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文檔簡介
ESD靜電防護基礎(chǔ)知識 培訓(xùn)課程 浩洋電子 1 課程大綱一 ESD定義 原理簡介二 如何做好ESD三 公司ESD作業(yè)要求 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 2 ESD是什么意思 ESD是代表英文 ElectroStaticDischarge 中文 即 靜電放電 的意思 浩洋電子 3 一 靜電放電現(xiàn)象 嚴寒的冬天 當(dāng)您脫下暖和的毛衣 您會聽到嗶嗶啪啪聲 手無意間接觸電腦熒幕時被電擊一下 是由于電腦電場誘發(fā)帶了強烈的靜電 接觸時電腦對人體放電所致 干燥的氣候里 人梳頭發(fā)時 頭發(fā)順著梳子移動的方向而飄動 云層相互摩擦而帶大量的電荷 相互放電形成能量巨大的閃電 對地放電則可能形成雷擊 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 4 P CSBGPeripheralsSBU 主要是摩擦分離 電場感應(yīng) 直接充電 等均會產(chǎn)生靜電 由於電子不均勻分怖造成的結(jié)果 摩擦起電和人體靜電是電子工業(yè)中的兩大危害 二 靜電的產(chǎn)生 浩洋電子 5 靜電通常由人產(chǎn)生 身體容易獲取靜電 電子 皮膚 頭發(fā)及身體能儲存大量的靜電你能對零組件放電而產(chǎn)生靜電損害 下列情況可增加靜電空氣干燥走動 跳躍 坐輪椅或轉(zhuǎn)椅等特別是在有蠟紙或毛毯的地方活動的速度 如快走或跑 與接觸的材料有關(guān) 特別是人工合成材料 塑料及絕緣體 浩洋電子 6 P CSBGPeripheralsSBU 物體帶電分動電和靜電靜電是在物體表面固定的 不移動 電荷 其對觀察者而言 電荷靜止不動或運動非常緩慢 動電則有電荷的快速運動和變化 靜電放電的條件是 首先物體表面有靜電存在其次要有一定的釋放途徑靜電的特點 高電壓 低電量 小電流 作用時間短 可以產(chǎn)生幾千伏或上萬伏的靜電 三 電的分類 浩洋電子 7 靜電放電大概可分為 火花放電 電暈放電 刷狀放電 大量粉堆放電 射狀放電 等形式放電的強弱與放電的電極 形狀 材質(zhì) 阻抗 數(shù)量 溼度 距離 速度均有密切的關(guān)係 四 放電 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 8 靜電與濕度之關(guān)系 綜上所述 溼度越低越容易產(chǎn)生靜電 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 9 放電與材質(zhì)阻抗之關(guān)系 P CSBGPeripheralsSBU 根據(jù)ANSI ESDS20 20規(guī)定 所有材質(zhì)的阻抗係數(shù)定義如下 導(dǎo)電級ConductiveR 105 SQ防靜電級Dissipative 衰減材 106 R 109 SQ抗靜電級Anti Static109 R 1011 SQ絕緣insulation1012 R 浩洋電子 10 名詞解釋 P CSBGPeripheralsSBU ANSI 簡稱美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會 由公司 政府和其他成員組成的自愿組織 他們協(xié)商與標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)的活動 審議美國國家標(biāo)準(zhǔn) 并努力提高美國在國際標(biāo)準(zhǔn)化組織中的地位 ANSI是國際標(biāo)準(zhǔn)化委員會 ISO 和國際電工委員會 IEC 的成員之一 有參加79 的ISO TC活動和參加89 的IEC TC的活動 浩洋電子 11 五 靜電釋放控制 HumanBodyModel人體模式 帶有靜電的操作者在工作過程中與器件的管腳接觸 將存貯于人體的靜電荷通過器件對地放電致使器件失效 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 12 MachineModel機器模式 帶電工具或設(shè)備接觸元件時 在器件內(nèi)部將感應(yīng)出電位差 所感應(yīng)的電位差可引起器件的擊穿 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 13 ChargedDeviceModel帶電元件模式 帶電的器件 如 D Q IC 通過引腳與地接觸時 發(fā)生對地放電引起器件失效 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 14 對于工廠 靜電會造成 成本增加產(chǎn)品品質(zhì)降低客戶不滿意我們的產(chǎn)品 尤其產(chǎn)品在關(guān)鍵的時刻不能正常的使用 No 浩洋電子 15 靜電是如何破壞零組件的 比起從前 現(xiàn)在的零件或產(chǎn)品更小 效率更高但也更脆弱和更敏感 低于100V的電壓就能破壞零組件 而這個電壓是我們無法知道和感覺到的 浩洋電子 16 靜電破壞的種類 嚴重損壞 完全失去功能 例如 金屬熔化 短路等 局部損壞 部分功能退化 潛在損壞 部分功能退化 使用中繼續(xù)退化 直到完全失效 暫時失效 數(shù)據(jù)電路中的功能受到干擾或數(shù)據(jù)遺失 浩洋電子 17 浩洋電子 18 怎樣預(yù)防靜電的破壞 假定所有的零件和產(chǎn)品都對靜電敏感 如有任何問題 詢問主管或拉長處理對靜電敏感的物體的工作區(qū)都要接地 身體是靜電的主要來源除非接地儲存和搬運所有對靜電敏感的物體都需儲存在靜電箱中以免受到靜電破壞 浩洋電子 19 防靜電器材 包裝材料儲存和運輸材料人體接地材料臺墊 地板工衣 手套 手指套工作臺 運貨推車離子風(fēng)機 浩洋電子 20 如何保護敏感度高的零件 浩洋電子 21 2020 2 4 22 每天檢查你的靜電設(shè)備 每天測試你的手腕帶 檢查工作臺 傳送帶 靜電板必須接地 以防靜電積累 下面是員工手冊 工具損壞或連接不好會造成靜電傷害 浩洋電子 23 每天檢查你的靜電設(shè)備 工具損壞或連接不好會造成靜電傷害 工具損壞或連接不好會造成靜電傷害 只能使用經(jīng)過批準(zhǔn)的靜電工具 噴射器 清潔用具和溶劑 如有問題請找拉長或主管 迅速地向班長或主管回報任何發(fā)生的問題 浩洋電子 24 儲存和運輸 確保全部對靜電敏感的物件都放在防靜電的包裝箱 袋 里 只能使用經(jīng)批準(zhǔn)的包裝材料 確保所有的集裝箱里面沒有其它的物件 如塑料制品 重新使用集裝箱前必須進行檢查 浩洋電子 25 表示容易受到ESD損害的電子電氣設(shè)備或組件 EPA ESDProtectionArea 沒有任何材料或活動造成ESDS件有靜電損壞風(fēng)險的工作區(qū) 防靜電的標(biāo)簽 浩洋電子 26 你能幫助預(yù)防靜電破壞 浩洋電子 27 靜電放電 ESD 誰應(yīng)該負責(zé)任 我們每個人 浩洋電子 28 六 標(biāo)準(zhǔn)靜電壓定義 人體可感受的ESD電壓都在 3 000volts以上 電子界定義當(dāng)EPA區(qū)內(nèi)靜電電壓超出 100volts時必須做有效的防護措施 浩洋電子 29 名詞解釋 EPA區(qū) 靜電放電保護區(qū) 在EPA內(nèi)生產(chǎn)的的產(chǎn)品都是有靜電防護要求的 其中工人都是需要配備防靜電裝備的 列如 服裝 鞋子 手腕帶等 浩洋電子 30 七 如何控制好ESD P CSBGPeripheralsSBU 設(shè)計上加強元件的免疫力在器件的輸入 輸出口上多加了一些防靜電保護電路 使器件的防靜電能力大大提高消除或減少靜電的產(chǎn)生盡可能使用防靜電材料作為加工的輔助材料安全的釋放與中和靜電控制各制程段不同材料在使用中保持零電位加強人員ESD防護意識 浩洋電子 31 八 靜電消除的方法 P CSBGPeripheralsSBU 傳導(dǎo)Conduction 導(dǎo)電桌墊靜電鞋 遮蔽shelter 靜電袋 接地Grounding 設(shè)備工具 中和Airionizer 離子風(fēng)扇 增加環(huán)境濕度 浩洋電子 32 靜電環(huán)結(jié)構(gòu) 伸縮導(dǎo)線 內(nèi)含1Mega 10 電阻可確保操作者在意外情況下觸及線電壓時不致發(fā)生人身傷害事故 腕帶及接頭所構(gòu)成 配帶靜電環(huán)注意事項 a 靜電環(huán)腕帶之金屬片必須與手腕皮膚緊密接觸 不可鬆脫或套於衣袖上 b 為確保1M 電阻之有效性 嚴禁用力拉扯靜電環(huán)的伸縮導(dǎo)線 c 接頭必須固定與ESD接地線裸銅部分且與靜電環(huán)插座阻抗需低於2 否則不得碰觸材料 d 靜電環(huán)在作業(yè)當(dāng)中嚴禁擅自借給他人 浩洋電子 33 導(dǎo)電鞋規(guī)格 900K 35M 原理 配合靜電地板將人體通過鞋底與大地構(gòu)成回路 以使人體產(chǎn)生的靜電能向大地泄漏掉 同時還使鞋墊成為靜電泄漏的電氣回路 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 34 P CSBGPeripheralsSBU 導(dǎo)電地板規(guī)格 2 5 104 1 0 106 功用 依導(dǎo)電鞋將人體所帶之靜電有效疏導(dǎo)給地 浩洋電子 35 P CSBGPeripheralsSBU 靜電衣 帽規(guī)格 104 109 清洗標(biāo)準(zhǔn) 中性水 水溫不可超過30 配合中性洗潔劑 輕揉后晾乾 嚴禁熨燙 用刷子刷或擰衣服功能 防止服裝的靜電積累 宣洩人體與衣服摩擦?xí)r所產(chǎn)生的靜電 浩洋電子 36 P CSBGPeripheralsSBU 導(dǎo)電桌墊規(guī)格 上表面綠色摩擦層 106 109 下表面黑色導(dǎo)電層 104 106 功用 可有效疏導(dǎo)工作臺上殘留的靜電電壓可預(yù)防電流電壓的回流效應(yīng)注意 使用時嚴禁將其反面鋪設(shè) 靜電桌墊下嚴禁鋪設(shè)一切導(dǎo)體材料 浩洋電子 37 靜電消除器主要參數(shù) 距風(fēng)扇口25mm處離子平衡度低於35V離子風(fēng)含蓋區(qū)的靜電電壓低於200V功用 依借風(fēng)扇吹出的正負離子來中和自然界的電離子 解決非導(dǎo)體所產(chǎn)生的靜電破壞問題 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 38 P CSBGPeripheralsSBU 抗靜電材料 袋 托盤 盒等 此種材料不會產(chǎn)生靜電荷 或僅產(chǎn)生微量的靜電荷 通常在100V以下 其物質(zhì)阻抗均在106 R 1011 之間 靜電消散時間 2sec 使用時需注意 a 避免使用尖銳物品刮壞表面金屬層 b 封閉的導(dǎo)電袋或容器才有完全之保護 c 表面塗層必須考慮其有效期 浩洋電子 39 九 防靜電標(biāo)示ESD元件敏感標(biāo)識 適用于ESD敏感元件之包裝袋上ESD防護標(biāo)識 適用于ESD安全工作站或ESD防護區(qū)域 如 靜電工作臺 靜電料盒等 ESD公共測試點標(biāo)識 適用于ESD尾端測試點標(biāo)記 通常ESD主線尾端接地電阻需小于10 防靜電標(biāo)示可見度為1米 P CSBGPeripheralsSBU 浩洋電子 40 所有工作人員在生產(chǎn)區(qū)域必須配戴有線靜電環(huán)并確實接地后方可接觸半導(dǎo)體材料 2 所有生產(chǎn)過程中使用的儀器 設(shè)備 加工治具 工作桌等均必須接地以防止漏電傷人 或損壞晶體材料 3 半導(dǎo)體材料在儲存 運輸?shù)冗^程中必須使用防靜電材料進行包裝 所有與ESD相關(guān)材料必須貼有任何人均可明了之標(biāo)籤 4 所有靜電區(qū)域必須用綠色線標(biāo)示 并要求在30CM的范圍其靜電電壓低于100V 5 所有ESD相關(guān)的項目必須點檢并保留記錄 如靜電環(huán)的點檢為每天二次 6 所有從事ESD相關(guān)工作之人員 皆必須接受ESD訓(xùn)練 並經(jīng)檢定考試認證合格者方可從事該項工作 認證有效期為一年 違反ESD兩次為認證失效 7 EPA內(nèi)凡涉及到操作SSD的所有桌面都必須是防靜電的桌面 儀表設(shè)備 焊接工具 人體等都必須實現(xiàn)接地 並處於等電位 防靜電桌面上
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