T-QGCML 4572-2024 高精度超潔凈晶圓卡爪生產(chǎn)制造規(guī)范

ICS31.020CCSH80Productionandmanufacturingspecificationsforhigh-precisionandultracleanwa2024-08-12發(fā)布IT/QGCML4572—2024前言 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語(yǔ)和定義 4場(chǎng)地和人員 2 26材料 27加工流程 38成品質(zhì)量 39環(huán)境保護(hù) 3 4T/QGCML4572—2024本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由常熟市兆恒眾力精密機(jī)械有限公司提出。本文件由全國(guó)城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)歸口。本文件起草單位：常熟市兆恒眾力精密機(jī)械有限公司、蘇州市兆豐精密機(jī)械有限公司、蘇州新意精密機(jī)械有限公司。本文件主要起草人：羅中平、雷超、趙鵬志。1T/QGCML4572—2024高精度超潔凈晶圓卡爪生產(chǎn)制造規(guī)范本文件規(guī)定了高精度超潔凈晶圓卡爪生產(chǎn)制造規(guī)范的術(shù)語(yǔ)和定義、場(chǎng)地和人員、設(shè)備、材料、加工流程、成品質(zhì)量、環(huán)境保護(hù)、安全。本文件適用于高精度超潔凈晶圓卡爪（以下簡(jiǎn)稱“卡爪”）的生產(chǎn)制造。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T3620.1—2016鈦及鈦合金牌號(hào)和化學(xué)成分GB12348工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)GB/T12801生產(chǎn)過(guò)程安全衛(wèi)生要求總則GB13456鋼鐵工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)GB15577粉塵防爆安全規(guī)程GB/T15605粉塵爆炸泄壓指南GB16297大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB18597危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)GB18599一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1晶圓wafer硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的圓形硅晶片。3.2晶圓卡爪wafergripper在晶圓的加工過(guò)程中，對(duì)其進(jìn)行夾持的固定爪。3.3倒角chamfer把工件的棱角切削成一定斜面的機(jī)械加工方式。3.4披鋒burr機(jī)械加工完成后在制品的棱角、邊緣等部位出現(xiàn)的毛刺、尖頭、銳角等缺陷。3.5節(jié)圓pitchcircle2T/QGCML4572—2024在定傳動(dòng)比的齒輪傳動(dòng)中，節(jié)點(diǎn)在齒輪運(yùn)動(dòng)平面的軌跡為一個(gè)圓，這個(gè)圓即為節(jié)圓。4場(chǎng)地和人員4.1場(chǎng)地4.1.1應(yīng)遠(yuǎn)離居民生產(chǎn)、生活區(qū)，避免環(huán)境污染、噪音污染、粉塵污染。4.1.2宜靠近已有的交通運(yùn)輸線路，電力配套設(shè)施應(yīng)完善。4.1.3應(yīng)適應(yīng)加工規(guī)模需要。4.1.4布局應(yīng)合理、分隔清晰。4.1.5應(yīng)具備通風(fēng)換氣設(shè)施。4.2人員4.2.1應(yīng)掌握卡爪生產(chǎn)制造技術(shù)相關(guān)的基礎(chǔ)知識(shí)，并經(jīng)過(guò)專業(yè)崗位技術(shù)培訓(xùn)，考核合格后，持證上崗。4.2.2應(yīng)掌握環(huán)境保護(hù)和職業(yè)健康安全相關(guān)的基礎(chǔ)知識(shí)，能應(yīng)對(duì)生產(chǎn)制造過(guò)程中可能出現(xiàn)的問(wèn)題。4.2.3應(yīng)了解廠房的管理制度，并自覺(jué)遵守人員著裝和污染防控的各項(xiàng)規(guī)定。4.2.4應(yīng)熟練掌握生產(chǎn)設(shè)備的操作方法。4.2.5操作人員應(yīng)穿戴安全帽、防護(hù)眼鏡、耳塞、防護(hù)口罩、防護(hù)手套、防護(hù)服、防護(hù)鞋進(jìn)行作業(yè)。4.2.6操作人員應(yīng)接受安全生產(chǎn)教育和培訓(xùn)。新職工上崗前、調(diào)換工種人員應(yīng)進(jìn)行專門(mén)的安全教育培5設(shè)備主要使用以下加工設(shè)備：a)激光機(jī)；b)加熱箱；c)銑床；d)立式加工中心；e)精銑刀；f)輪轉(zhuǎn)機(jī)等。6材料6.1材料選擇選用GB/T3620.1—2016中規(guī)定的TC4鈦合金板作為原料。6.2材料接收6.2.1材料入廠后，倉(cāng)庫(kù)管理人員應(yīng)確認(rèn)其生產(chǎn)廠家、產(chǎn)品名稱、規(guī)格及數(shù)量與采購(gòu)計(jì)劃相符，并有相應(yīng)的質(zhì)量證明文件（如合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告等）。6.2.2初檢合格后，倉(cāng)庫(kù)管理人員通知質(zhì)量部門(mén)抽樣檢測(cè)。質(zhì)量部門(mén)依據(jù)相應(yīng)原料檢驗(yàn)規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)，根據(jù)相應(yīng)材料標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收原料，并做好記錄。6.3材料儲(chǔ)存3T/QGCML4572—2024材料儲(chǔ)存環(huán)境應(yīng)清潔、通風(fēng)、干燥、防雨、防潮，沒(méi)有腐蝕性氣體或化學(xué)物質(zhì)。7加工流程7.1調(diào)整激光機(jī)的透鏡焦距以及激光功率，對(duì)準(zhǔn)鈦板將其切割成方料。7.2選用厚度為0.18mm的鉬絲作為快走絲，調(diào)整脈沖寬度、脈沖間隔、功率管數(shù)、間隙電壓、絲筒運(yùn)轉(zhuǎn)頻率，然后進(jìn)行穿線，根據(jù)線割圖進(jìn)行切割，外形單邊放量1mm作為銑床精加工留余量。7.3將加熱箱溫度升至450℃并保溫1h，再升溫至620℃并保溫2.5h，待溫度下降后空冷至常溫。7.4裝夾后按加工圖紙尺寸，加工各個(gè)臺(tái)階，內(nèi)外圓及厚度單邊放量1mm。7.5在立式加工中心上進(jìn)行以下操作：a)將外形精銑至圖紙尺寸，將三條邊銑削至圖紙尺寸，對(duì)各孔槽進(jìn)行銑削；b)按車(chē)床加工完成的內(nèi)孔分中；c)將臺(tái)階銑削至圖紙尺寸，保證平面度公差；d)將厚度銑削至圖紙尺寸；e)倒角去除零件上的毛刺；f)將三長(zhǎng)邊厚度、總厚度精銑至圖紙尺寸；g)對(duì)中間進(jìn)行精加工，控制孔槽深度，車(chē)床留有1mm精加工量；h)精車(chē)各內(nèi)孔至圖紙尺寸，保證各圓同心度要求。7.6去除表面披鋒，采用超聲波清洗吹凈表面，然后進(jìn)行裝配。7.7將底座裝配進(jìn)3個(gè)的精孔內(nèi)，當(dāng)扭力扳手到達(dá)預(yù)設(shè)的扭矩值時(shí)后停止，逐一安裝3個(gè)底座到固定位置，采用輪轉(zhuǎn)機(jī)銑直徑為300mm的節(jié)圓。7.8以精孔定位精加工底座的圓柱，三角形凸臺(tái)面應(yīng)保證三條邊底面到凸臺(tái)面符合尺寸公差。7.9在立式加工中心上精銑節(jié)圓使尺寸公差符合圖紙規(guī)定。7.10再次去除表面披鋒后并采用超聲波清洗吹凈表面。7.11采用符合精度要求的量具測(cè)量尺寸，合格后進(jìn)行包裝。7.12用緩沖泡棉包裹底座，放入圓形珍珠棉內(nèi)，檢查是否會(huì)晃動(dòng)，確認(rèn)無(wú)異常后貼標(biāo)簽出貨。7.13出庫(kù)前應(yīng)經(jīng)倉(cāng)庫(kù)登記和審核，有序出庫(kù)。8成品質(zhì)量8.1卡爪表面應(yīng)平整、光滑，無(wú)裂紋、金屬飛邊、毛刺等加工缺陷。8.2卡爪處夾持晶圓時(shí)不應(yīng)卡緊或松動(dòng)。9環(huán)境保護(hù)9.1廢氣、廢水9.1.1生產(chǎn)制造應(yīng)配套適宜的污染物治理設(shè)施。9.1.2大氣污染物排放的濃度應(yīng)符合GB16297的規(guī)定。9.1.3廢水應(yīng)由污水處理廠回收或經(jīng)處理后達(dá)標(biāo)排放，排放的廢水應(yīng)符合GB13456的規(guī)定。4T/QGCML4572—20249.2固體廢棄物貯存生產(chǎn)制造產(chǎn)生的固體廢棄物貯存應(yīng)符合GB18597、GB18599的規(guī)定。9.3噪聲對(duì)振動(dòng)較大的設(shè)備應(yīng)采取有效的減振、隔振、消聲、隔聲等措施，生產(chǎn)制造的廠界噪聲應(yīng)符合GB12348的規(guī)定。10.1應(yīng)建立、健全安全生產(chǎn)責(zé)任制，并做好安全生產(chǎn)計(jì)劃工作。10.2應(yīng)根據(jù)GB/T12801的規(guī)定，結(jié)合生產(chǎn)特點(diǎn)制定相應(yīng)安全防護(hù)措施、安全操作規(guī)程和消防應(yīng)急預(yù)案，并配備防護(hù)救生設(shè)施及用品。10.3電氣設(shè)備、線路應(yīng)有可靠