高校微電子情況.docVIP

這篇文章將向各位研友詳細(xì)介紹國內(nèi)數(shù)所開設(shè)有微電子研招專業(yè)的院校，以讓大家對之加深了解，作出選擇。微電子專業(yè)方向之細(xì)考微電子專業(yè)在早期的前身應(yīng)該是半導(dǎo)體專業(yè)，在上個世紀(jì)七、八十年代，人們還總是把半導(dǎo)體專業(yè)和收音機(jī)聯(lián)系在一起，直到九十年代到本世紀(jì)初，集成電路產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展才使得微電子從過去的一個由物理專業(yè)分支出來的冷門，逐步變成了今天的熱門焦點(diǎn)。從整體來看，已經(jīng)很難給出一個微電子專業(yè)各方向的明晰的劃分。微電子的研究方向劃分可以電路設(shè)計(jì)為主線：電路的加工（工藝方向）、構(gòu)成電路的物理基礎(chǔ)（器件方向）、電路設(shè)計(jì)方向、電路的模擬工具（CAD方向）、電路構(gòu)成的系統(tǒng)（SOC或系統(tǒng)方向）、電路的測試封裝（測試方向）等。從專業(yè)的發(fā)展來看，微電子專業(yè)從最初的傳統(tǒng)方向逐漸細(xì)化拓展，到更多更細(xì)的一些研究領(lǐng)域：新材料新器件方向（主要有寬禁帶材料器件如SiC、GaAs、SOI器件，還有基于GeSi、應(yīng)變Si技術(shù)下的新器件）以及甚大規(guī)模集成電路（ULSI）、納米器件、高速器件和射頻電路方向等，這些是在摩爾定律驅(qū)動下必然產(chǎn)生的。一個研究領(lǐng)域發(fā)展到一定階段，又必然會尋求與其它方向相結(jié)合，如光電集成電路方向（光領(lǐng)域與微電子的結(jié)合），生物集成電路方向（生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域與微電子的結(jié)合），MEMS方向（更多領(lǐng)域的結(jié)合）；基于一些實(shí)際需求，產(chǎn)生出來以應(yīng)用導(dǎo)向的方向，如電源管理、汽車電子。這些劃分又都不是絕對的。各院校微電子專業(yè)介紹北京大學(xué)微電子所北京大學(xué)微電子學(xué)系，又稱北京大學(xué)微電子學(xué)研究院（所），有著源遠(yuǎn)流長的學(xué)術(shù)淵源，其發(fā)展歷史可以追溯到1956年由著名物理學(xué)家黃昆院士領(lǐng)導(dǎo)在北大物理系創(chuàng)建的我國第一個半導(dǎo)體專門化機(jī)構(gòu)，之后又在我國著名的微電子專家王陽元院士的領(lǐng)導(dǎo)下，北京大學(xué)微電子學(xué)系為我國微電子產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)了一大批優(yōu)秀人才，已經(jīng)成為我國培養(yǎng)高水平微電子人才的一個重要基地，是國家和學(xué)校大力支持和發(fā)展的重點(diǎn)學(xué)科?！居布h(huán)境】北大微電子學(xué)系有著國內(nèi)一流的科研硬件設(shè)施，有微米/納米加工技術(shù)國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北方微電子研究開發(fā)基地新工藝新器件新結(jié)構(gòu)電路國家計(jì)委專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)室、北京市軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì)高科技實(shí)驗(yàn)室三大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，再加上MPW（多項(xiàng)目晶圓）中心這個平臺。重視工藝是北大微電子的傳統(tǒng)，許多老師都是物理出身，對于器件工藝這塊十分看重，再加上最先進(jìn)的微米/納米加工條件，因此在這一點(diǎn)一直能保持領(lǐng)先地位。在未來兩年里，美麗的未名湖東面將矗立起一座五層高的微電子大樓，一兩年后的研究生將能享受到更為舒適的環(huán)境。【師資科研】北大微電子所下面分有 SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可測性、寬禁帶、納太器件等多個研究小組。所長王陽元院士是中國微電子產(chǎn)業(yè)的奠基人之一，是業(yè)界久負(fù)盛名的專家。王院士目前出任中芯國際的董事長。SOI組的黃如教授是北京市優(yōu)秀教師，目前為IEEE EDS(Electron Device Society) 和ADCOM （AdministrativeCommittee）的成員，科研方向主要是SOI方向，同時(shí)也指導(dǎo)學(xué)生進(jìn)行射頻方面的研究。SOI研究組的研究領(lǐng)域有SOI技術(shù)、納米量級新結(jié)構(gòu)器件及制備工藝技術(shù)，以及現(xiàn)在主要研究的射頻電路技術(shù)。再加上對RF電路功底深厚的廖懷林教授，有著國內(nèi)科研界最先進(jìn)的加工水平（流片基本上都是采用0.13微米工藝），組內(nèi)研究生博士生已有多篇文章發(fā)表在國際高水平刊物上。SOC研究組由于敦山教授領(lǐng)導(dǎo)，該組擁有北京大學(xué)-安捷倫科技SOC測試教育中心和北京大學(xué)-安捷倫科技SOC測試工程中心兩個中心作為平臺，于老師是研究微處理器出身，對系統(tǒng)方面有著很深刻的理解。新器件組在劉曉彥教授、康晉鋒教授兩夫婦的領(lǐng)導(dǎo)下，主要進(jìn)行新型半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)、材料、工藝、模型、模擬等方面的研究工作。在新型半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)、材料、工藝研究方面，成功研制了多種新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件，在超精細(xì)柵、新型金屬柵和高K柵介質(zhì)結(jié)構(gòu)、制備工藝、可靠性方面，高速互聯(lián)方面都取得了一系列創(chuàng)新成果。另外，對于器件的模型、蒙特卡羅模擬以及新型存儲器方面的研究都堪稱一流。MPW是近兩年新成立的一個研究組，是依托北京大學(xué)微電子學(xué)研究院的技術(shù)力量建立的一個服務(wù)于各高?？蒲泻鸵恍┕镜钠脚_，目前由盛世敏教授和張剛剛教授指導(dǎo)學(xué)生開展工作。盛教授是當(dāng)年和王院士共同工作的同事，也是北大微電子所的奠基人之一。MPW組下的研究生，做數(shù)電和模電的都有，也有做ADC、提取參數(shù)和建立模型庫的。MEMS組是目前北大微電子所里規(guī)模最大的一個組，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流體芯片、生物MEMS、NEMS等多個研究方向。北大MEMS組的加工工藝在國內(nèi)高校領(lǐng)先，組內(nèi)的李志宏教授、張大成教授等多個老師對工藝?yán)斫舛己苌羁?，有著多年的設(shè)計(jì)加工經(jīng)驗(yàn)。李志宏教授是MEMS研究所所長，在RFMEMS和微流體芯片方面都有研究；閆桂珍教授是國內(nèi)MEMS陀螺研究方面的權(quán)威；張大成教授對微電子IC工藝和MEMS工藝都有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)也是微米納米加工實(shí)驗(yàn)室的負(fù)責(zé)人。該組的“基于 MEMS技術(shù)及應(yīng)用研究”已于今年獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎，是北京大學(xué)第一次以“第一完XXXXX單位”獲得的國家技術(shù)發(fā)明二等獎。【招生培養(yǎng)】每年的招生方面，北大理學(xué)碩士招生人數(shù)為57人，保送生30人，一般本部25人中15人保送，深圳30人中15人保送，具體人數(shù)可能少許浮動?？荚囦浫?7人，北大招收的人比較多的原因是其中會包含深圳研究院的研究生。深院的研究生培養(yǎng)模式和本部不同，與本部相比各有各的優(yōu)勢。從2007年開始，招生方式有所改變，沒有達(dá)到微電子專業(yè)線的，只要過了北大總的線都可以上微電子的工程碩士，工程碩士招生總?cè)藬?shù)為100人。清華大學(xué)微電子所清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月，全國著名半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅(jiān)院士曾任該所所長。該所是國家重點(diǎn)支持的北方微電子研究開發(fā)基地的主要組成單位，是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地，1988年第一次國務(wù)院重點(diǎn)學(xué)科評選時(shí)，被評選為全國微電子學(xué)領(lǐng)域第一個重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)?！居布h(huán)境】清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級集成電路工藝線，具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備，主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項(xiàng)目流片。另外還有一條集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線，該生產(chǎn)線主要進(jìn)行各類新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其它特殊用途的硅集成電路的研究開發(fā)，并且可以提供MOXXXXXPW（MOS多項(xiàng)目晶圓）服務(wù)。【師資科研】清華大學(xué)微電子所主要器件、設(shè)計(jì)、工藝和CAD四個研究方向。在這四個研究方向里，器件和設(shè)計(jì)實(shí)力最強(qiáng)，資金雄厚。器件方面，主要強(qiáng)在理論，相對更容易在高水平期刊上面發(fā)表論文，對于出國有利。器件組的研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理。清華的MEMS研究方面，是國內(nèi)唯一個重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達(dá)的科研單位，同時(shí)有硅電容式微麥克風(fēng)的研究，曾參與此項(xiàng)目研究的陳兢現(xiàn)為北大微電子所MEMS器件組副教授。整個器件組的特點(diǎn)在于：新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級器件設(shè)計(jì)與小尺寸器件模型建立相結(jié)合，研究領(lǐng)域很廣。此方向下的微納器件與系統(tǒng)研究室，現(xiàn)在由任天令教授主管，任教授的研究方向主要包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料。設(shè)計(jì)方向主要更偏向于工程。在各大高校中，清華的電路設(shè)計(jì)是一流水平，可以說是跟公司前沿最接近的，與各大公司、研究所以及國內(nèi)外foundry都有較多的合作，研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)（原大唐總裁魏少軍在這個方向?yàn)楸贝笄迦A的研究生開有任選課）、IC測試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。此方向下的集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo)，其研究領(lǐng)域?yàn)椋杭呻娐放c系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計(jì)、通訊集成電路設(shè)計(jì)和高速實(shí)時(shí)信號處理。工藝方向，包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)模混合工藝等等。其中的集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線由劉志弘教授任主任，該組的主要研究方向包括了深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲技術(shù)、POWER器件及集成電路以及集成電路生產(chǎn)自動化控制等方向；CAD技術(shù)研究室，主任為王燕教授，該組的主要研究方向有：極小尺寸MOS器件輸運(yùn)機(jī)理研究、納米級量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級器件的CAD軟件研究、微/納米級新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫方法學(xué)研究和用于SOC存儲器類的IP核開發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計(jì)的電路提取和驗(yàn)證和集成電路制造的計(jì)算機(jī)輔助管理系統(tǒng)（IC-CAM系統(tǒng)）研發(fā)等?！菊猩囵B(yǎng)】清華研究生難考的原因，在于它接收的考試生比較少（07年僅為10人），而保送生為30-40人。清華大學(xué)微電子在深圳也設(shè)有研究生院，但是那邊一般不培養(yǎng)微電子類的工學(xué)碩士，只培養(yǎng)工程碩士。微電子所07年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。中科院微電子所、微系統(tǒng)所和半導(dǎo)體所說到科研，就不能不提中科院，中科院和微電子領(lǐng)域關(guān)系最密切的研究所有三個：微電子所、半導(dǎo)體所和微系統(tǒng)所。作為中國科學(xué)院下面的直屬科研院所，這三個所的師資、資金實(shí)力在國內(nèi)同行中都處于領(lǐng)先水平。中科院的一個特點(diǎn)是老師多，學(xué)生少（雖然說最近幾年也有擴(kuò)招），在其它科研院所干事的主力可能是高年級研究生和博士生，但中科院的科研主力絕對是各位研究員。微電子所核心試驗(yàn)設(shè)備一流中科院微電子所的核心設(shè)備是一流的。它有一條用于0.8微米IC工藝研究的實(shí)驗(yàn)線，“高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)”為國家863集成電路裝備重大專項(xiàng)；微細(xì)加工與納米技術(shù)實(shí)驗(yàn)室裝備了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS電子束光刻系統(tǒng)，分辨率0.35u的MEBES 4500電子束制版系統(tǒng)以及和微細(xì)加工有關(guān)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)，電子束鍍膜系統(tǒng)，光學(xué)制版系統(tǒng)，LPCVD以及JBX-6A2電子束制版系統(tǒng)。在北京地區(qū)，目前唯一能做電子束光刻的科研單位就是微電子所。研究方向互補(bǔ)該所現(xiàn)目前一共有七個研究室。這七個研究室分別為硅器件與集成技術(shù)、專用集成電路與系統(tǒng)、微細(xì)加工與納米技術(shù)、微波器件與集成電路、通訊與多媒體SOC、電子系統(tǒng)技術(shù)和總體電子設(shè)計(jì)平臺與共性技術(shù)。各個研究室的研究方向基本涵蓋了器件電路設(shè)計(jì)開發(fā)的各塊領(lǐng)域，互補(bǔ)而又不沖突?【招生】微電子所近年的招生人數(shù)為45個（其中保送人數(shù)小于15），招生的老師有29個，其中大部分都有研究員以上的職稱，過半數(shù)的都是博導(dǎo)。微系統(tǒng)所中科院微系統(tǒng)所有兩個國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室：傳感技術(shù)國家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室與微系統(tǒng)技術(shù)國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（隸屬M(fèi)EMS組）、信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（隸屬材料組）。微系統(tǒng)所主要有五個研究組。王躍林教授的MEMS組：下有微系統(tǒng)工藝平臺和微系統(tǒng)封裝平臺，研究方向包括MEMS傳感器和執(zhí)行器技術(shù)研究、光通信微系統(tǒng)研究、生物芯片等；宋志棠的材料組：擁有化合物半導(dǎo)體器件工藝平臺和納米半導(dǎo)體薄膜材料加工測試平臺，主要研究相變存儲器、光電子和微波材料與器件、太赫茲半導(dǎo)體器件和物理；另外三個主要研究組是SOI組、無線組和能源（電池）組。除了這幾個主要的研究組外，還有兩個單獨(dú)的課題組是RF和DNA。微系統(tǒng)所還有一個很大的特點(diǎn)就是產(chǎn)業(yè)化方面做得很出色，不久前揭曉的國家科學(xué)技術(shù)獎評選中，該所的“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目獲2006年度國家科技進(jìn)步一等獎。助研金高，部門完善個人覺得微系統(tǒng)所的一個最大特點(diǎn)在于涉及的領(lǐng)域很廣，各個研究室之間相對獨(dú)立而又不乏合作。還有一個特點(diǎn)就是研究所給學(xué)生發(fā)的助研金比較多，差不多是其它科研院所的兩倍，甚至其碩士生的助研金比其它單位博士生都高。同時(shí)，微系統(tǒng)所整個所也是一個很完善的系統(tǒng)，七個實(shí)驗(yàn)室或研究中心為核心的科研部門，又有EDA與網(wǎng)絡(luò)信息中心作為公共支撐部門，同時(shí)又與多個公司有良好的合作關(guān)系。【錄取與就業(yè)】微系統(tǒng)所每年招生75人左右，其中大部分在微電子與固體電子學(xué)（47人）和通信與信息系統(tǒng)（20人），畢業(yè)生主要去一些國內(nèi)外的大公司，如AGILENT、華為等。半導(dǎo)體所半導(dǎo)體的主要研究領(lǐng)域可能更會側(cè)重于物理方面的底層。中科院的微電子所，最初是由半導(dǎo)體所里的微電子研究部分和我國第一家半導(dǎo)體材料和器件生產(chǎn)廠109廠合并而成的。目前的半導(dǎo)體所還保留有微電子研究和發(fā)展中心，該中心主要從事同微電子相關(guān)的半導(dǎo)體器件和電路的研究，主要研究內(nèi)容包括抗輻射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成電路、SiC高溫半導(dǎo)體器件 、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS) 、磁存儲器(MRAM) 、共振隧穿二極管(RTD) 和系統(tǒng)集成芯片(SOC)設(shè)計(jì)及應(yīng)用。可以看出，半導(dǎo)體所的主要優(yōu)勢在于深厚的物理理論基礎(chǔ)，主要研究領(lǐng)域還是器件方向，擅長半導(dǎo)體光電子和微電子器件。該所目前有三個國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，但是都跟微電子沒有太直接的關(guān)系。半導(dǎo)體所微電子中心每年招收的研究生雖然不多，但畢業(yè)去向都很不錯，多去國內(nèi)外知名公司，成為如北京華虹NEC、上海先進(jìn)半導(dǎo)體（前身為飛利浦半導(dǎo)體）等公司的IC設(shè)計(jì)部門的技術(shù)骨干。電子科技大學(xué)微電子與固體電子學(xué)院電子科大位于具有“天府之國”美譽(yù)的成都，是“211”和“985”名校之一，在2006年中國高校國際學(xué)術(shù)會議排名中名列第四，被譽(yù)為“我國電子類院校的排頭兵”。其微電子與固體電子學(xué)院擁有一支以中國科學(xué)院院士陳星弼領(lǐng)銜的包括16名博士生導(dǎo)師、27名教授在內(nèi)的雄厚師資力量，與國內(nèi)外相關(guān)公司、高校和研究機(jī)構(gòu)有著廣泛的合作關(guān)系?！居布h(huán)境】電子科大的微電子專業(yè)最主要的特色在功率器件和功率電路方面。學(xué)院的硬件設(shè)施也相當(dāng)不錯，有國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室電子薄膜與集成器件實(shí)驗(yàn)室、集成電路設(shè)計(jì)中心和納米技術(shù)中心，值得一提的還有最新剛剛建成的FAB工藝線-微細(xì)加工基地（6英寸，線寬為0.35um，位于邵逸夫樓一層），即將投入使用。【師資科研】微電子方面的科研方向主要有功率器件與智能功率集成電路、微電子器件與集成電路、ULSI集成電路設(shè)計(jì)/ASIC設(shè)計(jì)與應(yīng)用。第一個組是陳院士所領(lǐng)導(dǎo)的研究組，主要研究方向有功率器件、功率電路、電源管理和相關(guān)的一些模擬電路的研究。中科院院士陳星弼老先生是功率半導(dǎo)體方面的權(quán)威，他提出的Super Junction和COOLMOS結(jié)構(gòu)獲得美國專利，是功率半導(dǎo)體器件發(fā)展史上的里程碑。張波教授領(lǐng)導(dǎo)的小組研究方向有電源管理（功率器件功率電路）、功率器件（傳統(tǒng)硅基器件以及新材料比如SiC基的功率器件），張波教授人脈很廣，是院士的弟子，該組也是最大的一個組。微電子器件與集成電路方向在年輕的于奇教授的領(lǐng)導(dǎo)下，主要集中開發(fā)模擬電路，也有鍺硅器件、ADDC等研究方向；李平教授的小組的研究項(xiàng)目近年有電源管理、汽車電子、單片機(jī)芯片設(shè)計(jì)、鐵電存儲器、FPGA等，可能更集中于數(shù)電?！菊猩囵B(yǎng)】微電子專業(yè)最近兩年的招生人數(shù)110人左右，其中保送生占到大概15%。電子科大微固學(xué)院另外一個方向是固體電子方向，如果報(bào)考微電子專業(yè)而發(fā)揮不好則有一定機(jī)會轉(zhuǎn)到該方向，這個專業(yè)雖然不很熱門，但是實(shí)力極強(qiáng)，在全國高校中也位于前茅，如此可以給大家多一個讀研的機(jī)會。東南大學(xué)射頻光電集成電路研究所和微電子所東南大學(xué)的微電子研究比較特殊，既有以射頻聞名的射光所，又有MEMS方向頗具實(shí)力的微電子所。射光所是在無線電系下面的，而微電子是在電子工程系下面。兩個研究所各有所長，優(yōu)勢互補(bǔ)?！旧涔馑可涔馑瓷漕l光電集成電路研究所。射光所是在“211”工程項(xiàng)目內(nèi)，由國家教育部和東南大學(xué)在1997年聯(lián)合支持新籌建的高技術(shù)研究所。在國家教育部、科技部等有關(guān)方面通過“211”和“985”支持下, 已經(jīng)發(fā)展成為國內(nèi)外知名的射頻與超高速光電集成電路人才培養(yǎng)和高技術(shù)研究中心。東南射光所的前任所長，同時(shí)也是創(chuàng)建人的王志功教授（相信各位在很多教材上看到過這個名字），是從德國歸國定居工作的微電子光電子專家，在創(chuàng)建該研究所之前曾在德國深造和從事客座研究十三年。在射頻和光電集成電路方面的造詣在國內(nèi)首屈一指，在整個學(xué)術(shù)界也享有盛名。射光所的主要研究方面包括射頻集成電路、微波毫米波集成電路、光電集成電路、光纖通信集成電路、ULSI、生物用集成電路等等。射頻集成電路方向由李智群博士主要負(fù)責(zé)，研究內(nèi)容包括移動通信及無線接入系統(tǒng)用射頻集成電路，包括低噪聲放大器、混頻器、振蕩器、功率放大器等。微波毫米波集成電路設(shè)計(jì)方向由王志功教授親自負(fù)責(zé)，研究內(nèi)容涉及HEMT移相器、GaAs HBT 壓控振蕩器和單片集成電路上的關(guān)鍵元件的研究等。光電集成電路方向，是射光所的一大特色，主要是關(guān)于光電轉(zhuǎn)換一些列集成電路技術(shù)的研究。生物用集成電路技術(shù)，是將集成電路技術(shù)和生物學(xué)醫(yī)學(xué)相結(jié)合的一個方向，射光所在這方面的研究也是很有優(yōu)勢的?【微電子所】其實(shí)在東南大學(xué)，除了射光所，還有微電子所。該所建有國家專用電路系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心和微電子機(jī)械系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。射光所在射頻電路相關(guān)方面更有優(yōu)勢，而微電子系的MEMS也是很有地位的，其MEMS實(shí)驗(yàn)室屬于教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，黃慶安教授的硅微機(jī)械加工技術(shù)小黃本冊子，到目前為止還是國內(nèi)最好的MEMS中文參考書。雖然沒有自己的生產(chǎn)加工線，黃老師把重點(diǎn)放到了不太耗資金但有不錯前景的MEMSCAD方向。研究方向包括VLSI器件物理與新型器件研究、超大規(guī)模集成電路與系統(tǒng)CAD設(shè)計(jì)與應(yīng)用、智能傳感與微電子機(jī)械系統(tǒng)研究和微電子系統(tǒng)與專用集成電路設(shè)計(jì)和固態(tài)電子學(xué)及其技術(shù)。綜合看來，射光所強(qiáng)在電路，而微電子優(yōu)勢在器件，一個學(xué)校兩個部門都具相當(dāng)實(shí)力，不能不說是東南的一大特色。2003年依托于兩個研究單位的合力，東南大學(xué)IC學(xué)院成立，該學(xué)院已于2004年開始招收工學(xué)碩士、工程碩士和博士研究生。西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院西安電子科大微電子學(xué)院成立于2003年，是在微電子研究所及技術(shù)物理學(xué)院微電子系的基礎(chǔ)上組建而成。本學(xué)院是根據(jù)國家集成電路人才基地的建設(shè)需要而設(shè)立。我校的國家集成電路人才培養(yǎng)基地是全國首批9個國家集成電路人才培養(yǎng)基地之一，是科技部資助的5個國家集成電路人才培養(yǎng)基地之一。【硬件環(huán)境】西電座落在古都西安，老校區(qū)的西電跟成電的老校區(qū)很相似，建筑風(fēng)格也頗為相近；新校區(qū)座落在西安市南郊風(fēng)景秀麗的終南山腳下，校園綠樹成蔭，碧草連片，典雅古樸，環(huán)境優(yōu)美。學(xué)院現(xiàn)有三個部級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，即寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件”教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、“微電路可靠性技術(shù)”和“新型半導(dǎo)體材料與器件”信息產(chǎn)業(yè)部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。另設(shè)有EDA實(shí)踐中心、超凈工藝實(shí)驗(yàn)室等?！編熧Y科研】學(xué)院的主要科研方向是寬禁帶半導(dǎo)體（GaN、SiC）材料與器件，VLSI/SOC設(shè)計(jì)技術(shù)，超深亞微米器件可靠性與可制造性，新型半導(dǎo)體工藝與新結(jié)構(gòu)器件。根據(jù)老師的不同，大體上有五個主要的研究組：702教研室，由張義門教授掛帥，主要研究方向?yàn)槠骷凸に?，同時(shí)副院長張玉明教授也在該組，現(xiàn)在在做RF電路方面的研究，同時(shí)該組還有好些年青力強(qiáng)的青年老師；張鶴鳴老師所帶領(lǐng)的研究小組主要研究應(yīng)變硅，高速器件等；院長莊奕琪帶領(lǐng)的研究小組主要從事電路、系統(tǒng)級的研究，如嵌入式電路、IP核、藍(lán)牙電路等等，還有一些如操作系統(tǒng)、解碼之類的研究，似乎已經(jīng)跟計(jì)算機(jī)通信聯(lián)系起來了。楊英堂老師，是現(xiàn)任的發(fā)展規(guī)劃處處長，他所掛帥的小組，從器件、工藝到系統(tǒng)都涉及，項(xiàng)目很多，而且由于楊老師的活動能力優(yōu)勢，也很容易接到各種項(xiàng)目。還有一個比較大的組是郝躍老師帶領(lǐng)的組，郝老師是校長助理，他的研究小組主要是GaAs器件的研究。當(dāng)然，還有其它一些小組是老師單獨(dú)帶領(lǐng)一些學(xué)生做研究，規(guī)模比較小，如ASIC、FPGA、可靠性等。組的規(guī)模雖然不大，但是也各有自己的特色和優(yōu)勢，如吳玉廣老師帶領(lǐng)的ASIC組每年的就業(yè)形勢是相當(dāng)好的，所以也有很多學(xué)生愿意過去?！緦W(xué)科特色】西電的一大特色就是師資力量雄厚，過去有號稱“四大金剛”的莊奕琪、楊英堂、郝躍、張義門老師，如今除了這些老師外，如今還有有很多年輕有為的教授加入，從07年的研究生招生目錄上面可以看出，單就招生的教授和副教授的人數(shù)來看就有好多，研究的方向也非常廣，實(shí)在是實(shí)力不可小覷。研究生微電子所招生人數(shù)為100多人。華東師范大學(xué)微電子電路與系統(tǒng)研究所該研究所雖然成立于本世紀(jì)初（2000年11月），但其所隸屬的電子科學(xué)與技術(shù)系實(shí)際上是國內(nèi)最早開設(shè)集成電路設(shè)計(jì)相關(guān)方向的院校之一。華東師范大學(xué)以校園環(huán)境優(yōu)雅而聞名，素有“花園學(xué)府”之美譽(yù)。微電子電路與系統(tǒng)研究所位于的師大中山北路校區(qū)的理科大樓和物理樓東樓?！居布h(huán)境】該所擁有一條條凈化面積為280平方米的4英寸硅平面工藝加工工藝線）已與2005年底正式投入使用。研究所也擁有相應(yīng)的工作站和主流 EDA 設(shè)計(jì)工具、各種測試用儀器設(shè)備等，具備了良好科研環(huán)境的條件。【師資科研】半導(dǎo)體方面的人才濟(jì)濟(jì)：微電子電路與系統(tǒng)研究所名譽(yù)所長，中國工程院院士徐元森長期從事半導(dǎo)體材料、集成電路的研究工作，是國內(nèi)外著名的集成電路專家，現(xiàn)目前的研究方向?yàn)榧呻娐返脑O(shè)計(jì)及制造、生物芯片技術(shù)；信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院院長，紫江學(xué)者朱自強(qiáng)教授，早年曾在日本從事半導(dǎo)體材料與器件的教學(xué)與研究工作，他本人在IIVI族半導(dǎo)體化合物材料與器件方面的研究成就斐然。研究所下設(shè)四個研究室：專用集成電路設(shè)計(jì)研究室，由該所創(chuàng)辦人賴宗聲教授負(fù)責(zé)，主要從事數(shù)字電路系統(tǒng)（如指紋識別、數(shù)字簽名系統(tǒng)）、混合信號電路設(shè)計(jì)（無線通信 IC 、網(wǎng)絡(luò)通信 IC 、射頻標(biāo)簽）、高速 A/D 轉(zhuǎn)換器 、高精度 D/A 轉(zhuǎn)換器IC、顯示器及 LCD 控制驅(qū)動電路的設(shè)計(jì)及開發(fā)等；集成微機(jī)電系統(tǒng)研究室，由王連衛(wèi)教授任主任，主要從事射頻/微波 MEMS 開關(guān)、移相器、可重構(gòu)天線和濾波器，光通訊中 MEMS 調(diào)制器、衰減器、均衡器等研制，其微機(jī)械電子系統(tǒng)研究方向獲國家2006自然科學(xué)基金資助；超深亞微米器件與工藝模擬研究室由石艷玲教授領(lǐng)頭，主要從事超深亞微米有源和無源（片上電感、片上變壓器、片上電容等）RF 器件模型、工藝模型研究；系統(tǒng)集成研究室在姚萌教授的帶領(lǐng)下，主要從事 FPGA 、DSPS（數(shù)字信號處理系統(tǒng)）和嵌入式系統(tǒng)設(shè)計(jì)、開發(fā)。研究內(nèi)容還包括傳感器信號處理集成系統(tǒng),DSP Core 和 MCU 處理器 Core、ARM Core等IP核植入平臺，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的算法軟件的固化及FPGA 驗(yàn)證平臺解決方案。天津大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)系天津大學(xué)微電子隸屬于電子信息工程學(xué)院，下面有兩個機(jī)構(gòu)：天津大學(xué)專用集成電路IC）設(shè)計(jì)中心和半導(dǎo)體傳感器研究室。該所擁有全套的Cadence、Synopsys、Mentor Graphics和ADS服務(wù)器、工作站等。今年3月份，已經(jīng)遞交了國家集成電路基地的申請。個人感覺天大微電子所主要是以傳感器為主，下面有三個主要的研究課題組：專用集成電路與MEMS設(shè)計(jì)課題組，帶頭人是姚素英教授，包括李斌橋、趙毅強(qiáng)、張為和肖夏等。IC設(shè)計(jì)組的課題領(lǐng)域很廣，包括了ASIC、射頻集成電路、數(shù)模混合集成電路設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體傳感器（壓力、光電）、MEMS系統(tǒng)集成以及測試和可靠性方向。其中李斌橋教授系清華電子工程系博士出身，在加拿大Dalsa Inc.的研究與開發(fā)部任首席科學(xué)家。新型半導(dǎo)體器件課題組，帶頭人是毛陸虹教授，包括張世林、梁惠來等，器件組主要的研究課題包括通信集成電路、光電集成電路、化合物半導(dǎo)體研究等等。軍用電子材料與元器件小組，帶頭人是李玲霞教授。主要有SOICMOS和BiCMOS方面的研究，也有一些光電子器件和集成的研究。天大微電子每年招生人數(shù)大致為54人，其中保送生為15人左右。武漢大學(xué)微電子研究院武漢大學(xué)位于風(fēng)景秀麗的東湖之濱、珞珈山麓，是中國最美麗的大學(xué)之一。微電子學(xué)研究院很年輕，成立于2004年4月。研究院有三個實(shí)驗(yàn)室：電子設(shè)計(jì)自動化（EDA）實(shí)驗(yàn)室、集成電路與半導(dǎo)體器件實(shí)驗(yàn)室和嵌入式系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室。武大微電子研究院的研究方向包括：微納集成電路設(shè)計(jì)、集成電路設(shè)計(jì)軟件開發(fā)(EDA) 、微納光集成電路研究、電磁場理論與通信工程、嵌入式系統(tǒng)、信號處理與人工智能和MEMS等。院長王高峰系留美雙博士，個人簡歷幾乎可與業(yè)界知名人士鄧中翰媲美，發(fā)表數(shù)十篇SCI，曾在美國貝爾實(shí)驗(yàn)室、CADENCE等頂級國際研究所和公司進(jìn)行科學(xué)