GB-T 4937.27-2023 半導(dǎo)體器件 機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第27部分：靜電放電（ESD）敏感度測(cè)試 機(jī)器模型（MM）

半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法第27部分：靜電放電(ESD)敏感度測(cè)試Part27:Electrostaticdischarge(ESD)sensitivitytesting—(IEC60749-27:2012,IDT)國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 IGB/T4937.27—2023/IEC6Ⅱ Ⅲ 第27部分：靜電放電(ESD)敏感度測(cè)試1GB/T4937.27—2023/IEC6074價(jià)負(fù)載見(jiàn)圖1。4.2波形確認(rèn)設(shè)備4.2.1概述本文件定義了能夠確認(rèn)MM電流波形的設(shè)備。該設(shè)備包括但不限于，一個(gè)波形記錄系統(tǒng)、一個(gè)高壓電阻器和一個(gè)電流傳感器。4.2.2波形記錄系統(tǒng)波形記錄系統(tǒng)的單次觸發(fā)帶寬應(yīng)至少為350MHz。4.2.3評(píng)價(jià)負(fù)載確認(rèn)波形發(fā)生器的功能性需要兩種評(píng)價(jià)負(fù)載：a)負(fù)載1:短路線；b)負(fù)載2:500Q、容差士1%的低感電阻器，其ESD耐壓要與用于波形驗(yàn)證的電壓相匹配。評(píng)價(jià)負(fù)載(短路線或電阻器)的引線長(zhǎng)度應(yīng)盡量短，穿過(guò)電流傳感器連接評(píng)價(jià)負(fù)載到適當(dāng)參考端(圖1中的A端和B端)。4.2.4電流傳感器電流傳感器的最小帶寬應(yīng)為350MHz,見(jiàn)圖1。8圖1MMESD波形發(fā)生器等效圖a)評(píng)價(jià)負(fù)載(7和8)在4.2.3中規(guī)定；2GB/T4937.27—2023/IEC60749-27:2b)電流傳感器(9)在4.2.4中規(guī)定；c)不能靠交換A端(2)和B端(4)來(lái)獲得雙極性性能；d)開(kāi)關(guān)(3)在每個(gè)單MM脈沖通過(guò)后關(guān)閉10ms～100ms,以確保DUT和測(cè)試夾具不在帶電5MM電流波形要求5.1通用要求在被測(cè)器件測(cè)試前，MMESD波形發(fā)生器驗(yàn)證應(yīng)確保通過(guò)短路線和電阻負(fù)載的放電電流波形的完整性。圖2中規(guī)定了表1中的各正向和負(fù)向電壓條件下的短路線波形要求，圖3和表1中規(guī)定了士400V電壓下的電阻負(fù)載波形要求。表1波形參數(shù)表VAAA1 234 ·括號(hào)內(nèi)的值是除去振蕩的峰值電流。20ns每格圖2通過(guò)短路線的典型電流波形圖2電流脈沖應(yīng)滿(mǎn)足下列要求：a)Ipi是表1規(guī)定的最大峰值電流；3GB/T4937.27—2023/IEb)In是次峰值電流，介于各等級(jí)Ip?絕對(duì)值的67%～90%;c)t是主脈沖周期，為63ns~91ns。測(cè)量的是第一個(gè)過(guò)零點(diǎn)t?與第三個(gè)過(guò)零點(diǎn)t?之間的時(shí)圖3通過(guò)5002電阻的電流脈沖應(yīng)滿(mǎn)足下列要求：b)I1o?是表1規(guī)定的100ns時(shí)刻的電流。在初始驗(yàn)收測(cè)試時(shí)應(yīng)進(jìn)行設(shè)備驗(yàn)證。每當(dāng)設(shè)備進(jìn)行了可能影響波形的維修時(shí)，都要進(jìn)行再驗(yàn)證。應(yīng)使用該測(cè)試夾具(板)。如果波形不再滿(mǎn)足表1、圖2和圖3中規(guī)定的波形參數(shù)，那么從上一次波形檢應(yīng)確認(rèn)除去振蕩的峰值電流Ip是表1中的值。除另有規(guī)定外，ESD評(píng)價(jià)通常使用三個(gè)器件樣本量，每個(gè)器件進(jìn)行一次正向和一次負(fù)向脈沖測(cè)設(shè)備驗(yàn)證應(yīng)對(duì)6.2.2規(guī)定的DUT板最壞情況引腳組合進(jìn)行放電電流測(cè)量。該方法應(yīng)被用于設(shè)備4GB/T4937.27—2023/IEC60749-應(yīng)確定并記錄每個(gè)插座和DUT板的最壞情況引腳組合。制造商宜提供每個(gè)DUT板的最壞情況a)對(duì)于每一個(gè)測(cè)試插座，確定從脈沖發(fā)生電路到測(cè)試插座的最短線路插座引腳。連接該引腳到B端(它將在最壞情況引腳查找中作為參考引腳),將剩余引腳中的一個(gè)連接到A端。短路線b)施加一個(gè)正向和一個(gè)負(fù)向400V脈沖，確認(rèn)波形滿(mǎn)足表1中規(guī)定的正向和負(fù)向脈沖要求。c)重復(fù)步驟a)和b),直到測(cè)試完所有插座d)確定最壞情況引腳對(duì)(在極限范圍內(nèi)且最接近表1規(guī)定的最小或最大參數(shù)值),用于進(jìn)一步波e)對(duì)于初始板檢查，在步驟d)用短路線確定的最壞情況引腳對(duì)之間連接一個(gè)500Ω電阻，施加一個(gè)正向和一個(gè)負(fù)向400V脈沖，確認(rèn)波形滿(mǎn)足表1規(guī)定的要求。a)標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證板的尺寸與DUT板相同；b)設(shè)備與評(píng)價(jià)負(fù)載連接端之間的標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證板內(nèi)部引線長(zhǎng)度在相關(guān)技術(shù)規(guī)范中做出規(guī)定；c)所有DUT板上每對(duì)電路的總長(zhǎng)度不超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證板內(nèi)部引線對(duì)和4.2.3規(guī)定的評(píng)價(jià)負(fù)載的7分級(jí)程序各電壓水平的器件樣品(如三個(gè)電壓水平),應(yīng)使用表1所示電壓擋來(lái)標(biāo)定該器件的ESD失效閾值。為得到更精確的失效閾值，可選擇采用更精細(xì)的電壓擋。ESD測(cè)試應(yīng)從表1的最低擋開(kāi)始。ESD5引腳組合連到B端(地)浮空引腳(未連接)1所有引腳每次一個(gè)，除了連到第一電源引腳(組)源引腳(組)2所有引腳每次一個(gè)，除了連到第二電源引腳(組)源引腳(組)3所有引腳每次一個(gè)，除了連到第N電源引腳(組)源引腳(組)4除PUT外的所有非電源引腳67[1]GB/T4728(所有部分)電氣簡(jiǎn)圖用圖形符號(hào)[2]GB/T37977.32—2019靜電學(xué)第3-2部分：靜電效應(yīng)的模擬方法機(jī)器模型(MM)的靜電[3]IEC607