雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件 技術要求編制說明_第1頁
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《雙主軸晶圓劃片機用多絲母組件技術要求》編制說明根據《中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會團體標準管理辦法》有關規(guī)定，標準符合立項條件，現(xiàn)批準立項。的精度。所以提高多絲母組件的精度技術對提高芯片尺寸制造精度，件技術要求》晶圓劃片機加工相關情況進行查證工作，確定了《雙主軸晶圓劃片機用多絲標準起草等角度廣泛征求多方意見，從理論完善和實踐應用多方面提升標準的適用性和實用性。經過理論研究和方法驗證，起草組形成了國標準編寫模板TCS2020版進行6.1.6裝配后的多絲母組件應進行6.2.1多絲母組件的行程偏差和變無

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