《半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子體源的解離率測試方法》編制說明

《半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子體源的解離率測試方法》（征求意見稿）編制說明本團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)《廣東省真空學(xué)會<廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法>的通知》要求進(jìn)行制定。起草單位有季華實驗室、深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司、江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司、中山凱旋真空科技股份有限公司等。《半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子體源的解離率提案、立項階段：2024年7月，季華實驗室向省真空學(xué)會提出了制定《半導(dǎo)起草（草案、論證）階段：2024年7月～8月，季華實驗室作為本標(biāo)準(zhǔn)的組織單要起草單位，為高質(zhì)量完成編制起草工作，組織成立標(biāo)準(zhǔn)工作組，確定標(biāo)準(zhǔn)工作方案，負(fù)責(zé)草案的編寫和進(jìn)度控制。工作組廣泛調(diào)研半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子體源等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)及文獻(xiàn)對業(yè)內(nèi)進(jìn)行調(diào)研、分析，確定了本標(biāo)準(zhǔn)的主框架、完成了標(biāo)準(zhǔn)草案撰寫。隨后，工作織了對標(biāo)準(zhǔn)草案和編制說明的論證，對必須注意的事項作了深入討論與研究，對標(biāo)準(zhǔn)草案2024年8月，學(xué)會向各相關(guān)單位及專家發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)征求意見的函，將開展為期意見征集工作。征集相關(guān)單位對標(biāo)準(zhǔn)范圍、可操作性、語言表述等方遵照團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制定原則，積極征詢各成員、各領(lǐng)域的意見以保證標(biāo)準(zhǔn)科學(xué)性。測試方法的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)需要考慮試驗方法標(biāo)準(zhǔn)是將試驗方法作為標(biāo)準(zhǔn)化對象，建立測定指定特性或在深入調(diào)查大量行業(yè)代表性遠(yuǎn)程等離子體源研發(fā)制造企業(yè)和檢測研究機構(gòu)的基礎(chǔ)上，業(yè)專家進(jìn)行研討論證，廣泛征求意見，保證標(biāo)準(zhǔn)的科學(xué)性、規(guī)范性、時效性，提高標(biāo)本標(biāo)準(zhǔn)的制定符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的原則，本著先進(jìn)性、科學(xué)性、合理性和可操作性的原則，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子體源的解離率測試方法的術(shù)語和定義、原理、縮略語、測試環(huán)境條件、儀器設(shè)備及樣品、操作準(zhǔn)備、測試步驟、數(shù)據(jù)處理、測量不本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體表面處理、清洗等應(yīng)用場合中，通入氣指明了解離率測試方法的基本原理、方法性質(zhì)列出了測試中所使用的“測試平臺”“冷卻系統(tǒng)”“供電系統(tǒng)”“遠(yuǎn)程等離子體源”給出了“測試人員培訓(xùn)”和“測試注意事項”的準(zhǔn)解離率測量不確定度按GB/T34876規(guī)定計算，給出了測試過程中不確定度份《半導(dǎo)體遠(yuǎn)程等離子體源的解離率測試方法》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的推廣是一個持續(xù)的過程，需要行業(yè)、企業(yè)、科研測試機構(gòu)和協(xié)會各方面努力合作。將利用會議進(jìn)行宣貫講解，邀準(zhǔn)起草人講解標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，撰寫標(biāo)準(zhǔn)解讀文章，在專業(yè)雜志或網(wǎng)站或微