《半導體制造設備用超高純度不銹鋼棒（征求意見稿）》

團體標準T/SSEAXXXX—2022T/CSTAXXXX—2022半導體制造設備用超高純度不銹鋼棒 Superhighpurestainlesssteelbarsforsemiconductormanufacturingfacilities 2022-xx-xx發(fā)布2022-xx-xx實施中國特鋼企業(yè)協(xié)會中關(guān)村不銹及特種鋼棒新材料發(fā)布產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟ICS77.140.60CCSH43半導體制造設備用超高純度不銹鋼棒范圍本文件規(guī)定了半導體制造設備用超高純度不銹鋼棒（圓鋼、方鋼、扁鋼、六角鋼的總稱，以下簡稱鋼棒）的分類、訂貨內(nèi)容、尺寸、外形、重量、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志和質(zhì)量證明書。本文件適用于半導體制造設備閥門和鋼管用尺寸（直徑、邊長、厚度或?qū)吘嚯x，以下簡稱尺寸）不大于150mm的超高純度不銹鋼熱軋鋼棒、冷拉坯料和冷拉鋼棒。經(jīng)供需雙方協(xié)商，也可供應尺寸大于150mm的熱軋鋼棒、冷拉坯料和冷拉鋼棒。規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T222鋼的成品化學成分允許偏差GB/T223.9鋼鐵及鋼棒鋁含量的測定鉻天青S分光光度法GB/T223.11鋼鐵及合金鉻含量的測定可視滴定或電位滴定法GB/T223.19鋼鐵及合金化學分析方法新亞銅靈-三氯甲烷萃取光度法測定銅量GB/T223.25鋼鐵及合金化學分析方法丁二酮肟重量法測定鎳量GB/T223.28鋼鐵及合金化學分析方法α-安息香肟重量法測定鉬量GB/T223.36鋼鐵及合金化學分析方法蒸餾分離-中和滴定法測定氮量GB/T223.59鋼鐵及合金磷含量的測定鉍磷鉬藍分光光度法和銻磷鉬藍分光光度法GB/T223.60鋼鐵及合金化學分析方法高氯酸脫水重量法測定硅含量GB/T223.63鋼鐵及合金錳含量的測定高碘酸鈉(鉀)分光光度法GB/T223.67鋼鐵及合金硫含量的測定次甲基藍分光光度法GB/T223.82鋼鐵氫含量的測定惰性氣體熔融-熱導或紅外法GB/T223.86鋼鐵及合金總碳含量的測定感應爐燃燒后紅外吸收法GB/T226鋼的低倍組織及缺陷酸蝕檢驗法GB/T228.1\t"/search/stdPage?q=GB/_blank"金屬材料拉伸試驗第1部分:室溫試驗方法GB/T230.1金屬材料洛氏硬度試驗第1部分：試驗方法GB/T231.1金屬材料布氏硬度試驗第1部分：試驗方法GB/T702-2017熱軋鋼棒尺寸、外形、重量及允許偏差GB/T905-1994冷拉圓鋼、方鋼、六角鋼尺寸、外形、重量及允許偏差GB/T1220-2007不銹鋼棒GB/T1979結(jié)構(gòu)鋼低倍組織缺陷評級圖GB/T2101型鋼驗收、包裝、標志及質(zhì)量證明書的一般規(guī)定GB/T4162-2022鍛軋鋼棒超聲檢測方法GB/T4226-2009不銹鋼冷加工鋼棒GB/T4334金屬和合金的腐蝕奧氏體及鐵素體-奧氏體（?雙相）不銹鋼晶間腐蝕試驗方法GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法GB/T7736鋼的低倍缺陷超聲波檢驗法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T10561-2005鋼中非金屬夾雜物含量的測定標準評級圖顯微檢驗法GB/T11170不銹鋼多元素含量的測定火花放電原子發(fā)射光譜法（常規(guī)法）GB/T11261鋼鐵氧含量的測定脈沖加熱惰氣熔融-紅外線吸收法GB/T17505鋼及鋼產(chǎn)品交貨一般技術(shù)要求GB/T20066鋼和鐵化學分析測定用試樣的取樣和制樣方法GB/T20123鋼鐵總碳硫含量的測定高頻感應爐燃燒后紅外吸收法（常規(guī)方法）GB/T20124鋼鐵氮含量的測定惰性氣體熔融熱導法（常規(guī)方法）GB/T13288.4涂覆涂料前鋼材表面處理噴射清理后的鋼材表面粗糙度特性第4部分：ISO表面粗糙度比較樣塊的校準和表面粗糙度的測定方法觸針法GB/T13305不銹鋼中α相面積含量金相測定法術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。分類 鋼棒按使用加工方法不同分為下列兩類。鋼棒的加工方法應在合同中注明，未注明默認為按照切削加工用鋼供貨壓力加工用鋼UP熱壓力加工UHP冷拉坯料UCD切削加工用鋼UC訂貨內(nèi)容按本文件訂貨的合同或訂單應包括下列內(nèi)容：本文件編號；產(chǎn)品名稱；牌號；截面形狀（圓、方、扁、六角等）尺寸與外形；交貨長度；交貨重量（或數(shù)量）；冶煉方法；交貨狀態(tài)；其他特殊要求。尺寸、外形、重量熱軋鋼棒的尺寸、外形及允許偏差熱軋鋼棒的尺寸、外形及允許偏差應符合GB/T702-2017的規(guī)定。冷拉鋼棒的尺寸、外形及允許偏差冷拉鋼棒的尺寸、外形及允許偏差應符合GB/T905-1994的規(guī)定。重量鋼棒按實際重量交貨。技術(shù)要求牌號及化學成分鋼的牌號及化學成分（熔煉分析）應符合表1、表2的規(guī)定，本文件牌號與其它文件牌號對照參見附錄A。經(jīng)供需雙方協(xié)商并在合同中注明，可供應其他牌號和化學成分的鋼棒。鋼的牌號及化學成分（熔煉分析）牌號化學成分（質(zhì)量分數(shù)）/%CSiMnPSNiCrMoCuAlTi不大于不大于008Cr17Ni15Mo3-A0.0100.150.050.0200.00214.00～15.0016.50～17.502.20～2.500.250.0100.005008Cr17Ni15Mo3-B0.0100.300.400.0300.00314.00～15.0016.50～17.502.20～2.500.250.0100.005鋼中氫氧氮元素含量（成品分析）牌號化學成分（質(zhì)量分數(shù)）/%ONH008Cr17Ni15Mo3-A0.00150.01500.0002008Cr17Ni15Mo3-B0.00150.01500.0002成品化學成分允許偏差應符合GB/T222的規(guī)定。冶煉方法鋼由真空感應+真空自耗冶煉，經(jīng)供需雙方協(xié)商并在合同中注明，也可采用能滿足本文件要求的其它方法冶煉。交貨狀態(tài)鋼棒以固溶狀態(tài)交貨。經(jīng)供需雙方協(xié)議，鋼棒可經(jīng)車光或磨光交貨。力學性能鋼棒固溶處理后的力學性能應符合表3的規(guī)定。鋼棒的力學性能牌號推薦固溶熱處理制度拉伸硬度抗拉強度RmMPa規(guī)定塑性延伸強度Rp0.2MPa斷后伸長率A%斷面收縮率ZHBW不小于不大于008Cr17Ni15Mo31010℃～1160℃快速冷卻4801754060187低倍組織鋼棒的橫截面酸浸低倍試片上不允許有目視可見的縮孔、氣泡、裂紋、翻皮、夾雜、夾渣、白點、分層等，一般疏松、中心疏松、偏析應符合表4的規(guī)定。經(jīng)供需雙方協(xié)商，并在合同中注明，允許按照GB/T7736的規(guī)定采用超聲波探傷法或其它無損探傷法代替低倍檢驗。低倍組織合格級別一般疏松中心疏松偏析≤1.5≤1.5≤1.5非金屬夾雜物鋼棒應按GB/T10561-2005的A法進行非金屬夾雜物檢測，其合格級別應符合表5的規(guī)定。非金屬夾雜物合格級別夾雜物類型ABCDDS合格級別（不大于）細系粗系細系粗系細系粗系細系粗系0000000.500晶粒度根據(jù)需方要求，并在合同中注明，鋼棒應按GB/T6394進行晶粒度檢驗，鋼棒公稱直徑≤80mm，晶粒度應≥5級；公稱直徑＞80mm，晶粒度應≥3級。耐腐蝕試驗根據(jù)需方要求，并由供需雙方協(xié)商采用合適的試驗方法，且在合同中注明。鋼棒可進行晶間腐蝕試驗，其耐腐蝕性能見表6和表7。GB/T4334中10%草酸浸蝕試驗的判別牌號試驗狀態(tài)GB/T4334.2硫酸-硫酸鐵腐蝕試驗GB/T4334.365%硝酸腐蝕試驗GB/T4334.5硫酸-硫酸銅腐蝕試驗008Cr17Ni15Mo3固溶處理/敏化處理溝狀組織——溝狀組織晶間腐蝕試驗牌號試驗狀態(tài)GB/T4334.2GB/T4334.3GB/T4334.5硫酸-硫酸鐵腐蝕試驗腐蝕減重/[g/（m2/h）]65%硝酸腐蝕試驗腐蝕減重/[g/（m2/h）]硫酸-硫酸銅腐蝕試驗試驗彎曲面的狀態(tài)008Cr17Ni15Mo3固溶處理/敏化處理協(xié)議協(xié)議協(xié)議表面質(zhì)量壓力加工用鋼棒表面質(zhì)量應符合GB/T1220-2007中7.8的規(guī)定。冷加工用鋼棒表面質(zhì)量應符合GB/T4226-2009中6.7的規(guī)定。超聲波探傷鋼棒應按照GB/T4162-2022的規(guī)定進行超聲波探傷，其合格級別應達到GB/T4162-2022中表3質(zhì)量等級中A級的規(guī)定。特殊要求根據(jù)需方要求，可增加冷拔坯料尺寸、外形及重量、α相含量、表面粗糙度、其他腐蝕試驗以及其他檢驗項目，其試驗方法、取樣數(shù)量、評級標準及合格級別由供需雙方協(xié)議并在合同中注明。試驗方法鋼棒的化學成分試驗應按GB/T11170、GB/T20123、GB/T20124或通用方法的規(guī)定進行，但仲裁時應按GB/T223.9、GB/T223.11、GB/T223.19、GB/T223.25、GB/T223.28、GB/T223.36、GB/T223.59、GB/T223.60、GB/T223.63、GB/T223.67、GB/T223.82、GB/T223.86、GB/T11261的規(guī)定進行。鋼棒的檢驗項目、取樣方法和試驗方法應符合表5規(guī)定。檢驗項目、取樣數(shù)量、取樣方法及試驗方法序號檢驗項目取樣數(shù)量取樣方法試驗方法1化學成分1個/爐GB/T20066見8.12拉伸2個/批不同根鋼棒GB/T228.13硬度3個/批不同根鋼棒端部GB/T230.1、GB/T231.14低倍組織2個/批相當于鋼棒錠頭部不同支鋼棒GB/T226、GB/T19795晶粒度1個/批任一根鋼棒GB/T63946腐蝕1個/批任一根鋼棒GB/T43347非金屬夾雜物2個/批不同根鋼棒GB/T10561-20058超聲波探傷逐根整根鋼棒GB/T4162-20229α相含量2個/批不同根鋼棒GB/T1330510粗糙度1個/批任一根鋼棒GB/T13288.411尺寸逐根整根鋼棒卡尺、千分尺、卷尺等12表面逐根整根鋼棒目視檢驗規(guī)則檢查和驗收鋼棒的檢查和驗收由供方質(zhì)量檢驗部門進行。組批規(guī)則鋼棒應成批驗收。每批由同一牌號、同一爐號、同一加工方法、同一交貨狀態(tài)、同一規(guī)格和同一熱處理爐次的鋼棒組成。取樣數(shù)量鋼棒的取樣數(shù)量應符合表5的規(guī)定。復驗和判