02-第二章微影照像用材料知識(shí)課件_第1頁(yè)
02-第二章微影照像用材料知識(shí)課件_第2頁(yè)
02-第二章微影照像用材料知識(shí)課件_第3頁(yè)
02-第二章微影照像用材料知識(shí)課件_第4頁(yè)
02-第二章微影照像用材料知識(shí)課件_第5頁(yè)
已閱讀5頁(yè)，還剩26頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

微影照像用材料

2ElectronicMaterials電子材料1圖2.1(a)正光阻，和(b)負(fù)光阻成像的比較235圖2.2光阻覆蓋製程6圖2.3(a)正光阻，(b)負(fù)光阻的特性比較7（續(xù)）圖2.3(a)正光阻，(b)負(fù)光阻的特性比較8910圖2.4電漿預(yù)處理11圖2.5影像反轉(zhuǎn)製程和(a)以深紫外光照像，(b)曝光後，(c)矽離子植入，(d)氧離子植入，(e)最後是光罩中透明的部份被保留了。12圖2.6駐波現(xiàn)象13圖2.7(a)繞射現(xiàn)象和(b)降低繞射的比較14圖2.8一個(gè)光罩的例子1516圖2.9光罩護(hù)膜

171819圖2.10接觸式曝光系統(tǒng)20圖2.11步進(jìn)照像系統(tǒng)21圖2.12在晶圓上步進(jìn)曝光22圖2.13霧狀晶圓的對(duì)準(zhǔn)原理23圖2.14(a)傳統(tǒng)光罩，和(b)相移光罩的成像的解析度比像24圖2.15數(shù)值孔徑的表示方法

25圖2.16焦距深度的表示方法

26圖2.17解析力的表示方法

27圖2.18各種紫外光和可見光光譜

28圖2.1

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論