WI-P-153-A0-防靜電管理規(guī)范-10-11-17(最新).docxVIP

編 號WI-P-153防靜電管理規(guī)范頁次 第 19 頁共 17頁生效日期2010-12-05版次A/0一、目的為避免靜電敏感元器件在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲存、檢測等過程中受到靜電釋放的影響，從而產(chǎn)生短路、電阻漂移、開路、工作性能退化等不良現(xiàn)象。特建立電子產(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求，以保證產(chǎn)品品質(zhì)，增加可靠性，減低不良率，節(jié)省產(chǎn)品工時成本，降低維修費(fèi)用，基于電子產(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求文件的頒布，提高員工對ESD的認(rèn)識，加強(qiáng)員工自覺防止ESD現(xiàn)象之觀念，促進(jìn)生產(chǎn)管理水平之提高；二、適用規(guī)范本文適用于所有車間中生產(chǎn)制程及電子元器件的采購、運(yùn)輸、儲存、檢測過程中的靜電防護(hù)；三、引用標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 10694-1996 電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法GB/T 15463-1995 靜電安全名詞術(shù)語GJB 3007 - 97 防靜電工作區(qū)技術(shù)要求GJB 1649 - 93 電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱GB 12014 - 89 防靜電工作服SJ/T 10533-94 電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求SJ/T 10630-1995 電子元器件制造防靜電技術(shù)要求ANSI / ESD STM3.1-2000 靜電放電敏感產(chǎn)品防護(hù)用標(biāo)準(zhǔn)：離子發(fā)生器ANSI / ESD S20.20-1999 建立一個靜電放電控制方案保護(hù)電氣和電子零件，裝置和設(shè)備四、 名詞述語1、 靜電： 一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。它所引起的磁場效應(yīng)可以忽略不計（靜電可由物質(zhì)的接觸與分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生）。2、 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指靜電釋放，即通過帶靜電區(qū)域直接接觸或感應(yīng)而引起的靜電電荷在不同電勢物體上的轉(zhuǎn)移。后常指靜電防護(hù)，即避免靜電釋放的發(fā)生。3、 靜電感應(yīng)：當(dāng)帶電物體靠近某一介質(zhì)時，在該介質(zhì)表面因感應(yīng)而帶電荷，并形成感應(yīng)電場。4、 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，靜電放電敏感（的），通常用來指靜電敏感元器件。5、 防靜電工作區(qū)：由各種防靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場地。6、 靜電敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的靜電放電電壓值。7、 表面電阻/點對點電阻：在與材料的同一側(cè)面相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對于流過的電流的比值。該測量結(jié)果以歐姆為單位來表示。8、 體積電阻/對地電阻/系統(tǒng)電阻：在與材料的相對兩面相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對于流過的電流的比值。該測量結(jié)果以歐姆為單位來表示。9、 摩擦起電：當(dāng)使兩種材料接觸或相互摩擦后分離時，產(chǎn)生靜電荷。10、 摩擦電壓：物體被摩擦后，表面所帶靜電荷的電壓。11、 ESD 損傷：由靜電放電引起的電子元器件性能退化或功能失效12、 消電時間（Decay Time）：一個靜電壓從其初始值降低到一個給定值（通常是初始值的10%）所需要的時間。注：國際慣例對于小于1E6歐姆的電阻使用10V電壓測量，大于或等于1E6歐姆的電阻使用100V電壓測量，防靜電工作區(qū)系統(tǒng)。五、 防靜電規(guī)范1、防靜電工作區(qū)的劃分（1） 根據(jù)GJB 1649規(guī)定的靜電放電電壓敏感的靜電放電敏感元器件組件和設(shè)備的分級. 靜電放電敏感產(chǎn)品按敏感度電壓被分級為靜電敏感度級別靜電敏感電壓（人體模型HBM）I級01999VII級20003999VIII級400015999V 根據(jù)該項標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，所要求的ESD控制大綱一般只包含對I和II級敏感產(chǎn)品的防護(hù)。現(xiàn) 按照元器件靜電敏感度和生產(chǎn)線實際情況如下A LED芯片的靜電敏感度相對較高，生產(chǎn)環(huán)境相對干燥, 凡是直接操作的半成品、成 品生產(chǎn)線均定為I級B僅僅是器件的存儲和運(yùn)輸，也不需要嚴(yán)格的防靜電措施，理由是產(chǎn)品在這個時候沒 有被加工。把這些區(qū)域或車間定為II級C按照上述理由，現(xiàn)規(guī)定敏感級別為：級別區(qū)域I級固焊車間、灌膠車間、模壓車間、外觀、分光、包裝、實驗室等II級成品包裝區(qū)域、貨倉區(qū)域，生產(chǎn)倉，收料倉等（2） 公司內(nèi)部由黃、黑雙色斑馬線圍起的區(qū)域或門口掛有靜電標(biāo)示牌的車間為防靜電工作區(qū)。（3） 原材料IQC按后附錄1原材料分類酌情分級，并確定。2、 防靜電工作區(qū)基本環(huán)境要求（1） 防靜電工作區(qū)應(yīng)保持潔凈，避免有灰塵堆積或漂浮的狀態(tài)發(fā)生（2） 車間內(nèi)溫濕度的控制結(jié)合車間的實際情況定為：區(qū)域溫度濕度萬級潔凈室233C 30% 60%10萬級潔凈室233C30% 60%普通車間233C30% 60%（3） 在不對產(chǎn)品造成有害影響的前提下，允許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水，以增加環(huán)境濕度。（4） 防靜電工作區(qū)應(yīng)清楚標(biāo)明區(qū)域界限以及警示標(biāo)志，見附錄12。（5） 要求使用防靜電地板或在普通地面上鋪設(shè)防靜電地墊，并保證有效接地。禁止直接使用木制地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。（6） 天花板及墻壁建議使用防靜電材料制品，一般情況下允許使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。3、 防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng) （1）應(yīng)有獨立可靠的接地裝置，接地電阻一般應(yīng)小于10歐姆，為保證人員安全，在與 人員直接接觸的地方應(yīng)加裝1兆歐姆限流電阻。接地線的要求如下： （2）廠房接地總線的接地電阻小于10歐姆，由行政課負(fù)責(zé)定期檢查，周期為一個月一 次。并填寫防靜電電阻測試記錄表。 （3）車間內(nèi)部的設(shè)備和工作臺的接地線的接地狀況由ME負(fù)責(zé)定期檢查，周期為每天一 次。并填寫設(shè)備保養(yǎng)記錄表。 （4）防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)方法見附錄15。4、 防靜電工作區(qū)的ESD要求（1）防靜電地板A. 用防靜電PVC地板專用清潔劑或中性清潔用品定期進(jìn)行清潔，嚴(yán)禁使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或能。B. 溶解PVC材料的化學(xué)溶劑進(jìn)行清洗，如果屬于更嚴(yán)重的污漬，可以使用異丙烯基乙醇清潔，嚴(yán)禁帶有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦劃、拖拉。C.不能將硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如發(fā)生以上情況，應(yīng)立即清 潔。D. 使用防靜電地板蠟水進(jìn)行定期涂敷、養(yǎng)護(hù)，一般6個月一次。E. 地板蠟的電阻小于1E9歐姆。F. 地板安裝時應(yīng)滿足的ESD技術(shù)指標(biāo)包括：表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9 歐姆范圍以內(nèi)。G. 生產(chǎn)課應(yīng)及時向行政課要求對防靜電地板進(jìn)行打蠟維護(hù)，行政課做好地板打蠟后 應(yīng)及時通知ESD工程師。H. 對于普通潔凈室的地板，經(jīng)IE評估且經(jīng)過ESD工程師的認(rèn)可，可以不做地板打蠟。I. ESD工程師應(yīng)在行政課對防靜電地板打蠟后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng) 電阻測試，測試方法見附錄2，并填寫防靜電電阻測試記錄表。 （2）防靜電安全工作臺（含測試臺）A 各區(qū)域的防靜電安全工作臺由負(fù)責(zé)該區(qū)域的PE或ME確定范圍。例如：回流焊后的檢查臺、品質(zhì)檢查臺、工作臺和測試臺等。B 防靜電安全工作臺基本要求和禁止項目要求禁止工作臺表面鋪設(shè)防靜電臺墊，同時臺墊必須接地。特殊情況可以沒有臺墊，但需經(jīng)ESD工程師認(rèn)可。工作臺上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易產(chǎn)生靜電的雜物.配備腕帶接頭、ESD地線、離子風(fēng)機(jī)（可選）、防靜電工具（可選）和防靜電測試架距離ESDS元器件30厘米以內(nèi)有摩擦電壓高于200V的物件C 在防靜電區(qū)內(nèi)使用不符合防靜電要求的物料且必須時，必須得到品質(zhì) 及ESD工程師的評估和認(rèn)可。D 防靜電臺臺面應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以內(nèi)E 防靜電臺椅子應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均小于1E9歐姆范圍。F 品質(zhì)部應(yīng)每6個月做一次相應(yīng)的工作區(qū)域內(nèi)的防靜電臺墊電阻測試，防靜電臺墊測試方法見附錄2，填寫防靜電電阻測試記錄表。 （3）防靜電包裝及容器A 防靜電容器包括ESDS原料包裝袋（盒/盤）、裝板的料盒、等一切包裝、儲存ESDS的容器。B 允許使用局部抗靜電涂料對容器表面進(jìn)行處理，但使用效果必須由相關(guān)PE定期檢查。C 防靜電容器應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻(包括內(nèi)外表面)在1E41E11歐姆范圍，系統(tǒng)電阻在1E41E10歐姆范圍。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品的金屬部分不直接與防靜電容器接觸，則允許防靜電容器的電阻小于1E4歐姆。品質(zhì)部應(yīng)每6個月做一次防靜電容器（包括吸塑、托盤、料箱等）表面電阻和體積電阻測試，測試方法見附錄4。填寫防靜電電阻測試記錄表，測試結(jié)果由品質(zhì)部保存半年，并在符合標(biāo)準(zhǔn)的容器上做標(biāo)記。IQC對來料的包裝袋和容器進(jìn)行測試，并填寫防靜電電阻測試記錄表。 （4）防靜電運(yùn)輸工具及存放架等A 防靜電運(yùn)輸工具包括ESD運(yùn)輸車、ESD小推車等B 為保護(hù)ESDS不受到外部強(qiáng)靜電場的影響，運(yùn)送ESDS的防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)由高導(dǎo)電性材料（建議使用不銹鋼）制作，車子經(jīng)常固定時要求硬接地。其對地電阻應(yīng)小于10歐姆。C 當(dāng)運(yùn)輸車由不銹鋼組成時，且經(jīng)常移動時，其對地電阻應(yīng)小于1E9歐姆D 存放架的表面電阻和對地電阻應(yīng)小于10E9歐姆。E 防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻和對地電阻小于1E9歐姆。品質(zhì)部應(yīng)每6個月做一次防靜電運(yùn)輸車、ESD小推車之臺面對輪腳系統(tǒng)電阻測試，測試方法見附錄5。填寫防靜電電阻測試記錄表，測試結(jié)果由品質(zhì)部保存半年，并在符合標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)輸工具上做標(biāo)記。 （5）其它防靜電物料及相關(guān)要求A 不在上面列出來的物料則按一般防靜電要求，表面電阻在10E410E11歐姆內(nèi)，系統(tǒng)電阻在1E41E11歐姆內(nèi)。B 特殊情況下，如果找不到合適的供應(yīng)商，又經(jīng)過ESD工程師的評估，確認(rèn)不會對產(chǎn)品構(gòu)成ESD隱患的情況下，可以引入表面電阻或體積電阻小于1E11歐姆的物料。六、 人體防靜電系統(tǒng)1 防靜電腕帶（1） 直接接觸ESDS的任何人員都應(yīng)按規(guī)定佩帶防靜電腕帶（俗稱靜電帶），禁止使用無線防靜電腕帶。（2） 防靜電腕帶的接觸線應(yīng)內(nèi)置一個1兆歐姆電阻，以保證人體安全以及快速瀉放靜電，防靜電腕帶的腕帶應(yīng)是導(dǎo)電性的，表面電阻應(yīng)小于1E3歐姆。同時應(yīng)保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好的接觸，系統(tǒng)電阻應(yīng)小于35兆歐姆，且使用鱷魚夾或插頭座可靠的連接在ESD線上。（3） 應(yīng)每天一次測量防靜電腕帶的系統(tǒng)電阻，由作業(yè)員填寫靜電手環(huán)測試記錄表，檢查不合格時應(yīng)及時更換。2 防靜電鞋/防靜電鞋套（1） 所有進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員都應(yīng)穿用防靜電鞋/鞋套，防靜電鞋/鞋套的使用要保證鞋的系統(tǒng)電阻在1E53.5E7歐姆范圍內(nèi)，品質(zhì)部每6個月檢查，不合格時要求應(yīng)及時更換。3 防靜電工作服（1） 防靜電工作服包括防靜電連體衣、防靜電大褂、防靜電工鞋（鞋套）和工帽，防靜電工作服要求使用導(dǎo)電網(wǎng)格防靜電綢制作，制造要求應(yīng)符合GB 12014之規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計應(yīng)能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。（2） 進(jìn)入防靜電區(qū)域時，防靜電工作服、工鞋和工帽要求穿著整齊，全部紐扣（拉鏈）要系好（拉完全），頭發(fā)必須包在工帽內(nèi)，不能有外露。（3）不同使用人員之防靜電工作服按顏色區(qū)分：人員普通工作區(qū)域及10萬級潔凈室萬級潔凈室生產(chǎn)課作業(yè)員工白色的防靜電服（帽）黃色防靜電連體服帽品質(zhì)部員工粉紅色的防靜電服（帽）粉紅色防靜電連體服帽工程人員白色的防靜電服（帽）白色防靜電連體服帽生產(chǎn)管理人員白色的防靜電服（帽）白色防靜電連體服帽外來人員白色的防靜電服（帽）白色防靜電連體服帽（4）購買防靜電工衣時應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻值（1E5歐姆1E10歐姆）。（5）品質(zhì)部應(yīng)每半年做一次防靜電工衣表面電阻測試，測試方法見附錄5，并填寫防靜電電阻測試記錄表，對于不符合指標(biāo)要求的防靜電工衣，予以更換。4 防靜電手套/指套（1）由消散性材料制成，人體穿戴對地電阻在1E51E11歐姆范圍，摩擦電壓小于50V。5 人體防靜電一般要求（1） 要求進(jìn)入防靜電區(qū)的人員盡量穿著棉質(zhì)衣物，盡量避免穿著尼龍等合成纖維制品，以免產(chǎn)生強(qiáng)電場導(dǎo)致靜電感應(yīng)放電現(xiàn)象。（2） 在防靜電工作區(qū)內(nèi)不得大聲喧嘩，坐立姿勢端正，避免不必要的走動，以及不必要的大幅度身體運(yùn)動，如彎腰、晃動手臂等，在防靜電工作區(qū)內(nèi)如有必要走動，應(yīng)緩步行走，禁止奔跑。（3） 接觸靜電敏感器件及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶再接入防靜電地線系統(tǒng)，要保證腕帶與皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護(hù)膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。（4） 手持靜電敏感器件及組件時應(yīng)避免接觸其導(dǎo)電（金屬管腳）部分，操作過程中應(yīng)盡量減少對靜電敏感器件及組件的接觸次數(shù)。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆散亂地放在工作臺面上，確需暫時疊放時必須用防靜電材料隔離開。（5） 外來人員參觀，必須有本公司人員全程陪同，按參觀路線行進(jìn)，不得隨意走動，不得進(jìn)入機(jī)器外圍的斑馬線地標(biāo)，更不得隨意觸摸產(chǎn)品。七、 職責(zé)1 制造經(jīng)理、課長、組長等管理人員，職責(zé)包括：（1）負(fù)責(zé)做好物料、作業(yè)員、及其他進(jìn)出防靜電工作區(qū)人員及物品的出入管理，確保其按 ESD要求正確著裝 （2）確保作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內(nèi)的人員正確使用ESD設(shè)備，包括防靜電工衣、防靜電 工帽、防靜電工鞋、防靜電腕帶、防靜電臺墊、離子風(fēng)機(jī)、ESD料盒和ESD地板等； （3）確保無關(guān)人員不接觸產(chǎn)品，不對產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放； （4）對懷疑是靜電損傷的產(chǎn)品，需要保存樣品并報告給相應(yīng)的部門作失效分析； （5）定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶的ESD品質(zhì)，如有品質(zhì)異常，及時向采購部提出采 購申請更換； （6）每天檢查ESD設(shè)備、臺墊等的接地狀況（目視），確保接地線正確的連接到ESD總線 上； （7）每六個月要求行政課對防靜電地板進(jìn)行打蠟。2 ESD工程師/技術(shù)員職責(zé)包括：（1） 統(tǒng)籌全廠的ESD控制，定期對生產(chǎn)線的靜電防護(hù)水平做出評估，并給出改善意見， 提高其靜電防護(hù)水平；（2） 負(fù)責(zé)尋找新的防靜電用品的供應(yīng)商，評估新購的防靜電用品的性能；（3） 協(xié)助人力資源部進(jìn)行ESD培訓(xùn)；（4） 監(jiān)督各個部門的ESD管理情況，及時反映ESD狀況；（5） 對生產(chǎn)線的靜電損傷樣品作失效分析，解決工序中的ESD情況；（6） 定期檢查除靜電離子發(fā)生器的性能，確保其正常工作；（7） 負(fù)責(zé)對打蠟后的地板進(jìn)行測量；（8） 責(zé)成行政課保證車間內(nèi)的相對空氣濕度在各車間規(guī)定的范圍內(nèi)；（9） 定期檢查ESD總線的接地狀況，確保其狀況良好；（10） 定期使用專用的防靜電地板蠟水對防靜電地板打蠟，打完蠟后進(jìn)行電阻測試；（11） 定期檢查防靜電設(shè)備，確保其可以正常使用，包括防靜電臺墊、地墊、防靜電容器、 運(yùn)輸工具和其它輔助工具的表面電阻和系統(tǒng)電阻測試等； （12） 定期檢查臺墊和機(jī)器的接地狀況，確保接地良好。3 人力資源部職責(zé)包括： （1）負(fù)責(zé)對新進(jìn)廠的員工進(jìn)行初步的防靜電知識培訓(xùn)； （2）定期對員工進(jìn)行防靜電知識培訓(xùn)，并進(jìn)行培訓(xùn)的再審核。4 研發(fā)部職責(zé)包括：（1） 研發(fā)部在設(shè)計新產(chǎn)品時應(yīng)考慮到器件的靜電敏感度，盡量選用具有最大靜電抗擾度的元件；（2） 在新產(chǎn)品設(shè)計階段應(yīng)盡量引入防靜電網(wǎng)絡(luò)到電路設(shè)計中去，以保護(hù)產(chǎn)品里面的靜電敏感元件；（3） 要求供應(yīng)商提供元器件靜電敏感度的級別。包括人體模型(HBM)、機(jī)器模型(MM)和帶電器件模型(CDM) (應(yīng)列明何種標(biāo)準(zhǔn))； （4）做好SEF（包括防靜電指標(biāo)，part number等）給IQC抽測來料。5 品質(zhì)部職責(zé)包括：（1） 確定ESDS敏感級別，對成品進(jìn)行靜電放電模擬測試，是否在要求范圍內(nèi)；（2） 根據(jù)SEF負(fù)責(zé)抽測、監(jiān)控靜電敏感器件來料和靜電敏感器件產(chǎn)品的品質(zhì)，如發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)及時反饋信息給ESD工程師或相應(yīng)的部門； 6供應(yīng)鏈管理部：（1）負(fù)責(zé)貨倉防靜電措施的維護(hù)和管理。（2）定期通知ESD工程師進(jìn)行檢測使用中的防靜電用具。八、 培訓(xùn)1 對所有可能接觸或接近ESDS的人員，必須進(jìn)行相關(guān)的ESD知識培訓(xùn)，并加以教育與訓(xùn)練，使之樹立有效的ESD防護(hù)觀念。培訓(xùn)的有效期為一年。人力資源部應(yīng)填寫員工防靜電知識培訓(xùn)考核記錄表。2 防靜電培訓(xùn)的內(nèi)容包括：（1） 靜電學(xué)基礎(chǔ)和靜電損害（2） 靜電性能測試（3） 防靜電的標(biāo)示與包裝（4） 防靜電控制（5） 防靜電設(shè)備的使用和檢測（相關(guān)人員）九、 采購1 所有防靜電用品的采購均須要按照附錄14防靜電制品采購流程圖執(zhí)行；十、 記錄序號名稱責(zé)任部門測量周期保存期限1防靜電地板設(shè)備課6個月抽測一年2防靜電臺墊品質(zhì)部6個月抽測一年3防靜電手環(huán)生產(chǎn)課每天一年4防靜電袋、容器品質(zhì)部每一批抽測一年5防靜電周轉(zhuǎn)箱品質(zhì)部6個月抽測一年6防靜電手套、手指套品質(zhì)部每一批抽測一年7防靜電運(yùn)輸工具品質(zhì)部6個月抽測一年8防靜電工衣生產(chǎn)部6個月抽測一年9員工防靜電知識培訓(xùn)考核紀(jì)錄表人力資源部一年一年10防靜電輔料品質(zhì)部6個月抽測一年11防靜電鞋生產(chǎn)課6個月抽測一年12工作臺地線電阻測試記錄設(shè)備課 每天一年十一、附錄附錄1：ESDS元器件分類I級：（0V 1999V）序號元器件類別條件及說明1芯片2極納管1. 按下圖確定防靜電地板測試點 每一個方格均代表一塊地板，測試用的電極一個放在中間的地板上，另外一個電極依次放在此地板相對角的四塊地板上面，測量其表面電阻值。2. 隨機(jī)抽樣測試點不少于20個區(qū)域，按下圖所示，每點測量地板4點表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)3. 隨機(jī)抽樣測試點不少于5個區(qū)域，按下圖所示測量地板系統(tǒng)電阻，并記錄數(shù)據(jù)附錄2：防靜電臺墊/地墊電阻測試方法1. 按下圖所示，每張臺墊/地墊測量2組表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)2. 按下圖所示，每張臺墊/地墊測量2組對地電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄3：防靜電容器電阻測試方法1. 按下圖所示，測量容器表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)2. 按下圖所示，測量容器體積電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄4：防靜電運(yùn)輸工具/存放架測試方法1. 按下圖所示，測量運(yùn)轉(zhuǎn)車/存放架電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄5：防靜電工衣表面電阻測試方法1. 將防靜電工衣平坦展開放置在光滑的絕緣電阻大于1E12歐姆的平板表面上2. 測試用兩電極應(yīng)順著導(dǎo)電絲放置3. 按上圖所示，測量3個測試點：同片測試（褲腰以上一點對褲腰以下一點）；袖對腰下部位測試（袖對褲腰以下一點）（對于連體服，用袖對腳測試取代袖對腰測試）；袖對袖測試。其中連體服需要加測鞋套的對地電阻。附錄6：普通防靜電材料電阻測試方法1 對于新引入的物料要求隨機(jī)抽樣至少三個樣品，每一個樣品至少隨機(jī)測量三次。材料的測試紀(jì)錄應(yīng)包括表面電阻和體積電阻。2 表面電阻的測試方法：將材料放置在一個光滑、平整、潔凈，且表面絕緣電阻大于1E12歐姆的臺面。在材料表面放置兩個測試電極(30cm是建議值，如果材料小于這個尺寸，則電極放在兩對角面上)，如下圖所示:3 體積電阻的測試方法：將材料放置在一個光滑、平整、潔凈，且表面電阻小于10歐姆的金屬面上，一個電極放置在金屬面上，另外一個電極放置在被測物上。對于烙鐵，只需要測量熱的金屬頭到地之間的電阻。附錄7：物體表面的靜電壓測量方法1. 使重錘式表面電阻測試儀靜電壓表去測量物體表面的靜電壓，要注意以下幾點：儀表的紅外燈指示器要兩個重合，才算對焦，此時儀表距離被測物大約2.5厘米。靜電壓表在使用的過程中需要接地。否則讀數(shù)不準(zhǔn)確。靜電壓表的讀數(shù)的單位為KV。測試圖例如下:附錄8：懸掛式/臺式離子風(fēng)機(jī)測試方法1. 測量懸掛式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測試儀，在評估新引入的離子風(fēng)機(jī)時候需要測量標(biāo)準(zhǔn)的12個點的平衡電壓和消電時間。在平時的定期測量時，只需測量3個風(fēng)扇口正下方的平衡電壓和消電時間。標(biāo)準(zhǔn)的12個點（以小網(wǎng)格表示）如下所示：2. 對每一個點均應(yīng)測量不少于三次。對每一個測試點的平衡電壓的測量時間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電壓的最大（偏移零點最遠(yuǎn)）值。消電時間應(yīng)紀(jì)錄最大值。3. 對新引入的懸掛式離子風(fēng)機(jī)的要求列表：（ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999只對平衡電壓提出了要求，未強(qiáng)制規(guī)定消電時間，因此，下表的平衡電壓是強(qiáng)制執(zhí)行，消電時間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時間 (S)平衡電壓(V)消電時間 (S)CenterTP5&TP80 + 50 V 15 s 0 + 50 V 10 s TP2&TP11 25.0 s 20.0 s30 cm LeftTP1&TP100 + 50 V 25.0 s0 + 50 V 20.0 s TP4&TP7 20.0 s 15.0 s 30 cm RightTP3&TP120 + 50 V 25.0 s 0 + 50 V 20.0 s TP6&TP9 20.0 s 15.0 s 附錄：9手套/手指套的測量方法1. 穿戴對地電阻測試：操作員把測試儀的兩個電極分別放在兩塊互相絕緣的金屬板上面, 然后操作員戴上手套/手指套。操作員把戴有手套/手指套的大拇指和食指分別按住那兩塊金屬板，然后按下測量開關(guān)，并等讀數(shù)穩(wěn)定后讀出測試儀上的讀數(shù)，并記錄下來。操作員分別用大拇指和其它的手指按住金屬板，然后讀出測試儀上的讀數(shù)，并記錄下來。每一種手套/手指套均需要測量5個（含）以上的樣品，每次測量均記錄最大值。2. 表面摩擦電壓測試：操作員戴上1兆歐的標(biāo)準(zhǔn)手腕帶，鱷魚夾夾在接地線上面并確認(rèn)接地良好。操作員戴上手套/手指套。一只手拿取高絕緣的塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后測量手套/手指套上面的靜電壓，記錄最大值。注意：儀器要離絕緣板30厘米以上，以免影響讀數(shù)。每一種手套/手指套均需要測量5個（含）以上的樣品，每次測量均記錄最大值。附錄10：防靜電標(biāo)準(zhǔn)列表：表面電阻系統(tǒng)/穿戴電阻消電時間摩擦/平衡電壓防靜電地板/防靜電臺墊/地墊1E41E9W1E41E9W防靜電包裝袋/容器1E4W 1E11W1E4W 1E10W防靜電小推車/周轉(zhuǎn)車小于1E9W小于1E9W防靜電鑷子/吸鉗/吸錫器1E4W 1E11W1E5W 1E10W防靜電文件袋(夾)1E4W 1E11W防靜電烙鐵小于10W防靜電架子/元件架/防靜電椅小于1E9W小于1E9W設(shè)備/工作臺接地電阻（直接）小于10W設(shè)備/工作臺接地電阻（帶電阻）0.8E61.2E6W廠房接地電阻小于10W一般防靜電物料1E4W 1E11W1E4W 1E11W防靜電工作服1E5W 1E10W小于1E9W防靜電工作鞋小于1E9W防靜電手腕帶小于1E3W 1E6W 20%防靜電手套/指套1E5W 1E11W50V防靜電工作鞋1E5W 3.5E7W防靜電手腕帶7.5E5W 3.5E7W防靜電離子風(fēng)機(jī)（懸掛式）10Second (正下方)50V附錄11： 測量儀器的選擇1 表面電阻及體積電阻的測量應(yīng)由專用的電阻表測量，所有電阻大于1E3歐姆的均由兆歐表測量（具備10V和100V測試電壓），所有小于1E3歐姆的均由萬用表測量。所有接地線的接地電阻均由數(shù)字萬用表測量。2 靜電中和時間和平衡電壓由離子風(fēng)機(jī)測試儀測量，（顯示精度為1V，最高量程為1KV，時間精度最為0.1S）3 材料的摩擦電壓由非接觸式靜