.Sph.i:j:O3D,MPEDCC:j:O3D,MPEDForm.Pla.i:j:O3D,MPEEVol:CMVMV:O3DMPEEBi:CMV.MV:O3D,MPE本附錄描述了雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差的處理程序,對(duì)光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的雙向長(zhǎng)度測(cè)量性能進(jìn)行本附錄中描述的雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差是為了與GB/T16857系列其他部分的性能進(jìn)行比較評(píng)估。由于A.2雙向長(zhǎng)度測(cè)量檢測(cè)結(jié)果處理時(shí),則不應(yīng)根據(jù)溫度或其他補(bǔ)償來(lái)手動(dòng)修改計(jì)算機(jī)輸出的檢測(cè)在圖表中繪制所有的誤差(EBi:CMV.MV:O3D的值),與EBi:CMV.MV:O3D,MPE的圖表(見GB/T16857.1-2002A2.2基于點(diǎn)云的雙向長(zhǎng)度測(cè)量誤差綜合分析EBi:CMV.MV:O3D是根據(jù)拼接測(cè)量范圍的空間長(zhǎng)度測(cè)量誤差EVol:CMV.MV:O3D,再加上基于點(diǎn)云的探測(cè)形狀離散誤差PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3D和探測(cè)尺寸誤差PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D計(jì)算得出的,計(jì)算公式如下:EVol:CMV.MV:O3D+PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D>0則EBi:CMV.MV:O3D具有一個(gè)上限,能用于合格判定。即EBi:CMV.MV:O3D<EVol:CMV.MV:O3D+PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D+PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3DEVol:CMV.MV:O3D+PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D=0則EBi:CMV.MV:O3D具有上限和下限,能用于合格判定。即EBi:CMV.MV:O3D<PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3D和EBi:CMV.MV:O3D>-PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3DEVol:CMV.MV:O3D+PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D<0則EBi:CMV.MV:O3D具有一個(gè)下限,能用于合格判定。即EBi:CMV.MV:O3D>EVol:CMV.MV:O3D+PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D-PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3D針對(duì)105個(gè)待檢測(cè)長(zhǎng)度采集PForm.Sph.D95%:SMV.MV:O3D和PSize.Sph.D95%:SMV.MV:O3D并計(jì)算一次。A.3在產(chǎn)品文件和數(shù)據(jù)頁(yè)中注明它們被適當(dāng)?shù)卣{(diào)整(見本附錄描述),得到本文件中所述的測(cè)量程序獲得的已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度被設(shè)計(jì)用來(lái)探測(cè)三種類型的坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)誤差:1)與坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)長(zhǎng)度測(cè)量相關(guān)的幾何誤差和熱誤差;2)如果進(jìn)行了涉及表面測(cè)定的雙向測(cè)量,由坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)固有系統(tǒng)誤差和用于改變光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)位置的功能(如果適用)引起的尺寸誤差;在坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的額定工作條件下,在測(cè)量面上測(cè)得的如,適用端到端交疊)而形成一個(gè)長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)器,或其它基于激光長(zhǎng)度類型的標(biāo)準(zhǔn)器。在后一種情況下,沒激光干涉儀所指示的距離相比對(duì),應(yīng)確保用步距規(guī)可以測(cè)量長(zhǎng)度“A”到“B”和“A”到“C”,干涉儀可以測(cè)量從初始位置到一系列后續(xù)位置(每對(duì)激光干涉儀來(lái)說,用于提供已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度的每個(gè)位移的初始位置都應(yīng)重新測(cè)量。B.2.2球板或球棒通過點(diǎn)云用于球心到經(jīng)校準(zhǔn)的激光干涉儀和測(cè)量面能實(shí)現(xiàn)中心到中心測(cè)量結(jié)果;測(cè)量面可能是平測(cè)量包括用激光干涉儀測(cè)量坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)所測(cè)量的測(cè)量面的位移。測(cè)量面與激光干涉儀的反射鏡對(duì)于每個(gè)長(zhǎng)度(每條測(cè)量線),測(cè)量已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度三次,并記錄通過獲得步距規(guī)的測(cè)量線與各自測(cè)量平面的高斯擬合平面之間的交點(diǎn),可使用已校準(zhǔn)的步距規(guī)進(jìn)對(duì)于每個(gè)長(zhǎng)度(每條測(cè)量線),測(cè)量已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度三次,并記錄中心到中心的測(cè)量能使用經(jīng)校準(zhǔn)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(通常是經(jīng)校準(zhǔn)的笛卡爾式坐標(biāo)測(cè)量機(jī))和附在坐標(biāo)應(yīng)詳細(xì)說明用于組成已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的可溯源性,如依據(jù)GB/T246注1:對(duì)于依據(jù)GB/T16857.2校準(zhǔn)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)作為本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度的使本附錄中描述的程序僅適用于未使用全局坐標(biāo)系的坐標(biāo)考慮一個(gè)三角形式且每邊有六個(gè)等距球體的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)器用于長(zhǎng)度拼接測(cè)量,其頂點(diǎn)分別標(biāo)記為A,則能由于路徑的不同而導(dǎo)致示值誤差的明顯不同。本附錄中描述注1:全局坐標(biāo)系能夠通過多種技術(shù)建立,例如:注2:如果檢測(cè)人員或檢測(cè)委托方?jīng)]有關(guān)于待測(cè)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)是否使用于驗(yàn)證光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)長(zhǎng)度測(cè)量性能的典型已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度,能由六個(gè)或更多等距球面六個(gè)或更多的線性等距排列的球面要素、以及在已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度之外用于創(chuàng)建部分繞行路徑的未校準(zhǔn)圖C.1所示為由六個(gè)線性等距排列的球形要素組成的標(biāo)準(zhǔn)器圖C.1常規(guī)拼接路徑示例:由六個(gè)線性等距排列的球形A,DCV-B,DCV-C1和DCV-C2來(lái)實(shí)現(xiàn)繞行拼接路徑。在繞行拼接路徑上建議配置一個(gè)未校準(zhǔn)的要素UCF-X,以便在繞行拼接路徑上進(jìn)行與常規(guī)拼接路徑相似的要素測(cè)量。在未校準(zhǔn)要素上獲得的測(cè)量結(jié)果不用注:除已校準(zhǔn)要素和未校準(zhǔn)要素外,還能使用參考特征進(jìn)行單個(gè)視圖間配圖C.2繞行拼接路徑示例:由六個(gè)線性等距排列的球形要素和繞行拼接路徑上未校準(zhǔn)的要素組成測(cè)頭多點(diǎn)探測(cè)量規(guī)一個(gè)測(cè)量面建立一個(gè)基準(zhǔn)面(最小二乘擬合)。垂直于這個(gè)面的方向是基準(zhǔn)方向?qū)τ行╅L(zhǎng)度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于測(cè)量面尺寸的量規(guī)(例如已校準(zhǔn)檢測(cè)長(zhǎng)度大于測(cè)量面尺寸的10倍),基準(zhǔn)方向L——非由于光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量原理是基于接收來(lái)自被掃描物體的光,因此檢測(cè)到的光信號(hào)質(zhì)本附錄介紹了光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)在測(cè)量表面特性合作性較差的對(duì)象時(shí)可能存在的限制。文中提供E.2可能影響光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量性能的實(shí)物實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的表面顏色與坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)發(fā)出用于坐標(biāo)測(cè)量的光波長(zhǎng)相結(jié)合,能改變坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)許多國(guó)家的、國(guó)際的標(biāo)準(zhǔn)和指南都對(duì)表面顏色進(jìn)行了不同的還有許多其他影響因素,例如坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量原理以及坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的制造商或用戶所采典型的光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)可感知被測(cè)表面反射的光強(qiáng)。坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)捕獲的光強(qiáng)不僅取決于實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的表面光澤度,還取決于局部入射角和局部反射角的組合,而局部入射角和局部反射角是用于測(cè)量的光在實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器表面的反射也能導(dǎo)致極性變化或相移,這些影響因素在某些情況下能固體的表面可能會(huì)有一個(gè)亞表面層,當(dāng)光線從外部射入固體并——透明或部分透明亞層,導(dǎo)致亞表面反射、吸收或散射;——熒光能將短波長(zhǎng)的光轉(zhuǎn)化為長(zhǎng)波長(zhǎng)的光,從而使特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光譜反射率增加,有時(shí)甚評(píng)價(jià)這些表面特性的另一種方法是將待測(cè)表面與標(biāo)準(zhǔn)試樣表面進(jìn)行目測(cè)比較。具有表面特性校準(zhǔn)本文檔中描述的檢測(cè)能通過使用表面特性與坐標(biāo)測(cè)這意味著,除了實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的表面特性應(yīng)代表用戶特定工業(yè)部件的表面特性外,坐標(biāo)測(cè)量系檢測(cè)結(jié)果可以代表包含坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)大部分額定工作條件范圍內(nèi)的測(cè)量如果坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的用戶希望了解坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)在操作條件涵蓋更廣泛待測(cè)表面特性下E.4受實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器表面特性影響的光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量E.4.1使用彩色濾光片的光譜透射率來(lái)E.4.1.1光學(xué)彩色濾光片和光學(xué)像準(zhǔn)備一種光學(xué)彩色濾光片,其光譜透射率與光譜反射率所代表的預(yù)期表面顏色相似。每個(gè)為進(jìn)行系統(tǒng)標(biāo)定,需要準(zhǔn)備一個(gè)光學(xué)像差補(bǔ)償器,該補(bǔ)償器具有足夠高的光學(xué)透射率和透射波長(zhǎng)范圍,以及標(biāo)稱相同光程和在預(yù)期波長(zhǎng)附近的已知折射E.4.1.2安裝光學(xué)像差補(bǔ)償器的光學(xué)三維坐單色光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定,是根據(jù)制造商的操作手冊(cè)和用于件是光學(xué)像差補(bǔ)償器安裝在投影儀光圈和檢測(cè)器光圈之在安裝光學(xué)像差補(bǔ)償器的情況下,使用6.2中所述的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器進(jìn)行性能評(píng)估,檢測(cè)結(jié)果將E.4.1.3安裝光學(xué)彩色濾色片的光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系安裝光學(xué)彩色濾色片與安裝了光學(xué)像差補(bǔ)償器所獲得的檢測(cè)結(jié)果之間的差異,能表明標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量性能上的差異,這取決于被掃描物體的表E.4.1.4光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)所拍攝的光學(xué)圖像的如果用戶可以對(duì)光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)整,則可能需要根據(jù)安裝的光學(xué)彩色濾光三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)亮度進(jìn)行調(diào)整。光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)拍攝的光學(xué)圖像的光學(xué)亮度調(diào)整宜按注:光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)亮度的調(diào)節(jié)能通過改變光學(xué)探測(cè)器的曝光時(shí)間、改變光源的照明亮E.4.2.1在單色光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)如果坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)采用單色光源和/或光學(xué)濾波手段,將敏感的光學(xué)顏色限制在預(yù)光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)),則光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)如果要進(jìn)行E.4.2.2和E.4.2.3所述的檢測(cè),則制造商宜向坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)用戶通常采用例如鹵素?zé)艋螂瘹鉄舻亩嗌鈱W(xué)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng),如果未配備任何光學(xué)濾波裝置將敏感的光學(xué)顏色限制在預(yù)期范圍內(nèi),則不能用E4.2在單色光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的情況下,待掃描物體反射的光強(qiáng)度主要由物體在坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)敏感顏色范圍內(nèi)的光譜反射率決定。單色光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的表面顏色差異看起來(lái)就好像是當(dāng)表面顏色從合作顏色替換成單色光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)時(shí),光量系統(tǒng)敏感顏色范圍內(nèi)的光譜反射率的差異來(lái)進(jìn)E.4.2.3通過降低光強(qiáng)度評(píng)估單色光學(xué)三維坐標(biāo)根據(jù)E.4.2.2中等效光衰減的計(jì)算結(jié)果,通過降低三維光學(xué)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的光強(qiáng)設(shè)置,對(duì)單坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行性能評(píng)估。有意降低光強(qiáng)時(shí),坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)圖像亮度會(huì)明顯低于制造商的亮度。特意選擇深色設(shè)置是為了模擬在合作性較差表面顏色上降低光強(qiáng)的具體調(diào)整程序宜遵循制造商向用戶提供的注:光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的亮度調(diào)節(jié)能通過改變光學(xué)探測(cè)器的曝光時(shí)間、改變光源的照明亮光強(qiáng)降低前后檢測(cè)結(jié)果的差異能夠表明單色光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量性能取決于被掃E.4.3使用標(biāo)稱幾何形狀相同但預(yù)期表面特性不的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器能通過將多個(gè)表面特性各不相同的平面試樣放在一個(gè)標(biāo)稱平面上來(lái)實(shí)現(xiàn),通過光學(xué)三維坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)掃描的每個(gè)試樣表面的差異能夠表明表面特性對(duì)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的影結(jié)構(gòu)分辨力Rs宜與儀器的(計(jì)量)分辨力明確區(qū)分,即:輸出數(shù)據(jù)的最小增結(jié)構(gòu)分辨力的影響量:很多影響量表明常用的計(jì)算公式“像元=分辨力”并不成立。實(shí)際的結(jié)構(gòu)分辨力很低。因此,說考慮到需在相關(guān)位置進(jìn)行附加移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)一維和二維傳感器的三維功能。這些運(yùn)動(dòng)的速度會(huì)影響校準(zhǔn)深度之比應(yīng)至超過0.63(=1?e?的信息。棱邊的質(zhì)量(棱邊的圓整、相互垂直)應(yīng)顯著優(yōu)于要驗(yàn)證的分辨力。如圖F.2所示,使用傳感波幅和波長(zhǎng)應(yīng)校準(zhǔn)。如使用旋轉(zhuǎn)對(duì)稱結(jié)構(gòu),則能獲得平面中任何方向使用傳感器測(cè)量波形標(biāo)準(zhǔn)器的表面,測(cè)量結(jié)果用于確定標(biāo)準(zhǔn)器的波長(zhǎng),如圖F.3所示,該波長(zhǎng)通過a)實(shí)際波形然)。作為分辨力極限模型,應(yīng)使用一階低通(在控制工程中稱為具有一階延遲的比例),從計(jì)量角度來(lái)看,階躍是最重要的特征,它以理想形狀的階躍濾波器特性的常數(shù)X1是過零點(diǎn)的切線與距離切線足夠長(zhǎng)的階躍高度之間的交點(diǎn)。該常數(shù)能轉(zhuǎn)換為對(duì)于空間域的階躍響應(yīng),如公式(F.1)所示:空間截止頻率vg(單位:每毫米線對(duì)數(shù))是傳遞系數(shù)G(jω)的絕對(duì)值下降到1?√2時(shí)的頻率(極限為λg——截止波長(zhǎng)。λg=2π.X1(F.5)嚴(yán)格而言,此考慮僅適用于正弦輪廓(波形標(biāo)準(zhǔn)器)。然而,矩形輪廓能用于充分逼近(相半周期寬度的正階躍和負(fù)階躍的周期性延伸)。該矩形輪廓由眾多疊加的正弦波(傅里葉級(jí)數(shù))組成。由于高次諧波在很大程度上將因低通濾波而消失,僅考慮基波(正弦波)即可。使用具有生產(chǎn)或獲得多波形標(biāo)準(zhǔn)器不僅要求高,且價(jià)格昂貴。因此,在階躍(見圖F.圖F.5—具有指定截止波長(zhǎng)周期的正弦波和矩形本附錄使用GB/T18779.5中定義的特定術(shù)語(yǔ)。有關(guān)這些術(shù)語(yǔ)的詳細(xì)信息和完G.3探測(cè)形狀離散誤差u(PForm)和平面形狀畸變誤差u(DForm.pla)的檢測(cè)值不確定度F——標(biāo)準(zhǔn)器的形狀偏差;u(F)——形狀偏差的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。G.3.2檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)器的形狀偏差,F(xiàn)G.3.3標(biāo)準(zhǔn)器形狀偏差的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,u(F)U(F)——校準(zhǔn)證書中給出標(biāo)準(zhǔn)器的擴(kuò)展校準(zhǔn)不確定度;k——U(F)的包含因子,也在校準(zhǔn)證書中給出。G.4探測(cè)尺寸誤差u(psize)、畸變誤差u(Dcc)和長(zhǎng)度測(cè)量誤差u(Evol)的檢測(cè)不確定度u(psize)=√ual+uTE+u+uorm(G.4)al+uTE+uixt+u(G.5)al+uTE+ulign+u(G.6)ucal——標(biāo)準(zhǔn)器尺寸的校準(zhǔn)不確定度;ut——由標(biāo)準(zhǔn)器的溫度輸入值引入的不確定度;uAlign——由標(biāo)準(zhǔn)器未找正引入的不確定度;uFixt——由固定標(biāo)準(zhǔn)器引入的不確定度;uForm——由標(biāo)準(zhǔn)器的形狀偏差引入的不確定度。盡管ucal中可能已經(jīng)包含了檢測(cè)球形狀的影響,但這里仍包含了檢測(cè)球形狀引入的不確定度。因?yàn)闄z測(cè)期間對(duì)檢測(cè)球的采樣被認(rèn)為與校準(zhǔn)期間可能發(fā)生的采樣無(wú)關(guān)。如果已知其它信息表明采樣策略相同,則可以降低uForm的值,但應(yīng)注意,本文件中未包含此操作的詳細(xì)說明。G.4.2標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)引入的不確定度,ucalucal=(G.7)ucal——校準(zhǔn)證書中給出的標(biāo)準(zhǔn)器的擴(kuò)展校準(zhǔn)不確定度;k——ucal的包含因子,也在校準(zhǔn)證書中給出。G.4.3標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)造成的不確定度,ucTEt——標(biāo)準(zhǔn)器溫度;20℃——標(biāo)準(zhǔn)參考溫度(見GB/T19765);u(α)——標(biāo)準(zhǔn)器CTE的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。L對(duì)于不同的檢測(cè)有不同的含義,u(psize)(公式G.4u(Evol)(公式G.6)中表示中心距。——如果標(biāo)準(zhǔn)器的CTE已校準(zhǔn),定度U(α)宜通過除以包含因子k轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(α),u=U/k,k的值也在證書中G.4.4標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)輸入溫度引入的不確定度,ut該不確定度分量?jī)H宜考慮用于熱補(bǔ)償坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng),并且僅當(dāng)補(bǔ)償依賴于檢測(cè)人員通過自己的溫行熱補(bǔ)償時(shí),此不確定度分量宜予以舍棄,即公式G.4至G.6中宜使用ut=0。α——標(biāo)準(zhǔn)器的CTE;u(t)——標(biāo)準(zhǔn)器溫度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。L對(duì)于不同的檢測(cè)有不同的含義,u(psize)(公式G.4u(Evol)(公式G.6)中表示中心距。輸入不確定度u(t)的評(píng)估建議考慮以下部分。—所用溫度計(jì)的校準(zhǔn)不確定度在溫度計(jì)的校準(zhǔn)證書中給出。證書中給出的擴(kuò)展不確定度U宜除議取vt?√3的近似值,其中vt是在實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器尺寸上的

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