高性能靶材行業(yè)發(fā)展報告2024-2025

匯報人：林建良2024-08-012024-2025高性能靶材行業(yè)發(fā)展報告contents目錄定義或者分類特點產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展歷程政治環(huán)境商業(yè)模式政治環(huán)境contents目錄經(jīng)濟環(huán)境社會環(huán)境技術(shù)環(huán)境發(fā)展驅(qū)動因素行業(yè)壁壘行業(yè)風險行業(yè)現(xiàn)狀行業(yè)痛點問題及解決方案行業(yè)發(fā)展趨勢前景機遇與挑戰(zhàn)競爭格局代表性企業(yè)01高性能靶材定義定義濺射是半導體、光電行業(yè)制備電子薄膜材料的一種物理氣相沉積技術(shù)，指固體靶中的原子被高能量離子（通常來自等離子體）撞擊而離開固體進入氣體的物理過程。濺射的工藝原理是利用高能量金屬等離子體（由離子源產(chǎn)生）在充有惰性氣體的高真空系統(tǒng)中，通過高壓電場的作用，促使氬氣電離加速聚集成高速氬離子流，轟擊靶陰極，被濺出的靶材料原子或分子沉積在半導體芯片或玻璃、陶瓷基材表面，從而形成各類納米或微米功能薄膜。靶材是在濺射過程中被高速金屬等離子體流轟擊的目標材料，是制備功能薄膜的原材料，又稱“濺射靶材”，更換不同靶材可以得到不同的膜系。本文所研究的高性能靶材是指應(yīng)用領(lǐng)域為半導體、平面顯示、太陽能電池領(lǐng)域的金屬純度為995%以上的濺射靶材。靶材制造的工序步驟精細且繁多，其工藝流程管理水平和制造水平直接影響靶材的質(zhì)量和良品率。靶材制造首先需要根據(jù)應(yīng)用元件的性能需求進行工藝設(shè)計，其次再進行金屬提純、壓制成型、氣氛燒結(jié)、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機械加工、水切割、機械加工、金屬化、綁定、超聲測試、超聲清冼、栓驗出貨等15項工序。在靶材燒制的工藝過程中，需要精確控制晶粒、晶向等關(guān)鍵指標以確保靶材性能高性能靶材定義02產(chǎn)業(yè)鏈高純金屬原材料、生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商上游中游產(chǎn)業(yè)鏈010203中國高性能靶材行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分為三部分:產(chǎn)業(yè)鏈上游參與者為高純金屬原材料和生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商；產(chǎn)業(yè)鏈中游主體為高性能靶材產(chǎn)品制造企業(yè)；產(chǎn)業(yè)鏈下游參與者是為半導體、面板、太陽能電池、存儲器等生產(chǎn)廠商。高純金屬原材料、生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商高性能靶材產(chǎn)品制造企業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈下游參與者是為半導體、面板、太陽能電池、存儲器等生產(chǎn)廠商高性能靶材產(chǎn)品制造企業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈下游參與者是為半導體、面板、太陽能電池、存儲器等生產(chǎn)廠商下游行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)鏈上游概述靶材行業(yè)上游主要為鋁、銅、鈦、鉭、鎢、金、銀等各類高純度金屬供應(yīng)商和生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商，其中高純金屬原材料生產(chǎn)成本可占據(jù)靶材生產(chǎn)成本的80%左右，上游原材料價格波動及供應(yīng)狀況會對中游企業(yè)的利潤空間和產(chǎn)品品質(zhì)產(chǎn)生重要影響。原材料:高純度金屬材料是高性能靶材生產(chǎn)的基礎(chǔ)，半導體領(lǐng)域用靶材、平板顯示用靶材、太陽能電池用靶材、光學靶材、數(shù)據(jù)存儲用靶材對上游金屬純度要求不同。超大規(guī)模集成電路半導體芯片對金屬純度要求通常要達到99995%（5N5）以上，平板顯示器和太陽能電池等領(lǐng)域?qū)饘偌兌鹊囊舐缘?，要求分別為9999%（5N）和9995%（4N5）以上。中國雖然是鋁、銅、鈦、鉭、鎢金屬儲存和初級金屬生產(chǎn)大國，但本土相關(guān)廠商高純度加工技術(shù)和規(guī)模化生產(chǎn)能力較低，金屬純度較低，提純后金屬大部分無法達到高純靶材生產(chǎn)需要。中國本土靶材生產(chǎn)廠商主要通過向日、美等外資企業(yè)進口獲得上游高純金屬原材料供給。因此以美國、日本等國家為主的高純金屬生廠商對中游靶材生產(chǎn)企業(yè)有極強的議價能力。近五年，為滿足高性能靶材生產(chǎn)企業(yè)降低原料成本，規(guī)?；a(chǎn)需求，中國本土企業(yè)在超高純原料的制備發(fā)展迅速，正逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化進口。例如寧夏東方鉭業(yè)可提供3N5、4N、4N5三類級別高純靶材原料。金川集團、紫金礦業(yè)、貴研鉑業(yè)可以提供高純貴金屬類原材料，國產(chǎn)化速度不斷加快。生產(chǎn)設(shè)備:靶材生產(chǎn)線由30多種設(shè)備構(gòu)成，主要包括靶材冷軋系統(tǒng)設(shè)備、熱處理設(shè)備、熱等靜壓設(shè)備、超聲波焊接分析系統(tǒng)等。由于靶材生產(chǎn)工序較長且復雜，靶材生產(chǎn)線組建費用處于7,000萬元~14,000萬元之間，生產(chǎn)線價值高導致固定資產(chǎn)折舊費用較高，生產(chǎn)設(shè)備折舊類制造費用占據(jù)整體生產(chǎn)成本的14%。中國本土企業(yè)為降低生產(chǎn)成本，通常與設(shè)備廠商聯(lián)合進行定制化設(shè)備生產(chǎn)。例如，2018年1月，江豐與四川航空工業(yè)川西機器有限責任公司合作，聯(lián)手打造國內(nèi)首創(chuàng)的超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備。此外江豐電子與本土設(shè)備廠家經(jīng)過四年，研制出的金屬焊接裝備在焊接單工序上每年可節(jié)省幾百萬元，生產(chǎn)周期由30天縮短為3天。行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)鏈中游概述行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)鏈下游概述中國高性能靶材行業(yè)下游主要應(yīng)用于半導體集成電路、平板顯示、太陽能電池、信息存儲、光學等領(lǐng)域。平板顯示、半導體集成電路、太陽能電池三大應(yīng)用領(lǐng)域占比超過60%，是靶材應(yīng)用最主要的領(lǐng)域。（1）平板顯示應(yīng)用:平板顯示器多由金屬電極、透明導電極、絕緣層、發(fā)光層組成，在平板顯示生產(chǎn)工藝中，需要大量使用濺射技術(shù)制備各類膜層，例如在屏顯玻璃基板上要經(jīng)過多次濺射鍍膜以形成ITO玻璃，為實現(xiàn)平面顯示產(chǎn)品中的某些功能，同時需要再增加相應(yīng)的鍍膜。在此過程中需要用到大量的平板顯示類靶材。平板顯示行業(yè)對靶材純度的要求為9999%（5N）以上。（2）半導體集成電路應(yīng)用:高性能靶材主要應(yīng)用于半導體芯片制造中的晶圓制造和先進封裝過程。半導體用靶材在晶圓制造過程中主要用途為鋁互聯(lián)、銅互聯(lián)、硅化物接觸、金屬柵。半導體靶材在先進封裝中的主要用途為凸點下金屬層、重布線層、硅通孔等。半導體芯片高精度和小尺寸要求要求濺射靶材純度需要達到99995%，甚至達到99999%以上，決定了半導體用靶材技術(shù)含量和附加值是所有應(yīng)用領(lǐng)域中最高的。隨著下游晶圓廠的大量投產(chǎn)、先進封裝的快速發(fā)展將帶動半導體靶材需求保持較高增速。（3）太陽能電池應(yīng)用:太陽能電池領(lǐng)域類靶材主要用于制作導電層薄膜和阻擋層薄膜，太陽能電池行業(yè)對靶材純度的要求為999%（4N）以上，較芯片和平板顯示用靶材標準略低。中國本土薄膜太陽能產(chǎn)量仍處于上升階段，因此太陽能電池用濺射靶材市場仍然會出現(xiàn)持續(xù)增長。下游企業(yè)對中游企業(yè)議價能力高。由于高純?yōu)R射靶材技術(shù)含量高，其產(chǎn)品質(zhì)量和性能直接決定了終端產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定性，因此其下游企業(yè)會經(jīng)過長達2~3年嚴格供應(yīng)商認證過程且認證合格后才會將靶材生產(chǎn)企業(yè)納入供應(yīng)商行列，認證壁壘高。因此下游行業(yè)對中游有極高的議價能力03發(fā)展歷程04政治環(huán)境描述工信部:《有色金屬工業(yè)發(fā)展規(guī)劃（2016-2020）》:提出圍繞新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的集成電路、功能元器件領(lǐng)域需求，加快發(fā)展超大規(guī)格高純金屬靶材、集成電路用平板合金靶材、旋轉(zhuǎn)靶材及氧化物靶材、大尺寸銦錫氧化物靶材、高純稀有難熔金屬靶材。工信部、發(fā)改委、科技部、財政部:《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》:在新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)用材料中，加大高純屬及合金濺射靶材生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)，加快調(diào)整先進基礎(chǔ)材料產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，積極發(fā)展精深加工和高附加值品種?？萍疾?《“十三五”材料領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》:在此項規(guī)劃中，高純靶材等材料及技術(shù)列為發(fā)展重點，大力提升功能材料在重大工程中的保障能力，搶占材料前沿制高點政治環(huán)境1政治環(huán)境1工信部《有色金屬工業(yè)發(fā)展規(guī)劃（2016-2020）》:提出圍繞新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的集成電路、功能元器件領(lǐng)域需求，加快發(fā)展超大規(guī)格高純金屬靶材、集成電路用平板合金靶材、旋轉(zhuǎn)靶材及氧化物靶材、大尺寸銦錫氧化物靶材、高純稀有難熔金屬靶材。工信部、發(fā)改委、科技部、財政部《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》:在新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)用材料中，加大高純屬及合金濺射靶材生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)，加快調(diào)整先進基礎(chǔ)材料產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，積極發(fā)展精深加工和高附加值品種。科技部《“十三五”材料領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》:在此項規(guī)劃中，高純靶材等材料及技術(shù)列為發(fā)展重點，大力提升功能材料在重大工程中的保障能力，搶占材料前沿制高點05商業(yè)模式06經(jīng)濟環(huán)境我國經(jīng)濟不斷發(fā)展，幾度趕超世界各國，一躍而上，成為GDP總量僅次于美國的唯一一個發(fā)展中國家。我國經(jīng)濟趕超我國人口基數(shù)大，改革開放后人才競爭激烈，大學生就業(yè)情況一直困擾著我國發(fā)展過程中。就業(yè)問題挑戰(zhàn)促進社會就業(yè)公平問題需持續(xù)關(guān)注并及時解決，個人需提前做好職業(yè)規(guī)劃、人生規(guī)劃。公平就業(yè)關(guān)注經(jīng)濟環(huán)境07社會環(huán)境關(guān)注就業(yè)公平與提前規(guī)劃促進社會就業(yè)公平問題需持續(xù)關(guān)注并及時解決，對于個人來說提前做好職業(yè)規(guī)劃、人生規(guī)劃也是人生發(fā)展的重中之重。政治體系與法治化進程自改革開放以來，政治體系日趨完善，法治化進程也逐步趨近完美，市場經(jīng)濟體系也在不斷蓬勃發(fā)展。總體發(fā)展穩(wěn)中向好我國總體發(fā)展穩(wěn)中向好，宏觀環(huán)境穩(wěn)定繁榮，對于青年人來說，也是機遇無限的時代。就業(yè)問題與人才競爭我國人口基數(shù)大，就業(yè)問題一直是發(fā)展過程中面臨的挑戰(zhàn)，人才競爭激烈，大學生畢業(yè)后就業(yè)情況、失業(yè)人士困擾國家發(fā)展。當前的環(huán)境下我國經(jīng)濟不斷發(fā)展趕超世界各國，成為第二大經(jīng)濟體我國經(jīng)濟不斷發(fā)展，幾度趕超世界各國，一躍而上，成為GDP總量僅次于美國的唯一一個發(fā)展中國家。就業(yè)問題與人才競爭我國人口基數(shù)大，就業(yè)問題一直是發(fā)展過程中面臨的挑戰(zhàn)，人才競爭激烈，大學生畢業(yè)后就業(yè)情況、失業(yè)人士困擾國家發(fā)展。關(guān)注就業(yè)公平與提前規(guī)劃促進社會就業(yè)公平問題需持續(xù)關(guān)注并及時解決，對于個人來說提前做好職業(yè)規(guī)劃、人生規(guī)劃也是人生發(fā)展的重中之重。08技術(shù)環(huán)境技術(shù)驅(qū)動技術(shù)環(huán)境的發(fā)展為行業(yè)帶來了新的機遇，是行業(yè)發(fā)展的重要驅(qū)動力。創(chuàng)新動力技術(shù)環(huán)境的不斷創(chuàng)新和進步，為行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展提供了有力支持。人才需求技術(shù)環(huán)境的發(fā)展促進了人才的需求和流動，為行業(yè)的人才隊伍建設(shè)提供了機遇。團隊建設(shè)技術(shù)環(huán)境的發(fā)展要求企業(yè)加強團隊建設(shè)，提高員工的技能和素質(zhì)，以適應(yīng)快速變化的市場需求。合作與交流技術(shù)環(huán)境的發(fā)展促進了企業(yè)間的合作與交流，推動了行業(yè)的整體發(fā)展。技術(shù)環(huán)境010203040509發(fā)展驅(qū)動因素10行業(yè)壁壘11行業(yè)風險12行業(yè)現(xiàn)狀行業(yè)現(xiàn)狀01市場份額變化中國高性能靶材行業(yè)在國家戰(zhàn)略政策支持以及下游眾多應(yīng)用領(lǐng)域需求支撐下，行業(yè)技術(shù)不斷突破，產(chǎn)品性能不斷提升，帶動高性能靶材市場規(guī)模不斷擴大。按銷售額統(tǒng)計，2014年至2019年，中國高性能靶材市場規(guī)模由62億元增長至162億元，年復合增長率為14%。未來五年，得益于全球半導體集成電路產(chǎn)業(yè)加速向大陸轉(zhuǎn)移，晶圓廠產(chǎn)能不斷釋放以及平板顯示器行業(yè)產(chǎn)能不斷擴建等因素，下游應(yīng)用市場對高性能靶材需求量將不斷增加，高性能靶材市場空間逐漸擴大，中國高性能靶材行業(yè)市場規(guī)模在2023年有望達到335億元，2019年-2023年期間將保持17%年復合增長率13行業(yè)痛點14問題及解決方案15行業(yè)發(fā)展趨勢前景行業(yè)發(fā)展趨勢前景描述行業(yè)兼并重組加劇，本土靶材產(chǎn)品供應(yīng)水平提升:國際企業(yè)擬剝離靶材業(yè)務(wù)，為中國本土靶材企業(yè)騰出空間。根據(jù)對高性能靶材行業(yè)龍頭企業(yè)有13年產(chǎn)品開發(fā)、市場規(guī)劃及重大項目申報經(jīng)驗的行業(yè)專家訪談得知:隨著半導體、顯示面板等靶材下游市場向中國大陸轉(zhuǎn)移，中國本土企業(yè)的成本和市場優(yōu)勢更加凸顯。而美國愛發(fā)科、住友化學等部分國際非靶材主業(yè)公司擬剝離或退出靶材業(yè)務(wù)，為中國本土靶材企業(yè)發(fā)展騰挪出市場空間，未來全球市場份額將會向中國市場不斷集中。進口靶材免稅期結(jié)束，行業(yè)產(chǎn)能將迎來快速擴張:進口靶材免稅期已結(jié)束，助力國產(chǎn)靶材提高市場滲透率。2015年11月，財政部、發(fā)改委、工信部、海關(guān)總署、國家稅務(wù)總局五部委聯(lián)合發(fā)布的《關(guān)于調(diào)整集成電路生產(chǎn)企業(yè)進口自用生產(chǎn)性原料，消耗品，免稅商品清單的通知》規(guī)定:進口靶材的免稅期到2018年年底結(jié)束。進口靶材免稅期結(jié)束有利于加快國產(chǎn)靶材供應(yīng)本土化速度，提升本土靶材的市場滲透率。中游企業(yè)向上游延伸趨勢明顯:中游企業(yè)向上游延伸，行業(yè)盈利空間將提升。為解決制約行業(yè)規(guī)?；a(chǎn)以及高質(zhì)量生產(chǎn)的關(guān)鍵性原材料嚴重依賴進口問題，中游靶材生產(chǎn)企業(yè)通過向上游延伸，發(fā)展靶材原材料。例如江豐電子通過設(shè)立高純金屬原材料分子公司、與高純金屬生產(chǎn)廠商合作等方式向產(chǎn)業(yè)鏈上游布局高純鋁、高純鉭、銅等產(chǎn)業(yè)化項目，已掌握銅、鋁等濺射靶材原材料提純的核心技術(shù)，從而逐漸打破上游少數(shù)幾家跨國企業(yè)壟斷鉬、鋁、銅等靶材原材料局面的現(xiàn)狀，以實現(xiàn)原材料自給。因此中游企業(yè)紛紛選擇向產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料布局，以實現(xiàn)靶材原材料自給，降低成產(chǎn)成本，進而提升行業(yè)整體盈利能力，保障供應(yīng)鏈穩(wěn)定。16機遇與挑戰(zhàn)17競爭格局競爭格局據(jù)對高性能靶材行業(yè)龍頭企業(yè)有13年產(chǎn)品開發(fā)、市場規(guī)劃及重大項目申報經(jīng)驗的行業(yè)專家訪談得知:高性能靶材行業(yè)存在極高的技術(shù)壁壘、資金壁壘以及客戶認證壁壘，導致中國高性能靶材行業(yè)進入門檻較高，市場參與者較少，行業(yè)集中度高。全球范圍來看，由于日本、美國等國際企業(yè)憑借在高性能靶材領(lǐng)域涉足歷史悠久，先發(fā)技術(shù)積累優(yōu)勢突出，主導產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向和技術(shù)革新，全球高性能靶材市場呈現(xiàn)寡頭壟斷格局。日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯、愛發(fā)科幾家企業(yè)共占據(jù)全球約80%市場份額。2000-2010年，中國本土靶材正處于起步發(fā)展階段，在高性能靶材生產(chǎn)技術(shù)方面突破較慢，因此這一階段，半導體芯片、平板顯示用以及太陽能電池領(lǐng)域用高性能靶材市場基本上被日礦金屬、霍尼韋爾、日本東曹等少數(shù)幾家國際企業(yè)壟斷。近五年，在半導體產(chǎn)業(yè)迅速向中國大陸轉(zhuǎn)移以及國家政策的支持，國產(chǎn)高性能靶材在技術(shù)方面不斷突破，逐漸形成了以江豐電子、有研億金、福建阿石創(chuàng)、隆華科技為代表的本土靶材龍頭企業(yè)，在高性能靶材應(yīng)用的不同領(lǐng)域逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化進口，國產(chǎn)企業(yè)高性能靶材市場份額逐漸提升。（1）半導體芯片領(lǐng)域:江豐電子已全面攻克集成電路28-7nm技術(shù)節(jié)點用超高純靶材技術(shù)并實現(xiàn)批量生產(chǎn)，核心技術(shù)已達到國際領(lǐng)先水平，已應(yīng)用于臺積電、聯(lián)華電子、格羅方德等知名半導體企業(yè)，已占據(jù)中國國內(nèi)約40%的市場份額。有研億金在該領(lǐng)域也在半導體芯片“45-28nm”配線用Cu靶材實現(xiàn)土坯，占據(jù)中國國內(nèi)約8%的市場份額。其余市場依然被日美企業(yè)所占據(jù)。（2）平板顯示領(lǐng)域:2018年，平板顯示用靶材龍頭企業(yè)阿石創(chuàng)在液晶顯示器、觸控屏和AMOLED用靶材方面已進入京東方、天馬微電子等平板顯示領(lǐng)域。隆華科技鉬靶與ITO靶材上擁有國內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢。隨著國內(nèi)平板顯示用靶材生產(chǎn)企業(yè)逐步進入京東方等面板企業(yè)供應(yīng)商名單。但由于本土廠商產(chǎn)能處在初步放量階段，整體市場份額約在10%左右，剩余市場依然被日礦金屬、日本三井金屬等外資企業(yè)壟斷競爭格局高性能靶材行業(yè)存在極高的技術(shù)壁壘、資金壁壘以及客戶認證壁壘，導致中國高性能靶材行業(yè)進入門檻較高，市場參與者較少，行業(yè)集中度高。全球范圍來看，由于日本、美國等國際企業(yè)憑借在高性能靶材領(lǐng)域涉足歷史悠久，先發(fā)技術(shù)積累優(yōu)勢突出，主導產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向和技術(shù)革新，全球高性能靶材市場呈現(xiàn)寡頭壟斷格局。日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯、愛發(fā)科幾家企業(yè)共占據(jù)全球約80%市場份額。2000-2010年，中國本土靶材正處于起步發(fā)展階段，在高性能靶材生產(chǎn)技術(shù)方面突破較慢，因此這一階段，半導體芯片、平板顯示用以及太陽能電池領(lǐng)域用高性能靶材市場基本上被日礦金屬、霍尼韋爾、日本東曹等少數(shù)幾家國際企業(yè)壟斷。江豐電子已全面攻克集成電路28-7nm技術(shù)節(jié)點用超高純靶材技術(shù)并實現(xiàn)批量生產(chǎn)，核心技術(shù)已達到國際領(lǐng)先水平，已應(yīng)用于臺積電、聯(lián)華電子、格羅方德等知名半導體企業(yè)，已占據(jù)中國國內(nèi)約40%的市場份額。有研億金在該領(lǐng)域也在半導體芯片“45-28nm”配線用Cu靶材實現(xiàn)土坯，占據(jù)中國國內(nèi)約8%的市場份額。其余市場依然被日美企業(yè)所占據(jù)。（2）平板顯示領(lǐng)域:2018年