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第三章表面動(dòng)力學(xué)4.表面擴(kuò)散,主講人:周剛,1,主要機(jī)制動(dòng)力因素主要特點(diǎn),表面缺陷,表面空位、表面增原子、表面位錯(cuò)等,擴(kuò)散系數(shù),表面擴(kuò)散:原子、離子、分子以及原子團(tuán)在固體表面沿表面方向的運(yùn)動(dòng),2,擴(kuò)散系數(shù)的經(jīng)驗(yàn)關(guān)系式:=0ek,3.4-1表面擴(kuò)散系數(shù),與振動(dòng)頻率有關(guān)的常數(shù),擴(kuò)散過程中的激活能,3,(一)表面自擴(kuò)散系數(shù),晶體表面原子在晶體表面擴(kuò)散的實(shí)質(zhì):表面原子脫離正常格點(diǎn)的躍遷,以及附近缺陷的產(chǎn)生與復(fù)合兩個(gè)過程的綜合效果。影響自擴(kuò)散系數(shù)的兩個(gè)因素:表面原子獲得一定激活能實(shí)現(xiàn)躍遷的幾率該原子缺陷形成的幾率,4,原子的躍遷幾率,由于原子躍遷的隨機(jī)性,可將表面原子躍遷現(xiàn)象比擬于分子的布朗運(yùn)動(dòng),利用最簡(jiǎn)單的分子運(yùn)動(dòng)模型來表述表面擴(kuò)散系數(shù)。由分子布朗運(yùn)動(dòng)理論,得出分子的自擴(kuò)散系數(shù)為:=l2t以P表示單位時(shí)間內(nèi)原子躍遷的次數(shù),稱為躍遷幾率,則有:t=1/P,5,躍遷幾率與原子的躍遷激活能有關(guān),同時(shí)與溫度有關(guān),由統(tǒng)計(jì)理論可得躍遷幾率:P=v0expk由以上,得到自擴(kuò)散系數(shù)=l2v0expk,表面原子的本征頻率,躍遷激活能,與原子勢(shì)壘高度及缺陷形成能有關(guān)=f+m,6,考慮到原子周圍缺陷的形成和遷移幾率,引入f和m,表面自擴(kuò)散系數(shù)表述為:s=()fm即s=l2v0fmexpk令0=l2v0fm得s=0expk與實(shí)驗(yàn)所得經(jīng)驗(yàn)公式吻合,7,(二)頻率因子,擴(kuò)散系數(shù)表達(dá)式中的系數(shù)0稱為頻率因子。由玻爾茲曼關(guān)系式,以0表示理想表面的點(diǎn)陣振動(dòng)狀態(tài)幾率,以0表示缺陷遷移前的點(diǎn)陣振動(dòng)狀態(tài)幾率。由于熵變?yōu)橄鄬?duì)值,故可以認(rèn)為0及0均等于1作為嫡增起點(diǎn),則有缺陷形成幾率:f=expf/k缺陷遷移幾率:m=expm/k缺陷的形成與躍遷同時(shí)出現(xiàn)的幾率為fm=expf+m/k,由此,頻率因子0=l2v0expf+m/k自擴(kuò)散系數(shù)s=l2v0expf+m/kexpk上式可看出:表面擴(kuò)散隨溫度的增加而加劇。,8,表面原子的自擴(kuò)散機(jī)制雖然與晶體體內(nèi)相同,但擴(kuò)散情況卻不盡相同。首先,表面原子比體內(nèi)原子有更大的自由度,表面擴(kuò)散激活能遠(yuǎn)小于體內(nèi),所以擴(kuò)散速度遠(yuǎn)大于體內(nèi);其次,表面上原子周圍情況因不同晶面而異,導(dǎo)致表面擴(kuò)散機(jī)制的差異。如面心立方晶系100表面擴(kuò)散,主要是表面空位機(jī)制。,9,從上面兩張表中可以看出,表面空位的激活能(f+m)小于表面增原子,二者之比幾乎為1:2。表面空位總熵增大于表面增原子,其頻率因子0相應(yīng)有一個(gè)數(shù)量級(jí)之差。而110表面卻主要是表面增原子擴(kuò)散機(jī)制。111表面擴(kuò)散比前兩種表面稍為困難,其激活能較大。,10,在蒸發(fā)極限以下,高溫時(shí)的表面原子,可以處于較高的激發(fā)態(tài),不僅可以進(jìn)行短程擴(kuò)散(稱之為局域擴(kuò)散),如圖中方向1,而且可以進(jìn)行自由度更大的遠(yuǎn)程擴(kuò)散(稱為非局域擴(kuò)散),如圖中方向2,此時(shí)平均自由程遠(yuǎn)大于晶格常數(shù):l,11,(三)表面互擴(kuò)散(異質(zhì)擴(kuò)散),外來原子在表面的擴(kuò)散,其機(jī)制相似自擴(kuò)散。但由于外來原子與基體原子在尺寸、組分上的不同,導(dǎo)致擴(kuò)散系數(shù)在數(shù)量級(jí)上出現(xiàn)差別。外來原子在晶體表面存在的方式,可以是填隙式,也可以是置換式,或者化合、吸附等等方式。這些原子受勢(shì)場(chǎng)的束縛較弱,其遷移速率遠(yuǎn)大于自擴(kuò)散,多屬于遠(yuǎn)程擴(kuò)散,l。,12,填隙式雜質(zhì)的擴(kuò)散遷移僅與表面勢(shì)壘有關(guān),不受缺陷機(jī)制的影響,擴(kuò)散系數(shù)表示為:l=l2v0expm/k置換式外來原子其擴(kuò)散方式基本上與自擴(kuò)散相同,但擴(kuò)散系數(shù)一般大于自擴(kuò)散。這是因?yàn)橥鈦碓舆M(jìn)入表面所引起的點(diǎn)陣弛豫作用,使周圍缺陷的產(chǎn)生及遷移幾率增加,多為空位擴(kuò)散機(jī)制。,13,該表列出了利用場(chǎng)離子顯微鏡(FIM)及其它方法,測(cè)量的表面異質(zhì)擴(kuò)散數(shù)據(jù)。,14,以上關(guān)于表面擴(kuò)散的討論,主要是運(yùn)用統(tǒng)計(jì)熱力學(xué)方法處理,這是相當(dāng)粗糙的;運(yùn)用的表面勢(shì)模型是否具有普遍意義也值得商榷;此外,表面擴(kuò)散的各向異性、表面擴(kuò)散與表面勢(shì)的函數(shù)關(guān)系、表面擴(kuò)散與催化反應(yīng)等各種表面現(xiàn)象的關(guān)系等,對(duì)于表面動(dòng)力學(xué)性質(zhì)都有非常重要的影響,尤其是表面勢(shì),集中體現(xiàn)了表面結(jié)構(gòu)、表面相變以及各種表面現(xiàn)象的綜合效應(yīng)等等。需要建立準(zhǔn)確的模型,這是理論研究上需要進(jìn)一步探討的,實(shí)驗(yàn)方法的改進(jìn)、完善等也是研究工作中需要突破的方面。,15,3.4-2晶界擴(kuò)散,缺陷與原子遷移,大量存在于晶粒間界中。對(duì)于最簡(jiǎn)單的位錯(cuò)模型,主要缺陷以位錯(cuò)及其集合形式存在。實(shí)驗(yàn)證明,原子沿晶界的擴(kuò)散速度,比晶粒內(nèi)部高幾個(gè)數(shù)量級(jí),但其擴(kuò)散深度卻并不比晶粒大,這主要是晶界中的位錯(cuò)使擴(kuò)散改變方向所致。在晶粒間界中的擴(kuò)散,同樣有自擴(kuò)散和異質(zhì)互擴(kuò)散兩種過程。,16,(一)沿晶界的自擴(kuò)散,Fisher和Whipple(1954)等建立的晶界自擴(kuò)散方程得到了公認(rèn)。左圖給出了建立這一方程的模型。假設(shè)原子自A區(qū)進(jìn)入晶粒間界,并通過晶界擴(kuò)散至B區(qū)。晶界由晶粒與構(gòu)成。晶界寬度為d,晶界平行于y坐標(biāo)軸,圖中曲線L為等濃度線,為等濃度面與晶界交角。假定A區(qū)與B區(qū)的內(nèi)界面上的濃度保持不變,以0表示,并假定擴(kuò)散物質(zhì)在晶界內(nèi)的濃度與晶粒內(nèi)的濃度達(dá)到平衡時(shí)相等。現(xiàn)在考慮原子自A沿晶界向y方向的擴(kuò)散過程,設(shè)晶界內(nèi)任一點(diǎn)的濃度為y,隨時(shí)間變化的規(guī)律t應(yīng)遵從擴(kuò)散方程。在一般情況下,擴(kuò)散系數(shù)與濃度無關(guān),擴(kuò)散方程為熟知的形式:t=2C式中c為濃度,t為擴(kuò)散時(shí)間。,17,在晶界擴(kuò)散模型中,晶界中濃度的變化,是原子沿晶界縱向(Y)擴(kuò)散到晶粒B區(qū),與原子沿晶界橫向(x)擴(kuò)散到晶粒、內(nèi)的總效果。根據(jù)Fisher模型,有擴(kuò)散方程:t=2y2+2dx=0式中第一項(xiàng)是沿晶界縱向擴(kuò)散的結(jié)果,第二項(xiàng)是由晶界向晶粒的橫向擴(kuò)散結(jié)果。為了避免繁瑣的數(shù)學(xué)計(jì)算,通過引入一個(gè)等濃度面,可以簡(jiǎn)化計(jì)算過程。等濃度面與晶粒間界的交角為,在x=0處有tan=dy/dx,經(jīng)過對(duì)前兩個(gè)方程的近似解加以處理,可以得出:=2t12tan2d角可以通過實(shí)驗(yàn)測(cè)量,例如通過蝕刻方法,蝕去一層擴(kuò)散帶,在截面上量出角等,而D一般可通過實(shí)驗(yàn)測(cè)得。Whipple引入?yún)?shù),可以通過此參數(shù)分析晶界擴(kuò)散性質(zhì)。=1d2t有=tan2d值越大,則D/D越大,反映在等濃度面傾斜角越大,所以,標(biāo)志了沿晶界擴(kuò)散的相對(duì)速度。若以h表面沿晶粒間界擴(kuò)散的深度,h表示體擴(kuò)散的深度。越大,h/h越大。所以,又標(biāo)志了沿晶界擴(kuò)散的程度。在給定的時(shí)間內(nèi),t=100小時(shí),若要求沿晶界擴(kuò)散的深度,比體擴(kuò)散深度大一倍,則必須有=105數(shù)量級(jí)。,18,事實(shí)上,晶界的擴(kuò)散能力的確遠(yuǎn)大于晶體內(nèi)部,主要是由于晶界的松散結(jié)構(gòu)所致。在Ag,Zn,Cd等多晶材料中,測(cè)量過沿晶粒間界的自擴(kuò)散深度,結(jié)果與理論推算比較符合。根據(jù)Fisher等人的模型,計(jì)算了以上金屬的晶界自擴(kuò)散系數(shù)。在計(jì)算中設(shè)d等于3個(gè)原子直徑,計(jì)算結(jié)果列于下表。表中為晶界擴(kuò)散激活能,E為體內(nèi)點(diǎn)陣擴(kuò)散激活能。,19,晶界的擴(kuò)散同溫度有關(guān),溫度越低,晶體內(nèi)的擴(kuò)散機(jī)制中晶界擴(kuò)散越重要,當(dāng)溫度達(dá)到某一數(shù)值時(shí),晶界擴(kuò)散成為物質(zhì)遷移.的主要方式。這一溫度,稱為擴(kuò)散臨界溫度c。在c溫度下,擴(kuò)散系數(shù)滿足d式中R為晶粒直徑,d為晶界寬度。下表列出了Ag、Zn、Cd的擴(kuò)散臨界溫度。以h表示熔點(diǎn)溫度,則表中列出了c與h比較的近似值。,20,c作為一種轉(zhuǎn)變溫度,并沒有明顯的轉(zhuǎn)變點(diǎn),只代表一個(gè)溫度范圍,在這個(gè)范圍內(nèi),兩種擴(kuò)散均可以占有一定的重要地位。左圖給出了Ag的轉(zhuǎn)變溫度范圍。在高溫下,單晶與多晶的擴(kuò)散線彼此重合,在1073K以下,多晶體的擴(kuò)散進(jìn)行較快,說明晶界擴(kuò)散起主導(dǎo)作用。從圖中看出,隨著溫度的降低,擴(kuò)散速度差距越大,晶界擴(kuò)散越居主導(dǎo)地位。在氧化物多晶物質(zhì)中擴(kuò)散,由于晶界作用,其擴(kuò)散系數(shù)遠(yuǎn)大于單晶擴(kuò)散。,21,(二)晶界的異質(zhì)擴(kuò)散,處于高能狀態(tài)的晶界區(qū),成為異質(zhì)原子的富集區(qū)。通過熱力學(xué)方法確定固溶體中溶質(zhì)原子的聚集分布。Gibbs曾經(jīng)說明,能使表面能降低的溶質(zhì)原子將聚集在表面。這一結(jié)論同樣應(yīng)用于晶粒間界??梢宰C明,當(dāng)溶質(zhì)原子相對(duì)于基質(zhì)原子甚小時(shí),晶界溶質(zhì)濃度與晶粒原子濃度C遵從=exp1+exp式中Q為溶質(zhì)原子進(jìn)入晶體的形成能。,22,在自擴(kuò)散的討論中,可以看出,由于晶粒間界的點(diǎn)陣畸變以及大量的缺陷,使晶界成為原子遷移的起始和終結(jié)區(qū),也就是自擴(kuò)散的“源”;對(duì)于異質(zhì)擴(kuò)散,由于晶粒中異質(zhì)原子的富集以及晶界區(qū)的松散結(jié)構(gòu),也使晶界成為異質(zhì)擴(kuò)散的“源”。晶界的異質(zhì)擴(kuò)散規(guī)律基本上相似于自擴(kuò)散,這方面的實(shí)驗(yàn)取得很多數(shù)據(jù)。很多實(shí)驗(yàn)觀察均可證明,沿晶界的異質(zhì)擴(kuò)散,遠(yuǎn)大于晶粒異質(zhì)擴(kuò)散,可達(dá)幾個(gè)數(shù)量級(jí)之差。有人在錫的多晶體表面電鍍一層放射性錫,經(jīng)過496K溫度下的擴(kuò)散處理,在另一表面發(fā)現(xiàn)晶粒間界處,自射線感光底片上呈現(xiàn)較深的黑度,說明通過晶粒間界擴(kuò)散的物質(zhì)較多。又有人觀察到Ni在Cu中沿晶界擴(kuò)散的深度比通過晶粒擴(kuò)散的深度大。此外,在Zn表面涂上一層Cu后,在988K溫度下加熱,觀察到表面Cu的顏色消失,這是由于Cu向Zn的擴(kuò)散所致。經(jīng)過比較實(shí)驗(yàn),發(fā)現(xiàn)單晶Zn表面上Cu的顏色保持時(shí)間比多晶Zn上大六倍,證明了Cu在Zn內(nèi)的擴(kuò)散主要是通過晶粒間界。,23,關(guān)于擴(kuò)散系數(shù)的數(shù)據(jù),舉例于下表中。,異質(zhì)原子在晶體內(nèi)的擴(kuò)散,由于晶體內(nèi)部、表面、界面的原子勢(shì)不同,從而擴(kuò)散激活能相差也較大,這是造成其擴(kuò)散系數(shù)不同的根本原因。異質(zhì)原子在晶界中的擴(kuò)散,還常伴隨一些化學(xué)反應(yīng),如氧化、還原反應(yīng),硫化、化合反應(yīng)等,并由此在晶界中出現(xiàn)新相,這種擴(kuò)散屬于反應(yīng)性擴(kuò)散。反應(yīng)性擴(kuò)散是許多固相反應(yīng)的主要途徑。在陶瓷的燒結(jié)過程中,這種反應(yīng)性擴(kuò)散推動(dòng)了燒結(jié)中新相的長大。,24,晶界擴(kuò)散,不僅受溫度的影響,而且同晶粒的尺寸有關(guān),晶粒越小,晶界擴(kuò)散速度越大,有人把i+擴(kuò)散到MgO孿晶內(nèi),發(fā)現(xiàn)沿晶界擴(kuò)散的速度明顯地隨晶粒尺寸變化。下圖示出了i+沿MgO晶界法線方向透入晶體的深度和濃度分布隨晶粒尺寸的變化。圖中晶粒尺寸以晶粒直徑標(biāo)出。異質(zhì)擴(kuò)散物質(zhì)為NiO。,25,將晶粒表面視為曲面,則可用曲率半徑表示晶粒的大小,對(duì)于凸形顆粒,顆粒越大則曲率半徑越大,表面缺陷濃度與表面曲率半徑的關(guān)系,可以說明不同尺寸晶粒的間界擴(kuò)散情況。設(shè)彎曲表面的曲率半徑為,表面點(diǎn)缺陷濃度為n,為點(diǎn)缺陷所占有的空間體積,為比表面能,可以證明n=n0exp2k式中n0表示平坦表面缺陷濃度,對(duì)于表面空位缺陷,上式取“”號(hào),對(duì)于表面增原子缺陷,上式取“+”號(hào)。,26,晶界的擴(kuò)散特性,有很重要的實(shí)際意義,在陶瓷材料的研制、半導(dǎo)化等工藝中,沿晶界的擴(kuò)散是摻雜的重要途徑。在陶瓷材料的晶界中,存在大量缺陷,由于出現(xiàn)的正離子缺位、或氧離子缺位,以及各種填隙原子的出現(xiàn)等,可以導(dǎo)致施主能級(jí)或受主能級(jí)的形成。若在陶瓷材料中摻雜,當(dāng)高價(jià)外來金屬原子替位或填隙,可形成施主能級(jí);低價(jià)金屬原子替位,可形成受主能級(jí)。由于晶粒間界的擴(kuò)散作用,將促進(jìn)摻雜過程的進(jìn)行。因此晶界擴(kuò)散的研究越來越引起重視。,27,在陶瓷晶界的擴(kuò)散機(jī)制中,除了通過晶界中晶相結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散外,還包括玻璃相擴(kuò)散機(jī)制。玻璃相的擴(kuò)散屬于非晶態(tài)物質(zhì)中的擴(kuò)散,物質(zhì)在玻璃相中的擴(kuò)散不是以擴(kuò)散系數(shù)D表示,而是以“滲透率”K表示。
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