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文檔簡介

1、從砂到芯片看處理器是如何精煉的,信息學(xué)院楊緒業(yè),其次是文字結(jié)合,看看一頭地一頭地:砂:硅是地殼內(nèi)第二豐富的元素體,脫氧的砂(特別是灰水晶)包含最多25個硅元素體,以二氧化硅(SiO2)的形式存在通過多階段凈化,得到可用于半導(dǎo)體制造品質(zhì)的硅、學(xué)名電子級硅(EGS ),平均每100萬個硅原子最多只有1個雜質(zhì)原子。 該圖顯示了如何通過硅凈化溶解得到大晶體,最后得到的是硅錠。 單晶硅錠:整體大致為圓柱形,重量約100kg,硅純度99.9999。 第一階段攝影圖片、硅錠切斷:橫向切成圓形的單一硅片,即所謂的晶片。 順便說一下,為什么晶圓是圓的呢?你懂得,晶圓:切斷的晶圓被研磨幾乎完美,表面也可以成為鏡子

2、。第二階段攝影圖片,實際上,因特爾本身不生產(chǎn)這種晶片,直接從第三方半導(dǎo)體企業(yè)購買產(chǎn)品,然后在自各兒的生產(chǎn)流水線進一步加工,例如現(xiàn)在主流的45nm HKMG (高k金屬男同性戀)。 饒有興致的是,因特爾創(chuàng)立初期使用的晶圓尺寸僅為2英寸/50毫米。 負性光刻膠(Photo Resist ) :圖中的藍色部分與制作以往的薄膜一樣,是在晶片旋轉(zhuǎn)中注入的負性光刻膠液。 通過旋轉(zhuǎn)晶圓,能夠使結(jié)賬臺店非常薄、非常平坦。 光電微影技術(shù):結(jié)賬臺層隨后通過掩膜(Mask )在紫外輻射(UV )下曝光,變?yōu)榭扇?,其間發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)類似于按下機械通用相機快門優(yōu)先時膠片的變化。 掩膜上印刷有預(yù)先修正的電路圖案,如果紫外

3、輻射透過該圖案碰到結(jié)賬臺主層,則形成微處理器的各層的電路圖案。 通常,在晶片上得到的電路圖案是掩模上的圖案的四分之一。 光刻:由此進入50-200毫微米大小的晶體管水平。 在一塊晶片上可以切出數(shù)百個處理器,從這里縮小視野,展示晶體管星空衛(wèi)視等的零配件的制作方法。 晶體管相當(dāng)于開關(guān),控制著電流的方向。 現(xiàn)在的晶體管這么小,一根針上能放大約3000萬個。 第三階段攝影圖片,負性光刻膠溶解:在光電微影技術(shù)中,紫外輻射下曝光的負性光刻膠溶解,去除后殘留的圖案與掩膜上的一致。 蝕刻:用化學(xué)物質(zhì)溶解露出的結(jié)晶圓部分,剩下的結(jié)賬臺斯特保護不應(yīng)該蝕刻的部分。 去除結(jié)賬臺塵埃:蝕刻完成后,完成結(jié)賬臺塵埃的使命宣

4、言,全部去除后,可看到修正的電路圖案。 第四階段攝影圖片,結(jié)賬臺罷工:再次施加結(jié)賬臺罷工(藍色部分),然后通過照片微影技術(shù),把曝光的部分洗掉,剩下的結(jié)賬臺罷工用于保護不注入絡(luò)離子的部分的材料。 在真空系統(tǒng)中,通過將加速摻雜的原子的絡(luò)離子照射(注入)到固體材料中,在注入的區(qū)域中形成特殊的注入層,從而改變這些個區(qū)域中的硅的導(dǎo)電性。 經(jīng)過電場加速,注入的絡(luò)離子流速度可超過30萬公里。 負性光刻膠的除去:絡(luò)離子注入完成后,負性光刻膠也被除去,注入?yún)^(qū)域(綠色部分)也被摻雜,不同的原子被注入。 請注意,此時的綠色與在先不同。 第五階段攝影圖片,晶體管準備:至此,晶體管基本完成了。 在絕緣材料(品紅色)上蝕

5、刻3個孔,填充銅,以便與其他晶體管接線。 電鍍:在晶圓上電鍍硫酸銅,使銅絡(luò)離子沉淀在晶體管上。 銅絡(luò)離子從正極(陽極)流向負極(陰極)。 銅層:電鍍完成后,銅絡(luò)離子堆積在晶圓表面,形成薄銅層。 第六階段攝影圖片、研磨:研磨多才多藝的銅,即研磨晶片表面。 金屬層:晶體管級,6個晶體管組合,約500毫微米。在不同的晶體管之間形成復(fù)合布線金屬層。 具體的版結(jié)構(gòu)依賴于各個處理器所需的不同功能。 拍攝第七階段的攝影圖片,芯片表面看起來異常光滑,實際上可能包含20多層的復(fù)雜電路,放大后會看到非常復(fù)雜的電路網(wǎng)絡(luò),例如未來的多層高速公路系統(tǒng)。 晶片測試:核心級,約10毫米/0. 5英寸。 圖中是晶片的一部分,

6、接受第一次的功能測試,使用回流丙二烯電路圖案對每個芯片進行對比。 晶圓切片(Slicing ) :晶圓水平,300mm/12英寸。 把晶圓切成塊狀搖滾樂。 每個子搖滾樂都是處理器的核心(Die )。銷毀缺陷內(nèi)核:晶片級。 丟棄在測試中發(fā)現(xiàn)的有缺陷的內(nèi)核,準備進入下一步。第八階段攝影圖片,單內(nèi)核:內(nèi)核級。 從晶片上切出的各個核在這里表示Core i7的核。 包裝:包裝級別,20mm/1英寸。 電路板(電路板)、核心、散熱片重疊,形成我們所看到的處理器一樣的形狀。 電路板(綠色)相當(dāng)于一個基板,為處理器核心提供電氣和機械的接口,便于與PC系統(tǒng)的其他部分的交互。 散熱器(銀色)負責(zé)散熱芯。 處理器:這樣可以得到完整的處理器(這里是Core i7)。 在這個世界上最干凈的房間制作的最復(fù)雜的產(chǎn)品,其實是經(jīng)過數(shù)百個步驟得到的,在這里顯示了其中幾個重要的步驟。第9階段攝影圖片、等級測試:最后的測試,識別各處理器的主要特性(例如,最大射頻

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