標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 44687-2024 超硬磨料制品 半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，專(zhuān)門(mén)針對(duì)用于半導(dǎo)體晶圓精密加工過(guò)程中的超硬材料砂輪制定了詳細(xì)的技術(shù)要求與測(cè)試方法。該標(biāo)準(zhǔn)旨在通過(guò)規(guī)范此類(lèi)砂輪的質(zhì)量控制和技術(shù)指標(biāo)，確保其能夠滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)高精度、高效能加工工具的需求。

標(biāo)準(zhǔn)首先明確了適用范圍，指出適用于以金剛石或立方氮化硼為主要磨粒材料制造的砂輪產(chǎn)品。這類(lèi)砂輪主要用于硅片及其他類(lèi)型半導(dǎo)體材料的研磨拋光工序中。接著，文件列出了術(shù)語(yǔ)定義部分，為后續(xù)內(nèi)容提供了必要的專(zhuān)業(yè)詞匯解釋。

在技術(shù)要求章節(jié)中，《GB/T 44687-2024》規(guī)定了砂輪的基本尺寸公差、外觀質(zhì)量、硬度等級(jí)以及結(jié)合劑種類(lèi)等關(guān)鍵參數(shù)，并且還特別強(qiáng)調(diào)了對(duì)于磨粒分布均勻性的要求。此外，考慮到實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中可能遇到的各種情況，標(biāo)準(zhǔn)還提出了關(guān)于砂輪工作層厚度、孔徑偏差等方面的具體限制條件。

為了驗(yàn)證是否符合上述各項(xiàng)指標(biāo)，《GB/T 44687-2024》提供了一系列檢驗(yàn)規(guī)則和試驗(yàn)方法。這包括但不限于使用顯微鏡觀察法來(lái)檢查磨粒分布狀況；采用硬度計(jì)測(cè)量法確定砂輪的整體硬度水平；利用專(zhuān)用設(shè)備測(cè)定砂輪的工作層厚度及孔徑尺寸等。同時(shí)，也給出了抽樣方案、判定原則等相關(guān)指導(dǎo)信息。


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....

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  • 即將實(shí)施
  • 暫未開(kāi)始實(shí)施
  • 2024-09-29 頒布
  • 2025-04-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS2510070

CCSJ4.3.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T44687—2024

超硬磨料制品

半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪

Superabrasiveproducts—Precisiongrindingwheelsforsemiconductorwafers

2024-09-29發(fā)布2025-04-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T44687—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

產(chǎn)品分類(lèi)

4…………………1

晶圓邊緣倒角精密磨削用砂輪以下簡(jiǎn)稱(chēng)為倒角砂輪

4.1(“”)………1

晶圓端面減薄精密磨削用砂輪以下簡(jiǎn)稱(chēng)為減薄砂輪

4.2(“”)………3

產(chǎn)品標(biāo)記

5…………………12

倒角砂輪

5.1……………12

減薄砂輪

5.2……………12

技術(shù)要求

6…………………12

外觀

6.1…………………12

基本尺寸極限偏差

6.2…………………13

幾何公差

6.3……………15

基體粗糙度

6.4…………………………15

動(dòng)平衡

6.5………………15

回轉(zhuǎn)強(qiáng)度

6.6……………15

試驗(yàn)方法

7…………………15

外觀

7.1…………………15

基本尺寸

7.2……………16

幾何公差

7.3……………16

基體粗糙度

7.4…………………………17

動(dòng)平衡

7.5………………17

回轉(zhuǎn)強(qiáng)度

7.6……………17

檢驗(yàn)規(guī)則

8…………………17

標(biāo)志

9………………………17

產(chǎn)品標(biāo)志

9.1……………17

合格證標(biāo)志

9.2…………………………17

外包裝標(biāo)志

9.3…………………………17

包裝運(yùn)輸和貯存

10、………………………18

包裝

10.1………………18

運(yùn)輸

10.2………………18

貯存

10.3………………18

Ⅰ

GB/T44687—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本文件由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本文件由全國(guó)磨料磨具標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC139)。

本文件起草單位鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司江蘇賽揚(yáng)精工科技有限責(zé)任公司華僑大學(xué)

:、、、

北京安泰鋼研超硬材料制品有限責(zé)任公司江蘇三晶半導(dǎo)體材料有限公司青島高測(cè)科技股份有限公

、、

司廣東奔朗新材料股份有限公司

、。

本文件主要起草人包華趙延軍陳衛(wèi)東黃國(guó)欽劉一波鄒余耀張秀濤陶洪亮谷春青韓欣

:、、、、、、、、、、

丁玉龍李國(guó)偉牛俊凱張良葉騰飛王禮華朱亮楊松彬尹玉龍

、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T44687—2024

超硬磨料制品

半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體晶圓精密磨削用砂輪的產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品標(biāo)記技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則

、、、、、

標(biāo)志包裝運(yùn)輸和貯存

、、。

本文件適用于半導(dǎo)體晶圓邊緣倒角精密磨削和端面減薄精密磨削用金屬結(jié)合劑樹(shù)脂結(jié)合劑和陶

、

瓷結(jié)合劑及其復(fù)合結(jié)合劑金剛石砂輪

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范線(xiàn)性尺寸公差代號(hào)體系第部分標(biāo)準(zhǔn)

GB/T1800.2—2020(GPS)ISO2:

公差帶代號(hào)和孔軸的極限偏差表

、

磨具回轉(zhuǎn)強(qiáng)度試驗(yàn)方法

GB/T2493

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