《鎳鉻合金蒸發(fā)料》

2YS/T×××—××××鎳鉻合金蒸發(fā)料本文件規(guī)定了鎳鉻合金蒸發(fā)料的分類和標記、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導體行業(yè)用的鎳鉻合金蒸發(fā)料（以下簡稱蒸發(fā)料）。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分：按接收質量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T8647（所有部分）鎳化學分析方法GB/T8888重有色金屬加工產(chǎn)品的包裝、標志、運輸、貯存和質量證明書3術語和定義本文件沒有需要界定的術語和定義。4分類和標記4.1產(chǎn)品分類產(chǎn)品為片狀或柱狀的顆粒。其牌號、形狀、規(guī)格應符合表1的規(guī)定，供貨狀態(tài)為加工態(tài)。表1產(chǎn)品牌號、形狀、規(guī)格NiCr10-99.95NiCr10-99.99NiCr20-99.95NiCr20-99.99 ——4.2產(chǎn)品標記產(chǎn)品標記按產(chǎn)品名稱、文件編號、牌號、規(guī)格的順序表示。片狀蒸發(fā)料YS/TXXXXNiCr13YS/T×××—××××柱狀蒸發(fā)料YS/TXXXXNiCr5技術要求5.1化學成分蒸發(fā)料的化學成分應符合表2的規(guī)定。表2化學成分%VNiCr10-99.95NiCr10-99.99NiCr20-99.95NiCr20-99.995.2外形尺寸及其允許偏差5.2.1厚度及其允許偏差蒸發(fā)料片狀產(chǎn)品的厚度及其允許偏差應符合表3的規(guī)定。表3厚度及其允許偏差±0.05>1.00～2.00±0.10>2.00～5.00±0.205.2.2寬度及其允許偏差蒸發(fā)料片狀產(chǎn)品的寬度及其允許偏差為±0.50mm，需方有其他寬度要求的，由供需雙方協(xié)商執(zhí)行。全為正或全為負時為偏差值的2倍。5.2.3長度及其允許偏差蒸發(fā)料的長度及其允許偏差為±0.50mm，需方有其他長度要求的，由供需雙方協(xié)商執(zhí)行。全為正或全為負時為偏差值的2倍。YS/T×××—××××5.2.4直徑及其允許偏差蒸發(fā)料柱狀產(chǎn)品的直徑及其允許偏差為±0.20mm，需方有其他直徑要求的，由供需雙方協(xié)商執(zhí)行。全為正或全為負時為偏差值的2倍。5.3外觀質量5.3.1蒸發(fā)料的表面應光滑、潔凈、平整、無氧化，表面色澤應均勻一致。不允許有裂紋、起皮、氣泡、分層、夾雜物等缺陷，但允許有輕微的、局部的、其尺寸不超過厚度允許偏差的表面劃傷、凹坑和輥印。5.3.2產(chǎn)品表面應清潔、無油污和銹蝕，應無顆粒附加物和其他沾污。5.3.3產(chǎn)品端面或表面允許有輕微的沖、剪、裁等痕跡。6試驗方法6.1化學成分蒸發(fā)料中Al、Fe、Mg、Mn、Si、Cr含量的分析方法按照GB/T8647（所有部分）的規(guī)定進行；蒸發(fā)料中Ti、V、Zr含量的分析方法由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。6.2外形尺寸及其允許偏差外形尺寸應用相應精度的量具進行測量，直徑測量應在兩端1mm處分別測量3次，厚度測量應在邊緣6.3外觀質量外觀質量用目視檢查，必要時，采用相應精度的量具測量。如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，用10倍放大鏡鑒別。7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1產(chǎn)品由供方或第三方進行檢驗，產(chǎn)品質量應符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進行檢驗。如檢驗結果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時，應以書面形式在收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，應由供需雙方在需方共同取樣或協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應成批提交驗收，每批應由同一爐次、牌號、狀態(tài)、形狀和規(guī)格的產(chǎn)品組成。7.3檢驗項目產(chǎn)品出廠前應進行化學成分、外形尺寸及其允許偏差、外觀質量的檢驗。5YS/T×××—××××7.4取樣和制樣7.4.1取樣產(chǎn)品的取樣應符合表4規(guī)定。表4取樣7.4.2制樣產(chǎn)品化學成分檢測需要進行制樣，制樣方法為按化學成分檢測的需求，使用剪料鉗鉗取或鉆頭鉆取一定數(shù)量的鎳鉻合金塊體進行檢測分析。7.5檢驗結果的判定7.5.1檢驗結果的數(shù)值按照GB/T8170的規(guī)定進行修約，并采用修約值比較法判定。7.5.2化學成分不合格時，則判該批產(chǎn)品不合格。7.5.3外形尺寸及其允許偏差不合格時，按粒判不合格。每批中不合格粒數(shù)超出接收質量限時判整批不合格。7.5.4外觀質量不合格時，按粒判不合格。每批中不合格粒數(shù)超出接收質量限時判整批不合格。8標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件8.1標志8.1.1產(chǎn)品標志應在檢驗合格的產(chǎn)品上掛標簽如下標記a)牌號；b)規(guī)格；c)產(chǎn)品批號。8.1.2包裝標志產(chǎn)品的包裝箱標志應符合GB/T8888的規(guī)定。6YS/T×××—××××8.2包裝、運輸、貯存產(chǎn)品的包裝、運輸、貯存應符合下列規(guī)定。a)產(chǎn)品內(nèi)包裝可采用塑料瓶包裝和真空封裝兩種，塑料瓶包裝的瓶口鋁封膜要封口完整，無開裂、無貫通。真空袋封口要平整，真空袋體無漏洞，無真空泄漏，真空包裝良好狀態(tài)下可長期室溫貯藏。b)產(chǎn)品外包裝采用紙箱或木箱包裝。經(jīng)供需雙方協(xié)商還可采用其他方式包裝。c)產(chǎn)品運輸過程中應防止碰傷、擦傷，并保證運輸過程中產(chǎn)品及包裝完整。8.3隨行文件每批產(chǎn)品應附有隨行文件，其中除應包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a)產(chǎn)品合格證，內(nèi)容如下：l檢驗項目及其結果或檢驗結論；l批量或批號