《集成電路封裝工藝項(xiàng)目教程（活頁式）》 課件 9.4 任務(wù)二十 正確穿戴進(jìn)入凈化車間

職業(yè)規(guī)范任務(wù)二十正確穿戴進(jìn)入凈化車間1.了解凈化車間及其管理規(guī)范2.了解工業(yè)服裝及穿戴標(biāo)準(zhǔn)3.了解進(jìn)入車間的流程及注意事項(xiàng)知識目標(biāo)任務(wù)二十正確穿戴進(jìn)入凈化車間任務(wù)描述根據(jù)設(shè)備安全作業(yè)規(guī)程與安全風(fēng)險、工業(yè)服裝和裝備穿戴以及凈化車間管理規(guī)定，完成正確穿戴進(jìn)入凈化車間的任務(wù)。任務(wù)要求如下：（1）能正確選擇禁止帶入芯片裸露/非裸露車間物品；（2）能正確完成芯片處于裸露/非裸露狀態(tài)車間要求的穿戴操作；（3）能按照芯片裸露/非裸露狀態(tài)車間操作規(guī)范要求完成進(jìn)入車間的操作。凈化車間管理規(guī)定1.認(rèn)識凈化車間凈化車間也稱為凈化間（或無塵室），是指能將一定空間范圍內(nèi)空氣中的懸浮顆粒、細(xì)菌等污染物排出，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)的環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。凈化車間管理規(guī)定1.認(rèn)識凈化車間序號分類特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)1亂流式氣流呈不規(guī)則之亂流或旋渦狀態(tài)，適用于超凈間等級1000~100000級。構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低、超凈間擴(kuò)充比較容易，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)漂浮不易排出，易污染制成產(chǎn)品。2水平層流式水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出，一般在下流測污染比較嚴(yán)重。構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。構(gòu)造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。3垂直層流式房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之清潔度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛挥绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。凈化車間管理規(guī)定2.潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)等級≥0.1μm≥0.2μm≥0.3μm≥0.5μm≥5μm13.50*107.503.001.00-103.50*1027.50*103.00*101.00*10-100-7.50*1023.00*1021.00*102-1000---1.00*1037.0010000---1.00*1047.00*10100000---1.00*1057.00*102注：一定面積內(nèi)塵粒最大允許數(shù)表2美國標(biāo)準(zhǔn)無塵室級別對空氣懸浮顆粒的限制（微粒數(shù)/ft3）凈化車間管理規(guī)定3.凈化車間注意事項(xiàng)及規(guī)定按規(guī)定步驟操作設(shè)備及產(chǎn)品，嚴(yán)格遵守凈化車間的規(guī)定，盡量避免車間內(nèi)進(jìn)行切割、打磨甚至鉆孔等易產(chǎn)生污染類的作業(yè)，防止芯片有沾污。禁止打鬧、奔跑或進(jìn)行劇烈性的大動作行為，禁止聚堆聊天、說笑、玩手機(jī)或長時間打電話等影響環(huán)境、工作的行為，禁止吸煙、吃零食，禁止攜帶與工作無關(guān)的雜物。車間內(nèi)作業(yè)人員禁止不戴手套進(jìn)行作業(yè)或接觸產(chǎn)品，需時刻保持無塵服、鞋、帽等的正確穿戴，禁止在車間內(nèi)脫衣、換裝或進(jìn)行大動作穿戴整理等。凈化車間管理規(guī)定3.凈化車間注意事項(xiàng)及規(guī)定禁止隨意丟放物品、工具、器皿等，應(yīng)按規(guī)定有序放置于相應(yīng)規(guī)定區(qū)域或工具箱內(nèi)，進(jìn)出凈化車間人員應(yīng)盡量做到保持自身的干凈整潔。進(jìn)入凈化車間前應(yīng)洗手，無塵服須嚴(yán)格按照要求穿戴，不將頭發(fā)露在外面，按要求佩戴口罩。嚴(yán)格遵守凈化車間規(guī)定，在指定區(qū)域更換拖鞋、穿戴無塵服，換下無塵服應(yīng)按照規(guī)定折疊整齊或掛放在指定地點(diǎn)。凈化車間管理規(guī)定3.凈化車間注意事項(xiàng)及規(guī)定嚴(yán)格遵守進(jìn)出通道制度，人員進(jìn)出及物料通道要區(qū)分清楚，物料進(jìn)出需按照固定進(jìn)行操作。進(jìn)入風(fēng)淋室，必須嚴(yán)格按規(guī)定進(jìn)行周身吹掃，不準(zhǔn)穿無塵服走出更衣室，更不允許穿戴無塵服上廁所。爭取不將手機(jī)帶入凈化車間，在凈化車間內(nèi)放取手機(jī)時應(yīng)遠(yuǎn)離產(chǎn)品，不允許摘下口罩、帽子進(jìn)行通話。工業(yè)服裝和裝備1.穿戴工業(yè)服裝與裝備要求潔凈車間生產(chǎn)車間發(fā)罩（帽子）口罩防靜電服無塵服手套防靜電鞋無塵鞋1防靜電帽2防靜電服3戴口罩4穿防靜電鞋5戴手套2穿無塵衣1戴發(fā)罩3戴口罩4穿無塵鞋5戴手套工業(yè)服裝和裝備1.穿戴工業(yè)服裝與裝備要求在晶圓制造、晶圓檢測和芯片封裝注塑完成前等過程中，芯片處于裸露狀態(tài)，對防塵、防靜電要求較高，一般是在千級凈化車間內(nèi)進(jìn)行，其溫度恒為22±3℃，濕度為45±15％。在進(jìn)入芯片裸露狀態(tài)的凈化車間前，需要穿戴無塵衣、無塵鞋、口罩、發(fā)罩、手套等，防止自身微塵和靜電污染芯片。芯片處于裸露狀態(tài)在芯片封裝后部分工序和芯片檢測等過程中，芯片處于非裸露狀態(tài)，通常是在十萬級凈化車間內(nèi)進(jìn)行，其溫度為22±3℃，濕度為55±10％。在進(jìn)入芯片非裸露狀態(tài)的凈化車間前，穿戴常規(guī)防靜電服和發(fā)罩即可，需要時還應(yīng)戴手套和口罩等。芯片處于非裸露狀態(tài)工業(yè)服裝和裝備2.防靜電點(diǎn)檢（1）防靜電點(diǎn)檢的目的防靜電點(diǎn)檢用于檢測并判斷人體靜電是否在車間所要求的安全值內(nèi)，可以驗(yàn)證防靜電鞋、防靜電服、無塵衣等著裝是否正常。在車間方面，設(shè)備儀器、墻壁、天花板和地板等都應(yīng)采用防靜電的不發(fā)塵材料，必要時可使用離子風(fēng)扇、風(fēng)槍等消除靜電。車間環(huán)境在進(jìn)入車間的人員方面，需要穿戴指定的無塵衣或防靜電服，并且進(jìn)行防靜電點(diǎn)檢，點(diǎn)檢合格的人員才能進(jìn)入風(fēng)淋室或車間。進(jìn)入人員工業(yè)服裝和裝備2.防靜電點(diǎn)檢防靜電測試儀主要應(yīng)用于防靜電點(diǎn)檢，支持手和左右腳的靜電測試，可以檢測人體靜電，防止進(jìn)入車間的人員靜電超標(biāo)。它可以結(jié)合門禁設(shè)備和信息化管理軟件實(shí)現(xiàn)入場管理，成為防靜電門禁系統(tǒng)，能夠完成人員身份的自動識別和靜電測試。檢測區(qū)站立區(qū)刷卡區(qū)防靜電測試儀（2）防靜電點(diǎn)檢設(shè)備工業(yè)服裝和裝備3.風(fēng)淋風(fēng)淋是在風(fēng)淋室中進(jìn)行，風(fēng)淋室是現(xiàn)代電子產(chǎn)品生產(chǎn)車間必不可少的潔凈配套設(shè)備。它能通過風(fēng)淋噴嘴噴出經(jīng)過高效過濾的潔凈強(qiáng)風(fēng)，吹除人或物體表面吸附的塵埃，同時又對風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。風(fēng)淋室（1）風(fēng)淋設(shè)備工業(yè)服裝和裝備3.風(fēng)淋采用PLC智能化的控制手段，控制面板上的LED顯示屏能正確顯示風(fēng)淋的運(yùn)行狀態(tài)雙門的互鎖狀態(tài)、風(fēng)淋周期進(jìn)度和延時開門狀態(tài)。采用人性化的控制面板，清晰的指示燈指示，給予用戶清晰正確的風(fēng)淋流程指示。采用美國AAF初、高效過濾器兩級過濾系統(tǒng)，無隔板低阻力高效過濾器，過濾效率為99.99%，確保凈化級別。采用模塊化設(shè)計(jì)方案，可以按實(shí)際需要拼裝成各種長度的風(fēng)淋尺寸，使得生產(chǎn)、運(yùn)輸、安裝特別方便、快捷；采用進(jìn)口電子元器件、先進(jìn)的減噪靜音裝置系統(tǒng)及EVA密封材料，運(yùn)行性能穩(wěn)定可靠、密閉性能高。風(fēng)淋室特點(diǎn)工業(yè)服裝和裝備3.風(fēng)淋風(fēng)淋室無人（1）打開風(fēng)淋室外門進(jìn)入風(fēng)淋室，進(jìn)入前需確認(rèn)風(fēng)淋室無人。風(fēng)淋室有人（2）進(jìn)入風(fēng)淋室后站在指定位置，前后門自動落鎖，然后開始吹純凈風(fēng)。（2）風(fēng)淋步驟及注意事項(xiàng)工業(yè)服裝和裝備3.風(fēng)淋（2）風(fēng)淋步驟及注意事項(xiàng)粘塵墊開始風(fēng)淋工業(yè)服裝和裝備4.集成電路操作間規(guī)程序號應(yīng)做不應(yīng)做原因1只有經(jīng)過授權(quán)的人員方可進(jìn)入凈化間沒有進(jìn)行培訓(xùn)的人員不得進(jìn)人凈化間，凈化間主管具有決定權(quán)。被授權(quán)的人員熟悉凈化間操作規(guī)定2只把必需品帶入凈化間不準(zhǔn)攜帶化妝品、香煙、手帕、衛(wèi)生紙、食物、飲料、照相機(jī)、鑰匙、手機(jī)或未經(jīng)凈化間允許的紙張、圖樣、操作手冊或指示圖標(biāo)等。排除污染物的來源3在凈化間中所有時間內(nèi)都要保持超凈服閉合不要把任何便服暴露在超凈間內(nèi)，不要讓皮膚的任何部分接觸超凈服的外面部分。排除污染物的來源4確保所有頭部和面部頭發(fā)被包裹起來不要暴露頭部和面部的頭發(fā)。排除污染物的來源5遵守進(jìn)入凈化間的程序，如風(fēng)淋進(jìn)入凈化間后不要打開隔離門，直到所有程序完成。風(fēng)淋有助于去除沾污6緩慢移動不要聚集或快速移動。避免破壞氣氣流模式表3操作間操作規(guī)程如何正確穿戴進(jìn)入芯片非裸露車間1.正確著裝（2）腳底除塵腳底的除塵工作也不容忽視，進(jìn)入更衣區(qū)需經(jīng)過粘塵墊，粘除腳底的灰塵。（3）洗手清潔腳底除塵后需利用自動洗手器，完成手部的潔凈并自動烘干。（1）拖鞋與物品放置為減少外部灰塵的帶入以及作業(yè)的安全性，需要脫下鞋子，放入儲物柜中。此外，鑰匙、手機(jī)、工具等個人物品需放置到儲物柜內(nèi)，不可帶入車間。如何正確穿戴進(jìn)入芯片非裸露車間1.正確著裝（4）著裝完成初步的簡易除塵后，根據(jù)潔凈車間的著裝要求，選擇需要的衣物進(jìn)行穿戴。在著裝時，員工的頭發(fā)要全部塞入帽子（或發(fā)罩）內(nèi)，衣服拉鏈應(yīng)拉高至最上方，胸牌別在防靜電服左邊的插筆位置。著裝如何正確穿戴進(jìn)入芯片非裸露車間1.正確著裝穿戴衣物時拉鏈需拉到最上方，戴發(fā)罩或帽子時頭發(fā)必須全部塞入其內(nèi)，戴口罩時須罩住鼻子的中部到下巴的部分；口罩和發(fā)罩不得重復(fù)使用，每天需穿戴全新的口罩和發(fā)罩。若穿戴的衣物有破損需及時更換；無塵衣、無塵鞋、防靜電服一個星期清洗一次。清洗時先用清水浸泡30分鐘，然后清洗即可，需要注意的是這些衣物是由導(dǎo)電纖維的布料制作而成，禁止用刷子刷洗；如何正確穿戴進(jìn)入芯片非裸露車間2.防靜電點(diǎn)檢當(dāng)防靜電點(diǎn)檢判別員工符合進(jìn)入條件，表示點(diǎn)檢合格，此時點(diǎn)檢系統(tǒng)會自動控制車間門打開，允許員工進(jìn)入。在刷卡位置刷員工上崗證（即門禁卡），此時系統(tǒng)會對人員身份進(jìn)行自動識別。防靜電點(diǎn)檢是在防靜電測試儀上進(jìn)行的。防靜電點(diǎn)檢時，雙腳同時站立在防靜電測試儀指定的位置上。識別完成后，用手指按壓在靜電檢測的檢測區(qū)。如何正確穿戴進(jìn)入芯片裸露車間2.防靜電點(diǎn)檢（1）在防靜電點(diǎn)檢合格后，風(fēng)淋室門