影響鍍層測厚儀精度的因素

第第頁影響鍍層測厚儀精度的因素鍍層測厚儀是將X射線照射在樣品上，通過從樣品上反射出來的第二次X射線的強(qiáng)度來。測量鍍層等金屬薄膜的厚度，由于沒有接觸到樣品且照射在樣品上的X射線只有45—75W左右，所以不會(huì)對樣品造成損壞。同時(shí)測量的也可以在10秒到幾分鐘內(nèi)完成。測量值精度的影響因素1、影響因素的有關(guān)說明a、基體金屬磁性質(zhì)磁性法測厚受基體金屬磁性變動(dòng)的影響（在實(shí)際應(yīng)用中，低碳鋼磁性的變動(dòng)可以認(rèn)為是細(xì)小的），為了避開熱處理和冷加工因素的影響，應(yīng)使用與試件基體金屬具有相同性質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)片對儀器進(jìn)行校準(zhǔn)；亦可用待涂覆試件進(jìn)行校準(zhǔn)。b、基體金屬電性質(zhì)基體金屬的電導(dǎo)率對測量有影響，而基體金屬的電導(dǎo)率與其料子成分及熱處理方法有關(guān)。使用與試件基體金屬具有相同性質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)片對儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。c、基體金屬厚度每一種儀器都有一個(gè)基體金屬的臨界厚度。大于這個(gè)厚度，測量就不受基體金屬厚度的影響。本儀器的臨界厚度值見附表1.d、邊沿效應(yīng)本儀器對試件表面形狀的陡變敏感。因此在靠近試件邊沿或內(nèi)轉(zhuǎn)角處進(jìn)行測量是不行靠的。e、曲率試件的曲率對測量有影響。這種影響總是隨著曲率半徑的減少明顯地增大。因此，在彎曲試件的表面上測量是不行靠的。f、試件的變形測頭會(huì)使軟掩蓋層試件變形，因此在這些試件上測出可靠的數(shù)據(jù)。g、表面粗糙度基體金屬和掩蓋層的表面粗糙程度對測量有影響。粗糙程度增大，影響增大。粗糙表面會(huì)引起系統(tǒng)誤差和偶然誤差，每次測量時(shí)，在不同位置上應(yīng)加添測量的次數(shù)，以克服這種偶然誤差。假如基體金屬粗糙，還必需在未涂覆的粗糙度相像佛的基體金屬試件上取幾個(gè)位置校對儀器的零點(diǎn)；或用對基體金屬?zèng)]有腐蝕的溶液溶解除掉掩蓋層后，再校對儀器的零點(diǎn)。g、磁場四周各種電氣設(shè)備所產(chǎn)生的強(qiáng)磁場，會(huì)嚴(yán)重地干擾磁性法測厚工作。h、附著物質(zhì)本儀器對那些阻礙測頭與掩蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感，因此，必需清除附著物質(zhì)，以保證儀器測頭和被測試件表面直接接觸。i、測頭壓力測頭置于試件上所施加的壓力大小會(huì)影響測量的讀數(shù)，因此，要保持壓力恒定。j、測頭的取向測頭的放置方式對測量有影響。在測量中，應(yīng)當(dāng)使測頭與試樣表面保持垂直。2、使用儀器時(shí)應(yīng)當(dāng)遵守的規(guī)定a、基體金屬特性對于磁性方法，標(biāo)準(zhǔn)片的基體金屬的磁性和表面粗糙度，應(yīng)當(dāng)與試件基體金屬的磁性和表面粗糙度相像。對于渦流方法，標(biāo)準(zhǔn)片基體金屬的電性質(zhì)，應(yīng)當(dāng)與試件基體金屬的電性質(zhì)相像。b、基體金屬厚度檢查基體金屬厚度是否超出臨界厚度，假如沒有，可采用3.3中的某種方法進(jìn)行校準(zhǔn)。c、邊沿效應(yīng)不應(yīng)在緊靠試件的突變處，如邊沿、洞和內(nèi)轉(zhuǎn)角等處進(jìn)行測量。d、曲率不應(yīng)在試件的彎曲表面上測量。e、讀數(shù)次數(shù)通常由于儀器的每次讀數(shù)并不完全相同，因此必需在每一測量面積內(nèi)取幾個(gè)讀數(shù)。掩蓋層厚度的局部差別，也要求在任一給定的面積內(nèi)進(jìn)行多次測量，表面粗造時(shí)更