無塵室相關標準ppt課件.ppt

1、無塵室相關標準,1,無塵室原理 無塵室衡量標準 無塵室驗收標準,Contents,2,無塵室原理,無塵室概念: 以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采用風機濾網(wǎng)機組FFU送風,四周用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內(nèi)部凈化級別可達100100K級,適用局部凈化級別要求高的區(qū)域。 對微粒控制、溫度、濕度、照明、噪聲、靜電、微振的多功能綜合整體。,3,無塵室原理,依據(jù)送風方式的不同： 可分為亂流式(非均勻流型)和單一方向式(均勻流型)。 Class 1100 均采用單向流送風方式，即在同一截面的任一點，氣流的方向和速度均保持一致，將室內(nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走。靠送風氣活塞般的擠壓作用。新

2、風量不小于總風量的2%4%。 Class 1000 100000采用非單向流送風方式，以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流或渦流，主要靠氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，以實現(xiàn)凈化。靠氣流擴散來稀釋。新風量不小于總風量的10%30%。 測量單位：微米(micrometer),1um=1m的百萬分之一。,4,無塵室衡量標準,潔凈度參照 STD-209E,5,無塵室衡量標準,Air Change & HEPA 遮蔽率,Air change: FFU的表面積*風速*FFU數(shù)量/Clean Room體積,HEPA遮蔽率： FFU的表面積* FFU數(shù)量/Clean Room面積,6,無塵室衡量

3、標準,風速、溫濕度 氣流速度為：0.30.5m/s(60100ft/min) 。 一般之溫度控制范圍：T=(212) 一般之濕度控制范圍：(455)RH,7,無塵室衡量標準,壓差 在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在無塵室和未確認潔凈等級的區(qū)域應保持有15Pa的壓力差。當產(chǎn)生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。,8,無塵室驗收標準,用Particle Counter (Met One）測空氣中之粒子總數(shù)及大小(離作業(yè)面為30公分)。 依據(jù)ISO14644-1可分為三種操作狀態(tài)：完工狀態(tài)-無制程設備、原料或工作人員。完工后停止生產(chǎn)狀態(tài)-室內(nèi)有制程設備，不含工作

4、人員。運轉(zhuǎn)狀態(tài)-三者皆在工作狀態(tài)。,9,無塵室驗收標準,取樣次數(shù)要求 單一方向氣流的測試數(shù)量,方法一、氣流的流入體積/25 方法二、氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根,選數(shù)字小者,非單一方向氣流的測試數(shù)量,方法：氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根,例如：計算iMac所使用的潔凈室的測試數(shù)量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次,例如：計算M97所使用的潔凈室的測試數(shù)量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次,10,無塵室驗收標準,潔凈度取樣要求 取樣需兩點以上 測試點要平均

5、分布 各測試點須一個以上的取樣數(shù) 全體需5個以上的取樣數(shù) 各測試點的取樣數(shù)不一樣也可以,11,無塵室驗收標準,潔凈度判斷標準 兩個條件需同時滿足： 在每個測試點的粒子濃度平均值應在CLASS上限值以下 這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下,12,無塵室驗收標準,實例說明 在Ring Room空態(tài)下，共取3個點，每個點測量0.5um的粒子，測量記錄如下： 第一點 8、0 第二點 20、8 第三點 11、23、14 判斷依據(jù)一、 在各測試點的粒子濃度平均值應在CLASS上限值以下 第一點的平均值 （8+0)/2=4 第二點的平均值 （20+8)/2=14 第三點的平均值

6、 （11+23+14)/3=16 小結(jié)：滿足,13,無塵室驗收標準,判斷依據(jù)二、 這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下 上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù) M：平均值的平均 M =(4+14+16)/3=11.3 SE：標準誤差 SE=SD/ SD：標準偏差 L：測試點數(shù)量 SD= =6.429 SE=6.429/ =3.71,14,無塵室驗收標準,UCL系數(shù)： 95%信賴界限的UCL系數(shù) 上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù) =11.3+3.71*2.9=22.1 總結(jié)：滿足,15,無塵室驗收標準,其余要求,注：1.PVC窗簾與地面高度為1520cm，且應該在立柱內(nèi)側(cè)。 2.配電箱是三相電，電壓380V。,16,圖片欣賞,FFU,風淋室,17,1.2米方通,立柱,18,托框,初效,19,高效,自己找找看？ 1、盲板？ 2、PVC簾？ 3、垂簾？,20,搶答環(huán)