YS∕T 987-2014 氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法——甲基二氯氫硅的測定

ICS7704030 H 17 . . 中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準 YS/T9872014 氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法 甲基二氯氫硅的測定 Testmethodformeasuringcarboncontainingcompoundinchlorosilane Determinationofmethyldichlorosilane2014-10-14發(fā)布 2015-04-01實施 中華人民共和國工業(yè)和信息化部 發(fā) 布 YS/T9872014 前 言 本標準按照 給出的規(guī)則起草 GB/T1.12009 。 本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會 歸口 (SAC/TC243) 。 本標準負責(zé)起草單位 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 : 。 本標準參加起草單位 樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 東方電氣集團峨嵋半導(dǎo)體材料有限公 : 、司 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司 洛陽中硅高科技有限公司 南京中鍺科技股份有限公司 新特能源股 、 、 、 、份有限公司 。 本標準主要起草人 敖細平 王波 黃代文 梁洪 劉暢 姚淑 荊凡 楊艷芬 銀波 黃彬 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。 YS/T9872014 氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法 甲基二氯氫硅的測定1 范圍 本標準規(guī)定了氯硅烷中碳雜質(zhì)的測定方法 主要包括三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定和四氯化硅 , 中甲基二氯氫硅的測定 。 本標準適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測定和四氯化硅中甲基二氯氫硅的測定 三氯氫硅 四 。 、 氯化硅中甲基二氯氫硅的檢測范圍均為 0.00001%1.00%。2 規(guī)范性引用文件 下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本文件 。 , ( ) 。 高純氦 GB/T4844.3 3 方法原理 本標準采用 二氯乙烷作為內(nèi)標物 利用氣相色譜 質(zhì)譜儀 測定三氯氫硅和四氯化硅 1,2- , - (GC-MS) 中甲基二氯氫硅的含量 氣相色譜 質(zhì)譜儀通過極性毛細管色譜柱將三氯氫硅或四氯化硅的主體和碳 。 - 雜質(zhì)分開 確定其保留時間 利用吹掃裝置將氣相色譜分離后的三氯氫硅或四氯化硅主體排出 將碳雜 , 。 , 質(zhì)導(dǎo)入質(zhì)譜儀進行分析 用氣相色譜 質(zhì)譜儀的定性模式對樣品三氯氫硅和四氯化硅中碳雜質(zhì)進行全 。 - 掃描分析 僅發(fā)現(xiàn)有甲基二氯氫硅離子峰的存在 因此本標準主要對三氯氫硅或四氯化硅中的甲基二氯 , , 氫硅進行分析 。4 試劑和材料 除非另有說明 分析時均使用符合國家標準的試劑或材料 , 。41 高純氦氣 應(yīng)符合 的規(guī)定 . , GB/T4844.3 。42 甲基二氯氫硅 色譜純 . , 。43 二氯乙烷 色譜純 . 1,2- , 。44 正辛烷 色譜純 . , 。45 三氯氫硅 光譜純 . , 。46 四氯化硅 光譜純 . , 。5 儀器與設(shè)備 51 氣相色譜 質(zhì)譜