DL∕T 328-2022 真空激光準直位移測量裝置

國家能源局發(fā)布I前言 Ⅱ 1 1 14產(chǎn)品原理、結(jié)構(gòu)及規(guī)格 25技術(shù)要求 3 6 9 掃碼免費兌換電子書Ⅱ本文件依據(jù)GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)c)增加了浪涌(沖擊)抗擾度技術(shù)要求及1)刪除了保持真空度術(shù)語和定義。1本文件規(guī)定了真空激光準直位移測量裝置(以下簡稱真空激光準直裝置)的產(chǎn)品規(guī)格、技術(shù)要GB/T9969工業(yè)產(chǎn)品使用說明書總則GB/T17626.3電磁兼容試驗和測量技術(shù)射頻電磁場輻射抗擾度試驗GB/T17626.5電磁兼容試驗和測量技術(shù)浪涌(沖擊)抗擾度試驗一種由定位擴束小孔光欄、激光器和電源適配器等組成的裝置2真空管道vacuumpipeline用于通過激光束的專用管道，由激光發(fā)射裝置(3.1)平晶密封段、激光接收裝置(3.4)平晶密封段、測點箱(3.3)、軟連接段、連接管道等部件組成，測量時管道內(nèi)處于真空狀態(tài)。漏氣率gasleakagerate從測量真空度狀態(tài)到小于保持真空度狀態(tài)單位時間真空度變化值。系統(tǒng)綜合誤差systematiccombinederror真空激光準直裝置在測量范圍內(nèi)由于波帶板(3.2)成像、折光差(真空度、溫度梯度)、光斑測量誤差等因素影響而產(chǎn)生的總誤差。取極差，即校正過程中，光斑測量按該測點歸化系數(shù)計算位移值與該測點標準位移給定量的最大偏差值。4產(chǎn)品原理、結(jié)構(gòu)及規(guī)格4.1產(chǎn)品原理真空激光準直裝置是根據(jù)光的衍射原理，利用激光源、波帶板中心和像點中心三點一線，在一端安裝激光發(fā)射裝置，在另一端安裝激光接收裝置，在中間測點上安裝波帶板。激光發(fā)射裝置發(fā)射出的激光束在真空中傳輸，照滿波帶板，波帶板起聚焦作用，在激光接收裝置上形成圓形亮點或十字形亮線。在激光接收裝置上測出亮點或亮線的光斑重心位置，即可計算出測點的測值。測量原理見圖1和公式(1)。圖1真空激光準直裝置測點測值計算示意圖…L——測點測值，單位為毫米(mm);1激光接收裝置讀數(shù)值，單位為毫米(mm);S,——測點至激光發(fā)射裝置的距離，單位為米(m);D激光準直全長，單位為米(m)。4.2產(chǎn)品結(jié)構(gòu)真空激光準直裝置由激光發(fā)射、測點箱(含波帶板)、真空管道(含真空泵及配套設備)、激光接收、自動化測控等裝置組成。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)見圖2。3真空激光準直裝置主要規(guī)格見表1。光斑位置測量范圍m1234a)環(huán)境溫度：-20℃~60℃;b)相對濕度：≤95%,無凝露；c)大氣壓力：53kPa～106kPa。4a)環(huán)境溫度：15℃~35℃;b)相對濕度：25%～75%;光斑位置測量范圍光斑位置測量分辨力1234b)激光器宜采用He-Ne或固態(tài)激光器，發(fā)55.7浪涌(沖擊)抗擾度6c)激光點光源、波帶板及激光接收端的中心形成的準直線與真空管道同軸，軸線允許偏差為d)真空激光準直裝置安裝完成后，應測量各測點與兩端點間的距離，測距相對誤差不應大于d)運輸顛振試驗臺：最大加速度為20g,頻率范圍為2Hz～600Hz;76.5浪涌(沖擊)抗擾度試驗8b)將激光接收裝置在垂直于激光準直線的水平方向上移動10mm～20mm,偏移誤差應小于9出廠檢驗型式試驗1√√2√√3√4√5√6√√7√8√√表4現(xiàn)場檢驗項目1234系統(tǒng)綜合誤差567表3。長期不用的產(chǎn)品應保留原包裝，貯存環(huán)境溫度應為-40℃~60℃,