OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第1頁(yè)一．作業(yè)目的：離子源尤其是柵網(wǎng)在使用過(guò)程中易受污，本作業(yè)過(guò)程完成離子源柵網(wǎng)等拆卸、清洗、組裝、安裝過(guò)程。二．適用范圍：HOC-1300DBI機(jī)離子源，Shincron-1350機(jī)離子源。三．作業(yè)程序及作業(yè)要點(diǎn)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)1確認(rèn)更換離子源柵網(wǎng)在鍍膜時(shí)最多使用150小時(shí)后更換根據(jù)實(shí)際使用過(guò)程中離子源的狀態(tài)也可提前更換。2拆卸關(guān)閉總電源確認(rèn)離子源總電源關(guān)閉注意關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)時(shí)的次序（氣體流量控制電源→中和器電源→離子源電源→中和器RF電源→離子源RF電源。拆卸離子源主體準(zhǔn)備好拆卸離子源所需要的工具(在專用工具箱內(nèi))拆防污板拿掉離子源主體外的圓筒狀防污板拆柵網(wǎng)蓋圈拆下用于固定柵網(wǎng)蓋圈的六顆螺絲,拿掉離子源柵網(wǎng)蓋圈離子源使用后，主體的溫度很高，作業(yè)過(guò)程應(yīng)戴上絕熱手套,避免燙傷。為了避免各部位螺絲的損壞,在拆裝時(shí)要細(xì)心,內(nèi)六交要卡到螺絲六穴的底部。編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第2頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)2拆卸拆電極螺絲用3.0mm的內(nèi)六交扳手?jǐn)Q下連接?xùn)啪W(wǎng)電極的固定螺絲螺絲螺絲用力適當(dāng),內(nèi)六交要卡到螺絲六穴的底部抬起柵網(wǎng)兩手小心地把柵網(wǎng)從離子源主體上抬起，正放到墊有柔軟綢布的平整工作臺(tái)上.編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第3頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)2拆卸拆石英腔室壓環(huán)螺絲擰下石英腔室上壓環(huán)的螺絲,拆下壓環(huán)。螺絲取出石英腔室輕輕轉(zhuǎn)動(dòng)一下石英腔室，小心取出放到墊有柔軟綢布的平整工作臺(tái)上,確保其它物品不碰撞石英腔室.石英腔室為易碎品，拆卸時(shí)要特別小心,要輕拿輕放，避免碰撞和跌落；嚴(yán)禁拆卸石英腔室底部的氣孔圈編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第4頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)3清洗維護(hù)柵網(wǎng)柵網(wǎng)拆解把柵網(wǎng)小心反轉(zhuǎn),放在用于安裝柵網(wǎng)的專用模具內(nèi),逐個(gè)拆下離子源上的8顆螺絲；取下各部件.為避免柵網(wǎng)變形，螺絲要對(duì)角逐對(duì)擰松，嚴(yán)禁一個(gè)挨一個(gè)的擰掉每個(gè)螺絲。保存好螺絲，金屬墊片和陶瓷墊片；三層?xùn)啪W(wǎng)應(yīng)按上(DECELERATOR)中(ACCELERATOR)下(SCREEN)順序疊放，嚴(yán)禁逆序疊放；清潔柵網(wǎng)把三層?xùn)啪W(wǎng)浸泡到洗凈液中[濃度30％(BR-55)或35％的NaOH],浸泡時(shí)間根據(jù)使用狀況決定；BR-55和NaOH為危險(xiǎn)物品,使用時(shí)要特別小心。戴上專用手套拿出柵網(wǎng),用熱清水漂凈柵網(wǎng)上的殘留溶液(邊用熱水清洗邊用清潔布檫洗柵網(wǎng)表面,約洗10分鐘以上,NaOH和贓物等將被洗凈).作業(yè)中要謹(jǐn)慎,以防止柵網(wǎng)變形.編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)日期標(biāo)記標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第5頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序作業(yè)要點(diǎn)3清洗維護(hù)柵網(wǎng)清潔柵網(wǎng)利用柵網(wǎng)匹配固定夾具固定住柵網(wǎng),并用300#-400#的砂紙打磨柵網(wǎng)表面直到表面的贓物和變色消失為止,再用清水漂洗干凈.為避免柵網(wǎng)變形,每個(gè)固定孔都要對(duì)準(zhǔn)夾具上的孔后再壓緊螺絲.要徹底清潔干凈固定孔部位的變色痕跡,可轉(zhuǎn)換固定螺絲的部位,確保每個(gè)固定孔都能清潔到.用氣槍吹散柵網(wǎng)上的水分，放進(jìn)噴沙機(jī)里對(duì)柵網(wǎng)孔的側(cè)壁進(jìn)行噴沙。柵網(wǎng)易變形，在使用氣槍和噴沙機(jī)時(shí)，氣壓不能過(guò)大(0.05～0.1Mpa)，噴沙槍頭到柵網(wǎng)的距離應(yīng)控制在20cm-30cm用清水沖洗掉柵網(wǎng)上殘留的金剛沙，然后再放在超聲波清洗機(jī)里清洗15分鐘，然后放在烘箱60-80℃在使用超聲波清洗機(jī)時(shí)請(qǐng)注意柵網(wǎng)由于震動(dòng)引起的變形或破損。編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第6頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)4維護(hù)清潔石英腔室噴沙用噴沙機(jī)對(duì)石英腔室的內(nèi)表面進(jìn)行噴沙，處理掉附著在內(nèi)表面上的膜層，外表面不做處理。（噴好后為大致半透明狀）導(dǎo)氣管導(dǎo)氣管石英腔室外表面嚴(yán)禁噴砂；氣孔口不需要噴砂；石英腔室易碎，要小心操作，注意噴沙壓力和距離，避免碰撞和破裂。清潔腔室用氣槍吹去其上面上的沙粒和灰塵,再用酒精和稠布擦拭腔室各表面。石英腔室吸水后加熱時(shí)易破裂，固嚴(yán)禁用水沖洗石英腔室；要非常小心的留意氣孔口隱秘處不殘留砂子。干燥用酒精擦拭后放在墊有干凈稠布工作臺(tái)上自然干燥。嚴(yán)禁烘箱烘烤干燥清潔線圈用酒精和稠布擦拭擦拭離子源主體內(nèi)下部的RF高頻線圈,用吸塵器吸掉底部的灰塵。注意擦拭的力度，不能使RF高頻線圈變形，不要碰到中間的導(dǎo)氣管。檢查確認(rèn)檢查離子源主體內(nèi)有無(wú)墊片螺絲等雜物．贓物會(huì)引起離子源異常打火。編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第7頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)5裝配離子源柵網(wǎng)準(zhǔn)備拿出裝離子源所需要的工具，固定夾具和配件，放在平整干凈的工作臺(tái)上。工具和配件要齊全、完整無(wú)遺漏。安裝柵網(wǎng)DeceleratorGridGridDeceleratorGridGrid左:ACC上:上:SCR右:右:DEC緩慢平穩(wěn)的放上第一層?xùn)啪W(wǎng)（DeceleratorGrid），再分別在每一個(gè)固定螺絲位置上放一個(gè)大陶瓷墊圈和一個(gè)1.00mm的陶瓷墊片。電極的位置不能放錯(cuò)；柵網(wǎng)的編號(hào)（D開(kāi)頭）及編號(hào)位置嚴(yán)禁放錯(cuò)（位左中部下方），陶瓷墊圈和墊片不可少放或放錯(cuò)。編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第8頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)5裝配離子源柵網(wǎng)柵網(wǎng)安裝柵網(wǎng)緩慢平穩(wěn)的放上第二層?xùn)啪W(wǎng)（AcceleratorGrid），再分別在每一個(gè)固定螺絲位置上放一個(gè)大陶瓷墊圈和一個(gè)1.20mm的陶瓷墊片。A####A####電極的位置不能放錯(cuò)；柵網(wǎng)的編號(hào)（A開(kāi)頭）及編號(hào)位置嚴(yán)禁放錯(cuò)（位左中部下方）。陶瓷墊圈和墊片不可少放或放錯(cuò)。ACC電極連接端緩慢平穩(wěn)的放上第三層?xùn)啪W(wǎng)（ScreenGrid），再分別在每一個(gè)固定螺絲位置上放一個(gè)陶瓷固定插塊兒如圖、一個(gè)平墊片、一個(gè)小波形墊片，擰上螺絲。ACC電極連接端擰緊螺絲前先把四個(gè)定位桿兒插進(jìn)定位孔中；平墊片和小波形墊片不可少放或放錯(cuò)，螺絲輕輕擰到位即可，千萬(wàn)不可用力，以免擰碎薄陶瓷片或擰壞螺絲；其所用的螺絲為專用螺絲，不可用普通的螺絲代替。編制(日期)標(biāo)準(zhǔn)化(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)會(huì)簽(日期)審核(日期)標(biāo)記處數(shù)更改文件號(hào)簽字日期標(biāo)題：OTFC-1300離子源柵網(wǎng)更換作業(yè)指導(dǎo)書(shū)編號(hào)共9頁(yè)第9頁(yè)序號(hào)作業(yè)程序示圖作業(yè)要點(diǎn)5裝配離子源柵網(wǎng)檢查確認(rèn)取出定位桿兒,檢查柵網(wǎng)位置有無(wú)偏移，絕緣陶瓷片位置是否正確，若有誤應(yīng)重新裝配,用搖表檢測(cè)DeceleratorGrid與AcceleratorGrid、AcceleratorGrid與ScreenGrid、DeceleratorGrid與ScreenGrid之間的絕緣電阻，要求絕緣電阻>10MΩ@500V絕緣陶瓷片不能有碎裂的情況，否則要重新裝配；三層?xùn)啪W(wǎng)的孔應(yīng)無(wú)錯(cuò)位，否則重裝；若絕緣電阻達(dá)不到要求，則需要重新安裝，并檢查絕緣陶瓷絕緣性或者其它裝配錯(cuò)誤。6安裝離子源裝石英腔室把石英腔室放入離子源主體內(nèi)；氣體導(dǎo)入管與氣體導(dǎo)入孔要對(duì)正裝蓋圈裝上石英腔室上的蓋圈；擰上螺絲螺絲擰到位即可，不可用力裝柵網(wǎng)把裝配好的離子源柵網(wǎng)裝到離子源主體上；擰上電極螺絲柵網(wǎng)位置與電